JPH0262401A - 回転電動機付気体圧シリンダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光朋１壮ｌダ ［産業上の利用分野コ 本発明は、気体圧シリンダと回転電動機とによりピスト
ン口・ンドのストロークを制御する装置もこ関する。

［従来の技術］ 各種機械的作動を行わせるためのアクチュエータ機構と
して、空気等の気体圧によりロッドが駆動するシリンダ
装置がある。

このものはシリンダ内のピストンの両側に気体の圧力差
を設けることにより、ピストンを移動させピストンに連
結しているロッドのストローク量を制御するものである
。このシリンダ装置のピストン位置あるいはその速度を
正確に制御するためには、そのスト［ｌ−り量を検出す
るセンサを設けると共に、ストローク量あるいはストロ
ーク速度が所望の状態になるように気体圧をフィードバ
ック制御しなくてはならない。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、このような気体を作動流体に使用し。

でいるシリンダ装置にＪ３いては、気体の圧縮性のため
所望の位置に停止しようとしても、シリンダ中の気体に
圧力が残留していた場合、ロッド位置の過制御を生じた
り、シリンダ及びロット等の質量に伴う慣性力と気体の
圧縮性とが相互に作用し合って、ロッドの振動を生じた
りして、正確な速度制御や中間位置停止制御を実現する
ことは極めて困難であった。特にロッドの位置決めの最
終段階で超低速制御が必要な場合に、気体圧力のみの制
御では、気体の排出側のオリフィスにてその前後の差圧
が小さくなって、わずかなゴミ等により差圧変動が大き
くなる。その結果、ピストンの速度にばらつきが発生し
、極端なときには停止してしまう場合もあった。このよ
うな不正確な速度制御では、所望の位置に正確かつ迅速
に到達させることも非常に困難であった。

これを解決するために、非圧縮性のオイルを用いたエア
ハイドロコンバータ、あるいはハイドロチエツクシリン
ダ等を併用することも考えられる。

しかし、これらの機構はオイル漏れの問題があり、補（
１も気体によるシリンダ装置よりも手がかかり、効率的
な装置とは言えなかった。

灸肌少享戒 本発明はこれらの問題点を解決することを目的とするも
のであり、オイルを併用しなくとも、迅速かつ正確にピ
ストンロッドのストローク速度制御が実行でき、精密な
位置制御にも利用できる気体圧シリンダ装置を実現する
ことを目的としたものである。

［課題を解決するための手段］ 即ち、本発明は、 直進運動するピストンロッドを有する気体圧シリンダと
、 回転運動する回転電動機と、 直進運動と回転運動とを相互に変換する運動変換手段と
、 上記気体圧シリンダへの気体の給排によりピストン口・
ンドのストロークを調節する直進運動調節手段と、 上記回転電動機への電力量の調節により、上記運動変換
手段を介して上記ピストンロッドのストロークを調節す
る回転運動調節手段と、を備えたことを特徴とする回転
電動機付気体圧シリンダ装置を要旨とするものである。

［作用］ 直進運動調節手段は、気体圧シリンダへの気体給排側ｆ
ａＩＩにて、ピストンロッドの直進運動のスト［【−り
を調節する。この直進運動調節手段によるピストンロッ
ドの速度の調節は、圧縮性である気体を作動流体として
用いているため、精密な制御よりも早送り・早戻しとい
った操作において用いる。

一方、回転運動調節手段は、その−船釣な性質として電
力量の調節（オン・オフや段階的または連続的調節）に
より極めて正確に回転電動機の回転速度を調節できる。

この回転電動機は、運動変換手段を介してピストンロッ
ドに連結しているので、回転電動機の回転運動は直進運
動としてピストンロッドに伝達される。従って、回転運
動調節手段を操作すればピストンロッドのストロークは
精密に制御できる。

この様に両制御手段を選択して操作し、大まかな速度調
節は直進運動調節手段により、精密な速度調節は回転運
動″：Ａ節手段により調節すれは、迅速にかつ正確にピ
ストンロッドを制御できる。

このことから、ロッドの位置合せも、きわめて精密に出
来ることになる。

［実施例］ 第１図に本発明の回転電動機付気体圧シリンダ装置の第
１実施例を示す。本図は概略系統図を表している。本装
置は、主としで、直進駆動力出力部（気体圧シリンダ）
１、誘導電動機（回転電動機）３、回転−直進変換部（
運動変換手段）５、空気圧回路７、及び制御回路１１か
ら構成されている。本装置は、この他に、減速機１３、
電磁クラッチ１５及びエンコーダ１７等を備えている。

このうち、直進駆動力出力部１、誘導電動機３、回転−
直進変換部５、減速機１３、電磁クラッチ１５及びエン
コーダ１７は、第２図に示すごとく、一体に構成されて
い名。

直進駆動力出力部１は、主に、シリンダ２１とピストン
２３と口・ンド２５とから構成される装置ロッド２５は
、シリンダ２１の両端を密封しているロッドカバー２７
及び中間カバー２９を摺動可能に貫通している。シリン
ダ２１内には両力バー２７．２９に設けられているボー
ト３１．３３により空気圧の供給・排出が行われる。こ
の供給・排出を圧力調節にて積極的に実行することによ
り、ピストン２３がシリンダ２１の軸線に沿って移動す
る。これにともなって、ロッドカバー２７から突出して
いるロッド２５の作動端部２５ａが前進◆後退動作をし
て、作動端部２５ａに連結される図示しない他の機構に
所定の作業を行わせることが出来る。

上記ロッド２５は中間カバー２９を貫通して回転−直進
変換部５のシリンダ３５内の直進ピストン３７に連結１
．でいる。直進ピストン３７内にはロッド２５と同方向
を軸とするナツト３９が圧入され溶接にて固定されてい
る。このナツト３９には、送りネジ４１が螺入されてい
る。ナツト３９と送りネジ４１とのリード角は摩擦角よ
り十分に大に設定しである。従って、空気圧の給排によ
りロッド２５が前進・後退して直進運動を行うと、その
直進駆動力は直進ピストン３７のナツト３９を介して送
りネジ４１に伝わり、送りネジ４１の回転運動に変換さ
れる。逆に、送りネジ４１が後述するごとく回転動作を
行うと、その回転運動はナツト３９を介して直進ピスト
ン３７に伝わり、ロッド２５の直進運動に変換される。

