JPH0268108A - 集塵機における自動風量監視装置 - Google Patents
集塵機における自動風量監視装置Info
- Publication number
- JPH0268108A JPH0268108A JP21771788A JP21771788A JPH0268108A JP H0268108 A JPH0268108 A JP H0268108A JP 21771788 A JP21771788 A JP 21771788A JP 21771788 A JP21771788 A JP 21771788A JP H0268108 A JPH0268108 A JP H0268108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- way solenoid
- tube
- solenoid valve
- differential pressure
- detection tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 12
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010011224 Cough Diseases 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は集塵機の処理風量を監視する集塵機における自
動風量監視装置に関するものである。
動風量監視装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、集塵機においてその処理風量を常時監視する方式
としては、煙道中に配置したピトー管により全圧及び静
圧を得てその差圧を差圧変換器に取り込み、風量を検出
していた。
としては、煙道中に配置したピトー管により全圧及び静
圧を得てその差圧を差圧変換器に取り込み、風量を検出
していた。
（発明が解決しようとする課題）
ところが、このような装置においては煙道ガス中の粉塵
がピトー管内に沈着し閉塞が生じるという問題があった
外、ガス中の水分や腐食性ガスがピトー管内において冷
却し、結露することにより閉塞、腐食が生じるという問
題があった。また、差圧を検出する差圧変換器は、周囲
の温度により温度ドリフトが発生して測定誤差が生ずる
という問題もあり、この問題を解決するには温度補償機
能付きの高価な差圧変換器が必要であるという問題もあ
った。
がピトー管内に沈着し閉塞が生じるという問題があった
外、ガス中の水分や腐食性ガスがピトー管内において冷
却し、結露することにより閉塞、腐食が生じるという問
題があった。また、差圧を検出する差圧変換器は、周囲
の温度により温度ドリフトが発生して測定誤差が生ずる
という問題もあり、この問題を解決するには温度補償機
能付きの高価な差圧変換器が必要であるという問題もあ
った。
帽１を解決するための手段）
本発明は前記のような問題点を解決した集塵機における
自動風量監視装置に関するもので、全圧検出管部と別の
検出管部とを有するピトー管を煙道内に配設して該全圧
検出管部および別の検出管部とを一方口が大気に開放さ
れた三方口電磁弁を介して差圧変換器に配管接続させ、
また、前記三方口電磁弁と全圧検出管部および別の検出
管部間の空圧配管には三方口電磁弁を介して圧縮空気源
と接続された枝管を接続する一方、該三方口電磁弁およ
び三方口電磁弁を制御する計測制御装置を設けたことを
特徴とするものである。
自動風量監視装置に関するもので、全圧検出管部と別の
検出管部とを有するピトー管を煙道内に配設して該全圧
検出管部および別の検出管部とを一方口が大気に開放さ
れた三方口電磁弁を介して差圧変換器に配管接続させ、
また、前記三方口電磁弁と全圧検出管部および別の検出
管部間の空圧配管には三方口電磁弁を介して圧縮空気源
と接続された枝管を接続する一方、該三方口電磁弁およ
び三方口電磁弁を制御する計測制御装置を設けたことを
特徴とするものである。
（作用）
このような集塵機における自動風量監視装置は、煙道の
風量測定時には計測制御装置によって三方口電磁弁のピ
トー管と差圧変換器を結ぶ通路のみが開かれた状態とし
て風量の計測を行うものであるが、一定時間毎に設定さ
れる管内清掃時には、各三方口電磁弁はピトー管と差圧
変換器との連通を閉じるとともに差圧変換器を大気に連
通されるように開き、他方、三方口電磁弁は「開」の状
態とされるように計測制御装置により制御されるから、
圧縮空気源から吹き出される圧縮空気が三方口電磁弁、
空圧配管を通じてピトー管の全圧検出管部、別の検出管
部に吹き込まれ、該ピトー管の各部を自動的に清掃する
