JPH0261734B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0261734B2 JPH0261734B2 JP57150428A JP15042882A JPH0261734B2 JP H0261734 B2 JPH0261734 B2 JP H0261734B2 JP 57150428 A JP57150428 A JP 57150428A JP 15042882 A JP15042882 A JP 15042882A JP H0261734 B2 JPH0261734 B2 JP H0261734B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- round bar
- light
- conical mirror
- coating film
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転軸等の細い金属製丸棒（中空、中
実、円柱形、円錐形等を含む）の表面に凹部をエ
ツチング加工するに際し、丸棒の表面に予め凹部
のパターンをレジストとして露光形成する方法に
関する。
実、円柱形、円錐形等を含む）の表面に凹部をエ
ツチング加工するに際し、丸棒の表面に予め凹部
のパターンをレジストとして露光形成する方法に
関する。
従来、細い金属製丸棒の表面にその周方向に沿
つて多数のパターンを光学的に焼付ける場合に
は、パターンを柔軟性のある薄いフイルム上に多
数形成し、これを感光液を予め塗布し、乾燥させ
た該丸棒の表面に巻き付けて周囲から露光する方
法とか、パターン形成物（ガラス又はフイルム）
を感光液を予め塗布し、乾燥させた丸棒の表面に
線接触させ、その線接触部をスリツト光にて露光
し乍ら一回転する方法などが一般的に採用されて
いる。
つて多数のパターンを光学的に焼付ける場合に
は、パターンを柔軟性のある薄いフイルム上に多
数形成し、これを感光液を予め塗布し、乾燥させ
た該丸棒の表面に巻き付けて周囲から露光する方
法とか、パターン形成物（ガラス又はフイルム）
を感光液を予め塗布し、乾燥させた丸棒の表面に
線接触させ、その線接触部をスリツト光にて露光
し乍ら一回転する方法などが一般的に採用されて
いる。
しかしこれら従来の方法では、感光液塗膜にフ
イルム等のパターン支持対が接触する為、感光液
塗膜に損傷を与えやすく、またフイルムを巻き付
ける場合において、巻き付けの始点・終点でのパ
ターンのつき合せが生ずる為、接合部でのパター
ンの連続性に関する精度が損われたり、つき合せ
作業の為に多くの時間を費している。
イルム等のパターン支持対が接触する為、感光液
塗膜に損傷を与えやすく、またフイルムを巻き付
ける場合において、巻き付けの始点・終点でのパ
ターンのつき合せが生ずる為、接合部でのパター
ンの連続性に関する精度が損われたり、つき合せ
作業の為に多くの時間を費している。
特に径の小さい丸棒に対しては露光作業が困難
であり、自動化、量産化も困難であるなど多くの
欠点がある。
であり、自動化、量産化も困難であるなど多くの
欠点がある。
本発明は以上の如き従来法の欠点を改善するも
ので、パターン支持体と丸棒とが非接触で、しか
も精度よく焼付け（露光）処理が出来る露光方法
を提供するものである。
ので、パターン支持体と丸棒とが非接触で、しか
も精度よく焼付け（露光）処理が出来る露光方法
を提供するものである。
以下、図面に基づいて本発明に係る方法を説明
する。
する。
第１図は本発明に係る方法を実施するための装
置の概略図である。
置の概略図である。
第１図において、１は光源、２は集光レンズ、
３はパターンの形成された原版、４は投影レン
ズ、５は円錐面鏡、６は細い金属製丸棒である。
３はパターンの形成された原版、４は投影レン
ズ、５は円錐面鏡、６は細い金属製丸棒である。
光源１としては例えば高圧水銀灯300Wのもの
が用いられる。
が用いられる。
原版３は例えば第２図のようなパターンを有す
る。７は長方形の透光部であり、これが放射状に
多数設けられている。
る。７は長方形の透光部であり、これが放射状に
多数設けられている。
円錐面鏡５は多層膜高反射率ミラーでできてお
り、中心部は切除されていてそこに金属製丸棒６
が挿通されている。
り、中心部は切除されていてそこに金属製丸棒６
が挿通されている。
金属製丸棒は円柱形又は円錐形等の回転体の形
状をしており、上記パターンの焼き付けられる箇
所には予め感光液の塗膜が形成されている。この
場合丸棒は円柱形であり、小型機械の回転軸であ
つて、上記塗膜の形成される箇所はジヤーナル部
である。上記パターンはジヤーナル部に形成され
る油構に対応するものである。
状をしており、上記パターンの焼き付けられる箇
所には予め感光液の塗膜が形成されている。この
場合丸棒は円柱形であり、小型機械の回転軸であ
つて、上記塗膜の形成される箇所はジヤーナル部
である。上記パターンはジヤーナル部に形成され
る油構に対応するものである。
上記円錐面鏡５と金属製丸棒６との位置関係は
第３図のようになつている。
第３図のようになつている。
すなわち、図において９はパターン３の透過
光、８は丸棒表面の円錐面鏡による虚像面であ
る。この虚像面８が、平面になるようΘが決定さ
れ、円錐面鏡の形および当該鏡と丸棒との位置関
係が決定されることになる。
光、８は丸棒表面の円錐面鏡による虚像面であ
る。この虚像面８が、平面になるようΘが決定さ
れ、円錐面鏡の形および当該鏡と丸棒との位置関
