JPH0262972A - テープキャリアの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリアの検査￥ｉ置に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化・
薄形化・軽量化実装として又、カメラ・ＯＡ種機器ど特
殊形状機器への実装の必要性から。

ＩＣ実装はテープキャリア方式が本格的実用段階に入っ
てきた。テープキャリアは、ＩＣチップの電極配列に合
わせたリードパターンが、スプロケットホールとデバイ
スホールを持つプラスチックフィルム上に形成されたも
のである。このようなテープキャリアは、連続的にテー
プ状に形成されていて、各デバイスホール部に、ＩＣチ
ップを例えばバンプ方式でボンディングする。このテー
プキャリアのリードパターンとＩＣチップの各ｆｆｉ［
パッドを接続したものを、テープ状のままピッチ送りし
て、順次各チップの電気特性を検査する装置が要望され
ている。又、上記のように、テープキャリアにＩＣチッ
プを装着し、テープ状のままＩＣチップの電気特性の検
査をする装置は、特公昭６２−５７５号、特開昭５７−
４９２４５号公報に開示されている。又上記のようなテ
ープキャリア状のままの検査を含む装置として特開昭５
３−２７３６４号公報に開示されている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来の装置等には、次のような問題点が
あった。

電子部品を装着したテープキャリアを検査装置で連続自
動検査する場合、予めテープキャリアを所定の位置にセ
ットする必要がある。このセットは、テープキャリアを
巻装した供給リールと、空の収納リールを夫々回転軸に
設置する。そして。

オペレータが供給リールから被検査体のテープキャリア
の先端部を持って、テープキャリアが所定のルートを通
るように設定し、空の収納リールに巻きつける。このよ
うに、検査装置へのテープキャリアの初期設定を、オペ
レータが長時間かけて行っていた。すると、装置の稼働
率が低下する問題があった。又、設定をオペレータが行
なうと、設定ミスが発生することがあり、テープキャリ
アに傷を付けろ等の悪影響を与え、ひいては歩留まりの
低下を招いていた。

この発明は上記点に対処してなされたもので、テープキ
ャリアの設定を容易にし、このことにより、作業時間を
短縮し装置の稼働率の向上が達成できる。又、設定ミス
を減少でき歩留まりの向上を得るテープキャリアの検査
装置を提供するものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） この発明は、電子部品を装着したテープキャリアを２つ
のリール間で移送して検査するテープキャリアの検査装
置において、少なくとも上記１つのリールにテープキャ
リアと接続する予備テープを設けたことを特徴とする。

（作用効果） 電子部品を装着したテープキャリアを２つのリール間で
移送して検査する装置において、少なくとも上記１つの
リールにテープキャリアと接続する予備テープを設けた
ことにより、テープキャリアの設定を容易にし、このこ
とにより、作業時間を短縮し、装置の稼働率の向上が達
成できる。又。

設定ミスを減少でき、歩留まりの向−ヒが得られる。

（実施例） 次に、本発明装置をＩＣを装着したテープキャリアを検
査するプローブ装置に適用した一実施例について図面を
参照して説明する。

第３図に示すように、被検査体であるテープキャリア（
１）は、幅例えば３５ｍｍ厚さ倒えば１２５ｔＩ！ｍの
プラスチックフィルム例えばポリイミドフィルムにより
構成されている。このテープキャリア（υの長手方向の
両側縁部■には、所定の間隔を設けて多数の長方形状か
ら成る貫通孔例えば角形スプロケッＩ−ホール■が設け
られている。さらに、長手方向の中央帯位置即ち、゛電
子部品例えばＩＣチップ（イ）の実装位置にも、所定の
間隔を設けて貫通孔であるデバイスホール（図示せず）
が例えば長方形状に設けられている。

このデバイスホールには、テープキャリア（１）からデ
バイスホールに向けて、接続端子（図示せず）が設けら
れている。この接続端子は、ＩＣチップ（へ）の電極パ
ッド配列に対応する如く配設されている。又、テープキ
ャリア（υには、後述するプローブ体との電気的接触を
行なう電極端子■が設けられている。この電極端子〇と
上記接続端子を接続する如く、導電性のリードパターン
０が形成されている。このようなテープキャリア（１）
の−上記デバイスホールには、ＩＣチップ（イ）がイン
ナーリードボンディング法等により、装着され、この時
、ＩＣチップ０）の各電極パッドと上記各対応するリー
ドパターン０が電気的に配線されている。

