JPH0267906A - 円筒面又は円錐面を調査する装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、物品の鏡面反射性の円筒状又は円錐状の反射
面の真円度を調査する装置及び方法に関する。

［発明が解決すべき課題］ 例えば円筒状の鏡又はレンズ、金属製軸受素子の円筒状
表面、又はアキシコンの如き光学素子や金属素子の円錐
状表面等の表面の高精度を調査する必要がある場合があ
る。このような調査は完べきな理想表面に対して実際の
表面がどれだけ一致しているかの調査（すなわち、実際
の表面の真円度の調査）を含む。鏡の表面は固有の鏡面
反射性を有する。レンズの表面は、反射防止の特殊な処
理を施さない限り、入射する光の一部を鏡面のように反
射する。金属軸受素子の表面も鏡面反射性を有する。従
って、表面により反射される光を利用することにより、
例えば鏡やレンズや金属素子の円筒状表面、又は例えば
光学素子や金属素子の円錐状表面を調査することが可能
となる。

本発明の目的は、物品の鏡面反射性の円筒状又は円錐状
の表面の真円度を高精度で調査するための装置及び方法
を提供することである。

［課題を解決す６ための手段／１ひ・１うｌｉｔ＠Ｊ本
発明によれば、フィーゾ干渉計と一緒に使用して、物品
の鏡面反射性の円筒状又は円錐状の反射面の真円度を調
査する装置が提供される。この反射面は軸線を有し、フ
イーゾ干渉計はコリメートされた光線を投射する。調査
装置は、軸線を有する鏡面反射性の円錐状反射面を備え
た部材を具備する。物品の反射面の軸線を部材の円錐状
反射面の軸線に一致させた状態で物品を装着する手段が
設けである。また、部材の円錐状反射面の軸線をフィー
ゾ干渉計から投射されコリメートされた光線に平行にし
この光線を部材の円錐状反射面に入射させる状態で、部
材及び物品を装着するための手段も設けである。部材の
円錐状反射面は、この部材の円錐状反射面から反射され
た光が物品の反射面に入射し、この物品の反射面により
部材の円錐状反射面へ直接的又は間接的に反射せしめら
れるような円錐角を有する。次いで、光は部材の円錐状
反射面によりフィーゾ干渉計の方へ反射せしめられ、フ
イーゾ干渉計により投射された光と部材の円錐状反射面
によりフイーゾ干渉計の方へ反射せしめられた光とが互
いに干渉し、この干渉により生じた干渉縞を前記フイー
ゾ干渉計で検査するようになっている。

本発明の装置は円筒状外表面又は内表面を調査するよう
に構成することができる。円筒状外表面即ち凸面状表面
を調査するように構成した場合、鏡面反射性の円錐状反
射面は内表面であり、すなわち円錐状反射面は凹面状表
面であり、調査すべき物品はこの円錐状反射面を有する
部材の内部に配置される。

円筒状内表面即ち凹面状表面を調査するように構成した
場合、鏡面反射性の円錐状反射面は外表面であり、すな
わち円錐状反射面は凸面状表面であり、部材のこの円錐
状反射面は、　調査すべき物品の内部に配置される。

本発明は、物品の鏡面反射性の円筒状又は円錐状の反射
面の真円度を調査する方法　をも提供する。この方法は
、コリメートされた凝集光を鏡面反射性の円錐状の反射
面上へ軸方向に導き、物品の反射面上で光を反射させる
。調査すべき反射面により鏡面反射性の円錐状反射面上
へ光を直接的又は間接的に反射させ、この円錐状反射面
によす反射せしめられた後の光を円錐状反射面の軸方向
に戻す、軸方向に導かれた光と軸方向に戻された光とを
干渉させる。フィーゾ干渉計により干渉縞を検査して物
品の反射面の真円度に関する情報を得る。

〔実施例コ 第１図ないし第３図に、部材２０を示す０部材２０は平
行六面体のスラブ２２の形をしており、表面２６から裏
面へ貫通する開口２４を有する。

開口２４の壁は円錐状表面２８により画定されている。

円錐状表面２８は、この円錐状表面の円錐角を二等分す
る軸線３０を有する。この実施例においては、円錐状表
面２８の円錐角は９０″′である。部材２ｏはアルミニ
ウムでできており、その円錐状表面２８は鏡面反射性の
表面である。円錐状表面の軸方向長さは、調査すべき円
筒状の物品の長さに少なくとも等しい。

