JPH0263178A - 速度制御方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は可動機械エレメントに付着されたパイラテラル
ピエゾ変換器を経済性および信頼性を得るべく利用する
ことにより、それらエレメントにトルクを与えそしてそ
のふれまたは速度に応答するようにそれら変換器を応用
することに関する。

〔従来の技術〕

リングレーザジャイロスコープ（以下ｒＲＬＧＪという
）についてはその空胴内を逆方向に伝播する２本のレー
ザービームが存在することは知られている。これら２本
のビーム間°の周波数差が慣性回転を表わす。周知のロ
ックイン効果の問題を避けるためにＲＬＧをその軸に関
して振動させる。

３軸ＲＬＧについては３個のＲＬＧを、それらすべてに
より分ち合う１本の軸のまわりで「振動」させるように
する技術が米国特許第 ４．４７７．１８８号明細書に示されている。上記の「
振動」はＲＬＧの本体に与えられる角度振動であり、ロ
ックイン効果を緩和する有効な手段である。

この振動を行わせるために、従来では複数の変換器を含
む振動ばね懸架機構が用いられている。

これら変換器は周知のように電気信号を物理的な動作に
変換すると共に物理動作を電気信号に逆変換する２方向
性、すなわちパイラテラル形のピエゾ素子でつくられて
いる。ＲＬＧの振動レートが適正振幅となるようにする
ため振幅制御手段カリｌいられる。現在、振動レートの
測定には振動ばね懸架機構内に１個または２個の変換器
をＲＬＧ本体の動作の検出のためのセンサとして用いて
おり、これは上述のようにこれら変換器がパイラテラル
であってセンサとしてもアクチュエータとしても使用出
来るからである。センサとして使用される場合にはこの
変換器はピックオフ素子として知られ、振動用に用いら
れるときはトルカ−素子として知られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

これら従来の帰還方式についていくつかの問題がある。

その内置も大きな問題はピックオフ変換器が故障したと
き生じる。１個のピックオフ変換器帰還方式の場合には
、それが故障すると懸架方式がそれを発振状態に維持す
るに必要な再生を与えるピックオフ信号を発生しないの
みならずそのレートの目安がなくなるため、ＲＬＧが動
作しなくなることである。

２個のピックアップ変換素子を有する帰還系については
ピックオフ素子の１個が故障すると帰還信号の半分が失
われる。その結果制御系はピックオフ信号を元の振幅に
もどすために、より大きい信号でトルカ−素子を振動さ
せるように応答する。

そのようなオーバードライブが可能であればこの系は振
動動作の所要振幅の２倍となってしまう。

しかしながら、しばしばそのような大きな振幅は計器の
性能だけでなくオーバードライブ維持のための電子回路
の能力あるいは駆動される変換器が動作しつづける能力
に有害な効果を与える。同様なことが３個以上のピック
オフ素子を用いる場合にも生じる。

これまでは最大で２個のピックオフ変換素子が用いられ
ている。これは、ピックオフセンサにそれ以上の変換素
子を用いるとＲＬＧの適正振動が困難となるためであり
、その理由は駆動信号に応じて異なるトルカ−変換素子
の変形の加算により振動が生じるためにＲＬＧを振動さ
せるのに充分な数の変換器がないことになるからである
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明はＲＬＧにトルクを与えるためおよびそれの速度
を検出するために変換素子の夫々を利用することにより
上記問題を解決する。ＲＬＧの動作に応じて振動ばね機
構の変換素子により発生されるバック（ｂａｃｋ）電流
が存在するために本発明がこれを達成出来るのである。

もしこのバック電流成分が変換素子の他の成分から分離
出来ればＲＬＧの動作は確認出来る。

従って本発明の目的はすべての変換素子をトルカ−およ
びピックオフ素子として用いるようになった振動ばね懸
架機構を提供することである。

本発明の他の目的は機械エレメントにトルクを与えそし
てそのトルクレートに応答するように可動機域エレメン
トにパイラテラルピエゾ素子を装着することである。

〔作　用〕

本発明においては可動要素ではない不動部材の電流から
トルカ−変換素子内の実際の電流を減算して帰還ループ
または発振ループを閉じるためのピックオフ信号とに用
いるように可動要素を振動させる。その結果、変換素子
のすべてがトルカ−素子およびピックオフ素子として使
用出来る。このように、変換素子を１０個用いる振動ば
ね懸架機構ではその内の１個の変換素子が故障すると、
ＲＬＧ自体が動作不能となる従来のものと比較して帰還
信号の劣化は１０分の１となる。

