JPH0260087B2 - - Google Patents

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JPH0260087B2
JPH0260087B2 JP58172314A JP17231483A JPH0260087B2 JP H0260087 B2 JPH0260087 B2 JP H0260087B2 JP 58172314 A JP58172314 A JP 58172314A JP 17231483 A JP17231483 A JP 17231483A JP H0260087 B2 JPH0260087 B2 JP H0260087B2
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acoustic wave
array
surface acoustic
track
strips
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Sukofuiirudo Jon
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Original Assignee
Koninklijke Philips Electronics NV
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Publication date
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Publication of JPH0260087B2 publication Critical patent/JPH0260087B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面弾性波を表面にて伝搬させる圧電
基板と；前記表面にて第１伝搬トラツクに表面弾
性波エネルギーを送出すると共に、前記第１伝搬
トラツクに重ならない第２伝搬トラツクに沿つて
伝搬する表面弾性波エネルギーを電気信号に変換
するトランスジユーサ手段と；前記第１トラツク
に配列させた導電性ストリツプから成る第１アレ
イおよび前記第２トラツクに配列させた導電性ス
トリツプから成る第２アレイを含むマルチストリ
ツプ−カツプラー；とを具えており、前記第１お
よび第２の各アレイを各別の平行な導電性ストリ
ツプで構成し、これらの各アレイを成すストリツ
プを互いに電気的に絶縁すると共に、一方のアレ
イを成す各ストリツプを対応する導電性の接続ス
トリツプを介して他方のアレイの前記各別の導電
性ストリツプにそれぞれ電気的に接続して、前記
第１トラツクに沿つて前記トランスジユーサ手段
により送出される表面弾性波エネルギーを前記第
１アレイにて受信すると共に、該弾性波エネルギ
ーの少なくとも一部を表面弾性波エネルギーとし
て前記第２トラツクに送出させて、該エネルギー
を前記トランスジユーサ手段によつて受信せしめ
るようにした弾性表面波装置に関するものであ
る。なお、弾性表面波装置とは上述したような装
置のことを称するものとする。
斯種の弾性表面波装置は、例えば“Acoustic
Surface Waves”（1978年、Springer−Verlag発
行、Ａ，A.Oliner著）の第71頁、第３，８図に示
されているようなフイルタ装置を構成することが
でき、このフイルタ装置ではアポダイズした送出
トランスジユーサをマルチストリツプ．カツプラ
ーを介して同じくアポダイズした受信トランスジ
ユーサに結合させている。マルチストリツプ−カ
ツプラーを使用すれば、インターデイジタル形の
電極アレイによつて送出されるバルク波で転送さ
れる不所望な信号を低減、或いは有効になくすこ
とができる。また、マルチストリツプ−カツプラ
ーを使用すれば送出および受信トランスジユーサ
の双方を対称的にアポダイズすることもできる。
理想的な条件下で所望な通過帯域レスポンスを
所定の近似値にまで満足させる斯種の弾性表面波
フイルターは、フーリエ合成およびコンピユータ
による最適化手法を用いることによつて計算する
ことができる。従つて、トランスジユーサに沿う
