JPH0256834B2 - - Google Patents
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- JPH0256834B2 JPH0256834B2 JP59066188A JP6618884A JPH0256834B2 JP H0256834 B2 JPH0256834 B2 JP H0256834B2 JP 59066188 A JP59066188 A JP 59066188A JP 6618884 A JP6618884 A JP 6618884A JP H0256834 B2 JPH0256834 B2 JP H0256834B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
この発明は、電気的小変位より機械的大変位を
得る圧電バイモルフ振動子の改良に係り、圧電体
の圧電磁器を該圧電磁器の所要変位方向の直交方
向に分断し、絶縁体からなる振動制止部材の複数
個を介在させて一体となし、圧電体における振動
制止部材の固着方向の変位を阻止することによ
り、移動子の所要方向の機械的大変位を得ること
ができる圧電バイモルフ振動子に関する。 背景技術 一般に、アクチユエータ、センサー等の素子と
して使用される圧電バイモルフ振動子を用いて、
電気的変位を機械的変位に変換する場合、例えば
第１図に示す如く、一方を支持部８に固定し、他
方を振動自由端とする片持梁構成の圧電バイモル
フ振動子１は、幅ｗ×長さｌの矩形板圧電磁器３
の両主面に全面電極５，６を付設した圧電磁器振
動子（以下、圧電体という）２を振動板４に貼着
して構成され、厚みｔ方向に分極され圧電体２の
各々電極５，６より電気信号を入力することで、
圧電体２がｌ方向に変位し、該ｌ方向の変位に基
づき圧電バイモルフ振動子１の振動自由端を上下
方向（図中ｘ方向）に変位させるものである。 圧電バイモルフ振動子１の上下方向に大きな機
械的変位を得るには、圧電体のｌ方向の機械的変
位を大にする必要があり、圧電定数d31（電極に直
角方向に分極してその分極方向と直角方向に振動
した場合の圧電定数）の大きな圧電磁器を使用す
ればよいが、かかる要求を満足する圧電磁器材料
は開発されておらず、圧電バイモルフ振動子の構
成を工夫し、実質的な圧電定数d31を大きくする
必要があつた。 発明の目的 この発明はかかる問題点に鑑み、圧電バイモル
フ振動子において、小さな電気変位で得られる機
械的変位量を大幅に増大させ得る圧電バイモルフ
振動子を目的とし、また、さらに、１枚の圧電バ
イモルフ振動子だけでなく、積層型の振動子とし
ても適している圧電バイモルフ振動子を目的とし
ている。 発明の開示 すなわち、この発明は、圧電磁器よりなる矩形
板の両主面に電極を設けた圧電体を、振動板の少
なくとも１主面に固着してなる圧電バイモルフ振
動子において、圧電磁器を該圧電磁器の所要変位
方向、すなわち、主面における変位を得る方向、
例えば長手方向の直交方向に複数の絶縁体からな
る振動制止部材で分断し一体に固着したことを特
徴とする圧電バイモルフ振動子であり、かかる特
徴を有する圧電体を積層して、振動板の少なくと
も１主面に固着した圧電バイモルフ振動子であ
る。 この発明は、第１図に示す矩形の圧電バイモル
フ振動子１のｘ方向の機械的変位を増大させるた
め、種々検討した結果、圧電バイモルフ振動子１
の圧電体２は長さｌ方向及び幅ｗ方向に変位する
が、幅ｗ方向の変位はｌ方向の変位量の増大には
何ら寄与せず、この幅ｗ方向の変位を阻止、抑制
することにより、ｌ方向の機械的エネルギーを大
幅に増大させることができることを知見し、電気
的小変位により機械的大変位を得ることができる
圧電バイモルフ振動子を完成したものである。 この発明は、圧電体を構成する圧電磁器が、該
圧電磁器の所要変位方向に直交する方向に、例え
ば等間隔で絶縁体からなる振動制止部材で分断さ
れかつ一体に固着されていることを特徴とし、こ
れは換言すれば、例えば矩形状の圧電磁器ピース
の複数個が、板状の振動制止部材を並列配置する
ように介在させて、一体に固着形成した圧電磁器
構成体の両主面に電極を付設した構成からなり、
この振動制止部材は、固着する方向の圧電体の変