第４図は、第〕−−３図の部材２０を備え、略示したフ
ィーゾ干渉計３４と一緒に使用して、調査すべき物品３
日の鏡面反射性の円筒状反射面３６の真円度を調査する
ための装置３２を略示する。

第５図に示すように、物品３８は反射面３６の円筒体の
中心軸線である軸線３９を有する。

調査装置はベース４０を具備する。調査すべき物品を装
着するための手段はベース４０に固定したスタンド４２
の形をしており、調査すべき物品を固定するアーム４４
を有する。部材２０は、ベース４０を貫通して部材に螺
合するボルト４６によりベース４０に固定される。

スタンド４２は、物品３８の軸線２９を部材２０の円錐
状表面の軸線３０に一致させた状態で、物品を装着する
。

フィーゾ干渉計３４は、この干渉計がコリメートされた
（即ち、コリメータで平行にされた）凝集光線４８とし
て示す光が部材２０の円錐状表面２８の軸線３ｏに平行
に投射するように、ベース４０に装着されている。従っ
て、ベース４ｏは、部材２０の鏡面反射性の円錐状表面
の軸線３０をフィーゾ干渉計３４により投射されコリメ
ートされた光線に平行にした状態で部材２０及び調査す
べき物品３８を装着する手段を形成する。

フィーゾ干渉計３４は平行面を有するガラス製のプレー
ト即ち伝達プレート５０（第６図）を備える。周知のよ
うに、この種の伝達プレートにおいては、伝達された光
線と反射光線との間で干渉作用が生じる。

使用において、フィーゾ干渉計はコリメートされた光線
４８を円錐状表面２８においてこの表面の軸線３０に平
行に導く。この円錐状表面２８が鏡面反射性であり、こ
の円錐状表面の円錐角が９０°であり、この円錐状表面
２８に入射する前の光線がこの円錐状表面２８の軸線３
０に平行であるため、光＃１４８中の光は、円錐状表面
２８により反射された後は、軸線３０．３９に垂直に導
かれる。従って、光は調査すべき物品３８の円筒状表面
３６においては半径方向に向いている。円筒状表面が真
円の円筒状である場合は、この表面は軸線３ｏ、３９男
ｔら離れるように半径方向に円錐状表面２８の方へ光を
逆反射させる。光は円錐状表面により軸線３ｏ、３９に
平行に干渉計３４のプレート５０の方へ反射せしめられ
る。調査すべき物品３８の円筒状表面３６が真円の円筒
状である場合、円錐状表面が完全な円錐であると仮定す
ると、干渉計により投射された光線４８と表面３６によ
る反射後円錐状表面２８により反射せしめられた光との
干渉によりプレートにおいて生じた干渉模様即ち干渉縞
は完全に規則正しい形のものになる。しかし、物品３８
の円筒状表面３６が真円の円筒状でない場合は、干渉縞
は完全に規則正しい形のものとはならず、干渉計の助け
により干渉縞の不規則性を判断できる。

第７図は本発明の第２実施例に係る装置の一部を示し、
この装置は鏡面反射性の円錐状表面２８′を有する部材
２０′を装着するベース４０′を具備する０部材２０′
は前述の部材２０と同様のものである。また、フィーゾ
干渉計の伝達プレート５０’　もベースに装着しである
。フィーゾ干渉計の残りの部分は第７図に示さない。干
渉計により投射されされた光ｓ４８′は部材２０’　の
方へ導びかれる。

この第２実施例が先の第１実施例と異なる点は、物品５
４の鏡面反射性の円錐状表面５２の真円度を調査する装
置である点である。調査すべき物品５４は、プレート５
０′に固定され装着手段を構成する支持体５６に装着さ
れている。物品５４は、第８図に示すように、物品５４
の表面５２の円錐体の中心軸線たる軸線５８を有する。

支持体５６は、軸線５８を部材２０’の鏡面反射性の円
錐状表面２８′の軸線に一致させた状態で物品５４を装
着する。この実施例においては、支持体５６はプレート
５０″に固定され、それ故、支持体５６及びプレート５
０′はベース４０′と共に、物品５４の円錐状表面の軸
線５８を部材２０’の鏡面反射性の円錐状表面２８′の
軸線に一致させた状態で物品５４を装着するための物品
装着手段を構成する。

