JPH025332B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、音波で作動する分散形遅延線方式の
パルス圧縮フイルタ、一層詳細には、基板の表面
における複数個の電極または反射器フインガの分
布が所定の伝達関数に従つて定められているパル
ス圧縮フイルタに関する。

特にレーダ技術では、継続時間の短いパルスを
継続時間の長い伸長パルスに変換し得るパルス圧
縮フイルタが用いられる。このパルス伸長は一般
に送信側で行なわれる。受信側にマツチド・フイ
ルタを用いれば、送信側でパルス圧縮フイルタに
より時間的に伸長された伸長パルスを継続時間の
短いパルスに逆変換することができる。この逆変
換された圧縮パルスには必然的に主ローブの前後
にサイドローブが現われ、それらの振幅は所定の
伝達関数と伸長パルスの継続時間Ｔおよびフイル
タの帯域幅Ｂの積（Ｔ・Ｂ）とに関係する。

送信側でパルス伸長を行なう理由は、限られた
尖頭電力で大きなエネルギーのレーダ・パルスを
送信可能にすることである。受信側でパルス圧縮
を行なうことにより、継続時間の短い原パルスを
送信した場合とほぼ等しい時間的分解能を確保す
ることができる。このようなパルス伸長／圧縮が
行なわれるレーダでは、パルスのエネルギーが大
きいので、到達距離を大きくすることが可能にな
る。

パルス伸長／圧縮により理論的に期待される利
点は実際には、フイルタを経済的なものですませ
ようとすると、完全には得られない。主ローブの
前後のサイドローブは、パルス圧縮フイルタの積
Ｔ・Ｂの値が制限されていることから現われるだ
けでなく、電極フインガの位置分布に誤差がある
ことによつても現われる。

このようなフイルタは圧電材料の基板を有し、
その表面に電極フインガ伝達関数により定められ
る分布で配置されている。これらの電極フインガ
は交互に両側のブスバーに接続されている。

パルス圧縮フイルタには種々の種類がある。そ
の１つはタツプ付位相符号化遅延線を用いるもの
である。これは、群にまとめられて一方または他
方のブスバーに接続されている電極フインガが順
次に所定の符号化に従つて相異なる位相を有する
ように配置されたものである。このような位相符
号化遅延線は、圧縮パルスに比較的振幅の大きい
サイドローブが現われ、その最小振幅が位相跳躍
の数により定まるという欠点を有する。さらに、
このような遅延線は、たとえばドツプラ効果また
は基板温度の影響によるインパルス信号および
（または）遅延線内の周波数シフトに対して非常
に敏感であるという欠点をも有する。

分散形遅延線を用いるパルス圧縮フイルタで
は、上記のような欠点は回避されている。しか
し、このような遅延線は、他方において、隣り合
う電極フインガが連続的に相異なる間隔、たとえ
ば電極フインガから電極フインガへと単調に増大
または減少する間隔を有するので、その製造が困
難であるという欠点を有する。すなわち、フイル
タの長さが10ないし15cmになり、電極フインガの
幅および相互間隔は1μｍのオーダーの小さな値
に達し、圧縮パルスの有害なサイドローブを避け
るためには幅および相互間隔の精度を0.1μｍ以内
に保たなければならない。このような構造を、基
板上にマスクパターンを縮小投影するフオトリソ
グラフイ法により製造することは有利であるが、
実際には像面直径がフインガ構造の長さのごく一
部分に過ぎない十分に無ひずみの投影装置しか使
用できない。従つて、連続的に変化する電極フイ
ンガ間隔を有する全電極フインガ構造を、多数の
セクシヨンから複合されたものとして製作せざる
を得ない。

投影装置で基板を載せた支持板をマスクパター
ンに対して相対的に高精度で移動させることによ
り電極フインガ構造を高精度で製造し得ることは
知られている。しかし、連続的に変化する電極フ
インガ間隔を有する電極フインガ構造を製造する
場合のようにマスクパターンを交換しなければな
らない場合には電極フインガ構造の精度が悪くな
る。このような問題点を回避する１つの方法は、
フイルタまたは遅延線の個々の電極フインガを
個々の照射により製造する方法である。しかし、
このような方法は時間がかかり過ぎて不経済であ
る。