−層の精密制御のために、このナツト３９及び送りネジ
４１の替わりにボールネジ機構を用いてもよい。

シリンダ３５の送りネジカバー４３とクラッチハウジン
グカバー４５との間には、送りネジ軸受４７が挾持され
ており、送りネジ４１を支持している。送りネジ４１の
図示左端４１ａは中間カバー２９にで回転可能に支持さ
れ、図示右端４１ｂはクラッチハウジング４９内を貫通
し、図示最右端のエンコーダ１７に至る。従って、送り
ネジ４１０回転状態は、エンコーダ１７にて精密に検出
することが出来る。

送りネジ４１は、クラッチハウジング４９内では、電磁
クラッチ１５に接続されている。電磁クラッチ１５は一
般的に用いられているものであり、よく知られているク
ラ・ソチであるので、詳細は省略する。この電磁クラッ
チ１５は、制御回路１１からの駆動信号の出力により断
続制御される。電磁クラ・ンチ１５がつながれた状態で
は、送りネジ４１は、電磁クラッチ１５のギヤ１５ａと
一体となって回転し、電磁クラッチ１５が切られた状態
では、送りネジ４１の回転と、電磁クラッチ１５のギヤ
１５ａの回転とは無関係となる。電磁クラッチ１５のギ
ヤ１５ａは、減速機１３の出力側ギヤ１３ａに噛み合っ
ている。従って、誘導電動機３からの回転駆動力は、減
速機１３を介してその回転速度を減速されて、電磁クラ
ッチ１５のギヤ１５ａを回Φムさせる。

以上のような構成により、電磁クラ・ンチ１５をつない
で、誘導電動機３を正転・逆転すると、減速ａ！１３及
び電磁クラッチ１５を介して、送りネジ４１が正転・逆
転する。この正転・逆転運動は、ナツト３９を介して、
前進・後退運動として、ロッド２５に伝達される。この
とき、送りネジ４１の回転状態はエンコーダ１７にて検
出される。誘導電動機３による回転は安定した円滑な回
転であり、更に減速機１３を介しているので、ロッド２
５の前進・後退運動は、きわめて円滑で安定した動作と
なる。

一方、電磁クラッチ１５が切られ、ポート３１゜３３乙
こ圧縮空気の供給・排出制御が行われると、ピストン２
３の直進運動に伴って、ロッド２５が前進・後退する。

この前進・後退運動は、ナツト３９を介して、正転・逆
転運動として、送りネジ４１に伝達される。送りネジ４
１の回転はエンコーダ１７にて検出される。気体の圧力
差により運動力が与えられているため、誘導電動機３の
ように安定した運動ではないがきわめて迅速に移動させ
ることが出来る。

送りネジ４１の回転は、口・ンド２５の前進・後退量、
即ちストローク量の変化に比例しているので、エンコー
ダ１７は、ロッド２５のストローク量を検出しているこ
とになる。従って、ロッド２５が、ピストン２３前後の
空気圧力差により駆動されていても、誘導電動機３によ
り駆動されていても、そのストローク量は常にエンコー
ダ１７により正確に検出できることになる。

次に、シリンダ２１のボー）３１．３３に対して圧縮空
気の供給・排出制御する空気圧回路７について説明する
。空気圧回路７は、主に、圧力源５１と、空気圧用リリ
ーフ付減圧弁５３．５５（以下減圧弁とも呼ぶ）と、３
ボ一ト２位置切換弁５７．５９（以下切換弁とも呼ぶ）
と、から構成されている。

ま）゛、第３図の断面図に示した減圧弁５３について説
明する。もう一つの減圧弁５５も同一構成であるので説
明は省略する。図示するように、減圧弁５３は、調整本
体部６１．ダイヤフラム６３及び弁本体部６５から成る
減圧弁本体６７と、切換機構に用いられる３ボ一ト２位
置切換弁５３ａとを備えている。

調整本体部６１は、幅広部７１ａを有する中空の調整ね
じ７１が一端部に螺合されたボンネット７３を備え、こ
のボンネット７３の他端邪のダイヤフラム６３側には背
圧室７５が設けられている。

この背圧室７５内には、中空のピストン７７が摺動可能
に挿入されており、そのピストン７７には、調整ねじ７
１に挿通し、端部に当接部７９ａを有する中空のピスト
ンロッド７９が形成されている。

ピストンロッド７９の当接部７９ａ側の端部には、背圧
室７５の圧力を大気へ開放するブリード孔７５ａが設け
られ、ざらに、ハンドル８１を備えたばね調節ねじ８３
が螺合されている。はね調節ねじ８３は、はね押え８５
を介してピストン７７及びピストンロッド７９の中空部
に備えられた調節ばね８７に当接されている。この結果
、調節ばね８７のダイヤフラム側への付勢力が調節可能
となっている。ピストン７７のピストン口・ソド７９側
には調整室８９と、その調整室８９より減圧弁本体６７
の外部へ通じる調整室ボート９１が設けられ、３ボ一ト
２位置切換弁５３ａと接続されている。この３ボ一ト２
位置切換弁５３ａについては後述する。

上述の調整本体部６１ど弁本体部６５との間に設けられ
ているダイヤフラム６３には、その中央部に、リリーフ
孔９３を有するリリーフ弁９５が設けられ、調節はね８
７により弁本体部６５方向に付勢されている。

弁本体部６５には、−次圧室９７と、二次圧室９９と、
二次圧室９９及びオリフィス９９ａを介して連絡されダ
イヤプラム６３側に位置する受圧室１０１が設けられて
いる。−次圧室９７と二次圧室９９との開には、弁体１
０３が弁体室１０５に摺動可能に設けられ、その弁体１
０３は弁体室１０５側の弁はね１０７によってダイヤフ
ラム６３方向に付勢されると共に、弁頭１０３ａが弁座
１０９に当接されている。また、弁頭１０３ａは、ステ
ム１１１に当接されており、このステム１１１の他端は
ダイヤフラム６３のリリーフ弁９５に当接されている。

従って、ステム１１１は、リリーフ弁９５の下方への移
動を弁体１０３へ伝えて弁体１０３を下方へ摺動させる
と共に、リリーフ弁９５のリリーフ孔９３の開閉弁体を
兼ねている。

一方、−次圧室９７には一次圧ボート９７ａが設けられ
、３ボ一ト２位置切換弁５３ａと接続されている。

調整本体部６１内の調整室８９に連通ずる調整室ボート
９１と、弁本体部６５内の一次圧室９７に連通ずる一次
圧ポート９７ａとに接続している３ボ一ト２位置切換弁
５３ａは、ソレノイド５３ｂに通電していないオフ（ノ
ーマル）状態で、調整室ボート９１を介して調整室８つ
内の空気を大気へ開放し、更に、−次圧ボート９７ａを
閉じるようにされている。