ソース（信号源）の所要配置および強度を特定化
するコンピユータプログラムが工夫されている。
アポダイズしたインターデイジタル−アレイでは
斯様なソースを実際上、互いに重なり合う２組の
インターデイジタル電極の内の重なり合う隣接電
極によつて形成し、各組の電極は対向する２つの
母線の内の対応する母線に接続する。各ソースの
強度は主として弾性表面波の伝搬方向に対して直
角の上記電極の重なり合う部分の長さの関数とな
るも、その重なり部分に隣接する電極の影響およ
び端部の影響が当面のソースの強度に依存するこ
とを考慮する必要もある。アポダイスしたトラン
スジユーサにおける電極の重なり合う部分の分布
状態は、インターデイジタル−アレイに沿う隣接
電極間の電極が互いに重なり合う部分の端部を通
る一方の線から成る重なり合う部分の包絡線によ
つて線図的に表わすことができる。
用途によつては、トランスジユーサ−アレイの
幅を約10λc以下とするのが望ましいことを確め
た。なお、こゝにλcは弾性表面波装置の中心周波
数に対応する弾性表面波の波長とする。斯様な幅
のインターデイジタル−アレイを用いる場合に
は、弾性表面波エネルギーレスポンスが両側に広
がる傾向にあるので、マルチストリツプ−カツプ
ラーによつて結合させるトラツクを離間させる必
要がある。しかし、このようにしてトラツク間の
間隔を弾性表面波の波長の数倍にすると、２つの
トラツク間の個所におけるマルチストリツプ−カ
ツプラーの接続ストリツプが非常に多量の弾性表
面波エネルギーを送出するようになり、従つて受
信トランスジユーサへ伝搬される弾性表面波が失
われるようになる。このようなマルチストリツプ
−カツプラーの使用は弾性表面波装置への挿入損
失を非常に大きくする。
本発明の目的は上述した欠点を除去し得るよう
に適切に構成配置した上述した種類の弾性表面波
装置を提供することにある。
本発明は表面弾性波を表面にて伝搬させる圧電
基板と；前記表面にて第１伝搬トラツクに表面弾
性波エネルギーを送出すると共に、前記第１伝搬
トラツクに重ならない第２伝搬トラツクに沿つて
伝搬する表面弾性波エネルギーを電気信号に変換
するトランスジユーサ手段と；前記第１トラツク
に配列させた導電性ストリツプから成る第１アレ
イおよび前記第２トラツクに配列させた導電性ス
トリツプから成る第２アレイを含むマルチストリ
ツプ−カツプラー；とを具えており、前記第１お
よび第２の各アレイを各別の平行な導電性ストリ
ツプで構成し、これらの各アレイを成すストリツ
プを互いに電気的に絶縁すると共に、一方のアレ
イを成す各ストリツプを対応する導電性の接続ス
トリツプを介して他方のアレイの前記各別の導電
性ストリツプにそれぞれ電気的に接続して、前記
第１トラツクに沿つて前記トランスジユーサ手段
により送出される表面弾性波エネルギーを前記第
１アレイにて受信すると共に、該弾性波エネルギ
ーの少なくとも一部を表面弾性波エネルギーとし
て前記第２トラツクに送出させて、該エネルギー
を前記トランスジユーサ手段によつて受信せしめ
るようにした弾性表面波装置において、対応する
トランスジユーサ手段のアパーチヤによつて限定
されるような前記第１伝搬トラツクと第２伝搬ト
ラツクとの隣接する境界部を互いに離間させ、か
つ前記導電性の接続ストリツプの間隔をそれらの
長さのほぼ全体にわたり、前記両アレイの導電性
ストリツプの間隔とは相違させて、前記第１アレ
イと第２アレイとの間の基板領域内に送出される
弾性波エネルギーの量が、前記接続ストリツプの
間隔を前記第１または第２アレイにおけるストリ
ツプの間隔と同じとした場合に送出される弾性波
エネルギーに較べて実質上低減され、最少となる
ようにしたことを特徴とする。本発明の好適な実
施に当つては、前記導電性の接続ストリツプの幅
を、前記両アレイを形成する前記導電性のストリ
ツプの幅よりも実質上狭くする。
本発明は、通常のマルチストリツプ−カツプラ
ーでは第１アレイの素子と第２アレイの対応する
素子とを接続する接続ストリツプの間隔を一方ま
たは他方のアレイの導体間隔と同じとするため、
接続ストリツプがアレイ導体と同様に作用して、
表面弾性波エネルギーを伝搬弾性波と同期して送
