JPH0259580B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0259580B2 JPH0259580B2 JP58202205A JP20220583A JPH0259580B2 JP H0259580 B2 JPH0259580 B2 JP H0259580B2 JP 58202205 A JP58202205 A JP 58202205A JP 20220583 A JP20220583 A JP 20220583A JP H0259580 B2 JPH0259580 B2 JP H0259580B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mesh electrode
- ion
- sample
- holding device
- sample holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 33
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はイオンマイクロアナライザに係り、特
にその２次イオンの引出し部に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to an ion microanalyzer, and particularly to a secondary ion extraction section thereof.
イオンマイクロアナライザの概要は、第１図に
示すようになつている。同図において、一次イオ
ン源８から出射された一次イオン１はレンズ９，
１０によつて試料ホルダ６上の試料３上に集束照
射される。上記照射によつてスパツターされた二
次イオン２は引出し電極４を通り、質量分析計の
物点スリツト１１を通り、電場１２、磁場１３に
よつてスパツタされたイオンの質量電荷比に従つ
て分離され、コレクタスリツト１４上に集束され
る。ここで磁場１３の強さを順次変えると検出器
１５に次々とイオンが流入してスペクトルが記録
できる。
The outline of the ion microanalyzer is shown in FIG. In the figure, primary ions 1 emitted from a primary ion source 8 are exposed to a lens 9,
10 irradiates the sample 3 on the sample holder 6 in a focused manner. The secondary ions 2 sputtered by the above irradiation pass through the extraction electrode 4, pass through the object point slit 11 of the mass spectrometer, and are separated according to the mass-to-charge ratio of the sputtered ions by the electric field 12 and magnetic field 13. and is focused on the collector slit 14. Here, if the strength of the magnetic field 13 is changed sequentially, ions will flow into the detector 15 one after another, and a spectrum can be recorded.
そして、前記一次イオン１が試料３に照射され
て２次イオンが出射される。いわゆる２次イオン
の引出し部は、電界の均一性を確保するため、第
２図にその詳細を示すように、試料３を載置する
試料ホルダー６の表面を被うように半球状のメツ
シユ電極５を設けることが、本出願人によつて提
案されている。なお、第２図において、前記メツ
シユ電極５は試料ホルダー６に対して固定され、
引出し電極４は前記メツシユ電極５の一部を貫通
して設けられたものである。 Then, the sample 3 is irradiated with the primary ions 1 and secondary ions are emitted. In order to ensure the uniformity of the electric field, the so-called secondary ion extracting section has a hemispherical mesh electrode that covers the surface of the sample holder 6 on which the sample 3 is placed, as shown in detail in FIG. 5 is proposed by the applicant. In addition, in FIG. 2, the mesh electrode 5 is fixed to the sample holder 6,
The extraction electrode 4 is provided by penetrating a part of the mesh electrode 5.
しかし、イオンマイクロアナライザにおいて、
通常は前記試料３を適当に傾斜させることができ
るようにし、感度の向上を図りあるいは入射角の
変化によるスパツタリングメカニズムの変化等を
させることが往々にしてある。 However, in the ion microanalyzer,
Usually, the sample 3 is tilted appropriately to improve sensitivity or to change the sputtering mechanism by changing the incident angle.
したがつて、第２図に示すように、たとえば試
料ホルダ６をθだけ傾斜する場合、前記試料ホル
ダ６がメツシユ電球５に当たつてしまう分だけ、
前記メツシユ電極を切除しておく方法が考えられ
る。しかし、このようにした場合、前記試料ホル
ダ６を水平にして使用するような際に、前記メツ
シユ電極の切除部分が開口してしまう状態となつ
てしまう。また、前記試料ホルダ６を傾斜した状
態であつても、図中右下部において開口部が形成
されてしまう。したがつて、これらの開口部分の
電界が乱れるため、試料微動操作に伴つて二次イ
オン引出し角などが変化し、質量分析部の感度や
分散能が安定せず測定精度が低下する欠点を有す
る。 Therefore, as shown in FIG. 2, for example, when the sample holder 6 is tilted by θ, the amount of the sample holder 6 hitting the mesh light bulb 5 is
One possible method is to cut out the mesh electrode. However, in this case, when the sample holder 6 is used horizontally, the cut portion of the mesh electrode becomes open. Furthermore, even if the sample holder 6 is tilted, an opening is formed at the lower right portion in the figure. Therefore, the electric field in these apertures is disturbed, and the secondary ion extraction angle changes as the sample is slightly moved, resulting in unstable sensitivity and dispersion of the mass spectrometer, resulting in a decrease in measurement accuracy. .
本発明の目的は、試料を傾斜した場合も、二次
イオンの引出しを安定に行なうことのできるイオ
ンマイクロアナライザを提供するにある。
An object of the present invention is to provide an ion microanalyzer that can stably extract secondary ions even when the sample is tilted.