こととなる一方、差圧変換器は空圧配管、三方口電磁弁
を通じて大気に向は解放されて共に等しい圧力が与えら
れていることとなるので、温度変化によって生ずる温度
ドリフトは計測制御装置の自動ゼロ点チエツク部によっ
てチエツクされ、ゼロ点がずれていれば自動的に補正さ
れることとなる。
風量測定時には計測制御装置によって三方口電磁弁のピ
トー管と差圧変換器を結ぶ通路のみが開かれた状態とし
て風量の計測を行うものであるが、一定時間毎に設定さ
れる管内清掃時には、各三方口電磁弁はピトー管と差圧
変換器との連通を閉じるとともに差圧変換器を大気に連
通されるように開き、他方、三方口電磁弁は「開」の状
態とされるように計測制御装置により制御されるから、
圧縮空気源から吹き出される圧縮空気が三方口電磁弁、
空圧配管を通じてピトー管の全圧検出管部、別の検出管
部に吹き込まれ、該ピトー管の各部を自動的に清掃する
こととなる一方、差圧変換器は空圧配管、三方口電磁弁
を通じて大気に向は解放されて共に等しい圧力が与えら
れていることとなるので、温度変化によって生ずる温度
ドリフトは計測制御装置の自動ゼロ点チエツク部によっ
てチエツクされ、ゼロ点がずれていれば自動的に補正さ
れることとなる。
（実施例）
次に、本発明を図示の実施例について詳細に説明する。
（２）は、図示しないａｍ機の煙道（１）内に、その全
圧検出管部（３）及び別の検出管部（４）の各検出口（
３ａ）、（４ａ）が所用方向を臨むようにして位置させ
た双Ｒ型のピトー管であって、該ピトー管（２）の全圧
検出管部（３）、別の検出管部（４）の各他端部は各々
空圧配管（５）、（５ａ）を介して三方ロ１Ｔ６１弁（
６）、（６ａ）の一つの開口端部（７）、（７ａ）に接
続され、該三方口電磁弁（６）、（６ａ）の他の一つの
開口端部（８）、（８ａ）は、前記ピトー管（２）の検
出する全圧と静圧の差を・検出して電気信号に変換する
ための差圧変換器（９）の各入力端部Ｏω、（１０ａ）
に空圧配管００、（ｌｌａ）を介して接続されている。
圧検出管部（３）及び別の検出管部（４）の各検出口（
３ａ）、（４ａ）が所用方向を臨むようにして位置させ
た双Ｒ型のピトー管であって、該ピトー管（２）の全圧
検出管部（３）、別の検出管部（４）の各他端部は各々
空圧配管（５）、（５ａ）を介して三方ロ１Ｔ６１弁（
６）、（６ａ）の一つの開口端部（７）、（７ａ）に接
続され、該三方口電磁弁（６）、（６ａ）の他の一つの
開口端部（８）、（８ａ）は、前記ピトー管（２）の検
出する全圧と静圧の差を・検出して電気信号に変換する
ための差圧変換器（９）の各入力端部Ｏω、（１０ａ）
に空圧配管００、（ｌｌａ）を介して接続されている。
また０２１． （１２ａ）は三方口電磁弁（６）、（６
ａ）の残りの１つの開口端部であって、該開口端部０２
１、（１２ａ）は大気に向けて解放したものとする。
ａ）の残りの１つの開口端部であって、該開口端部０２
１、（１２ａ）は大気に向けて解放したものとする。
一方、０３）、 （１３ａ）は、前記空圧配管（５）、
（５ａ）の中間部から分岐させた枝管であって、該枝管
側、（１３ａ）は各々中間部に三方口電磁弁Ｏａ、（１
４ａ）を介在させたうえ配管０５１に一括して連通させ
、さらに、該配管０５）の先方部は、圧縮空気源００に
接続されている。他方、Ｑ７）は、前記三方口電磁弁（
６）、（６ａ）、二方ロ電磁弁圓、（１４ａ）の各ソレ
ノイドＱＱ１（１８ａ）、■、（１９ａ）に接続された
電磁弁制御部であって、該電磁弁制御部０１は、煙道（
１）の風量測定時には、三方口電磁弁（６）、（６ａ）
についてはピトー管（２）と差圧変換器（９）を結ぶ開
口端部（７）、（８）間及び開口端部（７ａ）、（８ａ
）間のみが開かれ、また、三方口電磁弁（財）、（１４
ａ）については「閉」の状態とされたものとなるよう該
各ソレノイドθ口、（１８ａ）、０９、（１９ａ）を制
御する一方、一定時間毎に中央制御部（２３）から数秒
間の清掃指令信号を受ける管内清掃時には、三方口電磁
弁（６）、（６ａ）については、二つの開口端部（７）
、（８）間、開口端部（７ａ）、（８ａ）間、開口端部
（７）、０２１間及び開口端部（７ａ）、（１２ａ）間
は各々「閉Ｊ、開口端部（８）、ＯＺ間及び開口端部（
８ａ）、（１２ａ）間は「開」とされ、三方口電磁弁（
ロ）、（１４ａ）は共にｒ開」の状態とされるよう該各
電磁弁（６）、（６ａ）、０４、（１４ａ）の各ソレノ
イド０ω、（１８ａ）、θつ、（１９ａ）に制御信号を
送り出すように構成されている。
（５ａ）の中間部から分岐させた枝管であって、該枝管
側、（１３ａ）は各々中間部に三方口電磁弁Ｏａ、（１
４ａ）を介在させたうえ配管０５１に一括して連通させ