位を阻止、抑止する機能を有するもので、適当な
剛性を有する部材が望ましく、その形状、寸法、
圧電バイモルフ振動子での配置、数量、並列間隔
等の条件は、圧電バイモルフ振動子の圧電体およ
び／または振動板の長さｌ、幅ｗ、厚みｔ、材
質、所要変位量等に応じて適宜選定する。また、
振動制止部材の固着方法は接着やろう付けのほ
か、いかなる方法でもよい。 また、圧電バイモルフ振動子の電極は、所謂、
全面電極のほか部分電極でもよく、圧電磁器固有
の性質や所要条件に応じて選定すればよく、振動
制止部材を介して圧電磁器ピースを複数個並列固
着して圧電磁器構成体を形成するが、振動制止部
材の材質は、アルミナ磁器、骨材、アクリル、プ
ラスチツク、合成樹脂等の絶縁体のいずれでもよ
い。振動制止部材を圧電磁器ピースに固着する場
合は、電気的接続を分断しないように寸法配置を
考慮すればよい。 また、圧電バイモルフ振動子の振動板は、説明
において矩形状を例にしているが、円板状の他形
状でもよく、その大きさも圧電体と同一にする必
要はない。さらに、この発明は片持梁構成の圧電
バイモルフ振動子に限定されるものでなく、他の
支持方法の振動子にも有効である。 図面に基づく発明の開示 以下に、この発明を図面に基づいて詳述する。
ここでは片持梁構成の圧電バイモルフ振動子の場
合について説明する。第２図はこの発明による圧
電バイモルフ振動子の正面図と側面図であり、第
３図はこの発明の効果を示す振動制止部材数と変
位量との関係のグラフであり、第４図はこの発明
による圧電バイモルフ振動子の側面図である。第
５図と第６図は圧電体を、２枚、振動板の片面ま
たは両面に積層した構成の圧電バイモルフ振動子
の振動制止部材の配置を示す側面図である。 この発明による圧電バイモルフ振動子１０は、
長さｌ、幅ｗ、厚みt1寸法の振動板４の片面に貼
着した圧電体２が、圧電体２の両主面に全面電極
５，６を形成し、長さｌ、幅ｗ、厚みｔ寸法から
なり、第２図では、長さｘ方向の変位を増大させ
る目的で、断面t2×l2、長さw2の板状の振動制止
部材７を、５個の角柱状の圧電磁器ピース９間の
各々に１枚介在させて一体に固着して矩形の圧電
磁器構成体に形成してある。 上記の構成の圧電バイモルフ振動子１０におい
て、 圧電体２；ｌ／ｗ＝４、ｔ／ｗ＝0.03、 振動板４；ｌ／ｗ＝４、t1／ｗ＝0.01、 l2／ｌ＝１／1000、w2／ｗ＝１、t2／ｔ１の
条件からなる振動制止部材７を、等間隔ｐピツチ
で圧電磁器ピース９間に並列固着し、全面電極
５，６間に直流電界を0.4kV／mmの強度で印加し
たときの、圧電バイモルフ振動子１０のｌ方向の
変位量△x1を測定した。また同様に、同一寸法条
件の従来の圧電バイモルフ振動子１における変位
量△ｘを測定し、これらの測定結果に基づき、△
x1／△ｘを縦軸に取り、ｐ／ｗ（振動制止部材の
数量＋１に逆比例）を横軸に取つたグラフ（第３
図）にてこの発明の効果を評価した。 第３図から明らかなように、振動制止部材７の
数が増すほど、すなわち、ｐ／ｗが小さいほど、
より大きな機械的変位を得ることができる。 ここでは、圧電体２の長さｌ／幅ｗの比が４の
場合を示したが、通常多用されるｌ／ｗが１〜20
の範囲では、第３図と同傾向にある。 また、振動制止部材の長さw2は、圧電磁器振
動子の幅方向の変位を制止するために、また、圧
電磁器ピースを強固に固着するために、該圧電体
の幅ｗとほぼ同等であることが望ましく、圧電体
の長さｌ方向の断面長さl2は、圧電体の長さ方向
の変位を阻害しないようにできるだけ小さいほう
が望ましく、また、圧電体の厚みｔ方向の断面長
さt2は、圧電磁器ピースを強固に固着するため、
また、電極に対して凹凸となり電極の電気的接続
を切断しないように、同ピースと同厚みが望まし
い。 以下に、この発明による圧電バイモルフ振動子
の他の実施態様を説明する。 第４図に示す振動子２０は、圧電磁器ピース９
と振動制止部材７を交互に並列固着した圧電磁器
からなる第２図と同構成の圧電体２を、振動板４
の両面に固着した構成である。この振動子２０
も、前記の第２図の振動子１０と同様の効果が得
られる。 次にこの発明による圧電体積層型の圧電バイモ
ルフ振動子を説明する。 第５図に示す積層型圧電磁器振動子３０は、振
