JPH0258844A - 超音波ボンダ用超音波発振器 - Google Patents
超音波ボンダ用超音波発振器Info
- Publication number
- JPH0258844A JPH0258844A JP63211230A JP21123088A JPH0258844A JP H0258844 A JPH0258844 A JP H0258844A JP 63211230 A JP63211230 A JP 63211230A JP 21123088 A JP21123088 A JP 21123088A JP H0258844 A JPH0258844 A JP H0258844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- output
- circuit
- optimum
- wave form
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超音波発振器に関し、特に半導体装置のワイヤ
ボンディングに使用する超音波ボンダの超音波発振器に
関する。
ボンディングに使用する超音波ボンダの超音波発振器に
関する。
従来、この種の超音波発振器は、第３図の従来の回路構
成図に示すように、超音波発振出力及び時間をキーボー
ドより入力し、発振出力・時間設定回路１及び超音波発
振回路２にて振動子６を一定出力で一定時間振動させる
ようになっていた。
成図に示すように、超音波発振出力及び時間をキーボー
ドより入力し、発振出力・時間設定回路１及び超音波発
振回路２にて振動子６を一定出力で一定時間振動させる
ようになっていた。
そして、この振動子６を用いて半導体素子電極にワイヤ
を押圧しつつ超音波振動によりワイヤを半導体素子電極
にボンディングしていた。
を押圧しつつ超音波振動によりワイヤを半導体素子電極
にボンディングしていた。
上述した従来の発振器は、設定した出力及び時間を一定
にしているため、ボンディングする半導体素子の表面状
態等によっては、設定値が実際のボンディングに要する
出力とは掛は離れたものとなり、ワイヤとの接合状態が
一定しないという欠点がある。そのためワイヤのボンデ
ィング強度が不安定となり、半導体装置の信頼性に悪影
響を及ぼしていた。
にしているため、ボンディングする半導体素子の表面状
態等によっては、設定値が実際のボンディングに要する
出力とは掛は離れたものとなり、ワイヤとの接合状態が
一定しないという欠点がある。そのためワイヤのボンデ
ィング強度が不安定となり、半導体装置の信頼性に悪影
響を及ぼしていた。
本発明は、超音波発振出力・時間設定回路及び超音波発
振回路にて振動子を振動せしめワイヤボンディングを行
う超音波ボンダ用超音波発振器において、ボンディング
中の超音波発振出力波形をデジタルサンプリングするＡ
Ｄ変換回路と、最適なボンディング出力波形を予め入力
設定する最適波形設定回路と、前記サンプリングされた
ボンディング中の超音波発振出力波形と前記最適出力波
形とを比較する比較回路とを有し、前記比較回路からの
差信号波形を前記超音波発振出力・時間設定回路へフィ
ードバックするようにした超音波ボンダ用超音波発振器
である。
振回路にて振動子を振動せしめワイヤボンディングを行
う超音波ボンダ用超音波発振器において、ボンディング
中の超音波発振出力波形をデジタルサンプリングするＡ
Ｄ変換回路と、最適なボンディング出力波形を予め入力
設定する最適波形設定回路と、前記サンプリングされた
ボンディング中の超音波発振出力波形と前記最適出力波
形とを比較する比較回路とを有し、前記比較回路からの
差信号波形を前記超音波発振出力・時間設定回路へフィ
ードバックするようにした超音波ボンダ用超音波発振器
である。
本発明の超音波発振器は、ボンディング中の超音波の発
振出力波形をモニタし、その波形を予め設定された最適
な波形と比較しながら最適な波形になるように超音波の
発振出力及び時間をフィトパック制御するようにしたも
のである。
振出力波形をモニタし、その波形を予め設定された最適
な波形と比較しながら最適な波形になるように超音波の
発振出力及び時間をフィトパック制御するようにしたも
のである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す回路構成図である。従
来と同様、キーボードにより超音波の発振出力及び時間
を入力し、発振出力・時間設定回路１により超音波発振
回路２を動作させる。
来と同様、キーボードにより超音波の発振出力及び時間
を入力し、発振出力・時間設定回路１により超音波発振
回路２を動作させる。
第２図は超音波出力波形図の一例で、最適波形設定回路
５で設定された最適な出力波形７と、超音波が印加され
てボンディングが進行中の超音波発振出力波形（図では
不良の出力波形８として示しである）を示している。
５で設定された最適な出力波形７と、超音波が印加され
てボンディングが進行中の超音波発振出力波形（図では
不良の出力波形８として示しである）を示している。
この最適な出力波形７は、実際にボンディング中の超音
波出力・時間の波形の中から、ボンティングが理想的に