なお、マスクを基板に密着させて露光する方法
もあるが、この方法は基板の表面を汚すので有利
でない。

本発明の目的は、以上に記載したような製造上
の困難を回避することができ、サイドローブを高
度に抑制することができ、また周波数シフト（ド
ツプラ効果や温度の影響によるもの）に対する敏
感さを減ずることができる分散形遅延線方式のパ
ルス圧縮フイルタを提供することである。

この目的は本発明によれば、特許請求の範囲第
１項に記載のパルス圧縮フイルタによる達成され
る。

本発明の基礎となつている考え方は、連続的に
変化する間隔を有する電極フインガ構造から脱却
して、分散形遅延線方式のパルス圧縮フイルタの
製造上の困難を回避または大幅に減少し得る新た
な電極フインガ構造を見い出そうということであ
る。もちろん、それに伴い許容し得ないような性
能上の欠点が生じてはならない。すなわち、本発
明によるフイルタの伝達特性は必要な条件を満足
していなければならない。たとえば、一般に、圧
縮パルス中のサイドローブの振幅は主ローブの振
幅よりも30dB小さいことが必要とされる。

本発明によれば、すべての電極フインガが連続
的に増大する間隔を有するのではなく、特定の個
数の電極フインガから成るフインガ群が連続的に
増大する間隔を有する。フインガ群は個数および
中心間隔に関して互いに同一の電極フインガから
構成されている。フインガ群のなかで隣り合う電
極フインガの中心間隔は等間隔である必要はない
が、この分布はすべてのフインガ群に対して同一
である。

従つて、これらのフインガ群に対してマスクパ
ターンは１種類で十分であり、それがフオトリソ
グラフイ法でフイルタ基板の感光層上に縮小して
投影され得る。必要な伝達関数を実現するため、
１つのフインガ群の中心からその隣りのフインガ
群の中心までの間隔（フインガ群中心間隔）が連
続的に大きく（または）小さくなるように選定さ
れる。

本発明によるフインガ群を有するフイルタの大
きな利点は、各フインガ群をフオトリソグラフイ
法で製造するのに必要なマスクパターンが１種類
ですむことである。各フインガ群は、基板を載せ
た支持板をマスクパターンに対して相対的に横方
向（フイルタ完成後の音波伝搬方向またはその逆
方向）に所定の伝達関数により定められたフイン
ガ群中心間隔ずつ移動させて照射することにより
製造される。上記の相対的移動は1μｍの1/10ま
での精度で行なうことができる。本発明によれ
ば、フインガ構造の精度を悪くするようなマスク
パターンの交換を行なわずにすますことができ
る。

フイルタ内の音波伝搬方向に少なくとも中心波
長λ_pにほぼ等しい長さｌを有する本発明によるフ
インガ群はいわゆる“スプリツト・フインガ”と
混同されてはならない。スプリツト・フインガは
その音波伝搬方向の全長がλ_p／２を実質的に越え
ず、単一の電極フインガと等価なものとみなされ
る。本発明によるフインガ群の長さは、それを構
成するフインガの個数が少ない場合でも、λ_p／２
の数倍である。本発明によるフインガ群のなかに
電極フインガがλ_p／２の何倍かの間隔で配置され
ていれば、本発明によるフインガ群の音波伝搬方
向の長さｌは同一個数のフインガを有するスプリ
ツト・フインガの長さをはるかに越える。さら
に、本発明によるフインガ群を構成するフインガ
は、スプリツト・フインガと異なり、一方または
他方のブスバーに交互に接続されている。なお言
及すべきこととして、本発明によるフインガ群の
なかの個々のフインガはスプリツト・フインガと
して構成されていてもよく、この場合、個々のフ
インガと等価なスプリツト・フインガの長さは
λ_p／２を越えない。