ソレノイド５３ｂのオン（通電）によって３ボ一ト２位
置切換弁５３ａを操作すると、調整室ボート９１と一次
圧ボート９７ａとが連通され、−次圧室９７の圧力が調
整室８９へ供給される。

上記の構成を有する空気圧用リリーフ付減圧弁５３は、
空気圧回路７中で二次圧を一次圧より低い一定の圧力に
減圧する作用をなす。調整室８９の空気をオフ状態の３
ボ一ト２位置切換弁６９により大気へ排気した状態で、
ハンドル８１を回して調節はね８７の付勢力を強めると
、リリーフ弁９５及びステム１１１を介して弁体１０３
が弁体室１０５方向に摺動し、−・次圧室９７からの空
気が弁を通り二次圧室９９へ流れ込む。・ご・のとき二
次圧室９９の空気の一部がオリフィス９９ａを通って受
圧室１０１へ流れ込み、ダイヤフラム６３のリリーフ弁
９５を移動させ、調節ばね８７を押し上げる。それに応
じてステム１１１が上方に移動し、更゛にそれに応じて
弁ばね１０７によって上方へ付勢される弁体１０３の上
方への移動によって弁は閉じ始め、二次圧と調節ばね８
７との付勢力がつり合う位置まで弁体１０３が移動する
と弁が閉じ、二次圧が一定の圧力に設定される。さらに
、二次圧が設定圧以上になった場合は、受圧室１０１内
の圧力上昇によってダイヤフラム６３及びリリーフ弁９
５がステム１１１から離れて押し上げられ、リリーフ孔
９３が開いて受圧室１０１の空気がブリード孔７５ａを
通って大気へ放出される。この結果、空気の流れの方向
によらず二次圧は常に一定の範囲内の圧力に保たれる。

尚、弁体１０３には、二次圧室９９と弁体室１０５とを
連通させる弁体孔１０３ｂが設けられ、−次圧室９７側
の圧力の変動の影響を二次圧室９９側へ伝えないように
されている。

次に、ソレノイド５３ｂのオンによって３ボ一ト２位置
切換弁５３ａを操作して、−次圧室９７側の空気を調整
室８９へ流人させる°と、調整室８９内の空気圧により
、ピストン７７及びピストンロッド７９がダイヤフラム
６３側へ、ピストンロッド７９の当接部７９ａが調整ね
じ７１の幅広部７１ａに当接するまでの距離■、の間を
摺動する。

これによって調節はね８７の付勢力が増大し、その結果
、二次圧がハンドル８１による設定圧から変化し、流量
に対する二次正特性が切り換わることになる。

第４図にこの切り替わり前後の特性の内、加圧側である
場合の特性を示す。加圧側とは、ピストン２３が移動す
る場合、空気をシリンダ２１送り出す側を言う。逆に、
排圧側と言う場合は、空気をシリンダ２１から排出する
側を言う。

ここで、調整室８９を大気へ開放したときの流量に対す
る二次正特性は特性（Ａ）で表され、−次圧室９７側の
圧力を調整室８９に導いたときの、流量に対する二次正
特性は特性（Ｂ）で表、される。

特性（Ａ）の場合、流量＊　０　（Ｑ／ｍ１ｎ）のとき
の二次圧は［’　Ｏ（ｋｇ　ｆ　／ｃｍ”Ｇ）であるが
、流ｆｆ１Ｆ１　（ｆ２／ｍ１ｎ）のときには、二次圧
がＰｉ（ｋｇｆ／ｃ＋ｎ　２Ｇ　）に下がる。もし、？
禿量が０　（Ｑ　／ｍ１ｎ）からＦ　１　（Ｑ　／＋ｎ
１ｎ）　ヘ変化したと同時に３ボ一ト２位置切換弁６９
を操作して、特性（Ｂ）に切り換えれば、本実施例の空
気圧用リリーフ付減圧弁５３の流量・二次正特性は特性
（Ｃ）と同様の特性となり、二次圧はほぼ一定の圧力Ｐ
　Ｏ（ｋｇ　ｆ　／ｃｔｎ２Ｇ）を保つことになる。こ
れは、調整ねじ７１を移動させてピストン７７の摺動距
離りを調整すれは、３ポ一ト２位置切換弁５３ａによっ
て調整室８９へ空気を流入させたとき、ピストン７７の
摺動により特性（Ｂ）のように切り換わるようにするこ
とが出来る。

一方、排圧側については、排気用の切換弁５９により排
気絞り弁５９ａを介して大気開放とされる。

次に、制御回路１１について説明する。制御回路１１は
、主に、操作者の指示を人力する人力部及び所定のデー
タを表示する表示部を有する設定部゛１１ａと、この設
定部１１ａから受けた指示及びエンコーダ１７から受け
た検出信号に基づいて所定の処理を指示する制御信号を
送り、また設定部１１ａに所定の表示を行う演算部１１
ｂと、演算部１１ｂからの制御信号に応じて誘導電動機
３゜電磁クラッチ１５．減圧弁５３．　５５．切換弁５
７．５９をオン・オフ駆動する制御部１１ｃとから構成
されている。これら制御回路１１の機能は通常のシーケ
ンサやコンピュータにて実施可能なものである。

次に、制御回路１１の処理内容を第５図のフローチャー
トに基づいて説明する。第５図のフローチャートは制御
回路１１が行う処理の内、本発明に関する部分の処理例
を示しているものである。

本処理が開始されると、まず初期設定がなされる（ステ
ップ２００）。初期設定では、空気圧回路７を作動させ
て、エンコーダ１７が正常に検出信号を出力するか否か
を判定したり、更に続けて誘導電動機３を駆動し、ロッ
ド２５を所定の位置まで移動させて、誘導電動機３の異
常がないかチエツクするとともに次の動作のための位置
決めをする処理等が実行される。空気圧回路７の作動方
法は後述する。位置決めにはエンコーダ１７の検出信号
の他に、図示していないがリミットスイッチを設けて、
口・ンド２５の所定位置存在を決定してもよい。

次に指示が終了したか否かが判定される（ステップ２１
０）。指示が未終了、または未指示であれば、指示人力
処理がなされ（ステップ２２０）、設定部１１ａからの
人力信号に基づいて、演算部１１ｂは処理手１１１ｆｆ
ｌの設定を行い、ＲＡＭ等に記憶すると共に設定部１１
ａに表示する。更に人力や訂正があれはステップ２１０
にで否定判定されて、再度指示人力処理（ステップ２２
０）が実行される。

