JPH0253965U - - Google Patents
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- JPH0253965U JPH0253965U JP13111888U JP13111888U JPH0253965U JP H0253965 U JPH0253965 U JP H0253965U JP 13111888 U JP13111888 U JP 13111888U JP 13111888 U JP13111888 U JP 13111888U JP H0253965 U JPH0253965 U JP H0253965U
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- JP
- Japan
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- guide
- frame
- holder
- revolving base
- substrate holder
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- Pending
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- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ないし第５図はこの考案の実施例を示し
、第１図は一部装置を破断したガイド機構の正面
図、第２図はホルダ駆動装置の正面図、第３図は
伝動機構の概略構造を示す縦断面図、第４図は第
１図におけるＡ―Ａ線断面図、第５図は均一蒸着
曲線を示す説明図である。第６図は従来の真空蒸
着装置の概略構造を示す原理構造図である。 ５…基板ホルダ、７…入力軸、９…公転ベース
、１０…サンギヤ、１１…昇降手段、１２…自転
ギヤ、１３…ガイド機構、１４…伝動機構、１６
…ガイド枠、１７…ホルダ枠、１８…円弧溝、１
９…ガイドローラ、Ｓ…均一蒸着曲線。
、第１図は一部装置を破断したガイド機構の正面
図、第２図はホルダ駆動装置の正面図、第３図は
伝動機構の概略構造を示す縦断面図、第４図は第
１図におけるＡ―Ａ線断面図、第５図は均一蒸着
曲線を示す説明図である。第６図は従来の真空蒸
着装置の概略構造を示す原理構造図である。 ５…基板ホルダ、７…入力軸、９…公転ベース
、１０…サンギヤ、１１…昇降手段、１２…自転
ギヤ、１３…ガイド機構、１４…伝動機構、１６
…ガイド枠、１７…ホルダ枠、１８…円弧溝、１
９…ガイドローラ、Ｓ…均一蒸着曲線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 公転ベースと、公転ベースに支持されてサンギ
ヤに沿つて自転駆動される自転ギヤと、自転ギヤ
の回転動力を基板ホルダに伝動する伝動機構と、
公転ベースに支持されて基板ホルダを傾動可能に
案内支持するガイド機構とを有し、 基板ホルダを一定姿勢で支持するホルダ枠と、
公転ベースに固定されて前記ホルダ枠を案内支持
するガイド枠と、両枠間に設けられる案内部材と
被案内部材とでガイド機構を構成し、ホルダ枠を
案内部材と被案内部材を介してガイド枠で均一蒸
着曲線に沿う曲線に従つて案内支持することを特
徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13111888U JPH0253965U (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13111888U JPH0253965U (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0253965U true JPH0253965U (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=31386885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13111888U Pending JPH0253965U (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0253965U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0444358U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-15 |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP13111888U patent/JPH0253965U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0444358U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-15 |
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