、さらに、該配管０５）の先方部は、圧縮空気源００に
接続されている。他方、Ｑ７）は、前記三方口電磁弁（
６）、（６ａ）、二方ロ電磁弁圓、（１４ａ）の各ソレ
ノイドＱＱ１（１８ａ）、■、（１９ａ）に接続された
電磁弁制御部であって、該電磁弁制御部０１は、煙道（
１）の風量測定時には、三方口電磁弁（６）、（６ａ）
についてはピトー管（２）と差圧変換器（９）を結ぶ開
口端部（７）、（８）間及び開口端部（７ａ）、（８ａ
）間のみが開かれ、また、三方口電磁弁（財）、（１４
ａ）については「閉」の状態とされたものとなるよう該
各ソレノイドθ口、（１８ａ）、０９、（１９ａ）を制
御する一方、一定時間毎に中央制御部（２３）から数秒
間の清掃指令信号を受ける管内清掃時には、三方口電磁
弁（６）、（６ａ）については、二つの開口端部（７）
、（８）間、開口端部（７ａ）、（８ａ）間、開口端部
（７）、０２１間及び開口端部（７ａ）、（１２ａ）間
は各々「閉Ｊ、開口端部（８）、ＯＺ間及び開口端部（
８ａ）、（１２ａ）間は「開」とされ、三方口電磁弁（
ロ）、（１４ａ）は共にｒ開」の状態とされるよう該各
電磁弁（６）、（６ａ）、０４、（１４ａ）の各ソレノ
イド０ω、（１８ａ）、θつ、（１９ａ）に制御信号を
送り出すように構成されている。
また、該中央制御部（２３）から一定時間毎に数秒聞出
される清掃指令信号は、同時にゼロ点チエツク部（２１
）にも送られ、ピトー管（２）の清掃と、差圧変換器（
９）のゼロ点チエツクは自動的且つ同時に行われるよう
になっている。また、（２４）は、差圧変換器（９）の
出力信号即ち、全圧と静圧の差圧の差から算出され、煙
道（１）内の動圧に相当する電気信号を受けて図示しな
い集塵機の風量制御を行う計測制御装！ （２２）の風
量制御部である。なお、上記実施例では管内清掃時の制
御信号は、一定時間毎に出されるように設定されている
が、これに加えて随時行えるようにすることもでき、ま
た、三方日電磁弁（６）、（６ａ）の開口端部（７）、
（８）間または開口端部（７ａ）、（８ａ）間の一方の
みを開としてピトー管（２）の全圧検出管部（３）また
は別の検出管部（４）と差圧変換Ｈ（９）とを続かせて
全圧または静圧の一方を測定できるようにすることも可
能である。
される清掃指令信号は、同時にゼロ点チエツク部（２１
）にも送られ、ピトー管（２）の清掃と、差圧変換器（
９）のゼロ点チエツクは自動的且つ同時に行われるよう
になっている。また、（２４）は、差圧変換器（９）の
出力信号即ち、全圧と静圧の差圧の差から算出され、煙
道（１）内の動圧に相当する電気信号を受けて図示しな
い集塵機の風量制御を行う計測制御装！ （２２）の風
量制御部である。なお、上記実施例では管内清掃時の制
御信号は、一定時間毎に出されるように設定されている
が、これに加えて随時行えるようにすることもでき、ま
た、三方日電磁弁（６）、（６ａ）の開口端部（７）、
（８）間または開口端部（７ａ）、（８ａ）間の一方の
みを開としてピトー管（２）の全圧検出管部（３）また
は別の検出管部（４）と差圧変換Ｈ（９）とを続かせて
全圧または静圧の一方を測定できるようにすることも可
能である。
このように構成されたものは、煙道（１）の風ｍ測定時
には、三方口電磁弁（６）、（６ａ）についてはピトー
管（２）と差圧変換器（９）を結ぶ開口端部（７）、（
８）及び開口端部（７ａ）、（８ａ）間のみが開かれ、
三方口電磁弁０４）、（１４ａ）については「閉」の状
態となるよう計測制御装置（２２）の電磁弁制御部θ′
Ｉ）の制御信号を受けているので、従来この種のものと
同様に使用すれば、差圧変換器（９）の各入力端部ｑω
、（１０ａ）には煙道（１）内の全圧及び静圧相当値が
入力され、該差圧変換器（９）の出力側には、全圧と静
圧の差即ちｖ１圧に相当する値の電気信号が取り出され
、計測制御装置（２２）の風量制御部（２４）において
風量信号に変換され、これを基礎とした風量制御信号が
図示しない集塵機に向は送信され、その制御下に集！１
機が運転されてゆくものである。然して、一定時間の通
常運転が継続すると、計測制御装置（２２）の電磁弁制
御部０７）から各電磁弁のソレノイドＯａ、（１８ａ）
、ｆｌｇｌ、 （１９ａ）に制御信号が出される結果、
圧縮空気源ＯＯから吹き出される圧縮空気が三方口電磁
弁（ロ）、（１４ａ） 、空圧配管（５）、（５ａ）を
通じてピトー管（２）の全圧検出管部（３）、別の検出
管部（４）に吹き込まれ、咳ピトー管（２）の各部を自
動的に清掃することとなる一方、差圧変換器（９）の再
入力端部０ω、（１０ａ）は空圧配管（１１）、（Ｉｌ
ａ）、三方口電磁弁（６）、（６ａ）を通じて、大気に