上記のようにＩＣチップ０）を装着したテープキャリア
（１）を検査するプローブ装置の構成を次に説明する。

このプローブ装置には、第１図に示すように、供給リー
ル■が回転軸■を中心に回転自在に設けられている。上
記供給リール■には、ＩＣチップ（へ）を実装したテー
プキャリア（ト）が巻装される。このテープキャリア（
１）は、検査部（９）およびこの検査部（９）の前後に
設けられたテープキャリア送り用スプロケット（１０）
を介して回転軸（１１）に設けられた収納リール（１２
）に巻かれる。上記スプロケット（１０）は、図示しな
い駆動装置であるモータに係合していて、このモータを
正逆方向に選択的に回転することにより、所望の回転方
向に回転できる。

又、スプロケット（ｌＯ）には、テープキャリアωのス
プロケットホール（３）の対応した位置に突起例えばト
ラクター（１３）が設けられている。このトラフタ−（
１３）は、スプロケットホール（３）に挿入した時、か
み合う状態に設けられている。そして、このトラクター
（１３）の送り方向（１４）側と上記スプロケットホー
ル■の送り方向（１４）側との形状が１位置合わせしな
がら送ることができるようになっている。このようなス
プロケット（１０）は、検査部０の前後に設けられてい
る。検査に際しテープキャリアωを送り方向（１４）に
送るには、送り方向（１４）に対し、検査部０の後方に
設けられているスプロケット（１０）の駆動により行な
う、この時、前方に設けられたスプロケット（１０）は
フリー状態としておく、又、テープキャリア■を、送り
方向（１４）とは逆方向に巻き戻すには、上記とは逆に
、前方のスプロケット（ｌＯ）の駆動により行ない、後
方のスプロケット（１０）はフリー状態としておく。

又、上記検査部■には、第２図に示すように、テープキ
ャリア■の送り方向（１４）順にまず、テープキャリア
田上方向に、発光／受光センサ（１５）が設けられてい
る。このセンサ（１５）で、テープキャリア■の縁部■
に設けられたスプロケットホール■の送り数を検知する
ことにより、テープキャリアωのアライメントが行なわ
れろ。次にプローブユニット（ｌＧ）が配設されている
。このプローブユニット（１６）には、絶縁性の合成樹
脂で形成された絶縁ノλ板（１７）の中央に開口（１８
）が設けられている。

そしてこの開口（１８）から放射状に、夫々絶縁状態で
プリント配線されている。このプリント配線は、一端を
被検査体検査装置であるテスタ（図示せず）に接続する
端子と、もう一端を接触端子であるプローブ体例えばプ
ローブ針（１９）と接続する如く構成されている。又、
旧記プローブ釦（１９）は、テープキャリア（υに形成
された電極端子０の配列パターンに対応する如く配列さ
れている。そして、上記プローブユニット（１６）の開
口（１８）、）−、方向には、多数のプローブ針（１９
）とテープキャリア（１）の電極端子０との接触を確認
するための顕微鏡（２０）又はＴＶカメラが設けられて
いる。又、プローブユニット（１６）との下方対向位置
で、テープキャリア■の下方向には、テープキャリア（
１）を載置固定するための載置台（２１）が設置されて
いる。このＪＦ９．置台（２１）の上面には、バキュー
ム孔（図示せず）が設けられている。このバキューム孔
は図示しない真空装置にチューブ等を介して接続されて
いる。このことにより、載置台（２１）の上面に載置さ
れたテープキャリア（１）を真空吸着可能とされている
。この吸着において、テープキャリア■の両端部■位置
を吸着するのが望ましい９又、載置台（ｚｌ）は、図示
しない昇降機構に係合されていて、テープキャリア０）
に対して雇直に上下方向に移動できる。さらに、載置台
（２１）はテープキャリアＵ）の送り方向（１４）に対
して、直角及び平行に水平面でのスライド自在とされて
いる。次にプローブユニット（１６）で各テープキャリ
ア（υを接続検査後に、不良品に印を付加するマーキン
グ装置（２２）が設けられている。このマーキング装置
（２２）は、例えばパンチングにより穴を開けるか、即
乾性のインクやテープを付加するものでも何れでも良い
。又、上記ＩＣチップ（へ）が装着接続されたテープキ
ャリア０）が、供給リール■及び収納リール（１２）に
巻かれる際、上記ＩＣチップ（へ）及びテープキャリア
（１）の保護の目的で、テープキャリア（１）の間にス
ペーサ（２３）が巻かれている。このスペーサ（２３）
は、上記テープキャリア（］）と同じ幅例えば３５ｍｍ
に設けられている。

このスペーサ（２３）の両端即ち、上記テープキャリア
■が有するスプロケットホール■と対応する位置に突起
が表裏交互に設けられている。この突起によりテープキ
ャリア（ト）を供給リールω及び収納リール（１２）に
巻く際に、上記ＩＣチップ（イ）に他の物が接触するこ
とを防止する構成になっている。