このような目的を達成するために、本発明は、
試料表面にイオンビームを収束照射させる一次イ
オン照射系と、上記試料表面から放出される二次
イオンを引出し加速して質量分析するための質量
分析計と、上記試料を一次イオン照射点を中心に
傾斜可能ならしめる試料保持装置を備えたイオン
マイクロアナライザにおいて、前記試料保持装置
を被う半球状のメツシユ電極を備え、このメツシ
ユ電極は、前記イオン照射系に対して固定され、
前記試料保持装置の回転による移動範囲において
切欠かれている第１メツシユ電極と、前記試料保
持装置に対して固定され、前記第１メツシユ電極
の切欠きによつて開口する部分および前記試料保
持装置の回転による移動範囲によつて開口する部
分をそれぞれ被う第２メツシユ電極とから構成さ
れているものである。
In order to achieve such an objective, the present invention
A primary ion irradiation system that focuses an ion beam on the sample surface, a mass spectrometer that extracts and accelerates secondary ions emitted from the sample surface and performs mass analysis, and a An ion microanalyzer equipped with a tiltable sample holding device, comprising a hemispherical mesh electrode covering the sample holding device, the mesh electrode being fixed to the ion irradiation system,
a first mesh electrode that is notched in a movement range due to the rotation of the sample holder; a portion that is fixed to the sample holder and is opened by the notch of the first mesh electrode; and second mesh electrodes each covering the openings due to the range of movement due to rotation.
第３図ａ，ｂは本発明によるイオンマイクロア
ナライザの一実施例を示す構成図である。
FIGS. 3a and 3b are block diagrams showing an embodiment of the ion microanalyzer according to the present invention.
まず、第３図ａにおいて、試料ホルダ６を被う
メツシユ電極５はその全体形状は半球状をなして
おり、かつ、分離された第１メツシユ電極５′と
第２メツシユ電極７とから構成されている。前記
第１メツシユ電極５′は引出し電極４に固定され
ている。そして、前記試料ホルダ６が仮りに図中
時計方向に最大角θだけ回動可能であるとした場
合、前記第１メツシユ電極５′は図中左端辺がθ
分だけ切欠された形状をなしている。すなわち前
記試料ホルダ６の回転軸によつて２分割される第
１メツシユ電極５′の周辺のうち左側の辺がθ角
切欠かれている。 First, in FIG. 3a, the mesh electrode 5 that covers the sample holder 6 has a hemispherical overall shape, and is composed of a first mesh electrode 5' and a second mesh electrode 7 which are separated. ing. The first mesh electrode 5' is fixed to the extraction electrode 4. If it is assumed that the sample holder 6 can rotate clockwise in the figure by a maximum angle θ, then the first mesh electrode 5' has a left end side that is θ in the figure.
It has a notched shape. That is, the left side of the periphery of the first mesh electrode 5', which is divided into two parts by the rotation axis of the sample holder 6, is notched at an angle of θ.
一方、前記第２メツシユ電極７は試料ホルダに
固定されている。そして、前記試料ホルダ６が水
平に位置づけられている際に、一部切欠かれた前
記第１メツシユ電極５′の開口部を被うように形
成されているとともに、また前記試料ホルダ６が
θ角に回動した際（第３図参照）図中左側に形成
される開口部を被うように形成されている。 On the other hand, the second mesh electrode 7 is fixed to the sample holder. When the sample holder 6 is positioned horizontally, it is formed so as to cover the partially cut out opening of the first mesh electrode 5', and the sample holder 6 is also positioned at a θ angle. It is formed so as to cover the opening formed on the left side in the figure when it is rotated (see Fig. 3).
なお、前記第２メツシユ電極７を回転させる力
は時計方向には試料ホルダ６であり、反時計方向
には常にバネ（図示せず）で回転力を受けてい
る。また、試料ホルダ６が水平になつた場合はス
トツパ１８が第１メツシユ電極５′のフレームに
当たり回転は止まる構造になつている。さらに第
２メツシユ電極７に開けられた引出し電極４を通
すための開口部は上記回転によつて引出し電極４
に当たらないように回転方向に裕度をもたせてあ
る。 Note that the force for rotating the second mesh electrode 7 is exerted by the sample holder 6 in the clockwise direction, and is always exerted by a spring (not shown) in the counterclockwise direction. Further, when the sample holder 6 becomes horizontal, the stopper 18 hits the frame of the first mesh electrode 5' and rotation is stopped. Further, the opening formed in the second mesh electrode 7 for passing the extraction electrode 4 is formed by the above-mentioned rotation.
A margin is provided in the direction of rotation to prevent it from hitting the surface.
以上述べたことから明らかなように、本発明に
よるイオンマイクロアナライザによれば、試料ホ
ルダの任意回転によつてもメツシユ電極は常に試
料ホルダを被う状態を維持できるようになる。し
たがつて２次イオンの引出しを安定に行なうこと
ができる。
As is clear from the above description, according to the ion microanalyzer according to the present invention, the mesh electrode can always maintain a state covering the sample holder even when the sample holder is rotated arbitrarily. Therefore, secondary ions can be extracted stably.
