JPH0253967U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0253967U JPH0253967U JP13260188U JP13260188U JPH0253967U JP H0253967 U JPH0253967 U JP H0253967U JP 13260188 U JP13260188 U JP 13260188U JP 13260188 U JP13260188 U JP 13260188U JP H0253967 U JPH0253967 U JP H0253967U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone gas
- etching solution
- aeration pipe
- oxygen supply
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す全体構成図お
よび第２図は再生処理作用を説明するための図で
ある。 １…液槽、２…酸素供給手段、３…オゾンガス
発生手段、８…散気管、１０…調整手段。
よび第２図は再生処理作用を説明するための図で
ある。 １…液槽、２…酸素供給手段、３…オゾンガス
発生手段、８…散気管、１０…調整手段。
Claims (1)
- 酸素供給手段と、この酸素供給手段から供給さ
れた酸素に酸化してオゾンガスを発生させるオゾ
ンガス発生手段と、発生されたオゾンガスを槽内
の過マンガン酸系エツチング液中に散気する散気
管と、この散気管から散気するオゾンガスの濃度
および流量の少なくともいずれか一方を調整する
調整手段とを備えてなる過マンガン酸系エツチン
グ液の再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13260188U JPH0253967U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13260188U JPH0253967U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0253967U true JPH0253967U (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=31389713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13260188U Pending JPH0253967U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0253967U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014525680A (ja) * | 2011-08-26 | 2014-09-29 | アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | プラスチック基板を処理する方法及び処理溶液を少なくとも部分的に再生する装置 |
| JP5830807B2 (ja) * | 2013-10-22 | 2015-12-09 | 奥野製薬工業株式会社 | 樹脂材料のエッチング処理用組成物 |
-
1988
- 1988-10-11 JP JP13260188U patent/JPH0253967U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014525680A (ja) * | 2011-08-26 | 2014-09-29 | アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | プラスチック基板を処理する方法及び処理溶液を少なくとも部分的に再生する装置 |
| JP5830807B2 (ja) * | 2013-10-22 | 2015-12-09 | 奥野製薬工業株式会社 | 樹脂材料のエッチング処理用組成物 |
| US9657226B2 (en) | 2013-10-22 | 2017-05-23 | Okuno Chemical Industries Co., Ltd. | Composition for etching treatment of resin material |
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