指示作業が終了すれは、その設定内容に応じてロッド２
５のストローク制ｉ卸がなされる（ステップ２３０）。

ここで、ロッド２５のストローク制御について、第４図
及び第１図に基づいて、空気圧回路７、誘導電動機３及
び電磁クラッチ１５の動きについて説明する。

第１図に示すように、この空気圧回路７は、圧力源５１
と、前述した空気圧用リリーフ付減圧弁５３．５５（以
下減圧弁とも呼ぶ）と、３ボ一ト２位置切換弁５７，５
９（以下切換弁とも呼ぶ）と、から構成されでいる。ま
た、第４図に示すように、減圧弁５３．５５は、各々の
流量に対する二次正特性が、特性（Ａ）と特性（Ｂ）と
に切り換わるようにハンドル８１と調整ねじ７１によっ
て既に調整されているものとする。尚、本空気圧回路７
における、減圧弁５３と減圧弁５５との二次正特性は同
一のものでもよく、異なるものでもよく、直進駆動力出
力部１の適用状態により種々選択・調節されるものであ
る。ただ、その特性の切り換えの原理は同一であるので
、これ以降も特に区別せずに、第４図のグラフの特性（
Ａ）、（Ｂ）によって説明する。

演算部１１ｂが制御部１１ｃを介して出力する駆動信号
が、直進駆動力出力部１のロッド２５を前進方向（図左
１１ＩＩＩ）へ移動させるものであった場合は、ボー）
３１．３３に対する空気圧の供給◆排気操作は次のよう
になされる。以下６弁５３ａ。

５５ａ、５７．５９（７）ソレノイド５３ｂ、５５ｂ。

５７ｂ、５９ｂの駆動操作は制御回路１１が自動的に行
っているものである。

既になされた″ｕＪ朋設定（ステップ２００）では、全
弁５３ａ、５５ａ、５７．５９がオフ状態で、かつシリ
ンダ２１のピストン２３の両側の圧力を含めたロッド２
５にかかる力はつり合った状態で、停止しているとする
。

まず切換弁５９をオン操作して、スピード調整用の排気
絞り弁５９ａを介してシリンダ２１内の空気が排出され
るように、ポート３１を開放するとともに、減圧弁５３
の切換弁５３ａを同時にオンに切り換えて、減圧弁５３
の二次正特性が第４図の特性（Ａ）から（Ｂ）に切り換
える。こうすると、流量が変化しても一定の二次圧を保
つ。従って、図においてピストン２３の右側に流量にか
かわらず一定の空気圧がかかることとなり、かつ左側は
大気開放であるので、ロッド２５は左側に移動、即ち前
進することになる。この間、制御回路１１はエンコーダ
１７の回転量（直進量と比例関係）からロッド２５のス
トローク量をチエツクしている。所定ストローク量に近
付いたことを判定すると、ロッド２５を停止するための
処理を（）う。

ロッド２５の停止ヒは次のように行われる。即ち、切換
弁５９をオフとし、それと同時に減圧弁５３の切換弁５
３ａをオフに切り換える。この結果、減圧弁５３の二次
正特性は第４図の特性（Ａ）に再度切り換わる。従って
ピストン２３の両側は同一圧力となって、ピストン２３
が停止しロッド２５も停止する。勿論、ロッド２５に常
に一定の負荷が加わっている装置であれば、その負荷に
応じた差圧がピストン２３の両側になくてはならないの
で、その場合は、減圧弁５３．５５の与える二次圧特性
は上記と異なり、所定の差圧がある。

実際にピストン２３の両側の圧力がバラン、スし、ピス
トン２３が停止するには、減圧弁５３への空気の排出が
なくてはならないため、切換弁５３ａへの切換信号出力
時点からある程度の遅延時間が経過することが必要であ
る。従って、この遅延時間の間にピストン２３は移動し
てしまう（つまりオーバーランがある）ことから、制御
回路１１側では、その遅延時間中のピストンの移動を考
慮してオフの切換信号出力をしている。即ち、ロッド２
５が所定ストローク量の少し手前で停止あるいはほぼ停
止するように、オフの切換信号の出力タイミングをエン
コーダ１７の検出値から決定している。

次に誘導電動機３で精密に位置決めするための処理がな
される。

即ち、電磁クラッチ１５がつながれ、誘導電動機３がエ
ンコーダ１７の検出信号に応じて、駆動される。尚、誘
導電動機３は予め回転させておき、電磁クラッチ１５の
みでトルク出力のオン・オフ制御をしてもよい。このと
き、移動するピストン２３の前進側の空気圧力は上昇し
ようとし、その反対側は下降しようとするが、減圧弁５
３．　５５が常に設定圧になるように調節するので、ピ
ストン２３の移動には支障はない。

上述したごとく、空気圧のバランスによるロッド２５の
ス）　ｌｆｆ−り速度及びストローク量の精密な調節は
、空気の圧縮性のため困難である。しかし、誘導電動機
３等の電動機は元来、回転トルクがきわめて安定してお
り、気体圧シリンダに較べて格段の安定性を示し′Ｃい
る。従って所望の回転速度で安定して移動させることが
でき、エンコーダ１７等のセンサを用いれば更に所望の
回転位置に正確に停止できるものでもあるので、空気圧
による移動番停止操作に比較して格段に精密なストロー
ク速度及びストローク量の調節が可能となる。

本実施例では、誘導電動機３は減速機１３を介して回転
力を出力しているので、更に高トルクで、かつ低回転速
度であることから、更に高安定のロッド２５の移動を可
能としている。従って、より正確なストローク制御が可
能である。

所定のストローク量での停止はエンコーダ１７の検出値
を観測しつつ、フィードバック制御りこよって行っても
よい。また回転電動機３による移動であるので、常に安
定した移動・停止運動を行う。

従って、運動部分の慣性力を考慮すれば、フィードバッ
ク制御を用いなくとも、オープンループ制御でも十分で
ある。またこの方が経済的でもあり、制御も簡単となる
。即ち、所定ストローク量の直前の精密に決定された位
置で、回転電動機３の駆動をオフあるいは電磁クラッチ
１５をオフとし、そこから所定ストローク量までは予想
するあるいは予め測定しておいた慣性力のみで移動し正
確に所定ストローク量で止めるようにしてもよい。