出するが、２つのトラツク間における領域内の接
続導体（ストリツプ）の間隔をいずれの弾性波エ
ネルギーの伝搬モードとは同期しないような関係
にすれば、接続ストリツプによる対応するエネル
ギー損失はほぼ最小値にまで低減させることがで
きると云う認識に基いて成したものである。接続
ストリツプはバルク波の如き他の弾性波モードに
も結合し得るから、表面弾性波の伝搬モードを考
慮するだけでなく、接続ストリツプの間隔は斯様
なバルク波にも結合しないような間隔とする必要
もあることは明らかである。ニオブ酸リチウムに
おける斯種バルク波は低速剪断バルク波である。
図面につき本発明を説明する。
第１図に示す本発明による帯域通過フイルタ形
態の弾性表面波装置は、表面に弾性表面波を伝搬
させる圧電基板１と、前記基板の表面における第
１伝搬トラツク１１に弾性波エネルギーを送出す
るためのアポダイズ（apodized）した入力トラ
ンスジユーサ２および第２トラツク１２に沿つて
伝搬する弾性波エネルギーを電気信号に変換する
ためのアポダイズした出力トランスジユーサ３を
具えるトランスジユーサ手段と、第１トラツク１
１に沿つて伝搬する弾性波エネルギーを受け、か
つそのエネルギーの少なくとも一部を弾性波エネ
ルギーとして出力トランスジユーサ３の方向の第
２トラツク１２に再送出するためのマルチストリ
ツプ−カツプラー５とを具えている。上記入力お
よび出力トランスジユーサはいずれもインターデ
イジタル（交互配置）形のものとし、トランスジ
ユーサ２の２組の電極間に電気入力信号を供給
し、トランスジユーサ３の２組の電極間から電気
出力信号を取出すようにする。トランスジユーサ
２および３はアポダイズし、これによるインター
デイジタル電極の重なり合う（オーバーラツプす
る）部分の包絡線を８および９にてそれぞれ示し
てある。インターデイジタルトランスジユーサは
通常双方向性を呈するため、マルチストリツプ−
カツプラー５から離れた方向に送出される不所望
な表面弾性波エネルギーを、基板表面に被着して
ある減衰材料１０におけるトランスジユーサ２の
端部と基板の縁部６との間の部分の減衰材料によ
つて少なくとも部分的に吸収せしめると共に、同
様に不所望な弾性表面波エネルギーが伝搬し得る
基板表面におけるトランスジユーサ３の端部と基
板の縁部７との間でも上記減衰材料で不所望な弾
性表面波エネルギーを部分的に吸収せしめるよう
にする。なお、これまで述べた点は前記A.A.
Oliner著による“Acoustic Surface Waves”の
第71頁第３，８図に示されている装置に対応する
ものである。
インターデイジタル−トランスジユーサ−アレ
イ２，３の幅は数波長分の幅、例えば2λとする
ことができるが、本例では各インターデイジタル
−トランスジユーサ−アレイ２および３の対応す
る母線対、例えば第３図に一部を示すトランスジ
ユーサ２の互いに対を成す母線１４と１５との間
の弾性表面波伝搬方向に対し直角の方向に測定し
た外側境界線間の全体の幅を、通過帯域の中心周
波数fcに対応する波長λcと電極配置に関連して、
各トランスジユーサ−アレイ２，３がこれらの中
心伝搬軸線（第３図の２０）のまわりに対称の単
一エネルギーモードの弾性波だけを伝搬し、かつ
変換する弾性表面波導波管として機能するように
定める。
第３図に拡大して一部を示してあるトランスジ
ユーサ−アレイ２は２組の電極から成るアポダイ
ズしたインターデイジタル−アレイを具えてお
り、これらの各電極組は対向して対を成す母線１
４，１５の内の対応する一方の母線に接続する。
母線はそれぞれ端末接続部１８，１９（第１図）
を有している。母線１４は信号源に接続し、かつ
母線１５は容量性のブレークスルーを最小にする
ために、通信用アースに接続する。しかし、各電
極組および対応する母線は所要に応じ、信号電圧
源によつて逆相で駆動させることができるが、こ
の場合にはじかの電気的なブレークスルーを低減
させるために、接地したり別の導電材料パターン
を母線１５に隣接して設ける必要がある。
２組のアボダイズしたインターデイジタル−ア
レイを各々形成する電極は、“The Proc.IEEE
Ultrasonic Symposium”（1972年10月）のT.W.