動板４の片面に第２図と同構成の圧電体２，２を
積層した構成であり、第６図の積層型圧電バイモ
ルフ振動子４０は、圧電磁器ピース９と振動制止
部材７を交互に並列固着した圧電磁器からなる第
２図と同構成の圧電体２を、振動板４の両面に
各々２枚積層固着した構成である。 上記の構成からなるこの発明による圧電バイモ
ルフ振動子は、第２図の１枚の圧電体からなるこ
の発明の振動子１０とほぼ同等の機械的変位量が
得られ、第１図に示した従来の振動子１と比較し
て、変位量が大幅に向上している。 いずれの構成においても、圧電体の厚みは必ず
しも同厚みとする必要はなく、適宜選定すればよ
く、積層枚数や振動制止部材の介在向き等も適宜
選定でき、また、振動制止部材の形状、寸法、圧
電バイモルフ振動子での配置、数量、並列間隔等
の条件は、圧電体、振動板の長さｌ、幅ｗ、厚み
ｔ、材質、所要変位量等に応じて適宜選定すれば
よい。 実施例 以下に実施例を示す。 従来の圧電バイモルフ振動子（第１図と同構
成）として、下記の振動子Ａを使用した。 振動板；りん青銅板、長さｌ；35mm、幅ｗ；10
mm、 厚みt1；0.1mm、 圧電体；ジルコン・チタン酸鉛系圧電磁器、 圧電体寸法長さｌ；35mm、幅ｗ；10mm、 厚みｔ（電極含む）；0.3mm、 電極；両主面にCr−Ni系合金電極を0.5μｍ厚み
で蒸着。 また、第２図と同構成のこの発明による圧電バ
イモルフ振動子として、下記の振動子Ｂを使用し
た。 振動板；りん青銅板、長さｌ；35mm、幅ｗ；10
mm、 厚みt1；0.1mm、 圧電磁器ピース；ジルコン・チタン酸鉛系圧電磁
器、14個、 振動制止部材；Al2O3磁器製、l20.1mm×t20.3mm×
w210mm、13個、 圧電体寸法長さｌ；35mm、幅ｗ；10mm、 厚み（電極含む）；0.3mm、 電極；両主面にCr−Ni系合金電極を0.5μｍ厚み
で蒸着、 第５図と同構成のこの発明による圧電バイモル
フ振動子として、上記の振動子Ｂと同一の圧電体
（但し、電極を含む厚みが0.15mm）を使用して組
立てた振動子Ｃを使用した。 以上の振動子Ａ，Ｂ，Ｃを用いて、電極間に、
40V、80V、120Vの直流電圧を印加して長さ方向
の変位量ｘを測定した結果、第１表に示す変位量
を得た。第１表から明らかなように、この発明に
よる振動制止部材を有する圧電バイモルフ振動子
は、従来のものと比較して、変位量が大巾に増大
していることが分る。 【表】
得る圧電バイモルフ振動子の改良に係り、圧電体
の圧電磁器を該圧電磁器の所要変位方向の直交方
向に分断し、絶縁体からなる振動制止部材の複数
個を介在させて一体となし、圧電体における振動
制止部材の固着方向の変位を阻止することによ
り、移動子の所要方向の機械的大変位を得ること
ができる圧電バイモルフ振動子に関する。 背景技術 一般に、アクチユエータ、センサー等の素子と
して使用される圧電バイモルフ振動子を用いて、
電気的変位を機械的変位に変換する場合、例えば
第１図に示す如く、一方を支持部８に固定し、他
方を振動自由端とする片持梁構成の圧電バイモル
フ振動子１は、幅ｗ×長さｌの矩形板圧電磁器３
の両主面に全面電極５，６を付設した圧電磁器振
動子（以下、圧電体という）２を振動板４に貼着
して構成され、厚みｔ方向に分極され圧電体２の
各々電極５，６より電気信号を入力することで、
圧電体２がｌ方向に変位し、該ｌ方向の変位に基
づき圧電バイモルフ振動子１の振動自由端を上下
方向（図中ｘ方向）に変位させるものである。 圧電バイモルフ振動子１の上下方向に大きな機
械的変位を得るには、圧電体のｌ方向の機械的変
位を大にする必要があり、圧電定数d31（電極に直
角方向に分極してその分極方向と直角方向に振動
した場合の圧電定数）の大きな圧電磁器を使用す
ればよいが、かかる要求を満足する圧電磁器材料
は開発されておらず、圧電バイモルフ振動子の構
成を工夫し、実質的な圧電定数d31を大きくする
必要があつた。 発明の目的 この発明はかかる問題点に鑑み、圧電バイモル
フ振動子において、小さな電気変位で得られる機
械的変位量を大幅に増大させ得る圧電バイモルフ
振動子を目的とし、また、さらに、１枚の圧電バ
イモルフ振動子だけでなく、積層型の振動子とし