この所定ストローク量にロッド２５が到達した場合、そ
の位置を固定維持するため、別途口・ンド２５のグリッ
プ装置を設け、ロッド２５をグリップしてもよい。グリ
ップ装置としては空圧駆動あるいは電磁駆動グリップ装
置等の公知のものを用いることが出来る。また、完全に
ロッド２５が停止してからグリップするのではなく、今
だロッド２５が慣性力で移動している時に、エンコーダ
１７にで所定ストローク量であることが検出された瞬間
にグリップしてロッド２５を固定するようにしてもよい
。こうすれば慣性力による移動量の不安定要因（経時変
化等）を極力抑えることが出来て、更に精密な位置決め
制御が可能となる。

またグリップ装置以外に位置の固定維持に有益な装置と
して、送りネジ４１の回転を止める公知の電磁ブレーキ
を用いても良い。

こうして、所定のストローク量にロッド２５が到達した
と、エンコーダ１７の検出順に基づいて確認すると、次
に他の処理が開始される（ステップ２４０）。例えは、
ロッド２５の作動端部２５ａにバイトが取り付けられて
いる場合、液切削加工物を回転させたりする操作等がな
される。

次に処理が終了したか否かが判定される（ステップ２５
０）。まだ、指示されている処理が残っている場合は、
ステップ２３０の処理に戻る。処理が終了するまで、ス
テップ２３０，２４０の処理が繰り返され、すべて終了
すれは再度ステップ２１０．２２０に戻り、指示人力処
理を実行する。

以上の処理例はロッド２５の前進の場合であったが、ロ
ッド２５が後退する場合は、切換弁５３ａ、５５ａ、５
７＋　　５９及び誘導電動機３の操作は逆の操作とすれ
はよい。

本実施例は、上述のごとくに構成されているので、迅速
にロッド２５を移動させる場合は、空気圧回路７にて行
うことができ、精密にロッド２５のストローク量調節や
速度調節をする場合は、誘導電動機３にて行うことが出
来る。

第２図に示した、直進駆動力出力部１、誘導電動機３、
回転−直進変換部５、減速機１３、クラ″ッチ１５及び
エンコーダ１７の構成の他の実施例として、第６図〜第
８図のように構成することが出来る。

第６図の第２実施例は、誘導電動＠３０１が減速機３０
３、電磁クラ・ンチ３０５を介してエンコーダ３０７及
び回転−直進変換機構に連結している点は、第１実施例
とほぼ同一である。第１実施例と異なる点は、直進駆動
力出力部３０９が回転−直進変換機構を内設している点
である。即ち、シリンダ３１１内部のピストン３１３及
びロッド３１５の中心部分に設けられている摺動孔３１
７内部に納まるように送りネジ３１９が配置されている
。この送りネジ３１９は先端部３１９ａがスライド回転
メタル３２１にて支持され、摺動孔３１７内で回転しな
がら前進・後退方向に移動可能にされている。また摺動
孔３１７の開口部分には送りネジ３１９に螺合するナツ
ト３２３が固定されている。このことにより、誘導電動
機３０１が回転力により送りネジ３１９を回転すれは、
ナツト３２３を介してピストン３１３がシリンダ３１１
内で摺動して移動する。従ってロッド３１５も前進ある
いは後退する。シリンダ３１１は円筒状であるので、こ
の誘導電動機３０１による送りネジ３１９の回転の際の
ロッド３１５の回転を防止する機構を採用している。即
ち、ロット３１５の作動端部３１５ａ近傍に、アーム３
２５を突設させ、そこに回転止めバー３２７をロッド３
１５に並行に設け、シリンダ３１１の外壁を突出させた
部分に設けたガイド孔３２９に、その回転止めバー３２
７を摺動可能に挿入させている。ガイド孔３２９には摩
耗防止にメタル処理がなされてる。

またシリンダ３１１には、ピストン３１３を挟んで空気
圧回路７へ接続される２つのポート３３１．３３３が設
けられている。

第２実施例はこの様に構成されているために、第１実施
例と同一の機能を備えながら、コンパクトに構成されて
いるので、各種の装置に適用しても装置の小型化に貢献
することが出来る。

次に第７図は第３実施例を示す。ここで誘導電動機４０
１．減速機４０３、電磁クラッチ４０５、及びエンコー
ダ４０７の構成及び関係は第２実施例とほぼ同様である
ので説明は省略する。

本実施例は第１実施例のごとく直進駆動力出力部４１１
と、回転−直進変換部４１３とを協えているが、第１実
施例と異なる点は、■送りネジ４１５が、第２実施例の
ごとく片側のロッド４１７ａの内部に挿入され、その人
口のナツト４１８に螺合するように構成されている点で
あり、■更に、口・ンド４１７の回転防止のために、回
転−直進変換部４１３内部の回転止めピストン４１９の
一部に穿設されメタル処理されたガイド孔４２１に、回
転−直進変換部４１３内部に軸方向に設けられている回
転止めバー４２３が、摺動可能に挿通されている点であ
る。ロッド４１７は、直進駆動力出力部４１１のボート
４２５．４２７に対する空気圧を、前述のような空気圧
回路７にて制御することにより、ピストン４２９を摺動
させて、移動制御することができる。また、誘導電動機
４０３による、ロッド４１７の移動制御は、電磁クラッ
チ７１０５をつなぐことにより、第２実施例と同様な作
用により実施することが出来る。

次に第８図は第４実施例を示す。ここで誘導電動機５０
１、減速機５０３、電磁クラッチ５０５、及びエンコー
ダ５０７の構成及び関係は第２，３実施例とほぼ同様で
あるので説明は省略する。

第１〜第３実施例と異なるところは、０２枚の長方形の
フレーム板５０９，５１１が、２本のガイドバー５１３
．５１５及び図示しない連結用バーによりフレームとし
て組み立てら・れており、■その両フレーム板５０９．
５１１に送りネジ５１７が回動自在に軸支されており、
■シリンダ５１９が一方のフレーム板５０９に固定され
ている点であり、更に、０２本のガイドバー５１３．５
１５に摺動自在に把持し並行移動可能なスライド部材５
２５が設けられている点である。このスライド部材５２
５には、ナツト５２７が設けられていて、送りネジ５１
７が螺合しているので、スライド部材５２５の直進と送
りネジ５１７の回転との運動の変換が可能となっている
。従って、シリンダ５１９のボート５２９．５３１を空
気圧回路７へ接続すれば、第１実施例と同一の操作でピ
ストン５２１と一体のロッド５２３を移動させ、作動端
部５２５ａの位置を調節できる。また、電磁クラッチ５
０５がつながっていれば、誘導電動機５０１の回転によ
り、送りネジ５１７を回転させて、スライド部材５２５
を精密に前進・後退制御させることか出来る。スライド
部材５２５の一部に作動端部５２５ａを設けておけば、
他の装置の駆動装置として適用できる。

