JPH0257717A - 直動ステージガイドバー減衰機構 - Google Patents

直動ステージガイドバー減衰機構

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JPH0257717A
JPH0257717A JP63207384A JP20738488A JPH0257717A JP H0257717 A JPH0257717 A JP H0257717A JP 63207384 A JP63207384 A JP 63207384A JP 20738488 A JP20738488 A JP 20738488A JP H0257717 A JPH0257717 A JP H0257717A
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JP
Japan
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guide bar
stage guide
damping mechanism
vibration
direct
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Pending
Application number
JP63207384A
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English (en)
Inventor
Kaname Furukawa
古川　要
Shinkichi Okawa
大河　真吉
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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    • G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation

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  • Transmission Devices (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体焼付装置等振動の除去または防止を必要
とする精密機器に用いられる直動ステージのガイドバー
に関するものである。
［従来の技術］ 従来直動ステージのガイドバーとして例えば特開昭６２
−６３２１８号に記載されているように円柱の棒（中実
丸棒）が使用されていた。
［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら従来の円柱棒のガイドバーの場合、振動に
対する減衰性がきわめて悪く、精密機器に使用する際の
大きな欠点になっていた。
［問題点を解決するための手段および作用］本発明はガ
イドバーとして中空のパイプ状の物を使用し、内部に砂
、防振ゴム等減衰性の高い物質を封入することにより、
減衰効果を高めたものである。
［実施例］ 第１図は本発明に係る直動ステージガイドバー減衰機構
の断面図である。
第１図において１は円柱状の中空パイプ、２は蓋、３は
パイプ内に封入した物質をシールするための０リング等
シール部材、４は砂等防振効果のある物質からなる振動
減衰材料である。
振動減衰材料としては砂の他にゴム、プラスチックその
他の適当な材料を用いることができる。
中空パイプ１は第２図に示すように円形断面であるが、
これに限らず三角形、四角形等の角形断面であってもよ
い。
［発明の効果］ 以上説明したように、直動ステージのガイドバーとして
、中空のパイプを用い内部に砂等の防振効果のある物質
を封入することにより、ステージの減衰性を高めること
ができる。したがって、半導体露光装置等の精密機器に
用いれば高精度の移動位置決め制御が円滑かつ迅速に達
成される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る直動ステージガイドバー減衰機構
の断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 １：中空パイプ、 ２：蓋、 ３：０リング、 ４：振動減衰材料。 特許出願人　　　キャノン株式会社 代理人　弁理士　　　伊　東　哲　也 代理人　弁理士　　　伊　東　辰　雄

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）中空パイプと該中空パイプ内に封入した振動減衰
    材料からなることを特徴とする直動ステージガイドバー
    減衰機構。
  2. （２）前記中空パイプは円形断面であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載の直動ステージガイドバー
    減衰機構。
  3. （３）前記中空パイプは角形断面であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載の直動ステージガイドバー
    減衰機構。
  4. （４）前記振動減衰材料は砂からなることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項記載の直動ステージガイドバー減
    衰機構。
  5. （５）前記振動減衰材料はゴムからなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載の直動ステージガイドバー
    減衰機構。
  6. （６）前記中空パイプ端部はシール手段を介して蓋によ
    り封止されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項か
    ら第５項までのいずれか１項記載の直動ステージガイド
    バー減衰機構。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0628402U (ja) * 1992-09-16 1994-04-15 エヌティエヌ株式会社 送りねじ装置
JP2005064474A (ja) * 2003-07-31 2005-03-10 Canon Inc 位置決め機構、露光装置及びデバイスの製造方法
JP2009501350A (ja) * 2005-07-14 2009-01-15 カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー 光学素子

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JP2013050722A (ja) * 2005-07-14 2013-03-14 Carl Zeiss Smt Gmbh 光学素子
US8705185B2 (en) 2005-07-14 2014-04-22 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical element

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