係が決定されることになる。
以上のような装置の配置状態において、光源１
を発光させることにより原版のパターン３が被加
工物である丸棒表面の塗膜に一度に焼き付けられ
る。
を発光させることにより原版のパターン３が被加
工物である丸棒表面の塗膜に一度に焼き付けられ
る。
かくて得られた丸棒は金属腐食液（例えば塩化
第二鉄溶液）でエツチング処理され、ジヤーナル
部に上記パターンに合致した油構が適度の深さで
形成されることとなる。
第二鉄溶液）でエツチング処理され、ジヤーナル
部に上記パターンに合致した油構が適度の深さで
形成されることとなる。
本発明上述の如き小型機械の回転軸への適用は
もちろんのことその他グラビア印刷用のシリンダ
ー表面への絵柄の焼き付け、ロータリーシルクス
クリーンのマザーロールへの網目や絵柄の焼付け
にも適用できる。
もちろんのことその他グラビア印刷用のシリンダ
ー表面への絵柄の焼き付け、ロータリーシルクス
クリーンのマザーロールへの網目や絵柄の焼付け
にも適用できる。
以上のように、本発明は所定パターンを形成し
た原版に光を照射してその透過光を金属製丸棒の
表面に予め形成された感光液の塗膜に照射するこ
とによりその塗膜に上記パターンを焼付けて露光
方法において上記パターンと塗膜とを分離してお
いて上記金属製丸棒を円錐面鏡で囲み、上記パタ
ーン透過光を上記円錐面鏡で反射させて上記塗膜
に照射させるようにしたことを特徴とするもので
あるから、パターンを塗膜に非接触で焼き付ける
ことができ、従つて、従来の接触方式に比して塗
膜に傷等を生じるがない。
た原版に光を照射してその透過光を金属製丸棒の
表面に予め形成された感光液の塗膜に照射するこ
とによりその塗膜に上記パターンを焼付けて露光
方法において上記パターンと塗膜とを分離してお
いて上記金属製丸棒を円錐面鏡で囲み、上記パタ
ーン透過光を上記円錐面鏡で反射させて上記塗膜
に照射させるようにしたことを特徴とするもので
あるから、パターンを塗膜に非接触で焼き付ける
ことができ、従つて、従来の接触方式に比して塗
膜に傷等を生じるがない。
また、円錐面鏡で焼き付けるようにしたから、
一度の露光で焼き付けることができるし、さらに
はパターン間に継ぎ目が現われることがなく良質
な焼付画像が得ることができる。
一度の露光で焼き付けることができるし、さらに
はパターン間に継ぎ目が現われることがなく良質
な焼付画像が得ることができる。
第１図は本発明に係る方法を実施するための装
置の概略説明図、第２図は上記方法で使用するパ
ターンの一例の正面図、第３図は丸棒と反射鏡の
位置関係説明図である。 ３……原版、５……円錐面鏡、６……金属製丸
棒。
置の概略説明図、第２図は上記方法で使用するパ
ターンの一例の正面図、第３図は丸棒と反射鏡の
位置関係説明図である。 ３……原版、５……円錐面鏡、６……金属製丸
棒。
Claims (1)
- １ 所定パターンを形成した原版に光を照射して
その透過光を金属製丸棒の表面に予め形成された
感光液の塗膜に照射することによりその塗膜に上
記パターンを焼付ける露光方法において、上記パ
ターンと塗膜とを分離しておいて上記金属製丸棒
を円錐面鏡で囲み、上記パターン透過光を上記円
錐面鏡で反射させて、上記塗膜に照射させるよう
にしたことを特徴とする上記方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57150428A JPS5938749A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57150428A JPS5938749A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5938749A JPS5938749A (ja) | 1984-03-02 |
| JPH0261734B2 true JPH0261734B2 (ja) | 1990-12-20 |
Family
ID=15496711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57150428A Granted JPS5938749A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938749A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5822042A (en) * | 1992-11-12 | 1998-10-13 | International Business Machines Corporation | Three dimensional imaging system |
| JP5164176B2 (ja) * | 2009-11-20 | 2013-03-13 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 立体投影による光投影露光装置及び光投影露光方法 |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP57150428A patent/JPS5938749A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5938749A (ja) | 1984-03-02 |
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