向は解放されて共に等しい圧力が与えられていることと
なるので、差圧変換器（９）の出力信号をうけ、計測制
御回路（２２）の自動ゼロ点チエツク部（２１）によっ
て該差圧変換器（９）の検出値がこの時ゼロとなってい
るかが自動的にチエツクされるものとなる。
には、三方口電磁弁（６）、（６ａ）についてはピトー
管（２）と差圧変換器（９）を結ぶ開口端部（７）、（
８）及び開口端部（７ａ）、（８ａ）間のみが開かれ、
三方口電磁弁０４）、（１４ａ）については「閉」の状
態となるよう計測制御装置（２２）の電磁弁制御部θ′
Ｉ）の制御信号を受けているので、従来この種のものと
同様に使用すれば、差圧変換器（９）の各入力端部ｑω
、（１０ａ）には煙道（１）内の全圧及び静圧相当値が
入力され、該差圧変換器（９）の出力側には、全圧と静
圧の差即ちｖ１圧に相当する値の電気信号が取り出され
、計測制御装置（２２）の風量制御部（２４）において
風量信号に変換され、これを基礎とした風量制御信号が
図示しない集塵機に向は送信され、その制御下に集！１
機が運転されてゆくものである。然して、一定時間の通
常運転が継続すると、計測制御装置（２２）の電磁弁制
御部０７）から各電磁弁のソレノイドＯａ、（１８ａ）
、ｆｌｇｌ、 （１９ａ）に制御信号が出される結果、
圧縮空気源ＯＯから吹き出される圧縮空気が三方口電磁
弁（ロ）、（１４ａ） 、空圧配管（５）、（５ａ）を
通じてピトー管（２）の全圧検出管部（３）、別の検出
管部（４）に吹き込まれ、咳ピトー管（２）の各部を自
動的に清掃することとなる一方、差圧変換器（９）の再
入力端部０ω、（１０ａ）は空圧配管（１１）、（Ｉｌ
ａ）、三方口電磁弁（６）、（６ａ）を通じて、大気に
向は解放されて共に等しい圧力が与えられていることと
なるので、差圧変換器（９）の出力信号をうけ、計測制
御回路（２２）の自動ゼロ点チエツク部（２１）によっ
て該差圧変換器（９）の検出値がこの時ゼロとなってい
るかが自動的にチエツクされるものとなる。
（発明の効果）
本発明によれば、常時は通常の集塵機における自動風量
監視装置と同様、自動的に風量を監視制御されるもので
あるが、一定時間毎または随時ピトー管内が圧縮空気に
より自動的に清掃されるため該ピトー管内に粉塵が沈着
して閉塞したり、ガス中の水分や腐食性ガスが結露して
ピトー管を閉塞したり腐食したりすることがなくなるう
え、高価な温度補償機能付の変換機を用いなくとも自動
的にゼロ点のチエツクができ、上記の機能と相俟って安
価な装置で正確で耐久性のある集塵機における自動風量
監視装置を提供できたもので、産業の発展に寄与すると
ころは極めて大である。
監視装置と同様、自動的に風量を監視制御されるもので
あるが、一定時間毎または随時ピトー管内が圧縮空気に
より自動的に清掃されるため該ピトー管内に粉塵が沈着
して閉塞したり、ガス中の水分や腐食性ガスが結露して
ピトー管を閉塞したり腐食したりすることがなくなるう
え、高価な温度補償機能付の変換機を用いなくとも自動
的にゼロ点のチエツクができ、上記の機能と相俟って安
価な装置で正確で耐久性のある集塵機における自動風量
監視装置を提供できたもので、産業の発展に寄与すると
ころは極めて大である。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。
（１）：煙道、（２）：ピトー管、（３）：全圧検出管
部、（４）：別の検出管部、（５）、（５ａ） ：空圧
配管、（６）、（６ａ） ：三方口電磁弁、（９）：差
圧変換器、Ｑｌ、（１３ａ）：枝管、００、（１４ａ）
：三方口電磁弁、ａＱ＝圧縮空気源、（２２） ：計
測制御装置。
部、（４）：別の検出管部、（５）、（５ａ） ：空圧
配管、（６）、（６ａ） ：三方口電磁弁、（９）：差
圧変換器、Ｑｌ、（１３ａ）：枝管、００、（１４ａ）
：三方口電磁弁、ａＱ＝圧縮空気源、（２２） ：計
測制御装置。
Claims (1)
- 全圧検出管部（３）と別の検出管部（４）とを有するピ
トー管（２）を煙道（１）内に配設して該全圧検出管部
（３）および別の検出管部（４）とを一方口が大気に開
放された三方口電磁弁（６）、（６ａ）を介して差圧変
換器（９）に配管接続させ、また、前記三方口電磁弁（
６）、（６ａ）と全圧検出管部（３）および別の検出管
部（４）間の空圧配管（５）、（５ａ）には二方口電磁
弁（１４）、（１４ａ）を介して圧縮空気源（１６）と
接続された枝管（１３）、（１３ａ）を接続する一方、
該三方口電磁弁（６）、（６ａ）および二方口電磁弁（
１４）、（１４ａ）を制御する計測制御装置（２２）を
設けたことを特徴とする集塵機における自動風量監視装
