JPH0267937A - 圧力又は力センサ - Google Patents

圧力又は力センサ

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JPH0267937A
JPH0267937A JP1175757A JP17575789A JPH0267937A JP H0267937 A JPH0267937 A JP H0267937A JP 1175757 A JP1175757 A JP 1175757A JP 17575789 A JP17575789 A JP 17575789A JP H0267937 A JPH0267937 A JP H0267937A
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circular leaf
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クラウス・ベート
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
    • G01L1/2231Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports the supports being disc- or ring-shaped, adapted for measuring a force along a single direction

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は支持体に対する支持部として作用する補強エツ
ジ部を有する、軸対称のの圧力又は力センサを受ける円
形板ばねを具え、振板ばねに歪みゲージを設けて成る圧
力又は力センサに関するものである。
(従来の技術) 斯る力センサはドイツ国特許第1129317号明細書
から既知である。この方センサは補強エツジ部と力が印
加される補強中心部とを有する軸対称の円形板はねを具
えている。この円形板ばねの膨張又は圧縮が最大の位置
に歪みゲージを設け、このゲージから力測定セルに作用
する力に対応する電気信号を取り出す。円形板ばねの補
強エツジ部に作用する120°間隔の3個のボルトを支
持体を構成するベース支持板に支持する。
(発明が解決しようとする課題) この力センサにおいては、円形板ばねに力が加わると、
所望の曲げ変形に加えて補強エツジ部の外向き変形も生
ずる。これはボルトとベース支持板との間に半径方向の
相対的運動を生ずる。この円形板ばねの補強エツジ部の
半径方向変形は円形板ばねの半径が小さくなるにつれ大
きくなる。更に、温度変化に応答してボルトとベース支
持板との間にすべり運動が生ずる。これらの影響のため
に斯る力測定セルの電圧−力特性はヒステリシスが顕著
になる。また、この特性は適正に再現可能でなく、温度
が変化すると変化することを確かめた。
これがため、本発明の目的は円形板ばねと支持体との間
の半径方向すべり運動を除去した圧力又は力センサを提
供することにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は、この目的の達成のために、支持体を円形板ば
ねの補強エツジ部に、その半径方向膨張が略々零である
環状区域において固定したことを特徴とする。
本発明の圧力又は力センサにおいては、力が印加される
と円形板ばねの所望の変形に加えて補強エツジ部の内向
き傾動が特に補強エツジ部の半径方向膨張のないスカー
ト部の環状区域を中心に生ずることが確かめられた。本
発明の圧力又は力センサは支持体が円形板ばねの補強エ
ツジ部に半径方向膨張が略々零である部分で連結された
構造であるので、力の印加時の支持体と円形板ばねとの
間にすべり運動は何も生じない。従って本発明の圧力又
は力センサにおいては、従来の力センサと比較して電圧
−力特性のヒステリシスが減少すると共に力の印加時に
支持体と円形板ばねとの間に相対運動が何も生じない。
更に、この電圧−力特性は十分に再現可能である。また
、温度が変化してもこの特性は精密に再現可能なように
一定に変化するだけである。
本発明の好適例においては、前記円形板ばねにはその補
強エツジ部の支持体と対向する外縁部に、弾性金属パイ
プの形態の前記支持体と掛合する環状の切込みを設け、
この切込みの、金属パイプの端面に対向する支持表面と
して作用する表面を半径方向膨張が略々零である前記環
状区域内に位置させる。このようにすると製造が簡単な
圧力又は力センサが得られ、このセンサでは円形板ばね