又、スペーサ（２３）は、テープキャリア（１）の移動
に従って、テープキャリア（ト）を離れて供給リール■
から例えば２箇所に設けられたガイドローラ（２４）を
介して収納リール（１２）に巻き取られる。この巻き取
られた時点でスペーサ（２３）は、再び検査部テープキ
ャリア（１）と接続し保護をする構成になっている。上
述したように、テープキャリア０）をリール・ツウ・リ
ール方式で搬送し、ＩＣチップ０）の電気特性を検査す
る装置が構成されている。

さらに上記装置は、テープキャリア■の初期設定が容易
なように構成されている。

収納リール（１２）は、常にプローブ装置に設置され収
納専用とされている。この収納リール（１２）には、検
査用テープキャリア（１）を迎えろための、例えば予備
テープ（２５）が設定されている。この予備テープ（２
５）は、第３図のようにト記テープキャリア■と同様に
、幅例えば３５１ｍ厚さ例えば１２５ｔｍのプラスチッ
クフィルム例えばポリイミドフィルムにより構成されて
いる。そして、予備テープ（２５）の両側縁部（２６）
には、所定の間隔を設けて、長方形状からなる多数の貫
通孔例えばスプロケットホール（２７）が設けられてい
る。そして、この予備テープ（２５）は、一端が収納リ
ール（１２）の回転中心位置に固定され、もう一端がフ
リー状態、即ち１Ｍ端（２８）とされている。この遊端
（２８）と、テープキャリア（１）の先端を接続するよ
うになっている。この接続位置（２９）は、テープキャ
リア■の所定の移送ルートで、供給リール■とスプロケ
ット（１０）の間とされている。又、接続位置（２９）
には、予備テープ（２５）を−時固定するためのクラン
プ機構（図示せず）が設けられている。このクランプ機
構で、予備テープ（２５）を−時固定した状態か又は、
接続位置（２９）で遊端（２８）を、フリー状態で、テ
ープキャリア（ト）と予備テープ（２５）の接続を行な
う、この接続は、予備テープ（２５）の遊端（２８）と
、テープキャリア■の先端を１例えば接着テープや接着
剤やバネ鋼等で接続するのが望ましい、又、テープキャ
リア■を迎える予備テープ（２５）と同様に、スペーサ
（２３）を迎えるための予備スペーサ（３０）が設けら
れている。この予備スペーサ（３０）は、強度が補償さ
れているものなら何れでも良く、スペーサ（２３）と同
形状、同材質とする必要はない。又、予備スペーサ（３
０）トスペーサ（２３）トノ接続位ｒｆｌ（３１）には
、予備スペーサ（３０）を−時固定するためのクランプ
機構（図示せず）が設けられている。このことにより、
予備スペーサ（３０）を−時固定することができる。さ
らに、予備スペーサ（３０）とスペーサ（２３）の接続
は、例えば接着テープや接着剤やバネ鋼等で行なうのが
望ましい。

以上のようにして、初期設定が容易なようにプローブ装
置が構成されていて、このプローブ装置は、図示しない
制御部により動作制御及び設定制御が行なわれる。

次に、−ヒ述したプローブ装置に、テープキャリア■を
設定し、テープキャリア■に実装されたＩＣチップ０）
を検査する方法を第４図のフロー図を参照して説明する
。

まず、テープキャリア■をプローブ装置へ設定する動作
を説明する。

予め予備テープ（２５）を、接続位置（２９）に設けら
れたクランプ機構（図示せず）に−時固定しておく。こ
の時、予備テープ（２５）を、検査用テープキャリア（
υの所定の移送ルートに従って設定しておく。例えば、
２箇所に設けられたスプロケット（１０）のトラクター
（１３）と、予備テープ（２５）のスプロケットホール
（２７）とが、かみ合った状ＪＰＡとしておく。そして
、検査用テープキャリアα）を巻装した供給リール■を
１回転軸（８）に設置する。

次に、操作者によりテープキュリア（ト）の先端と。

−時固定されている予備テープ（２５）の遊端（２８）
とを接続する。この接続において、接続位置で予備テー
プ（２５）のスプロケットホール（２７）とテープキャ
リアωのスプロケットホール■とのピッチ間隔に、ズレ
が生じないようにする。又、同様に、予備スペーサ（３
０）とスペーサ（２３）を接続位置（３１）で接続する
。そして、テープキャリア（１）の送り用スプロケット
（１０）を回転させる。このことにより、テープキャリ
ア（υを検査部■）に移送し、初期設定が終了する。