ても適している圧電バイモルフ振動子を目的とし
ている。 発明の開示 すなわち、この発明は、圧電磁器よりなる矩形
板の両主面に電極を設けた圧電体を、振動板の少
なくとも１主面に固着してなる圧電バイモルフ振
動子において、圧電磁器を該圧電磁器の所要変位
方向、すなわち、主面における変位を得る方向、
例えば長手方向の直交方向に複数の絶縁体からな
る振動制止部材で分断し一体に固着したことを特
徴とする圧電バイモルフ振動子であり、かかる特
徴を有する圧電体を積層して、振動板の少なくと
も１主面に固着した圧電バイモルフ振動子であ
る。 この発明は、第１図に示す矩形の圧電バイモル
フ振動子１のｘ方向の機械的変位を増大させるた
め、種々検討した結果、圧電バイモルフ振動子１
の圧電体２は長さｌ方向及び幅ｗ方向に変位する
が、幅ｗ方向の変位はｌ方向の変位量の増大には
何ら寄与せず、この幅ｗ方向の変位を阻止、抑制
することにより、ｌ方向の機械的エネルギーを大
幅に増大させることができることを知見し、電気
的小変位により機械的大変位を得ることができる
圧電バイモルフ振動子を完成したものである。 この発明は、圧電体を構成する圧電磁器が、該
圧電磁器の所要変位方向に直交する方向に、例え
ば等間隔で絶縁体からなる振動制止部材で分断さ
れかつ一体に固着されていることを特徴とし、こ
れは換言すれば、例えば矩形状の圧電磁器ピース
の複数個が、板状の振動制止部材を並列配置する
ように介在させて、一体に固着形成した圧電磁器
構成体の両主面に電極を付設した構成からなり、
この振動制止部材は、固着する方向の圧電体の変
位を阻止、抑止する機能を有するもので、適当な
剛性を有する部材が望ましく、その形状、寸法、
圧電バイモルフ振動子での配置、数量、並列間隔
等の条件は、圧電バイモルフ振動子の圧電体およ
び／または振動板の長さｌ、幅ｗ、厚みｔ、材
質、所要変位量等に応じて適宜選定する。また、
振動制止部材の固着方法は接着やろう付けのほ
か、いかなる方法でもよい。 また、圧電バイモルフ振動子の電極は、所謂、
全面電極のほか部分電極でもよく、圧電磁器固有
の性質や所要条件に応じて選定すればよく、振動
制止部材を介して圧電磁器ピースを複数個並列固
着して圧電磁器構成体を形成するが、振動制止部
材の材質は、アルミナ磁器、骨材、アクリル、プ
ラスチツク、合成樹脂等の絶縁体のいずれでもよ
い。振動制止部材を圧電磁器ピースに固着する場
合は、電気的接続を分断しないように寸法配置を
考慮すればよい。 また、圧電バイモルフ振動子の振動板は、説明
において矩形状を例にしているが、円板状の他形
状でもよく、その大きさも圧電体と同一にする必
要はない。さらに、この発明は片持梁構成の圧電
バイモルフ振動子に限定されるものでなく、他の
支持方法の振動子にも有効である。 図面に基づく発明の開示 以下に、この発明を図面に基づいて詳述する。
ここでは片持梁構成の圧電バイモルフ振動子の場
合について説明する。第２図はこの発明による圧
電バイモルフ振動子の正面図と側面図であり、第
３図はこの発明の効果を示す振動制止部材数と変
位量との関係のグラフであり、第４図はこの発明
による圧電バイモルフ振動子の側面図である。第
５図と第６図は圧電体を、２枚、振動板の片面ま
たは両面に積層した構成の圧電バイモルフ振動子
の振動制止部材の配置を示す側面図である。 この発明による圧電バイモルフ振動子１０は、
長さｌ、幅ｗ、厚みt1寸法の振動板４の片面に貼
着した圧電体２が、圧電体２の両主面に全面電極
５，６を形成し、長さｌ、幅ｗ、厚みｔ寸法から
なり、第２図では、長さｘ方向の変位を増大させ
る目的で、断面t2×l2、長さw2の板状の振動制止
部材７を、５個の角柱状の圧電磁器ピース９間の
各々に１枚介在させて一体に固着して矩形の圧電
磁器構成体に形成してある。 上記の構成の圧電バイモルフ振動子１０におい
て、 圧電体２；ｌ／ｗ＝４、ｔ／ｗ＝0.03、 振動板４；ｌ／ｗ＝４、t1／ｗ＝0.01、 l2／ｌ＝１／1000、w2／ｗ＝１、t2／ｔ１の
条件からなる振動制止部材７を、等間隔ｐピツチ
で圧電磁器ピース９間に並列固着し、全面電極
５，６間に直流電界を0.4kV／mmの強度で印加し
たときの、圧電バイモルフ振動子１０のｌ方向の