〔実施例〕

第１図は軸４に沿って整合する従来の３軸リングレ一ザ
ジヤイロスコープ組立体２の分解図である。２個の振動
ばね懸架機構６と８が軸４に沿ってＲＬＧ組立体２のそ
れぞれの側に配置されている。これら機構６と８は組立
体２の対応する面に固定されているハブ１０と１２に夫
々固定される。

機構６と８の夫々はハブ１０．１２への装着を容易にす
るために中央の環形開口６Ａ、８Ａを釘する。

第１図においては夫々のばね懸架機構について対応する
中央環形開口から対応するばね懸架機構のリムへと伸び
る複数の輻１２がある。説明の便宜上、機構８の輻につ
いてのみそれを示している。

第１図には示していないが夫々の幅は第２図に対するよ
うにピエゾ変換素子（Ｐｉ−ＰＩＯ）に固定している。

これまでは、１個または２個の変換素子を除き、他の素
子はトルクコマンド信号に対する反動により、ＲＬＧの
ロックインの防止のためにジャイロブロック２を振動さ
せるためばね機構８を励起するために用いられる。

このばね懸架機構の動作の詳細を第２図の半ブロツク図
で示す。第２図において機構８は１０個の輻８ａ−８ｊ
を有する。この実施例では輻の数は１０個であるがその
数は任意である。

第２図において、変換素子ＰＩ−Ｐ８はトルカ−増幅器
１４の出力に並列とされ、素子Ｐ９．Ｐ１０はピックオ
フ増幅器１６の入力に並列となっている。ピックオフ増
幅器１６の出力は、ＡＧＣ回路１８ａとトル・カー増幅
器１４の入力に接続する出力をもつマルチプライヤ回路
１８ｂからなる従来の正帰還β回路１８に接続する。要
するにピックオフ増幅器１６の出力はある定数、すなわ
ち利得、と乗算されてトルカ−増幅器１４に送られ、こ
の増幅器１４がその増幅された信号に応じてばね懸架機
構８の夫々の輻８ａ−８ｈに固定したピエゾ素子ＰＬ−
Ｐ８の駆動のための、電圧の形の信号を発生する。この
２素子ピックオフ懸架機構についてはピエゾ索子Ｐ９と
ＰＩＯが夫々輻８１と８ｊに固定される。前述のように
、そのパイラテラル特性により、ピエゾ素子Ｐ　１−Ｐ
８はトルカ−増幅器１４の出力電圧に応答して変形し、
それによりばね懸架機構８を振動させ、それによりリン
グレーザジャイロスコープ組立体のジャイロブロックを
振動させる。

他方、検出素子として用いる場合にはピエゾ素子Ｐ９と
Ｐｌｏがジャイロブロックの検出された動作（ばね懸架
機構への機械的に結合された帰還振動により）に応答し
てその動作を電気信号に変換し、それがピックオフ増幅
器１６の入力に送られる。ジャイロブロックの動作の検
出に２個のピエゾ素子のみが用いられることから、それ
ら・の素子の一方が故障すると検出信号の５０％が失わ
れる。それ故、その他の故障（検出手段）がなくとも適
正な動作は生じない。検出またはピックオフ素子として
１個のピエゾ素子のみを用いる場合にはより厳しいこと
になる。その場合にはＲＬＧは機能しつづけるようであ
るが、ロックインの効果を改善する手段はない。

第３図は本発明の第１の実施例を示しており、ピエゾ素
子と懸架機構からなる電気機械系は点線２０で囲む等価
回路で置き換えてあり、同様の素子は同じ番号で示しで
ある。

ばね懸架機構、詳細にはその輻に結合したピエゾ素子は
トルカ−増幅器１４からのＶＤのような電圧を受けると
電流１１を発生する。この電流は３つの成分、容量電流
ＣＸ、、有効抵抗電流ＫＱおよびピエゾ素子の変形によ
り生じるバック電流に、θ、の組合わせである。云い換
えると、象限電流かＣＸ１により、同相抵抗成分はＫＱ
から、そして同相電流はＫｐ６１．から生じる。

第３図の実施例は更に、増幅器１４の出力とライン２４
との間に接続する１次巻線２８および増幅器１４の出力
に接続するがそれとコンデンサＣＸ２の間となる２次巻
線３０を有する変流器２２を含み、コンデンサＣＸ２の
他端は接地される。２次巻線３４はピックオフ増幅器１
６を接地点の間に接続する。