はその外縁部に沿って延在する均等な切込みを具える。
円形板ばねの補強エツジ部における傾動を吸収する薄い
弾性金属パイプが支持体として作用する。前記切込みは
断面図で見て略々矩形とし、その支持表面として作用す
る表面を弾性金属パイプの対向端面に溶接、はんだ付け
又はセメント付けするのが好ましい。支持体は金属パイ
プの内部に延在する突部(肉厚部分)を有する弾性金属
パイプの形態にし、このパイプを略々半径方向膨張のな
い環状区域を延在する円形の溝に掛合させることもでき
る。
弾性金属パイプの、円形板ばねと反対側の端面ば中心に
支持片が配置された弾性板の形態にし、これにより円形
板ばねを斜め方向の負荷から保護すると共にこの支持片
を支持するベース支持体のでこぼこから保護すする。或
は又、弾性曲げ素子を支持片に直接一体に形成して斜め
方向の負荷及びでこぼこを吸収することもできる。本発
明のカ測定セルの温度感度を低減するために、弾性金属
パイプと弾性板とから成る支持体を円形板ばねと同一の
材料で一体の構成単位として形成するのが好ましい。
測定感度を増大するには、前記円形板ばねの支持体と対
向する側面を基本的に平面にし、円形板ばねの補強エツ
ジ部と力印加点として作用する補強中心部との間の、支
持体とは反対側の側面を非平面にし、歪みゲージを前記
平面上の膨張又は圧縮が最大の部分に、半径方向に又は
接線方向に配置するのが好ましい。補強中心部分は圧力
又は力を受けるための十分な平坦部を円形板ばねに与え
る。
(実施例) 図面につき本発明の詳細な説明する。
本発明の力センサは軸対称円形板ばねlと、円形板ばね
1を支持する支持体3とを具えている。
支持体3は基板2で支持される。力を検知するのに好適
な円形板ばね1は力の印加点として作用する補強中心部
4を有し、この部分は規定の方向の負荷作用を得るため
に、ドーム状にする。円形板ばねは支持体3に対する支
持部として作用する補強エツジ部5を有する。適切な半
径方向膨張を得るために、円形板ばね1は半径方向に変
化する厚さを有する。中心部4の周囲を延在するチャン
ネル状の溝が補強エツジ部5と中心部4との間に存在す
る0円形板ばね1の力印加点と反対側の側面6は基本的
に平面にする。この側面6上の最大膨張又は圧縮区域に
歪みゲージ7を半径方向又は接線方向に設ける。
補強エツジ部5の外縁部8に環状の矩形断面の切込み9
を支持体3に向けて形成する。この切込み9の、支持体
3に対向する支持表面10として形成された表面は円形
板ばね1の側面6と平行に延在させると共に半径方向膨
張が略々零である円形板ばねの環状区域に位置させる。
支持体3はこの円形板ばね1の切込み9と掛合する肉薄
の弾性金属パイプ11の形態にする。支持表面10と弾
性金属パイプ11の端面を溶接部17で接続する。この
接続ははんだ付け又はセメント付けで行なうこともでき
る。力が印加されると、円形板ばね1の所望の変形に加
えて補強エツジ部5の傾動が特に支持表面10と肉薄弾
性金属パイプ11の端面との間の界面(溶接部17)に
位置する補強エツジ部の支持点を中心として生ずる。従
って円形板ばね1と支持体3との間にすべり運動が生ず
ることはない。弾性金属パイプ11は補強エツジ部5の
傾動を吸収するのがその唯一の目的である。
肉薄弾性金属パイプ11の円形板ばね1とは反対側の端
面ば弾性板12で終端する。この弾性板12はその中心
に、基板2上に支持される支持片13を有している。こ
の支持片13の中心に通孔14が設けられ、更にこの通
孔と支持片13の外周面との間に通孔15が設けられ、
これら通孔は歪みゲージ7に至るリード線16の案内孔
として作用する。肉薄弾性金属パイプ11及び弾性板I
2から成る単体の構成単位として造るのが好適な支持体
3は円形板ばねを基板2のでこぼこ及び斜めの力から保
護する目的もある。支持体3及び円形板ばね1は同一の
原料で造る必要がある。
この力センサは引張力を検知するのに用いることもでき
る。この目的のためには力印加点として作用する補強中
心部4に、引張力を加え得るようにする手段を設ける必
要がある。
円形板ばねをその補強エツジ部における半径方向膨張が
零である環状区域でこのエツジ部の傾動のピボット点と
して接続することは補強エツジ部との間に非平面又は平
面円形板ばねを有する圧力センサに用いることもできる
【図面の簡単な説明】
図面は本発明力センサの断面図である。 l・・・円形板ばね 2・・・基板 3・・・支持体 4・・・補強中心部 5・・・補強エツジ部 7・・・歪みゲージ 8・・・外縁部 9・・・切込み 11・・・肉薄弾性金属パイプ I2・・・弾性板 13・・・支持片 14、15・・・通孔 16・・・リード線