本発明の第２実施例においては１部材２０′の円錐状表
面２８７°の円錐角は調査すべき物品５４０円錐状表面
５２の円錐角と同じにしてあり、このため、部材２０′
の円錐状表面２８′及び調査すべき物品５４の円錐状表
面５２により反射せしめられた後の光線４８′は、第７
図に光、ｌＸ６０にて示すように、再度軸方向に指向す
る。調査すべき物品５４の円錐状表面５２が真円の円錐
体（完全円錐体）である場合、円錐状表面２８′が完全
円錐体であると仮定すると、光線６０は平行光線となる
。この第２実施例の装置は、反射面が表面２８１．５２
の軸線に垂直になるようにベース４０′に装着した平面
鏡６２をも有する。鏡６２の反射面が表面２８’、５２
の軸線に垂直であり、従って平行光線６ｏにも垂直であ
るため、鏡６２は光線６０を逆反射し、光を表面２Ｂ’
　、５２の軸線に平行に円錐状表面５２の方へ戻す。鏡
６２により逆反射せしめられた光線は鏡面反射性の円錐
状表面５２により部材の円錐状表面２８′上・へ反射せ
しめられ、次いで、この表面２８′により反射せしめら
れて、表面２８’、５２の軸線に平行に干渉計の方へ向
けられる。光がプレート５０″しこ入射したとき、この
光は干渉計の外方へ指向した光線４８′と互いに干渉す
る。第１実施例の場合と同じく、調査すべき物品５４の
円錐状表面５２が真円の円錐状（完全円錐状）である場
合には、干渉計でａ察できる干渉縞は規則正しい形のも
のとなる。しかし、調査すべき物品の円錐状表面が真円
の円錐状でない場合は、干渉縞に不規則性が生じ、干渉
計の助けでこの不規則性を判断できる。

上述のように、第２実施例においては、表面５２により
光を鏡６２上に反射させ、この鏡により表面５２上へ光
を逆反射させ、次いで、この表面５２により光を部材２
０′の表面Ｓ８上へ反射させるので、光は調査すべき物
品の表面により部材の円錐状表面へ間接的に反射せしめ
られるといえる。この反射方式は、調査すべき物品３８
の表面３６により反射された光が中間の反射を伴わずに
部材の円錐状表面上へ直接的に反射せしめられる第１実
施例の反射方式とは異なる。

本発明の第３実施例を第９図に示す、この実施例の装置
は、調査すべき物品の鏡面反射性の円錐状表面の真円度
を調査するためのものである。この第３実施例の装置は
、フィーゾ干渉計の伝達プレート５０　”を装着するベ
ース４０″を有する（干渉計の残りの部分は第９図に示
さない）。部材２ｏ、２０’　と実質上同様な部材２０
″がベース４０”に装着しである０部材２０″は軸ａ３
０”を有する鏡面反射性の円錐状表面２８′″を備えて
いる。調査すべき物品３８″は、この物品３８″を固定
するアーム４４″を有するスタンド４２”によりベース
４ｏ”に装着される。物品３８”は軸線３９″を有する
鏡面反射性の円錐状表面６２″を具備する。この第３実
施例においては、部材２０”の表面２８″は円錐角θを
有し、調査すべき物品３８″の円錐状表面６２″′は円
錐角φを有する。２つの円錐状表面２８”、６２°′の
傾斜方向はそれぞれ逆向きになっている。円錐角θ、φ
の関係は、式 ％式％ により与えられ、この関係及び逆向きの傾斜方向のため
、表面２８″により反射せしめられた後の光線４８″内
の光は調査すべき物品３８″の表面６２″に垂直になる
。光が表面６２″に垂直であるため、光はこの表面６２
″により逆反射せしめられて表面２８″の方へ向き、こ
の表面２８″により反射されて、光線４８″に平行に干
渉計の方へ戻る。干渉計の方へ戻された反射光はプレー
ト５０″に入射し、外方に向いた光線４８”と互いに干
渉する。表面６２″が完全円錐状である場合は、干渉縞
は規則正しい形のものとなるが、表面６２″が完全円錐
状でない場合は、千ｅＨに不規則性が生じ、この不規則
性は干渉計の助けにより判断できる。