尚、各実施例において、ロッドの停止の際に、その位置
を確実に固定するために、同時に電磁クラッチ及び誘導
電動機を駆動して、その位置を維持するように逆トルク
を与えるように制御してもよい。また、特に上記のよう
な特別な減圧弁を設けずとも、誘導電動機を同時に駆動
して、その安定性をロッド２５の動きに加味して、作動
空気の圧縮性に起因する口・ンドの急激な移動あるいは
異常な動きを抑えるように制御してもよい。

上記実施例では、回転電動機として誘導電動機を用いた
が、この他、よく知られた電動機、例えば同門電動機、
直流電動機、整流子電動機、サーボモータ、ステッピン
グモータ等が用いられる。

この内、−船釣に用いられている誘導電動機、同期電動
機、直流電動機、整流子電動機は、安価であり構造も簡
単で制御もオン・オフ制御だけでよいので、全体も簡単
で安価な構成の回転電動機付気体圧シリンダ装置を実現
することが出来る。勿論、サーボモータ、ステッピング
モータを用いれは、エンコーダ１７などはなくても、速
度制御については実施可能である。

上述した実施例では、シリンダ２１内の圧力制御はロッ
ド２５移動時には加圧側を第４図に示す（Ｂ）特性に制
御して同一圧力を維持するようにし、排圧側を大気開放
に制御するとともに、ロッド２５停止時は、両者とも（
Ａ）特性に制御したが、他の実施例として、次のような
減圧弁により異なる圧力制御をしてもよい。

即ち、第９図の断面図に示すような空気圧用リリーフ付
減圧弁を用いて制御する場合について説明する。図示す
るように、空気圧用リリーフ付減圧弁６００は、前記空
気圧用リリーフ付減圧弁５３と同様に、調整本体部６０
２．ダイアフラム６０３及び弁本体部６０４からなる減
圧弁本体６゜５と、切換機構に用いられる３ボ一ト２位
置切換弁６０７とから構成されているが、前記空気圧用
リリーフ付減圧弁５３と較べて、その構成は以下の点て
相違する。

■調整本体部６０２の中空のピストン６２３には、その
下端面に凹部６２３ａが形成されており、この凹ｇ１≦
６２３ａと対向するボンネット６２１の端部のはねｌ１
ｍ６２１ａとの間に戻しはね６３３が配設されている。

戻しばね６３３は、調整ばね６２８によって設定される
二次圧の設定圧が低い（場合によってはＯｋｇ　ｆ　／
ｃｔｎ２Ｇ）場合にも、ピストン６２３の復帰時の応答
性を良好に保つために設けられている。

■ダイアフラム６０３に組み付けられたリリーフ弁６３
２には、弁本体部６０４側に延出された摺動軸部６３４
が形成されており、この摺動軸部６３４に第２弁体６３
６が摺動自在に外嵌されている。この第２弁体６３６は
、減圧弁本体６０５に設けられた排気ポート６３８と二
次圧室６４２との間を連通・遮断するもの−Ｃあり、ば
ね６４３により弁座６４４方向に付勢されている。尚、
第２弁体６３６には、圧力バランスをとるために、弁体
孔６３６ｂが設けられている。

■リリーフ弁６３２の摺動軸部６３４の先端にはねし部
が形成されており、ここにステム６４９が固定されてい
る。ステム６４９は、第１弁体６４５の上端の弁頭６１
Ｌ　５　ａに当接されでおり、二次圧を受けて移動する
ダイアフラム６０３の動きに応じて、第１．第２弁体６
４５，６３６を駆動する。

以上のように構成された空気圧用リリーフ付減圧弁６０
０は、前記空気圧用リリーフ付減圧弁５３と同様に、切
換弁６０７の動作により流量・二次正特性が切り換わる
が、更に二次圧が変動したとき次のように動作する。

二次圧が設定圧より低くなった場合には、ダイアフラム
６０３が受圧する力および第１弁体６４５のはね６４７
の付勢力の和と、はね６２Ｂの付勢力どのバランスが崩
れるから、リリーフ弁６３２は押し下げられる。この結
果、第１弁体６４５が押し下げられ、−次「室６４１か
ら二次圧室６４２に高圧の空気が流れ込み、二次圧は直
ちに上昇し設定圧に調圧される。

一方、二次圧が設定圧より高くなった場合には、リリー
フ弁６３２に作用する力のバランスが逆に崩れ、リリー
フ弁６３２は上方に移動する。この結果、第２弁体６３
６が押し上げられ、二次圧室の高圧の空気は大量に排気
ボート６３８側に排気され、二次圧室６４２の圧力は直
ちに低下して設定圧に調圧される。前記空気圧用リリー
フ付減圧弁５３では、二次圧が設定圧より高くなった場
合の調圧は、オリフィス４２ａからリリーフ弁３２を抜
けた空気が更にブリード孔２２ａを通って大気に逃げて
いくことによりなされたが、これと較べて、本実施例の
減圧弁６００での調圧は極めて迅速である。

第１０図に基づいて、この空気圧用リリーフ付減圧弁６
００を用いた空気圧回路について更に説明する。第１０
図は上記空気圧リリーフ付）減圧弁６００　（６００ａ
、６００ｂ）を用いた空気圧シリンダ操作回路を示す空
気圧回路図である。図示するように、この空気圧シリン
ダ操作回路は、第１図に示した構成と同様に、圧力源６
５０と、空気圧用リリーフ付減圧弁６００ａ、６００ｂ
と、３ボー１−２位置切換弁６０７ａ、６０７ｂとを備
えると共に、更に空気圧シリンダ６′６０にピストンロ
ッドグリップ機構６６０ａを有している。また３ポ一ト
２位置切換弁５７．５９に該当するものは備えていない
。油の部分は同一・なので省略する。

この減圧弁６００ａ、６００ｂを・改正側から二次圧制
に空気が流れる場合の流量・二次正特性を第１１図（Ａ
）に、また、二次圧側から排気側に空気が流れる場合の
特性を第１１図（Ｂ）に、各々示す。図示するように、
切換弁６０７ａ、６０７ｂを切り換えたとき、特性線Ｐ
ＡもしくはＰＢ、特性線ＱＡもしくはＱＢに切り換わる
よう、ハンドル６２５と調整ねり６２０は調整されてい
るものとする。尚、減圧弁６００ａおよび減圧弁６００
ｂは、正６Ｍには、ピストンロッド６６１にかかる加重
Ｗとピストンロッド６６１の両側の受圧面積の差による
力の差（推力差）とを考慮して、その二次圧が調整され
ている。