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、支持体(3)に対する支持部として作用する補強エ
    ッジ部(5)を有する軸対象の圧力又は力を受ける円形
    板ばね(1)を具え、該板ばねに歪みゲージ(7)を設
    けて成る圧力又は力センサにおいて、前記支持体(3)
    を前記円形板ばね(1)の補強エッジ部(5)に半径方
    向膨張が略々零である環状区域で固定したことを特徴と
    する圧力又は力センサ。 2、前記円形板ばね(1)にはその補強エッジ部(5)
    の支持体(3)と対向する外縁部(8)に、弾性金属パ
    イプの形態の前記支持体(3)と掛合する環状の切込み
    (9)を設け、この切込み(9)の、金属パイプ(11
    )の端面に対向する支持表面(10)として作用する表
    面(10)を半径方向膨張が略々零である前記環状区域
    内に存在させてあることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の圧力又は力センサ。 3、前記切込み(9)は断面図で見て略々矩形とし、そ
    の支持表面(10)として作用する表面を前記弾性金属
    パイプ(11)の対向端面に溶接、はんだ付け又はセメ
    ント付けしたことを特徴とする特許請求の範囲第2項記
    載の圧力又は力センサ。 4、前記弾性金属パイプ(11)の、円形板ばね(1)
    と反対側の端面は中心に支持片(13)を有する弾性板
    (12)で終端されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第2又は3項記載の圧力又は力センサ。 5、前記円形板ばね(1)の支持体(3)と対向する側
    面(6)を基本的に平面にし、円形板ばねの補強エッジ
    部(5)と力印加点として作用する補強中心部(4)と
    の間の、支持体(3)とは反対側の側面を非平面にし、
    歪みゲージ(7)を前記平面(6)上の膨張又は圧縮が
    最大の部分に、半径方向に又は接線方向に配置してある
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1〜4項の何れかに
    記載の圧力又は力センサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009063494A (ja) * 2007-09-07 2009-03-26 Aisin Seiki Co Ltd 変位検出装置
WO2019116817A1 (ja) * 2017-12-11 2019-06-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 荷重センサおよび電動ブレーキ