上述の第３実施例においては、光は中間の反射を伴わず
に表面６２″により表面２８”上へ直接的に逆反射せし
められる。従って、この実施例においては、調査すべき
物品の表面により部材の円錐状表面上へ直接的に反射せ
しめられるといえる。

上記各実施例において、調査すべき表面は外表面、即ち
凸面状表面であった。しかし、本発明は内表面即ち凹面
状表面を調査するのに適するように構成できる。第１０
図は、物品７２の円筒状内表面７０を調査するための本
発明の第４実施例を示す、物品７２は環状の形をしてお
り、例えば軸受の部品でよい０表面７０は鏡面反射性で
、軸線７４を有する。物品はベース４ｏ”’に装着する
。

軸線７８を具備した鏡面反射性の円錐状表面２８″′を
有する部材２０”’　がベース４０２０に固定した支持
体７６に担持されている。支持体７６は、表面７０の軸
線７４を部材２ｏ”’の円錐状表面２８”’の軸線７８
に一致させた状態で調査すべき物品７２を装着するため
の手段を構成する。プレート５０．５０’、５０”と同
様でフィーゾ干渉計の一部を形成する伝達プレート５０
”’を第１０図に示す。フィーゾ干渉計の残りの部分は
第１０図に示さない。

光線４８”’の光は９０″′の円錐角を有する部材の円
錐状表面２８”’上へ導びかれる。円錐状表面の軸線７
８が光線４８″″の軸線に平行であるため、表面２８”
’は入射した光を反射し、反射光を半径方向外方、即ち
軸線７８に垂直な方向へ向ける。この反射光は次いで調
査すべき物品の表面７０へ入射する。この表面７ｏが円
筒面であリ、その軸線７４が円錐状表面２８″″の軸線
７８に一致しているため、表面７０に入射した光は逆反
射せしめられる。逆反射した光は円錐状表面２８”’に
入射し、光ｓ４８”’に平行な方向に干渉計の方へ反射
せしめられる。この反射せしめられた光がプレート５０
”’へ入射したとき、この光は部材２０”’の方へ向い
た光線４８”’内の光と互いに干渉する。調査すべき物
品の表面７０が真円の円筒状（完全円筒状）である場合
は、プレート５０”７において生じた干渉縞は規則正し
い形のものとなるが、表面７０が真円の円筒状でない場
合は、干渉縞は不規則性を生じ、この不規則性は干渉計
の助けで判断できる。

調査すべき物品の表面により反射せしめられた光が中間
の反射を伴わずに直接的に部材２０’″′の表面２８″
’上へ逆反射せしめられるので、この第４実施例では、
光は調査すべき物品の表面により直接的に反射せしめら
れるといえる。

第１１図は物品の鏡面反射性の円錐状内表面を調査する
ための、本発明の第５実施例に係る装置の一部を示す′
。調査すべき物品は第１１図に８０にて示し、その円錐
状表面を８２にて示す、調査すべき物品は止めネジ８３
によりベース４０’″″に装着する０表面８２は中心軸
線８４を有する。

鏡面反射性の円錐状表面８８を有する部材８６はベース
４０″″′に固定した支持体９２のアーム９０に担持さ
れている１部材８６の円錐状表面８８は中心軸線９４を
有する。ベース４０″″′及び止めネジ８３は、調査す
べき物品８ｏの軸線８４を部材８６の鏡面反射性の円錐
状表面８８の軸線９４に一致させた状態で物品を装着す
るための物品装着手段を構成する。ベース４０１７７１
、支持体９２及びアーム９０は、部材８６の鏡面反射性
の円錐状表面８８の軸線をフィーゾ干渉計（その伝達プ
レート５０　Ｉｔ　７１以外は図示しない）により投射
されコリメートされた光線４８ＩＩ　ｊ＃に平行にした
状態で部材８６及び物品８ｏを装着する手段を構成し、
それによって、投射光線を軸線８４に平行に維持し、部
材の鏡面反射性の円錐状表面８８上に入射させる。