同じ（第３図において第２図で述べたマルチプライヤ回
路１８ｂとＡＧＣ回路１８ａは正帰還回路１８の一部で
ある。点線２０内の要素はコンデンサＣＸ　、抵抗ＫＱ
および電流源に、θ６で示しである。抵抗ＫＱは実際の
抵抗ではなく、懸架機構の有限１ｉｔ！Ｑ（共振品質因
子）により必要とされる実効電力を考えてこの系内の散
逸素子を表わす。

第３図の夫々の要素は従来のものである。例えば変流器
２２は２個の１次巻線と１個の２次巻線を有する従来の
オーディオ用変圧器でよい。トルカ−増幅器１４は高圧
または中圧増幅器であり、ピックオフ増幅器１６は従来
の増幅器である。

第３図の回路の動作は次の通りである。トルカ増幅器１
４の出力電圧Ｖ、は点線２０内に、すなわちピエゾ素子
とばね懸架機構に送られる。この実施例では前述のよう
にピエゾ素子のすべてが並列となっている。要素ＣＸ、
、ＫＱおよびに、ｅ、は振動懸架系に結合されるときに
並列接続されるピエゾ素子の等価回路である。ＣＸ１は
これら素子の静電容量のバルク値であり、Ｋ　Ｑは抵抗
値である。（この抵抗は電力の散逸に必要であり、振動
懸架系で発生されるエネルギーは機構内の摩擦損、幅の
動作に対する空気抵抗および、ピエゾ素子をして幅を駆
動させるための接着剤の非弾性動作、等による熱である
。）この等価回路において抵抗を流れる電気により同量
の熱が発生する。

ここでＰ−Ｖ２／Ｒであり、Ｐは電力、Ｖ−ＶＤおよび
Ｒ−ＫＱである。Ｑが高ければ高い程電力損は少いこと
が知られており、これはＱが増加すると電力が小さくな
るような電力式の分母にＲがあるためである。Ｋは機械
損機構を１個の電気損機構すなわち抵抗の値に変換する
ための変換なわちピエゾ素子の角度−位の時間微分に応
答してピエゾ素子により発生する電流の和を表わす電流
発生器である。Ｋ　は較１Ｆ因子（アンペア（うジアン
）−１−秒であり、複数のピエゾ素子についてのもので
ある。キルヒホフの法則にもとづく計算を行うと次のよ
うになる。

１２−ＪωｄＣＸ２　Ｖｏ　　　　　　　　　　（２）
但し、１１−巻線２８の電流 １２−巻線３０の電流 ω６−ラジアン周波数。

変流器２２の作用により、巻線２８に電流１１が、巻線
３０に電流１２が流れ、これら巻線が逆方向（点３０，
２８　　で示すこれら巻線の極性ｐ を参照のこと）であると、この回路の負荷が適１Ｅであ
りこれら巻線の巻回比を考えると電流１２１　が巻線３
４に生じる。例えばｃｘ２−ｃｘ。

■ としｖＤ／ＫＱが小さいとすれば、この系の機械共鳴の
Ｑが高いから１２　１１””Ｋｐ９ｄとなり振動懸架系
の角度レートを表わす値となる。

第３図の実施例はコンデンサＣＸ２により象限電流をつ
くりこれが変流器２２でピックアップされて１２−ｉｔ
をつくり、これがピックオフ増幅器１６に送られる。云
い換えると、ＣＸ２−ＣＸ　であればコンデンサＣＸ　
ｔを通りライン２４に沿う電流成分はコンデンサＣＸ２
を通りライン２６に沿う電流と等しくなる。このように
、電流ｉ　から１１を減算して得られる電流はビニゾ索
子の変形率によりつくられるバック電流であり、これは
ジャイロブロックの動作速度に比例する。

第３図に示す結果としての電流はピックオフ増幅器１６
の入力に加えられ、この増幅器が電流−電圧増幅器とし
てそれをβ回路１８に送られるべき電圧Ｖ　に変換する
。周知のようにβ回路１８のＡＧＣ１８ａとマルチプラ
イヤ−回路１８ｂは電圧Ｖ　によりトルカ−増幅器１４
への帰還信号■、を発生し、それにより第３図の実施例
の閉じた帰還ループをつくる。トルカ−１４は前述のよ
うにこの信号Ｖ　により電圧ＶＤを発生し、この電圧Ｖ
　がピエゾ素子を発振させて電流１１をつくる。

