JPH0258674A - 除麈室 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造室に入室するための除塵室に
関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の除塵室は、半導体装置の製造、組立のよ
うな精密な作業を必要とする室内に作業者が入室する前
に、作業者の衣服及び身体の埃を除去するための部屋で
ある。

第２図は従来の除塵室の一例を示す除塵室の平面図であ
る。ここで、作業者が半導体装置の製造組立室に入室す
る前に、除塵室に入室し、衣服及び身体の埃を除去する
手順を説明する。

まず、作業者は出入口１０より更衣室３に入室する。次
に、衣服を作業衣に着替え、靴を穿き替え、更に、帽子
を被る。次に、入口１］より手洗い室１に入り、吐水口
５の下に手を差延べる。このことによりセンサが手を検
知して水が吐水口５より流出する。この水により手洗い
を行い、手のごみを押し流す。次に、エア乾燥器６の下
に手を差延べる。このことによりセンサが手を検知し、
エア乾燥器６より清浄な温風が吹き出して手を乾燥する
。その後、必要に応じて所定の手袋をする。

次に、入口１２よりエアジャワ室９に入る。この部屋に
入ると、作業者の体重をこの部屋の床にあるセンサが検
知し、７７−ン及びチャンバ室８より供給される清浄な
空気をエア吹出ロアを通して作業者の身体に四方から吹
き付ける。この吹き付Ｃづにより除去された埃は、床下
にあるフィルタ（図示せず）に吸収される。所定の吹き
付は時間を経ると、空気の吹き付けが終了し、作業者は
入口１３より作業室に入る。

１発明が解決しようとする課題１１ １−述した従来の除塵室は、手洗い室及びエアジャワ室
と分割されているので、手洗い室から作業室に入る時間
がかかることと、手洗い、乾燥及びエアジャワという３
工程を作業者が移動して順に行わなければならず手間が
かるという問題がある。

更に、手洗いを行なった後、ごみが浮遊している空間に
手を晒しており、エア乾燥器にて乾燥することにより、
むしろごみを強制的に付着させるという欠点がある。

また、各部屋に占る機器のスペースが大きく、室内を有
効に利用出来ないという欠点がある。

本発明の目的は、より埃を除去し得て、より狭いスペー
スて済む除塵室を提供することにある。

〔課題を解決するための手段１ 本発明の除塵室は、水吐出口を有する複数のＬ洗い槽及
びエア乾燥器並びに衣服の塵埃を除去する複数の空気吹
出口とを備える除塵室において、前記除塵室内に配置さ
れた複数の前記手洗い流し槽と、前記手洗い槽の前記水
吐出Ｌ１に並べて配置されたエア乾燥器と５前記手洗い
槽が配置された同一室内に設けられた複数の空気吹出口
とを備え構成される。

［、実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明による一実施例を示ず除塵室の平面図で
ある、この除塵室０内には、片側の壁に、手洗い槽４と
清浄な水が吐出する吐出口５及びこの吐出口５と並ぶよ
うにエア乾燥器６が数台が取付けられている。また、こ
れらの手洗性機器が取り付けられている壁のあいたスペ
ースには、ファン及びチャンバ室８から送られてくる清
浄な空気を吹き１寸けるエア吹出ロアが複数個取り付け
られている。この壁に対向する反対側の壁にも複数のエ
ア吹出ロアが設けられている。すなわち、従来と異なる
点は、従来の手洗い室とエアジャワ室と同一の部屋にし
た点である。更に、従来離れて取り付けられていた手洗
い槽４とエア乾燥器６を同じ場所に取り付けたことであ
る。

次に、作業室に作業者が入室する手順を説明すると、ま
ず、作業者が更衣室で衣服を着替えることは、従来と同
じである。次に、作業者は、入口１２より除塵室９に入
る。次に、作業者は手洗い槽４の前に立ち、手を吐水口
５の下に差延べる。

このことにより、センサが手を検知し、吐水口５より清
浄な水が流れる。これと同時に、エア吹出ロアより清浄
な空気を作業者の前後に吹き付け、作業者に身体に付着
しているごみを除去する。所定の時間が通ると、まず、
吐水口５の水が止り、代りにエア乾燥器６より清浄な温
風が吹き出す。

作業者は移動することなくエア乾燥器６の下に、手を差
延べて手を乾燥する。一方エア吹出ロアからの空気の吹
き付けが続き、所定の時間を経過すると、吹き付けを停
止する。この空気吹き付けが終了すると、作業者は入口
１３より作業室に入室する。

この結果、従来の除塵室でごみを除去して入室した場合
の作業室のごみのグレードが、−立方フイー１〜当り０
．５７．ｚｍ粒子で３０万個であったのが、この除塵室
による場合は、１０万個に減少させることが出来た。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の除塵室は、手洗い室とエア
ジャワ室と一体化し、作業者が移動することなく同一場
所で、手洗い、手乾燥及びエアジャワによる除塵を同時
に出来るので、より効率的に、より塵埃を除去出来る効
果がある。更に、室内に手浄器とエア吹出口を有効的に
配置し得るので、より狭い室内で多人数の作業者の除塵
処理が出来るという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示ず除塵室の平面図、
第２図は従来の除塵室の一例を示す除塵室の平面図であ
る。 １・・・手洗い室、２・・・エアジャワ室、３・・・更
衣室、・１・・手洗い槽、５・・吐水口、６・・・エア
乾煤器、７・・・エア吹出口、８・・・ファン及びチャ
ンバ室、９・・除塵室、１０・・出入口、１１．１２．
１３・・・入口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 水吐出口を有する複数の手洗い槽及びエア乾燥器並びに
   衣服の塵埃を除去する複数の空気吹出口とを備える除塵
   室において、前記除塵室内に配置された複数の前記手洗
   い流し槽と、前記手洗い槽の前記水吐出口に並べて配置
   されたエア乾燥器と、前記手洗い槽が配置された同一室
   内に設けられた複数の空気吹出口とを備えたことを特徴
   とする除塵室。