JPH0258332U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0258332U JPH0258332U JP13830888U JP13830888U JPH0258332U JP H0258332 U JPH0258332 U JP H0258332U JP 13830888 U JP13830888 U JP 13830888U JP 13830888 U JP13830888 U JP 13830888U JP H0258332 U JPH0258332 U JP H0258332U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manifold
- drive shaft
- treatment apparatus
- flame treatment
- hydrogen
- Prior art date
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- Granted
Links
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gas Burners (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の水素炎処理装置
を示す部分斜視図、第２図は、第１図の断面正面
図、第３図、第４図はこの考案のマニホルドを示
す側面図、第５図はこの考案の要部を示す部分断
面図、第６図は従来の水素炎処理装置を示す部分
斜視図、第７図は、第６図の正面断面図、第８図
は従来のマニホルドの回動状態を示す図である。 図において、１は駆動シヤフト、２は駆動ギヤ
、３は支持台、５はマニホルド、７はベアリング
、８はトーチ、８ａは火炎、９は取付台、１０は
半導体装置、１１は位置固定部、１２は位置決め
板、１２ａは位置決め穴、１３は位置固定具、１
５はボール、１６はばねである。なお、各図中の
同一符号は同一または相当部分を示す。
を示す部分斜視図、第２図は、第１図の断面正面
図、第３図、第４図はこの考案のマニホルドを示
す側面図、第５図はこの考案の要部を示す部分断
面図、第６図は従来の水素炎処理装置を示す部分
斜視図、第７図は、第６図の正面断面図、第８図
は従来のマニホルドの回動状態を示す図である。 図において、１は駆動シヤフト、２は駆動ギヤ
、３は支持台、５はマニホルド、７はベアリング
、８はトーチ、８ａは火炎、９は取付台、１０は
半導体装置、１１は位置固定部、１２は位置決め
板、１２ａは位置決め穴、１３は位置固定具、１
５はボール、１６はばねである。なお、各図中の
同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 多面体の各面毎に、種類の異なる水素炎を形成
する複数のトーチを備えた回動可動なマニホルド
と、前記マニホルドの両端に固定された駆動シヤ
フトと、この駆動シヤフトの両端を支持する支持
台と、前記駆動シヤフトの一端に取り付けられ、
前記駆動シヤフトに回転動力を伝達する駆動ギヤ
と、前記マニホルドに固定され、前記マニホルド
を選定した位置に固定する位置固定手段を備えた
ことを特徴とする水素炎処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830888U JPH0514511Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830888U JPH0514511Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258332U true JPH0258332U (ja) | 1990-04-26 |
| JPH0514511Y2 JPH0514511Y2 (ja) | 1993-04-19 |
Family
ID=31400528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13830888U Expired - Lifetime JPH0514511Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0514511Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-24 JP JP13830888U patent/JPH0514511Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514511Y2 (ja) | 1993-04-19 |