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4009019C2 (de) * 1990-03-21 1998-07-23 Philips Patentverwaltung Kreisplattenfeder für eine Kraftmeßzelle
US5111702A (en) * 1990-06-22 1992-05-12 Hottinger Baldwin Measurements, Inc. Torsion ring transducer
DE4139439A1 (de) * 1991-11-29 1993-06-03 Siemens Ag Kraftsensor
DE59207994D1 (de) * 1992-03-18 1997-03-13 Hottinger Messtechnik Baldwin Kraftmesseinrichtung
DE4232785A1 (de) * 1992-09-30 1994-03-31 Philips Patentverwaltung Kreisplattenfeder für eine Kraftmeßzelle
US5481905A (en) * 1992-11-03 1996-01-09 Philips Electronics North America Corporation Transducer circuit having negative integral feedback
DE9312740U1 (de) * 1993-08-25 1994-10-06 Siemens AG, 80333 München Ringsteg-Wägezelle mit Ringkerben zur Nennlasteinstellung
DE19514916A1 (de) * 1995-04-22 1996-10-24 Gassmann Theiss Messtech Vorrichtung zur Kraftmessung mittels eines elektromechanischen Kraftaufnehmers
DE19537569C2 (de) * 1995-08-03 1998-07-02 Fraunhofer Ges Forschung Stahlbasiertes Kraft-Sensorsystem
SE505537C2 (sv) * 1996-03-18 1997-09-15 Nobel Elektronik Ab Lastcell av skjuvkrafttyp
US6044711A (en) * 1997-01-10 2000-04-04 Psi-Tronix, Inc. Force sensing apparatus
JP3745107B2 (ja) * 1997-08-28 2006-02-15 Jfeアドバンテック株式会社 ロードセル及びロードセルを備える荷重検出装置
US6417466B2 (en) * 1998-09-03 2002-07-09 Measurement Specialties, Inc. Load cell with bossed sensor plate for an electrical weighing scale
EP1340968B1 (fr) * 2002-02-27 2006-10-18 S.C.A.I.M.E. S.A. Corps d'épreuve et appareil de pesage muni de tels corps d'épreuve
US6923068B2 (en) * 2003-06-19 2005-08-02 Dynisco, Inc. Pressure transducer
DE102006020438B4 (de) * 2006-05-03 2018-09-06 Tecsis Gmbh Axialkraftaufnehmer
US20080006450A1 (en) * 2006-07-05 2008-01-10 Simons Gerald S Load Cell Having A Base With A Curved Surface
DE102008057796B4 (de) * 2008-11-17 2012-12-13 Schenck Process Gmbh Wägedisc
DE102009002188A1 (de) * 2009-04-03 2010-10-14 Tecsis Gmbh Kraftaufnehmer zur Messung von Stützkräften in einem Abstützelement
WO2015062535A1 (en) * 2013-11-01 2015-05-07 Mettler Toledo (Changzhou) Precision Instrument Ltd. Analog sensor with digital compensation function
US11815412B2 (en) * 2018-11-15 2023-11-14 Intuitive Surgical Operations, Inc. Strain sensor with contoured deflection surface
CN113015498B (zh) 2018-11-15 2025-03-18 直观外科手术操作公司 将工具轴与缆绳驱动负载解除联接
EP3671142B1 (de) 2018-12-20 2022-11-09 Bizerba SE & Co. KG Wägezelle und wiegefuss
EP3671141B1 (de) 2018-12-20 2022-08-03 Bizerba SE & Co. KG Wägezelle und wiegefuss
CN120053088A (zh) 2019-09-17 2025-05-30 直观外科手术操作公司 紧凑型差分同轴感应力传感器
US12185974B2 (en) 2019-10-17 2025-01-07 Intuitive Surgical Operations, Inc. Surgical tool with nested shaft tubes
EP4302059B1 (de) * 2021-03-01 2025-12-10 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Vorrichtung zur messung von verformungen, spannungen, kräften und/oder drehmomenten in mehreren achsen

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS508345A (ja) * 1973-05-24 1975-01-28
JPS57182136U (ja) * 1981-05-12 1982-11-18

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1129317B (de) * 1960-10-14 1962-05-10 Schenck Gmbh Carl Kraftmessdose
DE2326218A1 (de) * 1973-05-23 1974-12-12 Skf Kugellagerfabriken Gmbh Abstuetzung fuer messgeraete od. dgl
DE2729064C2 (de) * 1977-06-28 1985-04-11 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Symmetrische flache Kraftmeßzelle
DE3714613A1 (de) * 1987-05-01 1988-11-17 Helmut Dr Ing Gassmann Waegezelle

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS508345A (ja) * 1973-05-24 1975-01-28
JPS57182136U (ja) * 1981-05-12 1982-11-18

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009063494A (ja) * 2007-09-07 2009-03-26 Aisin Seiki Co Ltd 変位検出装置
WO2019116817A1 (ja) * 2017-12-11 2019-06-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 荷重センサおよび電動ブレーキ

Also Published As

Publication number Publication date
DE3823673A1 (de) 1990-01-18
US5024107A (en) 1991-06-18
EP0351006A2 (de) 1990-01-17
DE58907745D1 (de) 1994-07-07
EP0351006B1 (de) 1994-06-01
EP0351006A3 (de) 1991-06-12
JP2677678B2 (ja) 1997-11-17

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