JPH0262967A - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPH0262967A JPH0262967A JP1104824A JP10482489A JPH0262967A JP H0262967 A JPH0262967 A JP H0262967A JP 1104824 A JP1104824 A JP 1104824A JP 10482489 A JP10482489 A JP 10482489A JP H0262967 A JPH0262967 A JP H0262967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pendulum
- sensor
- bonding wire
- vehicle
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Air Bags (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Automotive Seat Belt Assembly (AREA)
- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、車両又は車両部分の許容位置からずれた際に
制御信号を発しかつ地１コ質量を有する振り子がエツチ
ングされている単結晶材料製の保持体を持つ、車両、特
に自動車、にある乗客保護装置を例えば自動的に作動さ
せるための、加速度測定用センサに関する。
制御信号を発しかつ地１コ質量を有する振り子がエツチ
ングされている単結晶材料製の保持体を持つ、車両、特
に自動車、にある乗客保護装置を例えば自動的に作動さ
せるための、加速度測定用センサに関する。
加速度検出器において、地震質量を持つ振り子の振動を
、装着されたハウジングにより制限することは公知であ
る。それによってＮ幅は制限されるが、しかし振動する
質量が容易に完全に又は一部停止する。しかしセンサの
この損出は、組み込まれた状態で検査できない。
、装着されたハウジングにより制限することは公知であ
る。それによってＮ幅は制限されるが、しかし振動する
質量が容易に完全に又は一部停止する。しかしセンサの
この損出は、組み込まれた状態で検査できない。
本発明の課題は、上述の欠点を回避することである。
この課題は、振り子上に接着線が延びており、この接着
線が保持体の両端に固定されておりかつ閉じられた電気
回路の一部であることによって解決される。
線が保持体の両端に固定されておりかつ閉じられた電気
回路の一部であることによって解決される。
請求項１の特徴を持つ、本発明によるセンサには、過負
荷の１祭に、加速された地震質量が接着線により振動振
幅を制限されるという利点がある。過負荷が、接着線の
強度により予め定められた限界値を超えた場合は、この
線が切れかつ電気回路が遮断される。それによってセン
サの作動能力は組み込まれた状態でも容易に検出可能か
つ表示可能である。さらにセンサの製造の際に既に接着
線の簡単な操作によりセンサの損傷の危険が減少されか
つ製造過程が改善される。
荷の１祭に、加速された地震質量が接着線により振動振
幅を制限されるという利点がある。過負荷が、接着線の
強度により予め定められた限界値を超えた場合は、この
線が切れかつ電気回路が遮断される。それによってセン
サの作動能力は組み込まれた状態でも容易に検出可能か
つ表示可能である。さらにセンサの製造の際に既に接着
線の簡単な操作によりセンサの損傷の危険が減少されか
つ製造過程が改善される。
特許請求の範囲の実施態様項に記載された手段により、
請求項１に挙げられたセンサの有利な別の構成が可能で
ある。
請求項１に挙げられたセンサの有利な別の構成が可能で
ある。
本発明の実施例が図面に示されておりかつ以下に詳細に
説明されている。
説明されている。
第１図において、１０でシリコン小片が示されており、
このシリコン小片はセンサ１１のハウジングを形成して
いる。シリコン小片の表面に、＠震質量として使われる
センサ１１の振り子１２がエツチングされているので、
外枠１３が得られる。この場合、異方性及び選択性エツ
チング技術を用いることができる。さらにＩＣ製造から
従来公知のその他の製造方法を用いることも可能である
。振り子１２は、この振り子を弾性的に枠１３に吊して
いる突片１４が生ずるように、表面からエツチングされ
ている。この突片１４はねじり突片又は曲げ突片として
作用することができる。
このシリコン小片はセンサ１１のハウジングを形成して
いる。シリコン小片の表面に、＠震質量として使われる
センサ１１の振り子１２がエツチングされているので、
外枠１３が得られる。この場合、異方性及び選択性エツ
チング技術を用いることができる。さらにＩＣ製造から
従来公知のその他の製造方法を用いることも可能である
。振り子１２は、この振り子を弾性的に枠１３に吊して
いる突片１４が生ずるように、表面からエツチングされ
ている。この突片１４はねじり突片又は曲げ突片として
作用することができる。
振り子１２の作用する加速及び偏向に比例している突片
１４の変形を測定するために、突片１４上にひずみ測定
条片】５が配置されている。
１４の変形を測定するために、突片１４上にひずみ測定
条片】５が配置されている。
このひずみ測定条片の測定信号は、図示してない評価回
路へ゛導かれる。振り子１２の突片１４とは反対側の端
部の範囲に接着線１７が張られており、この接着線の両
端：よ接着パッド１８によってシリコン小片１０上に取
り付けられている。
路へ゛導かれる。振り子１２の突片１４とは反対側の端
部の範囲に接着線１７が張られており、この接着線の両
端：よ接着パッド１８によってシリコン小片１０上に取
り付けられている。
しかし接着線１７を任意の他の個所にも振り子１２上に
張ることができる。接着線１７は閉じられた電気回路の
一部であり、この電気回路の、接着パッド１８に簗続さ
れた導線１９は詳細には示されていない。この電気回路
をひずみ測定条片１５の電気回路に接続することができ
又は独自の１報装置へ導くことができる。
張ることができる。接着線１７は閉じられた電気回路の
一部であり、この電気回路の、接着パッド１８に簗続さ
れた導線１９は詳細には示されていない。この電気回路
をひずみ測定条片１５の電気回路に接続することができ
又は独自の１報装置へ導くことができる。
センサ１１に加速力が作用すると、振り子１２が不作動
位置から偏向せしめられる。それによって突片１４はひ
ずみ測定条片１５の範囲において曲げられ又はねじられ
、それによってこのひずみ測定条片に、比例する抵＠変
化が生ぜしめられる。この抵抗痩化は、図示してない評
価回路で評価されかつさらに制御装置へ送られる。
位置から偏向せしめられる。それによって突片１４はひ
ずみ測定条片１５の範囲において曲げられ又はねじられ
、それによってこのひずみ測定条片に、比例する抵＠変
化が生ぜしめられる。この抵抗痩化は、図示してない評
価回路で評価されかつさらに制御装置へ送られる。
この制御装置は、例えばベルト緊張装置、エアバッグ、
ロールパー、警告点滅装置、中央拘束装置あるいは又制
動機用固着防上装置のような自動車の乗客保護装置を作
動させる。さらに固着防止装置及び／又は車台調整装置
を制御することも可能、である。振動する振り子１２に
とって接着線１７は機械的ストッパである。この接着線