前述のように、第３図では説明の便宜上ＣＸ２をＣＸ１
と等しくし、巻線２８に対する巻線３０の巻回比を１と
している。しかしながら実際にはＣＸ２はＣＸ１より小
とされる。その理由は、ＣＸ２とＣＸ１の容量負荷が有
効トルクをつくらない電流を供給するため増幅器１４の
効率を低下させるからである。ＣＸ２を小とすることに
より、合計容量負荷ＣＸ２＋ＣＸ１はＣＸ１のみに与え
られるものより著しく大きくはならない。しかしながら
、変圧器の磁心内での等価磁束打消しを行うために巻線
２８に対する巻線３０の巻回比は容量比ＣＸ２／ＣＸ１
の逆数である。

本発明が異なる電流間の差を検知することによるもので
あることを認識の上で、本発明の第２の実施例は第４図
に示すように変流器２２の代りに電流検出抵抗を利用す
る。第４図において、変流器の代りに検流抵抗ＲとＲＴ
が点４０とコンデンサＣの間および点４０と点４４の間
に夫々そう人される。第４図においてもトルカ−増幅器
１４は点４０に対し電圧Ｖ、を与える。この実施例では
これら検流抵抗を用いるから点線４６で囲むばね懸架系
により、電圧ＶＤに応じて発生される電流はトルカ−容
量ＣＸ　とバック電流！Ｂ−に、θｄのみを含み、これ
らは並列となったばね懸架ヒンジのすべてのピエゾ素子
の組合わせで発生される。前述のように、第３図にＫ　
Ｑで示す機械損による電流成分は高Ｑシステムでは比較
的小さく、ここでは無視されている。

第３図と同様に、第４図の実施例では容量ＣＸ２の代り
にライン４８に沿ってバックアウト（ｂｕｃｋ　ｏｕｔ
）コンデンサＣを使用する。このように検流抵抗Ｒとバ
ックアウトコンデンサＣは直列とされている。周知のよ
うに、抵抗Ｒによってライン４８から接地点への電流Ｉ
はＲにまたがる電圧降下に変換される。同様に、検流抵
抗Ｒ１による電流１１はＲ□における電圧降下に変換さ
れる。

キルヒホフの法則によれば次のように表わされる。

但し　Ｓ−ｊω ω−ラジアン周波数 （ＳＲＣ＋１） Ｒ−ＮＲＴ、Ｃ−ＣＸ１／Ｎとすれば 実用周波数範囲および本発明の目的にてらし５ＲＴＣＸ
、＜１ 式（８）から明らかなように、懸架機構の速度は電圧Ｖ
ＴとＶの差に比例する。そして２つの電圧があるから、
第４図の実施例では入力にＶとＶＴを受ける差動増幅器
５０を用いている。差動増幅器は入力電圧の差を出力と
して出す。従って、差動増幅器５０は電圧ＶとＶ、を受
けてジャイロブロックの動作に対応する差電圧を発生し
、これが帰還回路１８に送られてトルカ−増幅器１４へ
の信号を与え、部分４６に送られるべき電圧を発生する
。このように、第３図と同様に第４図では一定の振動レ
ートを与える閉じた帰還ループが与えられる。電流差を
直接に測定する代りに第４図では、バック電流ＩＢがジ
ャイロブロックの動作速度に対応することは同じである
が２つの電圧間の差を１１−１定するものである。

第４図の実施例についてはその夫々の要素は第３図と同
様に従来のものである。そして第４図の実施例は勿論夫
々の検流抵抗における電圧降下により等しい大きさの電
圧の打消しという概念に立脚するものである。