第１図はイオンマイクロアナライザの概要を示
す構成図、第２図は本発明を導びきだすための説
明図、第３図ａ，ｂは本発明によるイオンマイク
ロアナライザの一実施例を示す構成図である。
１……１次イオン、２……２次イオン、３……
試料、４……引出し電極、５……メツシユ電極、
５′……第１メツシユ電極、６……試料ホルダ、
７……第２メツシユ電極。
Fig. 1 is a block diagram showing an overview of the ion microanalyzer, Fig. 2 is an explanatory diagram for deriving the present invention, and Figs. 3a and b are block diagrams showing an embodiment of the ion microanalyzer according to the present invention. It is. 1...Primary ion, 2...Secondary ion, 3...
Sample, 4... Extraction electrode, 5... Mesh electrode,
5'...first mesh electrode, 6...sample holder,
7...Second mesh electrode.
Claims (1)
次イオン照射系と、上記試料表面から放出される
二次イオンを引出し加速して質量分析するための
質量分析計と、上記試料を一次イオン照射点を中
心に傾斜可能ならしめる試料保持装置を備えたイ
オンマイクロアナライザにおいて、前記試料保持
装置を被う半球状のメツシユ電極を備え、このメ
ツシユ電極は、前記イオン照射系に対して固定さ
れ、前記試料保持装置の回転による移動範囲にお
いて切欠かれている第１メツシユ電極と、前記試
料保持装置に対して固定され、前記第１メツシユ
電極の切欠きによつて開口する部分および前記試
料保持装置の回転による移動範囲によつて開口す
る部分をそれぞれ被う第２メツシユ電極とから構
成されていることを特徴とするイオンマイクロア
ナライザ。1. A primary ion irradiation system that converges and irradiates the sample surface with an ion beam, a mass spectrometer that extracts and accelerates secondary ions emitted from the sample surface and performs mass analysis, and a The ion microanalyzer is equipped with a sample holding device that can be tilted, and includes a hemispherical mesh electrode that covers the sample holding device, the mesh electrode is fixed to the ion irradiation system, and the sample holding device is fixed to the ion irradiation system. a first mesh electrode that is notched in a movement range due to the rotation of the sample holding device; a portion that is fixed to the sample holding device and opened by the notch of the first mesh electrode; and a movement range due to the rotation of the sample holding device; 1. An ion microanalyzer comprising: a second mesh electrode that covers each opening portion of the ion microanalyzer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202205A JPS6095844A (en) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | Ion microanalyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202205A JPS6095844A (en) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | Ion microanalyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095844A JPS6095844A (en) | 1985-05-29 |
| JPH0259580B2 true JPH0259580B2 (en) | 1990-12-12 |
Family
ID=16453700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58202205A Granted JPS6095844A (en) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | Ion microanalyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095844A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0455764U (en) * | 1990-09-21 | 1992-05-13 | ||
| JPH0650261U (en) * | 1992-01-23 | 1994-07-08 | 京セラエルコ株式会社 | Surface Mount Post Header Connector |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP58202205A patent/JPS6095844A/en active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0455764U (en) * | 1990-09-21 | 1992-05-13 | ||
| JPH0650261U (en) * | 1992-01-23 | 1994-07-08 | 京セラエルコ株式会社 | Surface Mount Post Header Connector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6095844A (en) | 1985-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0398335A3 (en) | Converged ion beam apparatus | |
| LU92980B1 (en) | Extraction system for charged secondary particles for use in a mass spectrometer or other charged particle device | |
| JPS6093336A (en) | Microanalysis device by laser | |
| JPS6095844A (en) | Ion microanalyzer | |
| JPS6182653A (en) | quadrupole mass spectrometer | |
| JP3360114B2 (en) | Electron spectroscope equipped with angle-resolved and retarding independent operation type lens system and analysis method using spectroscope | |
| JPS60243958A (en) | Ion beam device | |
| LU92981B1 (en) | Extraction system for charged secondary particles for use in a mass spectrometer or other charged particle device | |
| Lovell et al. | Comparison of laser microprobe mass spectrometry (LMMS) and micro particle induced X-ray emission (micro-PIXE) for the analysis of senile plaques in Alzheimer's disease: A preliminary study | |
| JPH02288146A (en) | Secondary ion mass spectroscopic device | |
| JPS6324616Y2 (en) | ||
| JP2000123773A (en) | Secondary ion mass spectrometer | |
| JPH01132038A (en) | Mass spectroscope | |
| JP2574792B2 (en) | Element distribution analysis in the depth direction | |
| JPS5835345B2 (en) | Microprobe secondary ion mass spectrometer | |
| JPH0246893B2 (en) | ||
| JPS6158941B2 (en) | ||
| JP2715406B2 (en) | Electron energy analyzer | |
| JPH0523409U (en) | Mass spectrometer | |
| JP3055159B2 (en) | Neutral particle mass spectrometer | |
| JPH02100256A (en) | Method for secondary ion mass spectrometry | |
| JP3055160B2 (en) | Neutral particle mass spectrometer | |
| JP2001056308A (en) | Sector type secondary ion mass spectrometry method and sample holder | |
| JPS5833643Y2 (en) | Ion beam current detection device in mass spectrometer | |
| JPH06267496A (en) | Secondary ion mass spectrometer |