Bristol外１名著による論文“Applications of
double electrodes in acoustic surface wave
device design”に記載されているように、電極
からの逆反射作用を低減させるために二重電極２
４，２５を具えるようにするのが好適である。
“Applied Physical Letters”（1971年12月１日、
Vol.19.No.11、第456〜459頁）に記載されている
ように、所定の電極組の内の他方の電極組の電極
とは重ならない電極間のスペースにはダミー電極
２１を充填させ、これらのダミー電極も二重にし
て上記所定の電極組と同じ母線に接続する。
トランスジユーサ２の通信端１３は、英国特許
願第8291248号に記載されているように、信号駆
動される端部電極または母線の外側境界部におけ
る不所望な縁部信号源により発生される弾性表面
波がアレイの伝搬軸線２０から離れた方向に向け
られるように形成する。
第３図に示すような二重電極を用いるインター
デイジタル−アレイを形成するに当つては、二重
電極の周期性をλ／４とし、かつ各電極の幅を
λ／８とする。しかし、本例におけるアレイ２
は、例えばＹ−Ｚニオブ酸リチウムで3.2λcのよ
うな単一の対称拘束モードでアレイの全幅に沿つ
て弾性表面波が伝搬するような幅を有するように
形成する。なお、斯様な拘束モードは、導波管理
論に基き、電極または母線の外側境界部の個所、
またはその付近にて反射される同期交差弾性表面
波の波頭が重畳することにより形成される。従つ
て、拘束弾性表面波モードは幅広のアレイ内を通
常の表面波伝搬速度よりも大きな位相速度でアレ
イに沿つて伝搬するようになるが、弾性表面波エ
ネルギーは自由伝搬速度以下のモードの群速度で
アレイに沿つて走行するだけである。これがた
め、電極の寸法および間隔は位相速度に対応させ
る必要があり、また、重なり合う二重電極によつ
て形成されるソース信号源の大きさは、インバル
スータイム−ドメインにおける拘束モードの群速
度に対する電極の重なり部分の位置に関連させる
必要がある。
第１図に示すように、線８および９にてそれぞ
れ示す送出アレイ２および受信アレイ３のアポダ
イゼーシヨンは同じでなく、アレイ２は中央の主
ローブの両端に小さな半ローブを有しているが、
アレイ３は主ローブを有しているだけである。こ
れは或る特定例の装置に関するものであり、所要
に応じ他の形態のアポダーゼーシヨン−パターン
を用いることもでき、実際上アレイがその中央伝
搬軸線のまわりに対称な単一弾性表面波拘束エネ
ルギーモードを伝搬し、かつそのモードを変換す
るようにするには、他の形態の重み付け手段を用
いることができ、或いはそのような重み付け手段
を全く用いないでも行なうことができる。
拘束エネルギーモードは実際上母線の外側境界
部を僅かに越えた所にまで延在するため、装置の
弾性表面波が伝搬する表面に減衰媒体１０を被着
するに当つては、各トランスジユーサの両側に十
分な隙間ができるように被着する注意を払う必要
があることは明らかである。
マルチストリツプ−カツプラー５は互いに絶縁
した平行なストリツプ電極１６から成る第１アレ
イを具えており、これらの電極金属の間隔比はア
レイ２の間隔比と同様にし、かつ上記ストリツプ
電極の幅、即ち個々の電極の長さはアレイ２の長
さと同じとして、アレイ２の端部から出る拘束弾
性波が第１トラツク１１に沿つてマルチストリツ
プ−カツプラー５を経て伝搬し続けるようにす
る。上記電極１６と同じ周期で、しかも電極間の
間隔比も同一の互いに絶縁した平行なストリツプ
電極１７から成る第２アレイは、第１トラツク１
１から好ましくは少なくとも5λcだけ離間させた
第２トラツク１２に配置して、トランスジユーサ
−アレイ２の構造および寸法とほぼ同じ第２トラ
ンスジユーサ３に弾性表面波エネルギーを向ける
ようにする。
マルチストリツプ−カツプラー５の第１トラツ
ク１１に沿つて配置した各電極１６は、導電性の
