JPH0268712A - Thin film magnetic recording medium - Google Patents

Thin film magnetic recording medium

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JPH0268712A
JPH0268712A JP22156388A JP22156388A JPH0268712A JP H0268712 A JPH0268712 A JP H0268712A JP 22156388 A JP22156388 A JP 22156388A JP 22156388 A JP22156388 A JP 22156388A JP H0268712 A JPH0268712 A JP H0268712A
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JP
Japan
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magnetic
layer
magnetic layer
recording medium
recording
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JP22156388A
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Osamu Kitagami
修 北上
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Maxell Ltd
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Hitachi Maxell Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は薄膜型磁気記録媒体に関する。史に詳細には、
本発明は耐久性が向ヒされた薄膜型磁気記録媒体に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a thin film magnetic recording medium. For details on the history,
The present invention relates to a thin film magnetic recording medium with improved durability.

[従来の技術] 従来から一般にt′f及している磁気記録媒体は、針状
の磁性粉と高分子結合剤とを主体とする磁性中材を非磁
性基体りに塗布して磁性層を形成した塗布型の磁気記録
媒体である。
[Prior Art] Conventionally, conventional magnetic recording media have a magnetic layer formed by coating a non-magnetic substrate with a magnetic medium mainly consisting of acicular magnetic powder and a polymeric binder. This is a coating-type magnetic recording medium.

現在、磁気記録再生装置はますます高密度化の傾向にあ
り、短波長記録特性に優れた磁気記録媒体が要望されて
いる。
Currently, there is a trend toward higher density magnetic recording and reproducing devices, and there is a demand for magnetic recording media with excellent short wavelength recording characteristics.

しかし、中布型磁気記録媒体における短波長記録特性の
改訂には限界がある。これに対して、co +  Co
 N 11 Co N iP + Co CrなどのC
Oを主成分とする強磁性体を真空蒸着、スパッタリング
、またはイオンブレーティング等のいわゆる物理蒸着法
によって非磁性基体」ユに形成する金属薄膜型の磁気記
録媒体は、その磁性層中に非磁性の結合剤が混入されて
いないので著しく高い残留磁束密度を得ることができ、
かつ、磁性層を極めて薄(形成することができるために
、高出力で短/1!!長応答性に優れているという何点
をイ「する。この特徴により、最近は薄膜型磁気記録媒
体が磁気媒体の主流となりつつある。
However, there are limits to the revision of short wavelength recording characteristics in cloth-type magnetic recording media. On the other hand, co + Co
C such as N 11 Co N iP + Co Cr
Metal thin film type magnetic recording media, in which a ferromagnetic material mainly composed of O is formed on a non-magnetic substrate by a so-called physical vapor deposition method such as vacuum evaporation, sputtering, or ion blating, have non-magnetic material in the magnetic layer. Since no binder is mixed in, a significantly high residual magnetic flux density can be obtained.
In addition, since the magnetic layer can be formed extremely thin, it has the advantage of high output and excellent short/1!! long response characteristics. Due to these characteristics, thin film magnetic recording media have recently become popular. is becoming the mainstream of magnetic media.

[発明が解決しようとする課題] しかし、このような連続薄膜型磁気記録媒体を実用化す
るには、まだ解決されねばならない問題が残っている。
[Problems to be Solved by the Invention] However, there are still problems that must be solved in order to put such a continuous thin film magnetic recording medium into practical use.

これらの問題の中で特に重要なのは、耐久性すなわち、
長時間の磁気ヘッド摺動により1耳生出力が著しく低下
するという問題である。
Of particular importance among these issues is durability, i.e.
The problem is that the per-ear raw output decreases significantly due to long-time sliding of the magnetic head.

このような再生出力低下の原因として最初に考えられる
ことは、摺動による磁気ヘッド及び記録媒体の摩耗の問
題である。
The first possible cause of such a reduction in reproduction output is the problem of wear of the magnetic head and recording medium due to sliding.