〔発明の効果〕

本発明によればピックオフ変換器の故障によるＲＬＧの
動作上の問題が解決される。

２８・・・１次巻線、３０．３４・・・２次巻線、５０
・・・差動増幅器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ジャイロブロックを振動させるための懸架ばね手段
   の板ばねに夫々固定的に結合する複数のピエゾ素子を有
   するリングレーザジャイロスコープ組立体において、下
   記段階からなる、ジャイロブロックを振動させそしてそ
   の動きを検知するための、夫々のピエゾ素子を利用する
   方法。 トルカー増幅器の出力に並列に各ピエゾ素子を電気的に
   接続する段階、 上記トルカー増幅器の出力信号を上記ピエゾ素子に送り
   、ジャイロブロックを振動させるために変形速度をそれ
   に与える段階。これらピエゾ素子は更にジャイロブロッ
   クの容量と動きにより第１電流を発生する段階、 上記トルカー増幅器の出力から接地点に容量手段を接続
   して第２電流を発生する段階、 変圧器手段に上記第１および第２電流を加えて両者間の
   差を表わす第３電流を発生させる段階、及び この第３電流をピックオフ電圧に変換してそれを上記ト
   ルカー増幅器に帰還信号として与える帰還手段に送り、
   ジャイロブロックに最適振動速度を定常的に維持させる
   ための閉じた電気的帰還ループをつくる段階。 ２、前記第１電流は容量性電流成分、実効抵抗成分およ
   び逆電流成分の組合せにより発生される請求項１記載の
   方法。 ３、前記第３電流発生段階は、前記変圧器を前記トルカ
   ー増幅器の出力と電流−電圧増幅器の入力に電気的に接
   続する段階と上記変圧器を前記容量手段に電気的に並列
   に接続する段階とからなる請求項１記載の方法。 ４、前記変換段階は前記第３電流をピックオフ電圧に変
   換するために電流−電圧増幅器を利用する段階からなる
   請求項１記載の方法。 ５、容量性電流成分の容量値と前記容量手段の容量値を
   、トルカー増幅器の出力信号と反応するそれら容量値に
   より生じる電流が打消されるように整合させる段階を更
   に含む請求項２記載の方法。 ６、下記要件から成る、ジャイロブロックを含むリング
   レーザジャイロスコープ用のピックオフおよびドライバ
   装置。 ジャイロブロックを振動させるための懸架ばね手段の板
   ばねに夫々固定的に結合する複数のピエゾエレメント、 ジャイロブロックの容量と動作により第１電流を発生す
   るこれらピエゾエレメントに接続する出力を有し、ジャ
   イロブロックを振動させるためにそれに変形レートを与
   えるべくこれらピエゾエレメントに出力信号を送るトル
   カー増幅器、 このトルカー増幅器に接続して上記出力信号を受けて第
   ２電流を発生する容量手段、 このトルカー増幅器の出力、ピエゾ素子および容量手段
   に電気的に結合して第１および第２電流を受けてそれら
   の差に対応する第３電流を発生する変圧手段、 この変圧手段に電気的に接続して第３電流をピックオフ
   電圧に変換する手段、及び この変換手段に接続してピックオフ電圧を受けてトルカ
   ー増幅器への帰還信号を発生し、それによりジャイロブ
   ロックの最適振動率を一定に維持するように閉じて帰還
   回路をつくる帰還手段。 ７、前記複数のピエゾ素子はトルカー増幅器の出力に並
   列接続し、その出力信号に応じてジャイロブロックを振
   動させるべく変形するように構成され、更にこれら複数
   のピエゾ素子は組合わされて容量性電流成分、有効抵抗
   成分およびバック電流成分を発生する請求項６記載の装
   置。 ８、前記容量手段は容量性電流成分の値とその容量値の
   夫々から生じる、前記トルカー増幅器の出力信号と反対
   する電流が打消されるように上記容量性電流成分の容量
   値と整合するようにトリミングされた容量を有するコン
   デンサである請求項７に記載の装置。 ９、前記変換手段は電流−電圧増幅器である請求項６記
   載の装置。 １０、前記帰還手段は自動利得制御回路と乗算回路とか
   らなる請求項６記載の装置。 １１、ジャイロブロックを振動させるための懸架ばね手
   段の１つの板ばねに夫々固定される複数のピエゾ素子と
   、これらピエゾ素子に接続する出力を有し、ピエゾ素子
   に出力信号を送ってジャイロブロックを振動させるため
   の変形レートをそれらに与えてジャイロブロックの容量
   と動作による第１電流を発生させるトルカー増幅器と、
   トルカー増幅器とピエゾ素子の間に配置されて第１電流
   を電圧降下に変換する抵抗手段と、トルカー増幅器と接
   地点との間に配置されてバック電圧を発生する抵抗とコ
   ンデンサ手段の直列回路と、トルカ電圧とバック電圧を
   受けて減算し、ジャイロブロックの振動を表わす差電圧