支持体９２は部材８６に対面した表面にｌｌｌ９３を具
備する。鏡９３の表面は軸線９４に垂直である。鏡は平
坦で、鏡面反射性を有する。

干渉計により部材８６の方へ投射された光８４８１１ｕ
内の光は部材の円錐状表面８８により調査すべき物品の
表面８２上へ反射せしめられる０表面８８．８２の円錐
角が等しく、その傾斜方向が同方向であるため、表面８
２に入射した光はこの表面８２により軸線９４に平行な
方向に反射せしめられる。表面８２により反射せしめら
れた光は鏡９３に入射し、この鏡により表面８２上へ逆
反射せしめられる。次いで、表面８２は光を表面８８の
方へ反射し、この表面８８により光は干渉計の方へ反射
せしめられる。光がプレート５０”に入射したとき、こ
の光は光線４８”内の光と互いに干渉する０表面８２が
真円の円錐状（完全円錐状）である場合は、プレート５
０”″での干渉縞は規則正しい形のものとなるが、表面
８２が真円の円錐状でない場合は、干渉縞に不規則性が
生じ、この不規則性は干渉計の助けで判断できる。

調査すべき物品８０の表面８２により反射された光が鏡
の方へ指向せしめられ、この鏡により表面８２上へ反射
せしめられ、この表面８２により部材８６の表面８８上
へ反射せしめられるため。

光は調査すべき物品の表面により部材の表面上へ間接的
に反射せしめられるといえる。

上述の各実施例においては、部材の鏡面反射性の表面は
それ自体完全円錐状であるものと仮定している。このよ
うな仮定に基づき、プレートにおいて生じた干渉縞は、
物品の表面が真円の円筒状又は円錐状の場合に、規則正
しい形のものといえる。完全円錐状の円錐状表面を部材
上に形成することができない場合があるあるかもしれな
い。その場合、所望の適格な物品により生じた干渉縞を
メモリーに記憶させておき（この干渉縞は、部材の円錐
状表面が完全円錐状ではないため、不規則性を有する）
、新たな物品を（その部材を有する）調査装置で調査し
たときに生じる干渉縞をメモリーに記憶させた干渉縞と
比較する。そして、メモリーに記憶させた干渉縞と新た
な物品により生じた干渉縞とに差違があるか否かを判断
し、調査中の物品の表面の真円度に関する情報を得る。