しかし、本発明者等の研究によれば、たとえ磁−気記録
媒体の記録磁性層の1−に保護潤滑層を形成し、磁気記
録媒体と磁気へノドとの間の摩耗を防いだとしても、明
らかに出力が低−ドすることが認められた。そこで、史
にこの原因を調べた結果、このような[1生出力の低ド
は、磁気ヘッド摺動により記録64it’1層が塑性変
形し、磁気ヘッド−記録磁性層間のスベーンングか増加
した結果であることが゛ニ11明した。このような記録
磁?/12層の変形は、非磁性基板がAλや打機高分子
フィルムな乏軟らかい桐材で構成される場合に顕著であ
り、その結果としてrI生出力の低ドも著しかった。
However, according to research by the present inventors, even if a protective lubricant layer is formed on the recording magnetic layer 1 of a magnetic recording medium to prevent wear between the magnetic recording medium and the magnetic nodal, , it was observed that the output was clearly lowered. Therefore, as a result of investigating the cause of this problem, we found that such low raw output is due to plastic deformation of the recording 64it'1 layer due to the sliding of the magnetic head, and an increase in svaning between the magnetic head and the recording magnetic layer. It has become clear that this is the case. A recording magnet like this? The deformation of the /12 layer is remarkable when the nonmagnetic substrate is made of poorly soft paulownia wood such as Aλ or a perforated polymer film, and as a result, the rI raw output is also significantly low.

従って、本発明の目的は、[−記従来技術が持つ記録磁
性層の塑性変形という問題を解消し、以って長時間安定
なIIrIr力出力す薄膜型磁気記録媒体を提供するこ
とである。
Therefore, it is an object of the present invention to solve the problem of plastic deformation of the recording magnetic layer that the prior art has and thereby provide a thin film magnetic recording medium that outputs IIrIr force stably over a long period of time.

[課題を解決するための丁゛段] 前記目的を達成するための手段として、本発明では、非
磁性基体」−に、モース硬度5以りの材料をペーパーデ
ポジションすることにより形成された。II磁性下地層
を有し、該下地層l−に、軟磁性層を介するか、または
介さずに、記録磁性層が設けられていることを特徴とす
る薄膜型磁気記録媒体を提供する。
[Steps for Solving the Problem] As a means for achieving the above object, in the present invention, a material having a Mohs hardness of 5 or more is formed on a non-magnetic substrate by paper deposition. A thin film magnetic recording medium is provided, characterized in that it has a magnetic underlayer (II), and a recording magnetic layer is provided on the underlayer (l-) with or without a soft magnetic layer.

モース硬度5以−Lの材料はBまたはSi甲体あるいは
これらの合金もしくは化合物である。
The material having a Mohs hardness of 5 or more is B or Si shell, or an alloy or compound thereof.

ペーパーデポジションにより非磁性基体−1−に形成さ
れる非磁性下地層の膜厚は500Å〜5000人の範囲
内であることが好ましい。
The thickness of the nonmagnetic underlayer formed on the nonmagnetic substrate-1- by paper deposition is preferably within the range of 500 Å to 5000 Å.

記録磁性層はCo単体またはCoをL体とする合金から
なる垂直磁気異方性膜であることが好ましい。
The recording magnetic layer is preferably a perpendicular magnetic anisotropic film made of Co alone or an alloy containing Co in the L form.

[作用] [〕;i記のように、本発明では、非磁性基体上に、モ
ース硬度5以[−の材料からなる下地層をペーパーデポ
ジションにより500Å〜5000人形成し、該層」二
に記録磁性層を設けるようにしている。
[Function] []; As described in item i, in the present invention, a base layer of 500 Å to 5000 Å is formed on a non-magnetic substrate by paper deposition, and is made of a material with a Mohs hardness of 5 or more. A recording magnetic layer is provided on the recording magnetic layer.