   を発生する差動増幅器手段と、この差動増幅器に接続し
   てこの差電圧を受け、トルカー増幅器への帰還信号を発
   生して閉じた帰還ループにジャイロブロックの最適振動
   レートを一定に維持させる帰還手段と、から成るジャイ
   ロブロックを含むリングレーザジャイロスコープ用のピ
   ックオフおよびドライバ装置。 １２、前記複数のピエゾ素子はトルカー増幅器の出力に
   並列に接続してその出力信号に応じて変形しジャイロブ
   ロックを振動させ、組合せとして容量性電流成分とバッ
   ク電流成分を発生する請求項１１記載の装置。 １３、前記容量性電流成分は、前記抵抗手段と共にバッ
   ク電圧と同じ振幅で逆相の成分電圧を発生する、対応電
   流を有する請求項１２記載の装置。 １４、前記帰還手段は自動利得制御回路と乗算回路から
   なる請求項１１記載の装置。 １５、ジャイロブロックと夫々ジャイロブロックを振動
   させるための懸架ばね手段の１つの板ばねに固定された
   複数のピエゾ素子とを有するリングレーザジャイロスコ
   ープにおいて、下記段階からなる、夫々のピエゾ素子を
   ジャイロブロックを振動させそしてジャイロブロックの
   動作を検知するために利用する方法。 複数のピエゾ素子をトルカー増幅器の出力に並列に接続
   する段階、 ジャイロブロックの容量と動作により第１電流を発生す
   る上記ピエゾ素子にトルカー増幅器の出力信号を与えて
   ジャイロブロックを振動させるための変形レートをそれ
   に与える段階、 トルカー増幅器とピエゾ素子の間に抵抗手段をそう入し
   て第１電流を電圧降下し変換する段階、トルカー増幅器
   と接地点間に抵抗とコンデンサ手段の直列回路をそう入
   してバック電流を発生する段階、 電流降下からバック電流を減算してジャイロブロックの
   振動を表わす差電圧を発生する段階、及び この差電圧を帰還手段に送り上記帰還手段がトルカー増
   幅器への帰還信号を発生してジャイロブロックの最適振
   動レートを一定に維持するための閉じた帰還ループをつ
   くる段階。１６、前記第１電流は容量性電流成分とバッ
   ク電流成分を合成してつくられる請求項１５記載の方法
   。 １７、前記減算段階は差動増幅器を、その異る入力にノ
   ック電圧と電圧降下を受けて差電圧を発生するように用
   いることからなる請求項１５記載の方法。 １８、夫々その可動素子に固定した複数のピエゾ素子を
   有する組立体において、各ピエゾ素子をそれに固定され
   た可動素子にトルクを与えそしてそれによる、組立体の
   動作を設定するふれに応答させるために利用する、下記
   段階から成る方法。 第１増幅器の出力にこれらピエゾ素子を並列に接続する
   段階、 第１増幅器から、ふれレートに応じた第１電流を発生す
   るこれらピエゾ素子に出力信号を送り組立体を動かすた
   めのふれレートを与える段階、第１増幅器の出力から接
   地点に容量手段を接続して第２電流を発生する段階、 変圧手段をして第１および第２電流に応じてそれらの差
   を表わす第３電流を発生させる段階、第３電流を電圧に
   変換してそれを、第１増幅器に帰還信号を出す帰還手段
   に送る段階、及び組立体用の最適ふれレートを維持させ
   るための帰還ループを与える段階。 １９、第１電流は容量性電流成分、有効抵抗成分および
   バック電流成分の組合せにより発生される請求項１８記
   載の方法。 ２０、前記変圧手段についての段階は変圧手段を第１増
   幅器の出力と第２増幅器の入力に接続する段階と変圧手
   段を容量手段に並列に接続する段階とから成る請求項１
   ８記載の方法。 ２１、容量性電流成分の容量値を容量手段の容量値と整
   合させる段階を更に含む請求項１９記載の方法。 ２２、その対応する可動素子に夫々固定された複数のピ
   エゾ素子を有する組立体において、夫々の可動素子にト
   ルクを与えると共にそれによる、その組立体を動作させ
   るふれに応答するようにピエゾ素子のすべてを利用する
   ための下記段階から成る方法。 第１増幅器の出力に夫々のピエゾ素子を並列に接続する
   段階、 第１増幅器の出力信号を組立体の動作速度に応じて第１
   電流を発生するこれらピエゾ素子に送り、組立体を動か
   すためのふれレートを与える段階、第１増幅器とピエゾ
   素子の間に抵抗手段をそう入して第１電流を第１電圧に
   変換する段階、第１増幅器と接地点との間に抵抗および
   容量手段の直列回路をそう入して第２電圧を発生する段
   階、 第１電圧から第２電圧を減算し、組立体の動作を表わす
   差電圧を発生する段階、及び 第１増幅器に対する帰還信号を発生して組立体について
   の最適ふれレートを与える電気回路を完成するようにこ
   の差電圧を利用する段階。 ２３、第１電流は容量性電流成分とバック電流成分の組
   合せである請求項２２記載の方法。