各接続ストリツプ２２により第２トラツク１２に
沿つて配置した対応する電極１７にそれぞれ接続
するが、本発明によれば上記接続ストリツプ２２
の間隔をそれらの長さのほぼ全体にわたり電極１
６および１７を形成する導電性のストリツプの間
隔とは相違させる。なお、この場合における接続
ストリツプ２２の間隔と電極１６または１７の間
隔との相違程度は、接続ストリツプ２２のアレイ
を含む基板領域に送出される弾性表面波およびバ
ルク波の双方に関連する弾性表面波エネルギーの
量が最少となり、しかもそのエネルギー量が、接
続ストリツプの間隔を電極１６または電極１７の
間隔とした場合に送出される弾性表面波エネルギ
ーよりも実質上少なくなる程度とする。
第１図から明らかなように、接続ストリツプ
（接続電極）２２はそれらの長さのほぼ全体にわ
たり電極１６または電極１７よりも大きな距離離
間させる。なお、斯かる接続電極の間隔は、電極
１６を通過して伝搬する弾性表面波により誘起さ
れる電圧変化が、接続電極２２によつて占められ
る領域内にて伝搬トラツク１１，１２に平行に伝
搬し得る弾性波と同一周波数のいずれの弾性波ま
たはバルグ波と実質上同期しない電圧変化を接続
電極２２のアレイに沿つて呈するようにする必要
がある。
比較的長いマルチストリツプ−カツプラー５を
用いる必要のある場合には、互いに離間させる接
続電極２２を第１図に示すような方法で収納させ
るのは困難であり、この場合には第４図に示すよ
うに、接続電極２２の間隔の広い区分と、その間
隔が電極１６および１７の間隔よりも若しろ狭い
区分とが交互に位置するようにする必要がある。
好ましくは上記接続電極２２の離間間隔を、その
間隔が大きい所では電極１６または１７の間隔の
1.1倍とし、小さい所では電極１６または１７の
間隔の0.9倍以下とする。
透過形マルチストリツプ−カツプラーの電極１
６，１７に対する接続電極２２のピツチの変化
は、場合によつては極めて小さくすることがで
き、例えば弾性表面波の速度に近い速度の低速剪
断バルク波が伝搬方向にない場合には小さくする
ことができ、また接続電極アレイ２２の間隔を２
つの電極アレイ１６および１７の間隔よりも１波
長分（λc）だけ長くなるようにその間隔を十分に
増大させて、任意の表面弾性波が伝搬する場合の
進行波の相殺させることもできる。
第２図は本発明による弾性表面波装置の他の例
を示し、この装置は第１図のものに比べて構造が
遥かにコンパクトであり、しかも使用する基板材
料も少なくて済む。圧電基板３１上に形成する送
出および受信用トランスジユーサは第１図に示し
たものと同一のアポダイズしたインターデイジタ
ル−アレイ２および３を具えている。この弾性表
面波装置では反射形マルチストリツプ−カツプラ
ー３５を用いる。このカツプラーは互いに絶縁さ
れた平行なストリツプ電極３６および３７から成
る第１および第２アレイを具えており、これらの
各アレイはそれを伝搬する弾性表面波エネルギー
に対する対応する伝搬トラツクにそれぞれ配置す
る。各アレイの電極３６，３７はλc／３の周期で
離間させると共に、これらの電極を２つのグルー
プに分け、一方の電極グループの内の一方のアレ
イの電極３６′，３７′は細い接続導体３２を介し
て他方のアレイの電極３７′，３６′に各々接続
し、他方のグループの電極３６″，３７″は接続導
体を介して接続しないで、これらの電極３６″，
３７″をダミー電極として用いるようにする。な
お、斯かるダミー電極は信号周波数に対して大地
電位に接続し得る各母線（図示せず）によつて互
いに接続するのが好適である。接続導体３２によ
る電極間の接続は、一方の電極アレイにおけるダ
ミー電極３６″，３７″の両側に位置する電極対３
６′，３７′が他方の電極アレイにおける直接隣接
している電極対の各電極３７′，３６′に接続され
るようにして行なう。このように、反射信号通路
に隣接被動電極３７′を介してλcの通路差を導入
すれば、反射弾性表面波エネルギーはそれが受信
アレイ３に向うように補強される。
本発明によれば接続導体３２の間隔を、各電極