以下、図面により本発明を一層詳細に説明す
る。

第１図は基板１０上に入力変換器１を有するパ
ルス圧縮フイルタの原理図である。出力変換器は
符号１１を付されている。入力変換器１の一部分
として第１図にはＮ＝３個のフインガ群２が示さ
れており、各フインガ群は間隔a₁、a₂、a₃を有す
るｎ＝４個の個々のフインガ３から成つている。
ここにa₁≠a₂≠a₃であつてもよい。それぞれ隣接
するフインガ群２の中心間隔A₁、A₂およびA₃は
本発明の考え方に従つて互いに不等である。これ
らの中心間隔はパルス圧縮フイルタが有するべき
伝達関数に従つて定められる。個々のフインガ群
２は電極フインガ３の個数ｎ、間隔a₁、a₂、a₃お
よび伝搬方向ｖの長さｌに関して互いに同一に構
成されている。各フインガ群２の電極フインガ３
の伝搬方向ｖに対して垂直方向の長さはフインガ
の重み付けに従つて相異なる有効長さを有してい
てよい。この変換器１は入力または出力変換器で
あつてよい。しかし、入力変換器および出力変換
器が変換器１と同様に構成されていてもよい。

第２図はそれ自体は公知の分散形遅延線方式の
パルス圧縮フイルタの原理図であり、変換器１は
複数個の電極フインガ３から成り、個々の電極フ
インガ３の間隔は伝搬方向に単調に増大してい
る。この公知のパルス圧縮フイルタの全長にわた
る電極フインガ３の分布すなわち各間隔は、圧縮
フイルタが有するべき伝達関数に従つて定められ
る。

第１図に例示されている本発明によるフイルタ
では、フインガ群中心間隔A₁、A₂、A₃…が単調
に増加しており、特許請求の範囲第１項に記載さ
れている条件Ｎ＞Ｔ・Ｂが守られていれば、第２
図に例示されている公知のフイルタの場合のよう
に細かいステツプで中心間隔A_iが増大しなくても
十分である。

１つのフインガ群２のなかで隣接する２つの電
極フインガ３の好ましい中心間隔a_iは一般にλ_p／
２であり、この場合、個々の電極フインガ３のス
トリツプ幅はλ_p／４に選ばれている。ここにλ_pは
伝達関数の周波数帯域の中心周波数f_pに対する基
板中の音波の波長である。従つて、この例ではフ
インガ群２は波の伝般方向ｖにフインガ群２の両
端の電極フインガ３の間の中心間隔にほぼ等しい
長さｌ＝3λ_p／２を有する。本発明によるパルス
圧縮フイルタの実例では、たとえば１つのフイン
ガ群２はｎ＝４ないし20個の電極フインガ３を含
んでおり、全フイルタはたとえばＮ＝10ないし
1000個のフインガ群２から成つている。第１図に
例示されている本発明によるフイルタの最初のフ
インガ群２から最終のフインガ群２までの全長
は、それと比較可能な第２図による公知のフイル
タの全長と一般に等大である。

第１図によるフイルタの製造方法では、１つの
フインガ群２の４つの電極フインガ３に対して単
一のマスクパターンが投影装置に用いられる。第
３図には、光源３２、コンデンサ３３、マスクパ
ターン３４および対物レンズ３５を有し、フイル
タ１の基板１０の表面にマスクパターン３４の像
を縮小して投影する投影装置３１が示されてい
る。この基板１０の表面は感光層１１１でおおわ
れている。このフオトリソグラフイ法は公知であ
るから、ここでその詳細を説明する必要はない。

基板１０は装置３１内で、マスクパターン３４
に対して相対的に矢印３７の方向に微細調節して
ずらされ得る支持板３６の上に載せられている。
こうしてマスクパターン３４の１つのフインガ群
が、間隔A_iずつずらされる基板１０上の感光層１
１１の非常に精密な位置に投影され得る。

第１図に示されているように、個々の電極フイ
ンガ３は両側のブスバー５および６により電気的
に接続されている。第４図には、電極フインガ
３′が“スプリツト・フインガ”として構成され
るフインガ群２′が示されている。各“スプリツ
ト・フインガ”電極フインガは、図示されている
ように、隣り合つて電気的に並列接続されている
２つのフインガ・ストリツプ３″および３から
成つている。両フインガ・ストリツプ３″，３
およびそれらの間の間隙は全幅3λ_p／８を有し、
フインガ３および３とほぼ等大である。第４図に
示されているフインガ群は各２つのフインガ・ス
トリツプ３″，３に分割された４つの電極フイ
ンガ３′を含んでいる。