以上のように構成された空気圧回路において、切換弁６
０７ａ、６０７ｂを共にノーマル位置ＤＷに切り換え、
その流量・二次正特性を低圧側（第１１図（Ａ）、　　
（Ｂ）の特性ＰＡ、ＱＡ側）としたとき、空気圧シリン
ダ６６０のピストンロッド６６１に作用する力はバラン
スし、ピストンロッドグリップ機構６６０ａによりピス
トンロッド６６１が静止されているものとする。

この状態から、空気圧シリンダ６６０にてロッド６６１
を移動さぜる場合は、次のようになされる。

即ち、グリップ機構６６０を解除すると共に、切換弁６
０７ａを位置ＵＰ側に切り換えると、減圧弁６００ａは
加圧側、減圧弁６００ｂは背圧側となり、減圧弁６００
ａの流量・二次正特性は第１１図特性ＰＢ側に切り換わ
る。この結果、ピストンロット６６１は下降を開始する
。ピストンロッド６６１の下降に伴い、減圧弁６００ａ
を介してピストンロッド６６１の上室に空気が流れ始め
るから、その圧力は第１１図（Ａ）点ＡＯから点ＰＢｔ
に変化する。一方、ピストンロッド６６１の下室の空気
は減圧弁６００ｂを介して流れ、背圧側となるその圧力
は、第１１図（Ｂ）点ＡＯから点Ｑ　Ａ　ｔ、に変化す
る。この結果、空気圧シリンダ６６０のピストンロッド
６６１は両圧力ＰＢｔ。

ＱＡｔの差（正確には、各圧力とその受圧面積との積で
ある推力および加重Ｗ）に応じた速度で下降されること
になる。この場合、迅速に下降することとなる。

一方、切換弁６０７ａを位置ＤＷに保持したまま、切換
弁６０７ｂを位置ＵＰ側に切り換えると、減圧弁６００
ｂ側が加圧側どなり、流量・二次正特性は第１１図（Ａ
）特性ＰＢに切り換わる。また、減圧弁６００ａは背圧
側となり、その流量・二次正特性は第１１図（Ｂ）特性
ＱＡに切り換わる。この結果、ピストンロッド６６１は
迅速に上昇される。

以上説明したように、空気圧用リリーフ付減圧弁６００
ａ、ｂを用いた空気圧回路によれは、空気圧シリンダ６
６０のシリンダ口・ンド６６１をスムースに移動・停止
・再起動することができる。

これは、空気の流量が大きな場合でも小さい場合でも、
空気圧用リリーフ付減圧弁６００ａ、ｂが二次圧の調圧
を極めて＠感に行ない、その二次圧を、ハンドルによっ
て設定した圧力（設定圧）に常に調整し、しかも切換弁
６０７を切り換えることにより、流量・二次正特性を切
り換えて、この減圧弁６００を全く空気が流れていない
状態から所定流量流れる状態としたときの二次圧を所定
の圧力に調整することができるからである。

更に、本構成例では圧力制御を採用しているので、スピ
ード調整用の排気絞り弁を用いた背圧側。

一方式の空気圧回路（第１図）と較べて、ピストンロッ
ド６６１の移動をスムースに行なえるという利点がある
。即ち、排気絞り弁５７．５９を用いた方式では、下降
を比較的ゆっくりしたスピード（中間的速度）で行なお
うとすると、スピードコントロール用の排気絞り弁５７
．５９の紋りを小さくしなけれはならず、このため下降
移動の開始は、比較的遅くなりがちである。これに対し
て、本構成例では圧力制御を採用しているため、応答性
良く下降を開始し、このような問題は生じないのである
。

また、下降のスピードは減圧弁６００ａの高圧側の流量
・二次正特性により、一方上昇のスピードは減圧弁６０
０ｂの高圧側の流量・二次正特性により、各々別個に調
整することができる。甲乙こ、途中停止の場合、背圧制
御方式では排気されてしまうのに対し、ピストンロッド
両側室の圧力は維持されるので、制御が簡単になり、省
エネルギーになるという利点も得られる。

尚、本構成例の減圧弁６００を用いた空気圧回路では、
両減圧弁６００ａ、６００ｂとも低圧側の流量・二次正
特性とした場合にシリンダ６６０のエアバランスをとる
よう構成したが、両弁共に高圧側を選択した場合にエア
バランスをとるよう構成してもよい。この場合には、低
圧側の特性に切り換えたときのばね６３３の付勢力を所
望の値に調整する必要があるから、第１２図の空気圧用
リリーフ付減圧弁７００に示すように、調整ねじ７２０
を設け、ピストン６２３の後退距離ＬＢを調整するとい
った構成により実現することができる。高圧でバランス
させた場合には、一方の切換弁６０７ａ　（もしくはｂ
）を位置ＤＷに切り換え、その減圧弁６００ａ（もしく
はｂ）の流量・二次正特性を第１１図（Ｂ）特性ＱＢか
らＱＡに切り換える。減圧弁６００ａ、ｂを介して空気
が流れ始めるから、背圧側の圧力は点ＢＯから点ＱＡｔ
に変化し、加圧側の圧力は点ＢＯから点ＰＢｔに変化す
る。この結果、ピストンロッド６６１両側の圧力の関係
（ＰＢｔ　＞ＱＡｔ　）によって、シリンダ６６０のピ
ストンロッド６６１は低圧側に移動されることになる。

このように高圧側でバランスをとると、停止・作動の応
答性が高くなると共に、省エネルギーにも貢献する。

次に、その他の空気圧用リリーフ１号減圧弁の構成例に
ついて説明する。第１３図、第１４図は、その空気圧用
リリーフ付減圧弁の構成例を示す断面図である。この減
圧弁８００は、ダイアフラム８０３に取り付けられたリ
リーフ弁８３２と、すリーフ弁８３２の下方向先端に当
接された弁体８３０とを備える。図から了解されるよう
に、二次圧が設定圧を下回ると、弁体８３０・はリリー
フ弁８３２により押し下げられ、二次圧は急速に上昇す
る。一方、二次圧が設定圧を越えると、リリーフ弁８３
２が上方に移動して弁体８３０から離れ、二次圧は急速
に低下する。また、３ポ一ト２位置切換弁８０７の切換
によりピストン８２３が距離したけ移動して、流量・二
次圧特性が切り換えられのは、既述した他の構成例と同
様である。