アレイ３６，３７の各電極間の離間間隔と各アレ
イの能動電極３６′，３７′の各要部の長さとの算
術的平均値、即ちλc／３と2λc／３との平均値に
ほぼ相当する距離だけ離間させて、接続導体３２
が順方向または反射される弾性表面波或いはバル
ク波を送出しないようにする。
第１図に示した装置の場合と同様、この第２図
の例の場合にも基板３１の内の、アレイ２から反
射形マルチストリツプ−カツプラー３５を経てア
レイ３に弾性表面波エネルギーを伝搬するのに用
いられない部分には減衰材料（図示せず）を被着
する。
接続導体をこれらの導体により相互接続される
電極よりも幅狭に形成し、かつ本発明によるよう
に、上記接続導体の間隔を、順方向または反射さ
れる弾性表面波或いはバルク波のいずれもが接続
導体によつては送出されないようにカツプラーを
構成する２つの電極アレイの間隔の算術的平均値
にほぼ相当する距離だけ離間させるようにすれ
ば、反射形マルチストリツプ−カツプラーは、例
えば“The Proceedings of the IEEE
Ultrasonics symposium1974”の第157〜160頁
にM.FeldmannおよびJ.Henaffにより発表された
論文“Ａ new multistrip acoustic surface
wave filter”に記載されているような任意の好
都合な択一的なもので形成することができる。
本発明は上述したような単一モードの拘束弾性
表面波トランスジユーサを用いる例のみに限定さ
れるものでなく、幾多の変更を加え得ること勿論
であり、例えば対応するトランスジユーサのアパ
ーチヤによつて定められるような第１および第２
伝搬トラツクを少なくとも5λcのような相当な距
離だけ離間させたい場合には慣例のトランスジユ
ーサと一緒に同等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による弾性表面波フイルタの一
例を示す平面図；第２図は反射形マルチストリツ
プ−カツプラーを用いる本発明による弾性表面波
フイルタの他の例を示す平面図；第３図は第２図
のフイルタに用いるトランスジユーサ−アレイの
一部を示す平面図；第４図は本発明による弾性表
面波装置に用いる透過形マルチストリツプ−カツ
プラーの一部を示す平面図である。 １……圧電基板、２……入力トランスジユー
サ、３……出力トランスジユーサ、５……透過形
マルチストリツプ−カツプラー、１０……弾性表
面波減衰材料、１１，１２……弾性表面波伝搬ト
ラツク、１３……トランスジユーサの通信端、１
４，１５……母線、１６，１７……ストリツプ電
極、１８，１９……端末接続部、２１……ダミー
電極、２２……接続ストリツプ、２４，２５……
二重電極部、３１……圧電基板、３２……接続ス
トリツプ、３５……反射形マルチストリツプ−カ
ツプラー、３６，３７……ストリツプ電極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 表面弾性波を表面にて伝搬させる圧電基板
    と；前記表面にて第１伝搬トラツクに表面弾性波
    エネルギーを送出すると共に、前記第１伝搬トラ
    ツクに重ならない第２伝搬トラツクに沿つて伝搬
    する表面弾性波エネルギーを電気信号に変換する
    トランスジユーサ手段と；前記第１トラツクに配
    列させた導電性ストリツプから成る第１アレイお
    よび前記第２トラツクに配列させた導電性ストリ
    ツプから成る第２アレイを含むマルチストリツプ
    −カツプラー；とを具えており、前記第１および
    第２の各アレイを各別の平行な導電性ストリツプ
    で構成し、これらの各アレイを成すストリツプを
    互いに電気的に絶縁すると共に、一方のアレイを
    成す各ストリツプを対応する導電性の接続ストリ
    ツプを介して他方のアレイの前記各別の導電性ス
    トリツプにそれぞれ電気的に接続して、前記第１