第５図には、それ自体は以前から公知のように
重み付けられたフインガ２３を有するフインガ群
２０の例が示されている。この重み付けは伝達関
数の所定の振幅分布を実現するために行なわれ
る。一般に全パルス圧縮フイルタの個々のフイン
ガ群２０に対する電極フインガ２３の重み付けは
すべて異なつており、Ｎ個のフインガ群に対して
同一性はない。しかし、このことは本発明の欠点
ではない。重み付けられたフインガ２３を有する
フインガ群２０も前記の原理による第３図の装置
で製造され得る。先ずフインガ２３が両側のブス
バー５，６の間を結ぶ電極ストリツプとして製造
され、その後に第２の照射過程により分離個所２
４で中断される。

本発明の１つの好ましい実施態様では、第６図
に３つのフインガ群６１，６２および６３につい
て示されているように、第２図による公知のフイ
ルタの公知のフインガ重み付けが簡単化されて、
個々のフインガ群６１，６２，６３のなかではす
べての電極フインガ２３のフインガ重み付けが等
しく、しかしこれらのフインガ重み付けが段階的
にフインガ群からフインガ群へと（所定の伝達関
数に従つて近似的に）変化するように実現されて
いる。

本発明は、当業者に“反射形アレー圧縮器”と
して知られているパルス圧縮フイルタの反射格子
にも応用可能である。第７図に示されているよう
に、このようなフイルタ７０は入力および出力変
換器７６，７７を有する。これらの変換器はすだ
れ状電極フインガを有する通常のものである。こ
れらの変換器は基板１０上に設けられている。基
板１０はこれらの変換器の範囲では圧電性でなけ
ればならない。それ以外の範囲すなわち反射格子
７１の範囲では基板１０の圧電性である必要はな
い。

公知の“反射形アレー圧縮器”は従来、傾斜し
た反射器フインガが、第２図に変換器１の電極フ
インガについて示したように、単調に増大（また
は減少）する相互間隔を有するものとして実現さ
れている。

第７図には、反射器フインガ７３の本発明によ
る配置７１が示されている。これらの反射器フイ
ンガ７３はＮ個のフインガ群７２およびＮ個のフ
インガ群７２′に分割されている。各１つのフイ
ンガ群７２およびそれに向かい合う１つのフイン
ガ群７２′は１つのユニツトに属しているので、
このようなユニツトが本発明の意味においてＮ個
設けられている。各フインガ群７２，７２′はｎ
個の反射器フインガ７３から成る。フインガ群７
２およびフインガ群７２′は互いに同一である。
反射のために必要な傾斜については公知である。
変換器７６が入力変換器である場合のフインガ群
７２，７２′間の音波伝搬方向がv′で示されてい
る。

フインガ７０において反射器フインガは、これ
までに説明してきたフイルタの電極フインガと同
様に、金属ストリツプ（ただしブスバーなし）で
あつてよい。しかし、反射器としての機能上、導
電性は必要でない。反射器フインガ７３は基板１
０の表面にたとえばエツチングにより形成された
ストリツプ状の溝であつてもよい。

それ以外の点ではフイルタ７０に対しても第１
図および第３図で説明したことがあてはまる。公
知のように基板１０内の深さまたは一直線上の点
状の凹みの個数が異なる個々のフインガ７３によ
る重み付けがフイルタ７０においても行なわれて
いてよい。

既述のように、電極フインガの間隔a_iは不等間
隔であつてもよい。このことは重み付けられた電
極フインガ２３に対しても“スプリツト・フイン
ガ”配置３′に対してもあてはまる。たとえばフ
インガ群２，６１…の不等間隔は、フインガ対を
省略してフインガ群のフインガ配置密度を小さく
することにより実現される。同じく既述のよう
に、（“スプリツト・フインガ”の場合は別とし
て）電極または反射器フインガの配置密度が最大
になるのは隣り合うフインガ３，２３，３′，７
３の中心間隔a_iがλ_p／２（ここにλ_pはフイルタの
中心周波数f_pに対するフイルタ内の音波の波長）
に等しい場合である。なお、隣り合う電極フイン
ガは別のブスバー５または６に接続される。