の長さ、すなわちこの接着線のループの高さは振り子１
２の所望の最大振動高さに合わされている。過負荷の際
に、すなわち加速力が高すぎる場合は、振り子Ｉ２は接
着線１７によってその振幅を制限される。この過負荷を
さらに超えた場合は、接着線１７が切れかつ電気回路が
遮断される。それによって警報装置が作動せしめられ、
この警報装置はセンサ１１の破壊を検出しかつ表示する
ことができる。
ロールパー、警告点滅装置、中央拘束装置あるいは又制
動機用固着防上装置のような自動車の乗客保護装置を作
動させる。さらに固着防止装置及び／又は車台調整装置
を制御することも可能、である。振動する振り子１２に
とって接着線１７は機械的ストッパである。この接着線
の長さ、すなわちこの接着線のループの高さは振り子１
２の所望の最大振動高さに合わされている。過負荷の際
に、すなわち加速力が高すぎる場合は、振り子Ｉ２は接
着線１７によってその振幅を制限される。この過負荷を
さらに超えた場合は、接着線１７が切れかつ電気回路が
遮断される。それによって警報装置が作動せしめられ、
この警報装置はセンサ１１の破壊を検出しかつ表示する
ことができる。
図面はセンサの斜視図である。
１０・・・保持体、１１・・・センサ、１２・・・振り
子、１７・・パ接着線
子、１７・・パ接着線
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 車両又は車両部分の許容位置からずれた際に制御信
号を発しかつ地震質量を有する振り子（１２）がエツチ
ングされている単結晶材料製の保持体（１０）を持つ、
車両、特に自動車、にある乗客保護装置を例えば自動的
に作動させるための、加速度測定用センサにおいて、振
り子（１２）上に接着線（１７）が延びており、この接
着線が保持体（１０）の両端に固定されておりかつ閉じ
られた電気回路の一部であることを特徴とする、加速度
測定用センサ。 ２ 接着線（１７）が振り子（１２）の自由端の範囲に
配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のセ
ンサ。 ３ 接着線（１７）が保持体（１０）上の接着パツド（
１８）に取り付けられていることを特徴とする、請求項
１及び２のうち１つに記載のセンサ。 ４ 保持体（１０）がシリコン小片であることを特徴と
する、請求項１ないし３のうち１つに記載のセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8805846U DE8805846U1 (de) | 1988-05-03 | 1988-05-03 | Sensor |
| DE8805846.8 | 1988-05-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262967A true JPH0262967A (ja) | 1990-03-02 |
Family
ID=6823646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1104824A Pending JPH0262967A (ja) | 1988-05-03 | 1989-04-26 | センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0262967A (ja) |
| DE (1) | DE8805846U1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629937U (ja) * | 1992-04-27 | 1994-04-19 | 株式会社村上開明堂 | インナーミラー脱落機構 |
| JPH0829446A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Honda Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
| CN100335905C (zh) * | 2001-09-04 | 2007-09-05 | 东京毅力科创株式会社 | 具有可动质量块的微结构 |
| US11987494B2 (en) | 2020-11-24 | 2024-05-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wire-bond damper for shock absorption |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023117638A1 (de) | 2023-07-04 | 2025-01-09 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Fahrzeugvorrichtung zur Detektion einer externen Krafteinwirkung auf ein Fahrzeug, Informationssystem, sowie Fahrzeug |
-
1988
- 1988-05-03 DE DE8805846U patent/DE8805846U1/de not_active Expired
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1104824A patent/JPH0262967A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629937U (ja) * | 1992-04-27 | 1994-04-19 | 株式会社村上開明堂 | インナーミラー脱落機構 |
| JPH0829446A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Honda Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
| CN100335905C (zh) * | 2001-09-04 | 2007-09-05 | 东京毅力科创株式会社 | 具有可动质量块的微结构 |
| US11987494B2 (en) | 2020-11-24 | 2024-05-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wire-bond damper for shock absorption |
| KR20240112795A (ko) * | 2020-11-24 | 2024-07-19 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 충격 흡수를 위한 와이어-본드 댐퍼 |
| US12358783B2 (en) | 2020-11-24 | 2025-07-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wire-bond damper for shock absorption |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE8805846U1 (de) | 1989-09-07 |
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