［発明の効果コ 本発明によれば、円筒状又は円錐状の表面の真円度を調
査することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る調査装置に使用する鏡面反射性の
円錐状表面を有する部材を示す斜視図。 第２図は第１図に示す部材の平面図、 第３図は第２図の３−３線における断面図、第４図は第
１図ないし第３図に示す部材を備えた本発明に係る調査
装置の概略側立面図、第Ｓ図は調査すべき円筒状物品の
斜視図、第６図は、調査すべき円筒状物品を適所に配置
した状態での第４図の調査装置の一部の断面立面図、 第７図は、第６図と同様の図であるが１円錐状の物品を
調査す８本発明の別の実施例に係る調査装置の部分断面
立面図、 第８図は第７図の調査装置で調査する物品を示す斜視図
、 第９図は、第６図及び第７図と同様の図であるが、円錐
状の物品を調査する本発明の第３実施例に係る調査装置
の部分断面立面図、 第１０図は、第６図、第７図及び第９図と同様の図であ
るが、物品の円筒状内表面を調査する本発明の第４実施
例に係る調査装置の部分断面立面図、 第１１図は、第６図、第７図、第９図及び第１０図′と
同様の図であるが、物品の円錐状内表面を調査する本発
明の第５実施例に係る調査装置の部分断面立面図である
。 符号の説明 ２０．８６：部材 ２８．８８：部材の鏡面反射性の円錐状表面３０．７８
．９４：部材の円錐状表面の軸線３４：フィーゾ干渉計 ３８．５４、′７２．８０：調査すべき物品３６．５２
．６２”、７０．８２：物品の表面４０：ベース　　　
４２：スタンド ４４：アーム ４８：干渉計からのコリメートされた光線５０：伝達プ
レート ５６．９２：支持体 ６２．９３：鏡 ＦＩＧ、　　２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、物品（３８、５４、３８”、７２、８０）の、軸線
   （３９、３９”、５８、７４、８４）を有する鏡面反射
   性の円筒状又は円錐状の反射面（３６、５２、６２”、
   ７０、８２）の真円度を調査する装置であって、コリメ
   ートした光線を投射するフィーゾ干渉計と共に使用する
   装置において、 軸線（３０、３０”、７８、９４）を有する鏡面反射性
   の円錐状反射面（２８、２８’、２８”、２８”’、８
   ８）を備えた部材（２０、２０’、２０”、２０”’、
   ８６）と、 調査すべき物品の前記反射面の軸線を前記部材の円錐状
   反射面の軸線に一致させて該物品を装着するための物品
   装着手段（４０、４２、４４；４０’、５０’、５６）
   と、 前記部材の円錐状反射面の軸線を前記フィーゾ干渉計か
   ら投射されコリメートされた光線（４８、４８’、４８
   ”、４８”’、４８””）に平行にし該光線を該部材の
   円錐状反射面に入射させる状態で、前記部材及び前記物
   品を装着するための手段（４０）と、 を備え、 前記部材の円錐状反射面は、該部材の円錐状反射面から
   反射された光が前記物品の反射面に入射し、該部材の円
   錐状反射面へ直接的又は間接的に反射せしめられ、該部
   材の円錐状反射面の軸線の方向で前記フィーゾ干渉計の
   方へ該部材の円錐状反射面から反射せしめられるように
   する円錐角を有し、前記フィーゾ干渉計により投射され
   た光と前記部材の円錐状反射面により該干渉計の方へ反
   射せしめられた光とが互いに干渉し、この干渉により生
   じた干渉縞を前記フィーゾ干渉計で検査する、ことを特
   徴とする、円筒状又は円錐状の反射面を調査する装置。 ２、物品（５４）の鏡面反射性の円錐状反射面（５２）
   の真円度を調査する請求項１に記載の装置であって、該
   物品の反射面により光を間接的に反射させる前記装置に
   おいて、 前記物品の円錐状反射面により反射せしめられる光を前
   記軸線に平行にすべく、前記部材の円錐状反射面の円錐
   角と前記物品の円錐状反射面の円錐角とを同じ値にし、 前記装置が、前記軸線に垂直な平面を有するように配置
   した平面鏡（６２）を備え、前記物品の円錐状反射面に
   より該平面鏡の方へ反射された光が前記部材の円錐状反
   射面の方へ前記軸線に平行に逆反射し、この部材の円錐
   状反射面が前記物品の円錐状反射面上へ光を反射させて
   、前記フィーゾ干渉計の方へ光を指向させる、前記装置
   。 ３、物品（３８）の鏡面反射性の円筒状反射面（３６）
   の真円度を調査する請求項１に記載の装置において、 前記部材（２０）の円錐状反射面（２８）の円錐角が９
   ０°であり、前記物品の円筒状の反射面により該部材の
   円錐状反射面上へ光を直接的に反射させる、前記装置。 ４、物品（３８”）の鏡面反射性の円錐状反射面（６２
   ”）の真円度を調査する請求項１に記載の装置であって
   、前記物品の円錐状反射面により前記部材（２０”）の
   円錐状反射面へ光を反射させる前記装置において、 前記物品の円錐状反射面の円錐角φと前記部材の円錐状
   反射面の円錐角θとの関係が、式 θ＝９０−φ／２ で与えられる、前記装置。 ５、物品（３８、３８”、７２）の、軸線 （３９、３９”、７４）を有する鏡面反射性の円筒状又