フインガ群２，６１…のなかで同一の順序でフ
インガ対３，２３，７３を省略すること、すなわ
ちフインガ配置密度を小さくすることも特に有利
である。このようなフインガ群はλ_p／２の数倍特
に奇数倍に等しい等間隔a_iを有する（a₁＝a₂＝
a₃）。この場合にも、隣り合う電極フインガ３，
２３は別のブスバー５または６に接続される。こ
のようなフインガ群の全長ｌはｎ・λ_p／２の数倍
である。最大密度（すなわちa_i＝λ_p／２）のフイ
ンガ配置から、隣り合う（別のブスバーに接続さ
れている）フインガの対が省略されれば、残存す
るフインガの間隔はa_i＝３・λ_p／２となり、従つ
てフインガ群の全長はｌ＝３・ｎ・λ_p／２とな
る。このような実施例においても、電極または反
射器フインガの幅は約λ_p／４であることが好まし
い。

本発明によるパルス圧縮フイルタの電極または
反射器フインガの重み付けは第８図のように行な
うこともできる。以下に、この実施例を説明す
る。

第８図の実施例は第１図の実施例中の部分と一
致する部分を有するので、それらの部分には互い
に同一の符号が付されている。

符号８１，８２，８３および８４を付されてい
るフインガ群は以下の説明において副群と呼ばれ
る。

副群の中心間隔B₁、B₃、…は第１図における
フインガ群の中心間隔A₁、A₃、…にそれぞれΔz_i
だけ異なつている。少なくとも２つの隣り合う副
群が１つの主群にまとめられている。たとえば副
群８１および８２が１つの主群にまとめられ、ま
た副群８３および８４がその隣りの１つの主群に
まとめられている。３つまたはそれ以上の副群が
１つの主群にまとめられていてもよい。

第１の副群８１は音波の伝搬方向にΔz₁だけシ
フトしており、同一の主群に属する第２の副群８
２は反対方向にΔz₁だけシフトしている。従つ
て、この主群に対して副群のシフトΔz₁の和は零
である。その隣りの主群に属する副群８３および
８４も互いに反対方向にΔz₂だけシフトしている
ので、副群のシフトΔz₂の和は同じく零である。

各副群に対してフインガのシフトΔz_iが統一さ
れているので、重み付けを特に簡単に行なうこと
ができる。さらに、互いに同一の副群は一体とし
て投影法または密着露光法により照射され得る。
第８図では第１図のフイルタにくらべてΔz_iのシ
フトが追加されているので、A₁の値とB₁の値と
は2Δz₁だけ異なり、またA₃の値とB₃の値とは
2Δz₂だけ異なつている。２個よりも多数の副群
を有する主群に対しても同様のことがあてはま
る。

第８図の実施例におけるシフトΔz_iは次のよう
にして定められる。

パルス圧縮フイルタの所定のパルス応答は次式
で表わされる。

ｓ（ｔ）＝ａ（ｔ）・e^j〔〓^{ot+ (t)}〕（） Δz_iの値を定めるため、上式は関数ｓ（ｔ）を関
数ｓ〓（ｔ）のたたみ込みにより表わす次式に変換
される。

ｓ（ｔ）＝ｒ（ｔ）・e^j〔〓^{ot+ (t)+b(t)}〕^*
ｇ（ｔ）＝s〓（ｔ）^*ｇ（ｔ）（） この式では、振幅関数ａ（ｔ）が、フイルタの
重み付けのため各副群８１，８２，８３，８４の
フインガのシフトを本発明により定めるために重
要な位置関数ｂ（ｔ）に変換されている。ここで
実現すべきこの重み付けａ（ｔ）は、当該のフイ
ルタに対して所定の伝達関数からその大きさおよ
び群伝搬時間に従つて定められる。