    トラツクに沿つて前記トランスジユーサ手段によ
    り送出される表面弾性波エネルギーを前記第１ア
    レイにて受信すると共に、該弾性波エネルギーの
    少なくとも一部を表面弾性波エネルギーとして前
    記第２トラツクに送出させて、該エネルギーを前
    記トランスジユーサ手段によつて受信せしめるよ
    うにした弾性表面波装置において、対応するトラ
    ンスジユーサ手段のアパーチヤによつて限定され
    るような前記第１伝搬トラツクと第２伝搬トラツ
    クとの隣接する境界部を互いに離間させ、かつ前
    記導電性の接続ストリツプの間隔をそれらの長さ
    のほゞ全体にわたり、前記両アレイの導電性スト
    リツプの間隔とは相違させて、前記第１アレイと
    第２アレイとの間の基板領域内に送出される弾性
    波エネルギーの量が、前記接続ストリツプの間隔
    を前記第１または第２アレイにおけるストリツプ
    の間隔と同じとした場合に送出される弾性波エネ
    ルギーに較べて実質上低減され、最少となるよう
    にしたことを特徴とする弾性表面波装置。 ２ 特許請求の範囲１記載の装置において、前記
    導電性の接続ストリツプの幅を、前記両アレイを
    形成する前記導電性のストリツプの幅よりも実質
    上狭くしたことを特徴とする弾性表面波装置。 ３ マルチストリツプ−カツプラーが前記第１お
    よび第２トラツクに沿う同一方向の表面弾性波エ
    ネルギーをそれぞれ受信したり、送出したりする
    ようにした特許請求の範囲１または２に記載の装
    置において、前記導電性接続ストリツプの各隣接
    するストリツプ対の間隔を、前記両アレイを形成
    する前記導電性ストリツプの間隔の1.1倍以上ま
    たは0.9倍以下としたことを特徴とする弾性表面
    波装置。 ４ マルチストリツプ−カツプラーを反射形マル
    チストリツプ−カツプラーとした特許請求の範囲
    １または２に記載の装置において、前記導電性接
    続ストリツプの間隔を、前記第１および第２アレ
    イを形成する導電性ストリツプの能動部分の各間
    隔の算術的平均値にほぼ相当する値としたことを
    特徴とする弾性表面波装置。 ５ 前記トランスジユーサ手段が送出トランスジ
    ユーサと受信トランスジユーサを具えており、各
    トランスジユーサは重なり合う２つの電極組から
    成る少なくとも１つのインターデイジタル電極ア
    レイを具え、各電極組は対向する一対の母線の一
    方に接続すると共に、各電極組が前記第１および
    第２トラツクに表面弾性波を送出したり、これら
    のトラツクにて表面弾性波を受信すべくそれぞれ
    配置した特許請求の範囲１〜４の何れか１つに記
    載の装置において、前記各インターデイジタル−
    アレイの全幅を前記対向母線の平行な外側境界部
    間の幅として、前記インターデイジタル−アレイ
    が単一対称拘束モードの表面弾性波エネルギーの
    みを伝搬すると共に該エネルギーを変換するよう
    にし、かつ前記第１トラツクと第２トラツクとの
    間隔を少なくとも5λcととし、こゝにλcを弾性表
    面波装置の通過帯域の中心周波数に相当する表面
    弾性波の波長としたことを特徴とする弾性表面波
    装置。
JP58172314A 1982-09-20 1983-09-20 弾性表面波装置 Granted JPS5972816A (ja)

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JPS5972816A JPS5972816A (ja) 1984-04-24
JPH0260087B2 true JPH0260087B2 (ja) 1990-12-14

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