なされたと思われるものを予め選び出し、最適出力波形
として設定する。設定は出力と時間の関係をプロットし
キーボードより入力する。またボンディングが進行中の
出力波形の検出は、振動子６に取りつけられた磁歪素子
によって行われ、実際にボンディングに費された出力を
検知できるようになっている。
波出力・時間の波形の中から、ボンティングが理想的に
なされたと思われるものを予め選び出し、最適出力波形
として設定する。設定は出力と時間の関係をプロットし
キーボードより入力する。またボンディングが進行中の
出力波形の検出は、振動子６に取りつけられた磁歪素子
によって行われ、実際にボンディングに費された出力を
検知できるようになっている。
今、ボンディングが進行し、不良の出力波形８が得られ
たとすると、ＡＤ変換回路３でデジタルサンプリングし
、最適波形設定回路５で設定した最適な出力波形７と比
較し、ｔ１時刻の出力値の差（ｙ２−ｙｌ）を比較回路
４で算出し、その値を発振出力・時間設定回路１へ帰し
て自動的に発振出力を変化させ、最適波形に近づけると
いうフィードバック制御を行う。
たとすると、ＡＤ変換回路３でデジタルサンプリングし
、最適波形設定回路５で設定した最適な出力波形７と比
較し、ｔ１時刻の出力値の差（ｙ２−ｙｌ）を比較回路
４で算出し、その値を発振出力・時間設定回路１へ帰し
て自動的に発振出力を変化させ、最適波形に近づけると
いうフィードバック制御を行う。
また印加したエネルギー値を計算し、その値が異常に大
きい場合は、ワイヤ抜は等の不良ボンディングであるこ
とも検知できる。
きい場合は、ワイヤ抜は等の不良ボンディングであるこ
とも検知できる。
以上説明したように本発明は、超音波の発振出力及び時
間をフィードバック制御することにより、ボンディング
する半導体素子の表面状態や外乱に影響されることなく
、常に最適なボンディング状態でボンディングできると
いう効果がある。
間をフィードバック制御することにより、ボンディング
する半導体素子の表面状態や外乱に影響されることなく
、常に最適なボンディング状態でボンディングできると
いう効果がある。
第１図は本発明の超音波発振器の回路構成図、第２図は
超音波の出力波形図、第３図は従来の超音波発振器の回
路構成図である。 １、・・発振出力・時間設定回路、２・・・超音波発振
回路、３・・・ＡＤ変換回路、４・・・比較回路、５・
・・最適波形設定回路、６・・・振動子、７・・・最適
な出力波形、８・・・不良の出力波形。
超音波の出力波形図、第３図は従来の超音波発振器の回
路構成図である。 １、・・発振出力・時間設定回路、２・・・超音波発振
回路、３・・・ＡＤ変換回路、４・・・比較回路、５・
・・最適波形設定回路、６・・・振動子、７・・・最適
な出力波形、８・・・不良の出力波形。
Claims (1)
- 超音波発振出力・時間設定回路及び超音波発振回路にて
振動子を振動せしめワイヤボンディングを行う超音波ボ
ンダ用超音波発振器において、ボンディング中の超音波
発振出力波形をデジタルサンプリングするＡＤ変換回路
と、最適なボンディング出力波形を予め入力設定する最
適波形設定回路と、前記サンプリングされたボンディン
グ中の超音波発振出力波形と前記最適出力波形とを比較
する比較回路とを有し、前記比較回路からの差信号波形
を前記超音波発振出力・時間設定回路へフィードバック
することを特徴とする超音波ボンダ用超音波発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63211230A JPH0258844A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 超音波ボンダ用超音波発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63211230A JPH0258844A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 超音波ボンダ用超音波発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258844A true JPH0258844A (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=16602440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63211230A Pending JPH0258844A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 超音波ボンダ用超音波発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0258844A (ja) |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP63211230A patent/JPH0258844A/ja active Pending
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