   は円錐状の反射面（３６、６２”、７０）の真円度を調
   査する装置であって、コリメートした光線（４８）を投
   射するフィーゾ干渉計と共に使用する装置において、 軸線（３０、３０”、７８）を有する鏡面反射性の円錐
   状反射面（２８、、２８”、　２８”’）を備えた部材
   （２０、、２０”、２０”’）と、調査すべき物品の前
   記反射面の軸線を前記部材の円錐状反射面の軸線に一致
   させて該物品を装着するための物品装着手段（４０、４
   ２、４４；４０”、４２”、４４”　；４０”’）と、 前記部材の円錐状反射面の軸線を前記フィーゾ干渉計か
   ら投射されコリメートされた光線に平行にし該投射光線
   を該部材の円錐状反射面に入射させる状態で、前記部材
   及び前記物品を前記フィーゾ干渉計に関して装着するた
   めの手段（４０；４０”；４０”’、７６）と、 を備え。 前記部材の円錐状反射面は、該部材の円錐状反射面から
   反射された光が前記物品の円筒状又は円錐状の反射面に
   ゼロの入射角で入射するような円錐角を有し、該物品の
   円筒状又は円錐状の反射面により該部材の円錐状反射面
   上へ光を逆反射させ、この部材の円錐状反射面が前記フ
   ィーゾ干渉計により投射された光と干渉するように光を
   反射し、この干渉により生じた干渉縞を前記フィーゾ干
   渉計で検査する、 ことを特徴とする、円筒状又は円錐状の反射面を調査す
   る装置。 ６、物品（３８）の鏡面反射性の円筒状反射面（３６）
   の真円度を調査する装置において、軸線（３０）と９０
   °の円錐角とを有する鏡面反射性の円錐状反射面（２８
   ）を備えた部材（２０）と、 前記円筒状反射面の軸線（３９）を前記部材の円錐状反
   射面の軸線に一致させて該物品を装着する手段（４０、
   ４２、４４）と、 光が前記円錐状反射面により前記円筒状反射面上へ反射
   せしめられ次いで該円筒状反射面により該円錐状反射面
   上へ逆反射せしめられ次いで該円錐状反射面により反射
   せしめられるように、コリメートされた光（４８）を該
   円錐状反射面の軸線に平行に該円錐状反射面上に投射す
   る手段を有するフィーゾ干渉計（３４）と、 を備え、 前記フィーゾ干渉計が、前記円錐状反射面の方へ投射さ
   れた光及び該円錐状反射面により反射せしめられた光に
   よってトラバース運動せしめられる伝達プレート（５０
   ）をも有し、 前記円錐状反射面にて投射された光と該円錐状反射面か
   ら反射した光との間の干渉により、前記伝達プレートに
   おいて干渉縞を生じさせ、 前記干渉計により該干渉縞を検査して前記物品の円筒状
   反射面の真円度に関する情報を得る、ことを特徴とする
   、円筒状の反射面を調査する装置。 ７、物品（３８、７２）の鏡面反射性の円筒状又は円錐
   状の反射面（３６、７０）の真円度を調査する装置であ
   って、該反射面が中心軸線（３９、７４）を有し、該軸
   線に対する該反射面の母線を形成する直線の傾斜角度が
   θであるような、前記装置において、 軸線（３０、７８）と（９０°−θ）の円錐角とを有す
   る鏡面反射性の円錐状反射面（２８、２８”）を備えた
   部材（２０、２０”’）と、前記円筒状又は円錐状の反
   射面の軸線を前記部材の円錐状反射面の軸線に一致させ
   て該物品を装着する手段（４０、４２、４４；４０”’
   ）と、光が前記円錐状反射面により前記物品の反射面上
   へ反射せしめられ次いで該物品の反射面により該円錐状
   反射面上へ逆反射せしめられ次いで該円錐状反射面によ
   り反射せしめられるように、コリメートされた光（４８
   、４８”’）を該円錐状反射面の軸線に平行に該円錐状
   反射面上に投射する手段を有するフィーゾ干渉計（３４
   ）と、 を備え、 前記フィーゾ干渉計が、前記円錐状反射面の方へ投射さ
   れた光及び該円錐状反射面により反射せしめられた光に
   よってトラバース運動せしめられる伝達プレート（５０
   、５０”’）をも有し、前記円錐状反射面にて投射され
   た光と該円錐状反射面から反射した光との間の干渉によ
   り、前記伝達プレートにおいて干渉縞を生じさせ、 前記干渉計により該干渉縞を検査して前記物品の円筒状
   又は円錐状の反射面の真円度に関する情報を得る、 ことを特徴とする、円筒状の反射面を調査する装置。 ８、物品の鏡面反射性の円筒状又は円錐状の反射面の真
   円度を調査する方法において、 コリメートされた凝集光を調査すべき物品の前記反射面
   上へ軸方向に導き、該物品の前記反射面上で光を反射さ
   せ、 前記物品の前記反射面により鏡面反射性の円錐状の反射
   面上へ光を直接的又は間接的に反射させ、この円錐状の
   反射面により反射せしめられた後の光を該円錐状の反射
   面の軸方向に戻し、 前記軸方向に導かれた光と前記軸方向に戻された光とを
   干渉させ、 フィーゾ干渉計により干渉縞を検査して前記物品の前記
   反射面の真円度に関する情報を得る、ことを特徴とする
   、物品の円筒状又は円錐状反射面の真円度を調査する方
   法。