ｓ（ｔ）からs〓（ｔ）への上記の変換式には関数
ｒ（ｔ）およびたたみ込み関数ｇ（ｔ）が含まれて
いる。関数ｒ（ｔ）は本発明による追加的な位相
重み付けをなされていないすだれ状構造の包絡線
である。たたみ込み関数ｇ（ｔ）は（すだれ状構
造または“イン・ライン”反射器構造における）
入力変換器および出力変換器のパルス応答を表わ
し、または傾斜した反射器フインガを有する（す
なわち90゜反射を２回行なう）反射器構造に固有
のたたみ込み状積分（フイルタリング）に相当す
る。この関数ｇ（ｔ）は本発明による変形された
関数s〓（ｔ）と（）式のようにたたみ込まれる。

前記の側帯波は、本発明によれば、第１に入力
変換器および（または）出力変換器の相応の帯域
幅によりろ波される。同様に他の表現で既に述べ
たように、側帯波のろ波は、傾斜フインガを有す
る反射器構造の場合、相応の大きさの開口値すな
わち相応の長さのフインガの選択により達成され
得る。なお、側帯波のろ波は他のデバイスによつ
ても可能であるが、本発明のような表面波を応用
したフイルタによれば、側帯波を非常に簡単にろ
波することができる。

（）式における変形された関数s〓（ｔ）を実現
するため、重み付けがなされていない場合のフイ
ンガの位置にくらべてフインガは重み付けに従つ
て振動的にシフトされている。

第ｉ副群のフインガの本発明によるシフトΔz_i
は（後でまた説明する）関数ｂ（ｔ）に従つて行
なわれる。それぞれ１つの副群にまとめられてい
るすべてのフインガに対してシフトの大きさ｜
Δz_i｜および方向は同一である。本発明によるフ
イルタ構造の重に付けられた範囲には多数の副群
が設けられている。各副群は少なくとも２つの実
のフインガを有する。各副群がさらに多数のフイ
ンガを含んでいることは好ましい。これらのフイ
ンガは実および虚のフインガであつてよい。実の
フインガはたとえば金属ストリツプとして実際に
存在しているフインガである。虚のフインガはこ
の実施例の意味において省略されているフインガ
である。

この実施例では、複数個の副群がフインガ・シ
フトΔz_iを本発明により定めるため各１つの主群
にまとめられている。各主群は少なくとも２つの
実の、すなわち実際にフインガにより表わされる
副群を含んでいる。各主群のこれらの両副群では
一方の副群のフインガが他方の副群のフインガに
対して互いに近接または離隔するようにシフトさ
れている。２個よりも多数の副群を有する主群に
対しては種々のシフトの仕方が可能であるが、た
とえば３つの副群から成る主群では、中央の副群
はシフトされず、一方の外側副群が他方の外側副
群に対してシフトされる。４つの副群から成る主
群では、たとえば１つまたは２つの副群はシフト
されずにとどめられ得る。（２個よりも多数の実
の副群を有する）主群における実の副群のシフト
の大きさは等しくなくてよい。しかし、このよう
な１つの主群におけるすべての副群のシフトの和
は零でなければならない。

主群の個数ｎはｎ≧Ｔ・Ｂ（ここにＴはフイル
タのパルス応答の所定の継続時間、Ｂは伝達関数
の所定の帯域幅）に選ばれている。そして各主群
は少なくとも２つの実の副群８１，８２；８３，
８４；…を有している。

重み付けされた範囲の副群の順序で各副群のフ
インガのシフトΔz_iの大きさは追加的な振動する
位相変調ｂ（ｔ）に従つており、この位相変調ｂ
（ｔ）は、１つの主群内で振動の数がその主群に
含まれている実の副群の数の半分よりも大きくな
い整数であるように振動しており、 ^jb(t)≒ａ（ｔ）／ｒ（ｔ） ここに^jb(t)は１つの主軸にわたるe^jb(t)の平均
値、ａ（ｔ）はフイルタのパルス応答の所定の振
幅変調、ｒ（ｔ）は追加的な位相重み付けをなさ
れていないすだれ状構造の包絡線 の関係が成り立つており、ｔのすべての値に対し
てｒ（ｔ）≧ａ（ｔ）の関係が成り立つている。

第ｉ副群におけるシフトΔz_iの大きさは Δz_i＝λ_i／2π・ｂ（ti） ここにλ_iは第ｉ副群の位置における波長、tiは
音波の伝搬方向の第ｉ副群の中心位置の座標を
zi、音波の伝搬速度をｖとして ti＝zi／ｖ に選ばれている。

