JPH02673Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 電磁弁、ダイヤフラム部などの被試験体の溶接
部の洩れテストなどに用いられるリークテスト装
置に関する。

(ロ) 従来技術 従来のリークテスト装置は、真空チヤンバ内に
設けられた被試験体接続用ホルダに被試験体を接
続し、前記ホルダから被試験体にヘリウムガスを
導入する。そして、被試験体の検査個所である溶
接部からのヘリウムのリーク量をリークデテクタ
によつて検出する。

しかしながら、前記被試験体とホルダとの接合
部からヘリウムガスがチヤンバ内に漏洩しやすい
ため、リーク量の測定を高精度にすることができ
ないという欠点がある。

(ハ) 目的 この考案は、被試験体とホルダとの接合部から
漏洩するヘリウムガスに起因するリーク量の測定
精度の低下を防止し得るリークテスト装置を提供
することを目的としている。

(ニ) 構成 この考案は、被試験体にプローブガスを導入し
て、そのリーク量を検出するリークテスト装置で
あつて、内部チヤンバによつて形成される内部真
空室と、内部チヤンバと外部チヤンバによつて形
成される外部真空室とを備え、 前記内部真空室は被試験体とホルダとの接合部
のリークパスに連通し、真空排気手段に接続され
るものであり、 外部真空室は少なくとも被試験体の検査部分を
収納し、真空排気手段とリークデテクタに接続さ
れるものであることを特徴としている。

(ホ) 実施例 第１図はこの考案に係るリークテスト装置の一
実施例の構成を略示した説明図である。

同図において、１は内部チヤンバであつて、こ
の内部チヤンバ１内は内部真空室を形成する。２
は外部チヤンバであつて、前記内部チヤンバ１と
外部チヤンバ２との空間は外部真空室を形成す
る。３は前記内部チヤンバ１および外部チヤンバ
２が載置されるベースプレートである。また４１
〜４５は各構成部品の接合部に設けられるシール
材としてのゴムガスケツトである。

１０は、例えば溶接部１１のシール状態を検査
される被試験体（例えば、電磁弁）である。被試
験体１０は内部チヤンバ１の上部に設けられた孔
から外部真空室に開口しているホルダ２０の接合
部２１に螺着される。しかして、すくなくとも検
査個所である溶接部１１は外部真空室に設けられ
る。

ホルダ２０にはその底部と前記接合部２１に開
口するヘリウムガス導通孔２２が設けられる。し
かして、ゴムガスケツト４４から前記接合部２１
の螺合面にそつて存在する若干の間隙は、導通孔
２２から導入されるヘリウムガスが漏洩する通路
であるリークパスとなり得る。このリークパスと
内部真空室とを連通する小孔２３がホルダ２０の
側壁に設けられる。

３０はベースプレート３の中央部に設けられ、
ホルダ２０を固定する手段であるチヤツクであ
る。このチヤツク３０は、ホルダ２０の下部が挿
入される円筒状の支持部３１と、ホルダ２０に貫
挿されて支持部３１と螺合する螺合蓋３２を含
む。この螺合蓋３２は押圧リング３３を介してゴ
ムガスケツト４５を押圧することにより、ホルダ
２０と支持部３１との間をシーールする。また、
支持部３１にはホルダ２０の導通孔２２にヘリウ
ムガスを導入するガス導入孔５１が設けられてい
る。

一方、内部真空室のベースプレート３には、排
気孔５２が設けられれる。内部真空室はこの排気
孔５２から、バルブ６１を介して真空排気ポンプ
７１によつて真空排気される。

さらに、外部真空室のベースプレート３には、
排気孔５３が設けられる。外部真空室はこの排気
孔５３から、バルブ６２を介して真空排気ポンプ
７２によつて真空排気される。排気孔５３はバル
ブ６３を介してリークデテクタ８０にも接続され
ている。リークデテクタ８０は被試験体１０の溶
接部１１から外部真空室に漏洩したヘリウムガス
の量を検出する。

次に上述の構成を備えた実施例の動作について
説明する。

被試験体１０にヘリウムガスを導入するまえ
に、バルブ６１，６２を開放（バルブ６３は閉
成）して、外部真空室と内部真空室とを差圧がで
きないように真空排気する。次に、バルブ６２を
閉成して、被試験体１０にヘリウムガスを導入す
るとともに、バルブ６３を開放して、被試験体１
０のリーク量を検出する。

このとき、被試験体１０とホルダ２０との接合
部でヘリウムガスの漏洩があつても、このヘリウ
ムガスはリークパスに設けられた小孔２３を通つ
て、内部真空室に導出されるので、外部真空室に
浸入することはほとんどない。

なお、上述の実施例では、１個の被試験体１０
を測定する場合について説明した。しかし、この
考案はこれに限られるものではなく、例えば、第
２図に示すように複数個の被試験体を同時に測定
するものであつてもよい。同図において第１図と
同一部分は同一符号で示している。

(ヘ) 効果 この考案に係るリークテスト装置は、被試験体
とホルダとの接合部から漏洩したヘリウムガスを
導出する内部真空室と、被試験体と検査個所から
の漏洩したヘリウムガスを溜める外部真空室とを
個別に備えるものであるから、被試験体のリーク
量の測定に前者の漏洩ヘリウムガスの影響を受け
ることがない。したがつて、この考案によれば、
被試験体のリーク量の測定を高精度に行うことが
できる。

また、被試験体とホルダとの接合部のリークの
影響を受けることが著しく少ないから、多数の被
試験体を一度に試験できる。したがつて、この考
案によれば、作業能率を向上させ得るという付随
した効果も期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案にかかるリークテスト装置の
一実施例の構成を略示した説明図である。第２図
は複数個の被試験体を測定する場合の実施例を略
示した説明図である。 １…内部チヤンバ、２…外部チヤンバ、３…ベ
ースプレート、１０…被試験体、２０…ホルダ、
２３…小孔、３０…チヤツク部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被試験体にプローブガスを導入して、そのリー
   ク量を検出するリークテスト装置において、 前記リークテスト装置は内部チヤンバによつて
   形成される内部真空室と、内部チヤンバと外部チ
   ヤンバによつて形成される外部真空室とを備え、 前記内部真空室は被試験体とホルダとの接合部
   のリークパスに連通し、真空排気手段に接続され
   るものであり、 外部真空室は少なくとも被試験体の検査部分を
   収納し、真空排気手段とリークデテクタに接続さ
   れるものであることを特徴とするリークテスト装
   置。