JPH0266679U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0266679U JPH0266679U JP14329588U JP14329588U JPH0266679U JP H0266679 U JPH0266679 U JP H0266679U JP 14329588 U JP14329588 U JP 14329588U JP 14329588 U JP14329588 U JP 14329588U JP H0266679 U JPH0266679 U JP H0266679U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plated
- workpiece
- plating solution
- plating
- stirring rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
第１図は本考案に係る鍍金装置の一実施例を示
す説明図、第２図は鍍金装置の全体を示す全体図
、第３図ａ〜ｃは本考案に係る鍍金装置の他の実
施例を示す図、第４図は従来の鍍金装置を示す第
２図相当図、第５図は従来の鍍金装置の攪拌棒を
示す第１図相当図である。 図中、２は鍍金液、３はウエハ、１１，１２は
攪拌棒、１２ａは傾斜辺である。尚、図中同一符
号は同一または相当部分を示す。
す説明図、第２図は鍍金装置の全体を示す全体図
、第３図ａ〜ｃは本考案に係る鍍金装置の他の実
施例を示す図、第４図は従来の鍍金装置を示す第
２図相当図、第５図は従来の鍍金装置の攪拌棒を
示す第１図相当図である。 図中、２は鍍金液、３はウエハ、１１，１２は
攪拌棒、１２ａは傾斜辺である。尚、図中同一符
号は同一または相当部分を示す。
補正 平１．２．２２
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第５行の「１２ａは」という記載
を「１２ｂは」と補正する。
を「１２ｂは」と補正する。
Claims (1)
- 鍍金液の中に被鍍金物と、この被鍍金物に対向
する電極とを漬浸配置し、これらにそれぞれ所定
の電流を流して被鍍金物を鍍金する鍍金装置にお
いて、上記被鍍金物と電極との間に、被鍍金物に
沿つて鍍金液を攪拌する攪拌棒を往復動可能に介
在配置し、この攪拌棒には、鍍金液を被鍍金物に
案内する傾斜案内辺を形成したことを特徴とする
鍍金装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14329588U JPH0266679U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14329588U JPH0266679U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0266679U true JPH0266679U (ja) | 1990-05-21 |
Family
ID=31409989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14329588U Pending JPH0266679U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0266679U (ja) |
-
1988
- 1988-11-01 JP JP14329588U patent/JPH0266679U/ja active Pending
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