置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21771788A JP2680062B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 集塵機における自動風量監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21771788A JP2680062B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 集塵機における自動風量監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268108A true JPH0268108A (ja) | 1990-03-07 |
| JP2680062B2 JP2680062B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=16708633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21771788A Expired - Lifetime JP2680062B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 集塵機における自動風量監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2680062B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2188405A1 (es) * | 2001-10-22 | 2003-06-16 | Servicio De Instrumentacion Ho | Espirometro portatil de pico. |
| WO2004049940A1 (es) * | 2001-10-22 | 2004-06-17 | Servicio De Instrumentacion Hospitalaria, S.L. | Espirometro portatil de pico |
| WO2011090433A1 (en) * | 2010-01-19 | 2011-07-28 | R2Cd Holdings Pte Ltd | An auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector |
| CN103616050A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-03-05 | 辽宁毕托巴科技有限公司 | 荒煤气毕托巴流量传感器 |
| CN106092638A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-11-09 | 青岛容广电子技术有限公司 | 一种用于固定污染源颗粒物的平行样采样枪 |
| JP2019152589A (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | エスペック株式会社 | 風速測定機及び環境試験装置 |
| WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
| JP2020056666A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社堀場製作所 | 流量測定装置及び流量測定方法 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP21771788A patent/JP2680062B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2188405A1 (es) * | 2001-10-22 | 2003-06-16 | Servicio De Instrumentacion Ho | Espirometro portatil de pico. |
| WO2004049940A1 (es) * | 2001-10-22 | 2004-06-17 | Servicio De Instrumentacion Hospitalaria, S.L. | Espirometro portatil de pico |
| WO2011090433A1 (en) * | 2010-01-19 | 2011-07-28 | R2Cd Holdings Pte Ltd | An auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector |
