JPH0256915U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0256915U JPH0256915U JP13560288U JP13560288U JPH0256915U JP H0256915 U JPH0256915 U JP H0256915U JP 13560288 U JP13560288 U JP 13560288U JP 13560288 U JP13560288 U JP 13560288U JP H0256915 U JPH0256915 U JP H0256915U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- guide
- guide surfaces
- top plate
- attached
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- Granted
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
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- Machine Tool Units (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第1図はこの考案に係るスライド装置の一実施
例を示す平面図、第2図は第1図の―線に沿
つた断面図、第3図は同上の一部拡大図、第4図
は同上パツドの側面図、第5図は従来のスライド
側面図を示す縦断正面図である。 1…ガイド部材、2…上側案内面、3…両側案
内面、5…テーブル、6…上板、7…側板、8…
パツド、9…球形凹部、11…調節ねじ、13…
ノズル、16…リニアモータ、17…鉄芯、18
…コイル、19…電磁石、20…永久磁石。
例を示す平面図、第2図は第1図の―線に沿
つた断面図、第3図は同上の一部拡大図、第4図
は同上パツドの側面図、第5図は従来のスライド
側面図を示す縦断正面図である。 1…ガイド部材、2…上側案内面、3…両側案
内面、5…テーブル、6…上板、7…側板、8…
パツド、9…球形凹部、11…調節ねじ、13…
ノズル、16…リニアモータ、17…鉄芯、18
…コイル、19…電磁石、20…永久磁石。
Claims (1)
- 上面および両側面を案内面とする直線ガイド部
材の外側に、上記上側案内面に対向する上板およ
び両側案内面に対向する一対の側板を有するテー
ブルを嵌合し、そのテーブルの上板下面とガイド
部材の上側案内面の一方に、鉄芯にコイルを巻付
けた電磁石を取付け、他方にその電磁石とでリニ
アモータを形成する永久磁石を取付け、そのリニ
アモータの両側位置において、前記上側案内面と
上板の下面間および両側案内面と側板の内面側に
、上側案内面および両側案内面に向けて圧縮気体
を噴射するノズルを有するパツドを組込み、その
パツドのテーブル内面と対向する外面中央部に球
形凹部を形成し、前記テーブルには、各パツドの
球形凹部に向けて先端を球面とした調節ねじをね
じ込んだスライド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988135602U JPH0647135Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | エアスライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988135602U JPH0647135Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | エアスライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0256915U true JPH0256915U (ja) | 1990-04-24 |
| JPH0647135Y2 JPH0647135Y2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=31395376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988135602U Expired - Lifetime JPH0647135Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | エアスライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647135Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0577126A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-03-30 | Canon Inc | 移動ステージ装置および該装置の駆動方法 |
| JP2012152892A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Fritz Studer Ag | 移動式キャリッジと直線ガイドを備えた装置 |
| KR101408056B1 (ko) * | 2012-11-16 | 2014-06-18 | 주식회사 에어로시스템 | 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템 |
| CN116972075A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-10-31 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 | 一种磁预载结构及具有该结构的直线平台 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5929117B2 (ja) * | 2011-11-18 | 2016-06-01 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681219U (ja) * | 1979-11-21 | 1981-07-01 | ||
| JPS58196417U (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | 石川島播磨重工業株式会社 | ガス軸受構造 |
| JPS63125820A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-30 | Toshiba Corp | 静圧軸受 |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP1988135602U patent/JPH0647135Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681219U (ja) * | 1979-11-21 | 1981-07-01 | ||
| JPS58196417U (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | 石川島播磨重工業株式会社 | ガス軸受構造 |
| JPS63125820A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-30 | Toshiba Corp | 静圧軸受 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0577126A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-03-30 | Canon Inc | 移動ステージ装置および該装置の駆動方法 |
| JP2012152892A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Fritz Studer Ag | 移動式キャリッジと直線ガイドを備えた装置 |
| KR101408056B1 (ko) * | 2012-11-16 | 2014-06-18 | 주식회사 에어로시스템 | 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템 |
| CN116972075A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-10-31 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 | 一种磁预载结构及具有该结构的直线平台 |
| CN116972075B (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-19 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 | 一种磁预载结构及具有该结构的直线平台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0647135Y2 (ja) | 1994-11-30 |