第８図の実施例の以上に説明した特徴は一括し
て特許請求の範囲第７項にあげられている。

第５図の例に従つて重み付けされたフインガ構
造を製造するためには、第１図で符号２を付され
ている（まだ重み付けされていない）フインガ構
造の照射に加えて、２回の追加的照射過程を必要
とした。第８図の実施例に従う重み付けによれ
ば、これらの追加的照射過程を必要としないとい
う大きな利点が得られる。すなわち、個々の（重
み付けされていない）フインガ群の照射の際に追
加的シフトΔz_iすなわち第１図の間隔A₁から第８
図の間隔B₁への変更、A₃からB₃への変更などを
考慮に入れて照射を行なうだけでよい。その際、
必然的に第１図の間隔A₂はA₂−Δz₁＋Δz₂に変更
され、この間隔A₂に対するシフトΔz_iが自ずから
行なわれる。

さらに、第８図の実施例により得られる利点と
して、すべてのフインガが短絡されていない（オ
ーバーラツプの変化による重み付けがされていな
い）ので、強度の重み付けをする場合すなわち第
５図の実施例ではフインガのオーバーラツプをご
くわずかにする場合に第５図の実施例では生じ得
る有害な回折現象が第８図の実施例では生じな
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は互いに不等間隔のフインガ群を有する
本発明によるパルス圧縮フイルタの原理図、第２
図は分散形遅延線方式の（本発明にとつて重要
な）公知のパルス圧縮フイルタの原理図、第３図
は本発明によるパルス圧縮フイルタを製造するた
めのそれ自体は公知の装置の原理図、第４図は
“スプリツト・フインガ”の説明図、第５図は重
み付けられたフインガを有するフインガ群の詳細
図、第６図は群ごとにフインガの重み付けを変え
られた本発明によるパルス圧縮フイルタの３つの
フインガ群を示す図、第７図は本発明により構成
された反射器を有する“反射形アレー圧縮器”を
示す図、第８図は主群を構成する副群に対して追
加的なシフトがなされている実施例を示す図であ
る。 １……入力変換器、２……フインガ群、３……
フインガ、５，６……ブスバー、１０……基板、
１１……出力変換器、２０……フインガ群、２３
……フインガ、２４……中断個所、３１……投影
装置、３２……光源、３３……コンデンサ、３４
……マスクパターン、３５……対物レンズ、３６
……支持板、１１１……感光層、６１〜６３……
フインガ群、７１……反射器、７２，７２′……
フインガ群、７３……フインガ、７６，７７……
入出力変換器、８１〜８４……フインガ群（副
群）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 音波で作動する分散形遅延線方式のパルス圧
   縮フイルタであつて、フイルタ内に所定の中心波
   長（λ_p）を生ずる所定の中心周波数（f_p）を有し
   ており、基板の表面上または表面内に位置する複
   数個の電極フインガ（変換器）または複数個の反
   射器フインガ（“反射形アレー圧縮器”の反射格
   子）を有する少なくとも１つの入力／出力変換器
   を含んでおり、電極フインガまたは反射器フイン
   ガの分布が、所定の帯域幅(B)を有しかつフーリエ
   変換（パルス応答）により所定の継続時間（Ｔ）
   を与える所定の伝達関数に従つて定められている
   パルス圧縮フイルタにおいて、電極フインガまた
   は反射器フインガがフインガ個数（ｎ）およびフ
   インガ中心間隔（a_i）に関して互いに同一に構成
   されている複数個（Ｎ）のフインガ群に分割され
   ており、各フインガ群がフイルタ内の音波の伝搬
   方向に少なくとも中心波長（λ_p）と等しい長さ(l)
   を有しており、隣接するフインガ群の間の中心間
   隔（Ai）は所定の伝達関数に従つて不等間隔で
   あり、またフインガ群の個数（Ｎ）が前記の継続
   時間および帯域幅の積（Ｔ・Ｂ）よりも大きいと
   いう関係が成り立つていることを特徴とする分散
   形遅延線方式のパルス圧縮フイルタ。 ２ 個々のフインガ群のなかではフインガの中心