| US9645112B2 (en) | 2010-01-19 | 2017-05-09 | R2Cd Holdings Pte Ltd. | Auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector |
| CN103616050A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-03-05 | 辽宁毕托巴科技有限公司 | 荒煤气毕托巴流量传感器 |
| CN106092638A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-11-09 | 青岛容广电子技术有限公司 | 一种用于固定污染源颗粒物的平行样采样枪 |
| JP2019152589A (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | エスペック株式会社 | 風速測定機及び環境試験装置 |
| WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
| JP2019169642A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
| JP2020056666A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社堀場製作所 | 流量測定装置及び流量測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2680062B2 (ja) | 1997-11-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6241950B1 (en) | Fluid sampling system | |
| CN211784611U (zh) | 一种低浓度颗粒物在线监测系统 | |
| CN205607957U (zh) | 一种集中式火灾特征气体探测装置 | |
| JPH0268108A (ja) | 集塵機における自動風量監視装置 | |
| WO2020171594A1 (ko) | 굴뚝 배출가스의 미세먼지 연속자동측정장치 | |
| US20240410727A1 (en) | Airflow sensor and system | |
| CN109283297B (zh) | 氢气在线分析独立校准采样系统 | |
| CN2516944Y (zh) | 皮托管流速测量装置 | |
| US6564651B1 (en) | Modular high-temperature gas flow sensing element for use with a cyclone furnace air flow measuring system | |
| CN209689689U (zh) | 一种能够准确测量气体流量、流速的超声波气体流量计 | |
| US6959610B1 (en) | Manual purge system for instrumentation flow element tubing | |
| CN217180154U (zh) | 一种可独立调节流量的多通道气体采样和测量系统 | |
| CN210982394U (zh) | 一种用于在线式烟气连续监测系统的自动监测维护装置 | |
| CN110230778A (zh) | 一种非介入式动态液压测量系统 | |
| JPH04328435A (ja) | 差圧伝送器用導圧管 | |
| CN210572086U (zh) | 一种利用单氧传感器测量烟气含湿量的装置 | |
| CN208076515U (zh) | 氢气综合检测系统 | |
| CN223436010U (zh) | 一种烟气流速测量模块 | |
| JP3163170B2 (ja) | 空気調和機における室外機と室内機の接続状態検査方法およびその装置 | |
| JPS60244834A (ja) | テストガスを吸引する手段を備えたガス分析器 | |
| CN218271255U (zh) | 安防监控设备气密性检测装置 | |
| JP3063514B2 (ja) | 圧力センサによる流量測定方法 | |
| CN121539752A (zh) | 电气切换单元及其应用的新型煤矿风硐用甲烷监测系统 | |
| KR20020091876A (ko) | 디지털 공기밸브 시험장치 | |
| JPH08136305A (ja) | 伝送器 |