次に、検査動作を説明する。

上記初期設定により、テープキャリア■は、所定の検査
位置に設定されている。即ち、検査対象ＩＣチップ（イ
）を実装したテープキャリア（１）が、プローブユニッ
ト（１６）の下方に設定されろ。ここで、載置台（２１
）により、テープキャリア■の裏面を真空吸着する。こ
の状態で、プローブユニット（１６）と載置台（２１）
を上下方向に相対的に近接移動する。

例えば載置台（２１）を所定量上昇する。このことによ
り、各プローブ針（１９）とテープキャリア■の各電極
端子■は、電気的に接触状態となる。この接触状態で、
テスタ（図示せず）とプローブ針（１９）は、電気的に
導通状態のため、テスタで電気特性検査を実行する。こ
の検査結果を、記憶機構例えばプローブ装置に内蔵され
たメモリー機構に記憶する。この後、載置台（２１）を
所定量だけ下降し、各プローブ針（１９）と電極端子０
を非接触状態とする。さらに、載置台（２１）によるテ
ープキャリアα）の真空吸着固定を解除する。この時、
載置台（２１）をさらに下降させて、載置台（２１）と
テープキャリア（υを確実に非接触状態とするのが望ま
しい。このような状態で、テープキャリアωを所定量だ
け送り方向（１４）にピッチ送りする。この時、センサ
（１５）でテープキャリア■の移送量を検知し、この検
知結果に基づいて、所定量だけ移送する。ここで、検査
動作を実行する。そして、検査を終了したＩＣチップ（
イ）に、検査結果に基づいて、不良と判定されたものに
ついて、マーキング装置（２２）でマークを付加する。

このマークは、ＩＣチップ（へ）やリードパターン■及
び電極端子■を避けた、空きスペースに行なう。このよ
うな動作を繰返し、供給リール■に巻かれているものに
ついて、総ての検査を実行する。

上記のような全数検査の終了にともない、収納リール（
１２）に巻かれたテープキャリア■を供給リール■に巻
きもどす。この動作は、テープキャリア（１）の検査時
の送り方向（１４）とは、逆方向にテープキャリア０）
を移送する。例えばスプロケット（１０）を逆回転する
ことにより行なう。この巻きもどしにより、検査部テー
プキャリア０）は、供給リール■に巻装される。この時
、テープキャリア■の先端は、接続位置（２９）で、予
備テープ（２５）の遊端（２８）と接続状態にある。こ
の接続状態を操作者が解除し、予備テープ（２５）の遊
端（２８）を、クランプ機構に一時固定しておく。次に
、供給リール■を回転軸（８）から取り外し、他の未検
査のテープキャリア（１）を巻装した供給リール■を、
上記回転軸（８）に設置する。そして、所定の初期設定
を行ない検査を実行する。

一ヒ述したようにこの実施例によれば、少なくとも１つ
のリールにテープキャリアと接続する予備テープを設け
たことにより、装置へのテープキャリアの設定詮容易と
し、このことにより作業時間を短縮し、装置の稼働率の
向上が達成できる。又。

操作者等の設定ミスを減少でき、ひいては歩留まりの向
上が得られる。

特に、収納リールに迎え用の予備テープを設け。

収納リールを専用収納リールとして使用する場合。

１つのリールの検査終了毎に、テープキャリアを供給リ
ールに巻きもどすことになる。すると、次工程にリール
ごと移され、所定の処置を行なう際。

この時の走行方向と、検査時の走行方向が同一となり、
処置が容易となる。即ち、テープキャリアの管理が容易
となり、内辺な計算処理をしなくて済む。

この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、例
えば予備テープは１幅、厚さ、スプロケットホールが、
検査する装置に対応し、所定の強度を持つものなら何れ
でも良い。

又、予備テープは、供給リール、収納リールの何れに設
けても良く、両方に設けて良いことは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一実施例を説明するためのプロー
ブ装置の構成図、第２図は第１図装置の検査部の説明図
、第３図は第１図装置で検査するテープキャリアと予備
テープとの接続の説明図、第４図は第１図装置での検査
装置を示すフロー図である。 １・・・テープキャリア　　９・・・検査部１０・・・
スプロケット　　　２５・・・予備テープ２８・・・遊
端　　　　　　　２９・・・接続位置特許出願人　　チ
ル東北株式会社 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子部品を装着したテープキャリアを２つのリール間で
   移送して検査するテープキャリアの検査装置において、
   少なくとも上記１つのリールにテープキャリアと接続す
   る予備テープを設けたことを特徴とするテープキャリア
   の検査装置。