   間隔が互いに等しいことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のパルス圧縮フイルタ。 ３ 電極フインガが“スプリツト・フインガ”構
   造として電極ストリツプから構成されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項
   記載のパルス圧縮フイルタ。 ４ 個々のフインガ群内でフインガの重み付けが
   なされていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項ないし第３項のいずれかに記載のパルス圧縮
   フイルタ。 ５ 個々のフインガ群のなかではフインガの重み
   付けが統一的になされており、個々のフインガ群
   がフインガの重み付けに関して互いに異なる構造
   であることを特徴とする特許請求の範囲第４項記
   載のパルス圧縮フイルタ。 ６ 個々のフインガ群の長さ(l)がｎ・λ_p／２の数
   倍であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   ないし第５項のいずれかに記載のパルス圧縮フイ
   ルタ。 ７ 音波で作動する分散形遅延線方式のパルス圧
   縮フイルタであつて、フイルタ内に所定の中心波
   長（λ_p）を生ずる所定の中心周波数（f_p）を有し
   ており、基板の表面上または表面内に位置する複
   数個の電極フインガ（変換器）または複数個の反
   射器フインガ（“反射形アレー圧縮器”の反射格
   子）を有する少なくとも１つの入力／出力変換器
   を含んでおり、電極フインガまたは反射器フイン
   ガの分布が、所定の帯域幅(B)を有しかつフーリエ
   変換（パルス応答）により所定の継続時間（Ｔ）
   を与える所定の伝達関数に従つて定められてお
   り、電極フインガまたは反射器フインガがフイン
   ガ個数（ｎ）およびフインガ中心間隔（a_i）に関
   して互いに同一に構成されている複数個（Ｎ）の
   フインガ群に分割されており、各フインガ群がフ
   イルタ内の音波の伝搬方向に少なくとも中心波長
   （λ_p）と等しい長さ(l)を有しており、隣接するフ
   インガ群の間の中心間隔（Ai）は所定の伝達関
   数に従つて不等間隔であるパルス圧縮フイルタに
   おいて、所定の伝達関数に従つてフイルタの重み
   付けをするため追加的なフインガ・シフトにより
   それぞれ少なくとも２つの実のフインガを有する
   少なくとも２つの隣り合うフインガ群の実の副群
   として１つの主群にまとめられており、各副群の
   フインガに対して、重み付けがなされていない場
   合のフインガの位置にくらべてフインガの重み付
   けに従つて定められたシフト（Δz_i）がなされて
   おり、各主群に対してそれに属する副群のシフト
   （Δz_i）の和はほぼ零であり、主群の個数ｎはｎ≧
   Ｔ・Ｂ（ここにＴはフイルタのパルス応答の所定
   の継続時間、Ｂは伝達関数の所定の帯域幅）に選
   ばれており、各主群は少なくとも２つの実の副群
   を有しており、重み付けされた範囲の副群の順序
   で各副群のフインガのシフト（Δz_i）の大きさは
   追加的な振動する位相変調ｂ（ｔ）に従つており、
   この位相変調ｂ（ｔ）は、１つの主群内で振動の
   数がその主群に含まれている実の副群の数の半分
   よりも大きくない整数であるように振動してお
   り、 ^jb(t)≒ａ（ｔ）／ｒ（ｔ） ここにｅ^jb(t)は１つの主軸にわたるe^jb(t)の平均
   値、ａ（ｔ）はフイルタのパルス応答の所定の振
   幅変調、ｒ（ｔ）は追加的な位相重み付けをなさ
   れていないすだれ状構造の包絡線 の関係が成り立つており、ｔのすべての値に対し
   てｒ（ｔ）≧ａ（ｔ）の関係が成り立つており、第
   ｉ副群におけるシフト（Δz_i）の大きさは Δz_i＝λ_i／2π・ｂ（t_i） ここにλ_iは第ｉ副群の位置における波長、t_iは
   音波の伝搬方向の第ｉ副群の中心位置の座標を
   z_i、音波の伝搬速度をｖとしてt_i＝z_i／ｖ に選ばれていることを特徴とする分散形遅延線方
   式のパルス圧縮フイルタ。