変位量△x1を測定した。また同様に、同一寸法条
件の従来の圧電バイモルフ振動子１における変位
量△ｘを測定し、これらの測定結果に基づき、△
x1／△ｘを縦軸に取り、ｐ／ｗ（振動制止部材の
数量＋１に逆比例）を横軸に取つたグラフ（第３
図）にてこの発明の効果を評価した。 第３図から明らかなように、振動制止部材７の
数が増すほど、すなわち、ｐ／ｗが小さいほど、
より大きな機械的変位を得ることができる。 ここでは、圧電体２の長さｌ／幅ｗの比が４の
場合を示したが、通常多用されるｌ／ｗが１〜20
の範囲では、第３図と同傾向にある。 また、振動制止部材の長さw2は、圧電磁器振
動子の幅方向の変位を制止するために、また、圧
電磁器ピースを強固に固着するために、該圧電体
の幅ｗとほぼ同等であることが望ましく、圧電体
の長さｌ方向の断面長さl2は、圧電体の長さ方向
の変位を阻害しないようにできるだけ小さいほう
が望ましく、また、圧電体の厚みｔ方向の断面長
さt2は、圧電磁器ピースを強固に固着するため、
また、電極に対して凹凸となり電極の電気的接続
を切断しないように、同ピースと同厚みが望まし
い。 以下に、この発明による圧電バイモルフ振動子
の他の実施態様を説明する。 第４図に示す振動子２０は、圧電磁器ピース９
と振動制止部材７を交互に並列固着した圧電磁器
からなる第２図と同構成の圧電体２を、振動板４
の両面に固着した構成である。この振動子２０
も、前記の第２図の振動子１０と同様の効果が得
られる。 次にこの発明による圧電体積層型の圧電バイモ
ルフ振動子を説明する。 第５図に示す積層型圧電磁器振動子３０は、振
動板４の片面に第２図と同構成の圧電体２，２を
積層した構成であり、第６図の積層型圧電バイモ
ルフ振動子４０は、圧電磁器ピース９と振動制止
部材７を交互に並列固着した圧電磁器からなる第
２図と同構成の圧電体２を、振動板４の両面に
各々２枚積層固着した構成である。 上記の構成からなるこの発明による圧電バイモ
ルフ振動子は、第２図の１枚の圧電体からなるこ
の発明の振動子１０とほぼ同等の機械的変位量が
得られ、第１図に示した従来の振動子１と比較し
て、変位量が大幅に向上している。 いずれの構成においても、圧電体の厚みは必ず
しも同厚みとする必要はなく、適宜選定すればよ
く、積層枚数や振動制止部材の介在向き等も適宜
選定でき、また、振動制止部材の形状、寸法、圧
電バイモルフ振動子での配置、数量、並列間隔等
の条件は、圧電体、振動板の長さｌ、幅ｗ、厚み
ｔ、材質、所要変位量等に応じて適宜選定すれば
よい。 実施例 以下に実施例を示す。 従来の圧電バイモルフ振動子（第１図と同構
成）として、下記の振動子Ａを使用した。 振動板；りん青銅板、長さｌ；35mm、幅ｗ；10
mm、 厚みt1；0.1mm、 圧電体；ジルコン・チタン酸鉛系圧電磁器、 圧電体寸法長さｌ；35mm、幅ｗ；10mm、 厚みｔ（電極含む）；0.3mm、 電極；両主面にCr−Ni系合金電極を0.5μｍ厚み
で蒸着。 また、第２図と同構成のこの発明による圧電バ
イモルフ振動子として、下記の振動子Ｂを使用し
た。 振動板；りん青銅板、長さｌ；35mm、幅ｗ；10
mm、 厚みt1；0.1mm、 圧電磁器ピース；ジルコン・チタン酸鉛系圧電磁
器、14個、 振動制止部材；Al2O3磁器製、l20.1mm×t20.3mm×
w210mm、13個、 圧電体寸法長さｌ；35mm、幅ｗ；10mm、 厚み（電極含む）；0.3mm、 電極；両主面にCr−Ni系合金電極を0.5μｍ厚み
で蒸着、 第５図と同構成のこの発明による圧電バイモル
フ振動子として、上記の振動子Ｂと同一の圧電体
（但し、電極を含む厚みが0.15mm）を使用して組
立てた振動子Ｃを使用した。 以上の振動子Ａ，Ｂ，Ｃを用いて、電極間に、
40V、80V、120Vの直流電圧を印加して長さ方向
の変位量ｘを測定した結果、第１表に示す変位量
を得た。第１表から明らかなように、この発明に
よる振動制止部材を有する圧電バイモルフ振動子
は、従来のものと比較して、変位量が大巾に増大
していることが分る。 【表】
第１図は従来の圧電バイモルフ振動子の正面図
と側面図である。第２図はこの発明による圧電バ
イモルフ振動子の正面図と側面図であり、第３図
はこの発明の効果を示す振動制止部材数比ｐ／ｗ