また、第１４図に示すように、空気圧用リリーフ付減圧
弁９００の弁本体部として、ばね９１０により反対方向
に付勢された２枚の弁座９２２゜９２４を、リリーフ弁
９３２の先端に摺動可能に取り付けた構成としてもよい
。この減圧弁９００でも既述した構成例と同様に作動す
る。

以上、いくつかの空気圧用リリーフ付減圧弁構成例につ
いて説明したが、本発明に用いられる空気圧用リリーフ
付減圧弁はこうした構成例に同等限定されるものではな
く、例えは切換機構とじて油圧を用いた構成、あるいは
モータ、ソしノイド等のアクチュエータにより、空気圧
用リリーフ付減圧弁のピストンを直接摺動させる構成等
、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。

第９図〜第１４図に示した減圧弁や空気圧回路を用いて
次のような制御が可能である。

即ち、前述したごとく、第１の制御例として、切換弁６
０７　（８０７，９０７）の切換による加圧側特性変化
を、前述したように減圧弁６００（７００，８００，９
００）を調節して、第１１図（Ａ）のごとく、ＰＡ特性
とＰＢ特性とのように設定し、ロッド６６１の移動時に
加圧側の圧力を上昇するようにしてもよい。即ち、想定
される加圧側空気流量ｔが供給されている場合に、ＡＯ
からＰＢｔ　　（ＡＯ＜ＰＢｔ）に変化するようにして
もよい。こうすることにより、ロッド６６１の迅速な移
動開始が可能となる。

第２の制御例として、ロッド６６１停市時は両方とも高
圧側とし、移動時は排圧側を低圧側に切り替えてもよい
。

即ち、第１１図（Ａ）に対応する排圧側の特性図は第１
１０図（Ｂ）のごとくであり、ロッド６６１停止時（あ
るいは誘導電動機３による微速移動時）には、両方とも
特性ＰＦ３（ＱＢ）に設定されて圧力はＢＯて同一であ
る。しかし空気圧による移動時には、排圧側の特性をＱ
Ａに切り替えて、圧力をＢＯからＱＡｔ　　（ＢＯ＞Ｑ
Ａｔ　’）に変化するようにする。逆に停止時（あるい
は誘導電動機３による微速移動時）は排圧側をＱ　Ａ　
ｔ、からＢＯに切り替える。このようにすると、低圧か
ら高圧への圧力変化は一般的に迅速であるので、−層応
答性のよい停ＬＬ（または誘導電動機３による微速ｆ多
重力への弓１継）が可自旨となる。

また第３の制御例として、第２の制御例の構成に切換弁
５７．５９を組み合せて、空気圧による移動速度を２段
切り替えとしてもよい。Ｈｏち、急速にロッド６６１を
空気圧にて移動させる場合は、切換弁５７．５９を大気
開放に切り替えて迅速な移動を実施し５、ある程度所定
のストロークに近付いて、誘導電動機３の微速駆動に切
り替える直前にその仲介動作として、上記第２の方法に
て空気圧にてゆっくりと移動させてもよい。

また第４の制御例として、第３図の減圧弁５３゜５５も
含めて、ロッｔ”２５．６６１の停止時（あるいは誘導
電動機３による微速移動時）においても、摩擦力を考慮
して、加圧側をピストン２３゜６６１が移動しない程度
に排圧側よりも予め昇圧設定しておいてもよい。

尚、空気圧用リリーフ付減圧弁５３．　５５．　６００
．７００，８００，９００の調整ねし７１゜６２０．７
２０，８２０，９２０、ハンドル８１゜６２５．７２５
，８２５，９２５を制御回路１１により公知の手段で回
転駆動し、必要に応じて自動的に調整し上述のような制
御を刊み合わせた制御を実現することができる。

上述した実施例の内、空気圧回路７及び制御回路１１は
直進運動調節手段に該当し、制御回路１１は回転運動調
節手段に該当する。

発明の効果 本発明の回転型ｖＪＪ）ａ何気体圧シリンダ装置は、気
体圧シリンダに対して回転電動機を備え、それぞれが直
進運動調節手段と回転運動調節手段とにより調節される
と共に、運動変換手段により連結されているため、大ま
かな速度調節は直進運動調節手段により、精密な速度調
節は回転運動調節手段により調節すれば、迅速にかつ正
確にピストンロッドを制御できる。しかも、オイルを用
いていす、回転電動機を使用しているので、補條等も簡
単で効率的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す回転電動機付気体圧シ
リンダ装置の概略系統図、第２図はその主要ｇｌ（の一
部の詳細を示す部分断面図、第３図は空気圧用リリーフ
付減圧弁の断面図、第４図は実施例における流量と二次
正特性との関係を表すグラフ、第５図は制御回路が実施
する処理のフローチャー１・、第６図は第２実施例の概
略系統図、第７図は第３実施例の概略系統図、第８図は
第３実施例の概略系統図、第９．１２，１３．１４図は
空気圧用リリーフ付減圧弁の他の構成例の断面図、第１
０図はその空気圧旧リリーフ付減圧弁を適用した空気回
路図、第１１図（Ａ）、（Ｂ）はその空気圧用リリーフ
付減圧弁の一調整例における流量と二次正特性との関係
を表すグラフである。 １．４１１・・・直進駆動力出力部 ３．３０１，４０１．５０１ ・・・誘導電動機（回転駆動力出力部）５．４１３・・
・回転−直進変換部 ７・・・空気圧回路　　　　　１１・・・制御回路２１
．３１１，５１９．６６０・・・空気圧シリンダ２３．
３１３，４２９，５２１・・・ピストン２５．３１５，
４１７，５２３．６６１・・・ロッド４１．３１９，４
１５．５１７・・・送りネジ３９．３２３，４１８，５
２７・・・ナツト代理人　弁理士　定立　勉（ほか２名
）大 第４図 流！　　（１／ｍ１ｎ） 第 図 第９図 第１１図 （Ａ） （Ｂ） 流量 第１０図 ゝ６００ｂ 第１２図 第１３図 第１４図 排気

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 直進運動するピストンロッドを有する気体圧シリンダと
   、 回転運動する回転電動機と、 直進運動と回転運動とを相互に変換する運動変換手段と
   、 上記気体圧シリンダへの気体の給排によりピストンロッ
   ドのストロークを調節する直進運動調節手段と、 上記回転電動機への電力量の調節により、上記運動変換
   手段を介して上記ピストンロッドのストロークを調節す
   る回転運動調節手段と、 を備えたことを特徴とする回転電動機付気体圧シリンダ
   装置。