と変位量比△x1／△ｘとの関係のグラフであり、
第４図はこの発明による圧電バイモルフ振動子の
側面図である。第５図と第６図は圧電体を２枚、
振動板の片面または両面に積層した構成の圧電バ
イモルフ振動子の振動制止部材の配置を示す側面
図である。 １，１０，３０，４０……圧電バイモルフ振動
子、２……圧電体、３……圧電磁器、４……振動
板、５，６……電極、７……振動制止部材、８…
…支持部、９……圧電磁器ピース。
と側面図である。第２図はこの発明による圧電バ
イモルフ振動子の正面図と側面図であり、第３図
はこの発明の効果を示す振動制止部材数比ｐ／ｗ
と変位量比△x1／△ｘとの関係のグラフであり、
第４図はこの発明による圧電バイモルフ振動子の
側面図である。第５図と第６図は圧電体を２枚、
振動板の片面または両面に積層した構成の圧電バ
イモルフ振動子の振動制止部材の配置を示す側面
図である。 １，１０，３０，４０……圧電バイモルフ振動
子、２……圧電体、３……圧電磁器、４……振動
板、５，６……電極、７……振動制止部材、８…
…支持部、９……圧電磁器ピース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電磁器よりなる矩形板の両主面に電極を設
けた圧電体を、振動板の少なくとも１主面に固着
してなる圧電バイモルフ振動子において、圧電磁
器を該圧電磁器の所要変位方向の直交方向に複数
の絶縁体からなる振動制止部材で分断し一体に固
着したことを特徴とする圧電バイモルフ振動子。 ２ 圧電磁器よりなる矩形板の両主面に電極を設
けた圧電体の複数を、振動板の少なくとも１主面
に固着してなる圧電バイモルフ振動子において、
圧電磁器を該圧電磁器の所要変位方向の直交方向
に複数の絶縁体からなる振動制止部材で分断し一
体に固着したことを特徴とする圧電バイモルフ振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59066188A JPS60208880A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 圧電バイモルフ振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59066188A JPS60208880A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 圧電バイモルフ振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60208880A JPS60208880A (ja) | 1985-10-21 |
| JPH0256834B2 true JPH0256834B2 (ja) | 1990-12-03 |
Family
ID=13308617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59066188A Granted JPS60208880A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 圧電バイモルフ振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60208880A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3405618B2 (ja) * | 1995-04-11 | 2003-05-12 | 松下電器産業株式会社 | バイモルフ圧電アクチュエータ |
| JPWO2022130911A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 |
-
1984
- 1984-04-03 JP JP59066188A patent/JPS60208880A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60208880A (ja) | 1985-10-21 |
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