このような構成を採ることにより、磁気ヘッドの抑圧に
よる記録磁性層及び基板の塑性変形を大きく緩和するこ
とができ、長時間の摺動に対しても高い再生出力を維持
することができる。
By adopting such a configuration, plastic deformation of the recording magnetic layer and the substrate due to the suppression of the magnetic head can be greatly alleviated, and a high reproduction output can be maintained even during long-time sliding.

本発明において、下地層形成材料としてBまたはSi中
体あるいはこれらの合金もしくは化合物を使用する理由
は次の通りである。
In the present invention, the reason for using B or Si core, or an alloy or compound thereof as the material for forming the underlayer is as follows.

第一には、これらの材料は非常に高い硬度を有するので
、その膜厚がt’、’j <でも記録磁性層及び基板の
塑性変形を抑制する効果が大きいことである。
First, since these materials have very high hardness, they are highly effective in suppressing plastic deformation of the recording magnetic layer and the substrate even if the film thickness is less than t','j.

第一に、ペーパーデボンン、47法によりこれらの薄膜
を非磁性基体l−に形成するとアモルファス構造をとる
ため、その−1−に形成される磁性層が形態面、結晶構
造面でド地の影響を受けにくいことである。
First, when these thin films are formed on a non-magnetic substrate l- by the Paper Devon, 47 method, they take on an amorphous structure, so the magnetic layer formed on the l-1- has a flat structure in terms of morphology and crystal structure. It is something that is not easily influenced.

特に、磁性層がCo−Cr合金膜である場合には、ド地
がアモルファスであるとCo−Crは結晶学的に良好に
配向するようになり、優れた市1[′L′磁化膜となる
In particular, when the magnetic layer is a Co-Cr alloy film, if the ground is amorphous, the Co-Cr will be well crystallographically oriented, resulting in an excellent C1['L' magnetized film. Become.

また、1−記B +  S tを主体とするF地層は形
態的に無構造であるため、その−ヒに形成される磁性層
粒子の組人化を抑えることができ、磁性層の磁化j1位
を非常に小さくすることができる。
In addition, since the F layer mainly composed of 1-B + S t is morphologically unstructured, it is possible to suppress the formation of magnetic layer grains formed in the -H, and the magnetization j1 of the magnetic layer is can be made very small.

以りの理由により、B、Siを1:、体とする下地層を
ペーパーデポジション法により設けることは、その1−
に形成される磁性層の特性を損なわす、)^板及び記録
磁性層の磁気ヘッド摺動による塑性変形を緩和するのに
極めて自効である。
For the following reasons, providing a base layer with B and Si as a 1:1 body by the paper deposition method is the first step.
It is extremely effective in alleviating plastic deformation of the )^ plate and recording magnetic layer due to the sliding of the magnetic head, which impairs the properties of the magnetic layer formed on the magnetic layer.

本発明者らは先に、非磁性基体」ユに、モース硬度3以
1−の非磁性微粉rを3有する仔機物ド塗り層を設け、
形層]−に薄膜磁性層を設けた磁気記録媒体を発明し、
出願した(特願昭62−057393−す)。この発明
でも、磁性層および一11磁性基体の塑性変形防市効宋
およびクンンdン効果が得られる。しかし、塗布上地層
1−に磁性層をペーパーデポジション法により形成する
と、上地層に含まれるバインダーなとのイ1−機物から
ガスが発生し、磁性層の特性を7L<劣化させるという
問題が生じる。
The present inventors first provided a coating layer containing 3 non-magnetic fine powders with a Mohs hardness of 3 to 1 on a non-magnetic substrate,
Invented a magnetic recording medium with a thin magnetic layer on the magnetic layer.
An application was filed (Japanese Patent Application No. 62-057393-S). This invention also provides the effect of preventing plastic deformation of the magnetic layer and the magnetic substrate. However, when a magnetic layer is formed on the coated upper layer 1- by a paper deposition method, gas is generated from the binder and other substances contained in the upper layer, which deteriorates the characteristics of the magnetic layer. occurs.

磁気ヘッド摺動による基板及び記録磁性層の塑性変形を
防くに足るB、Siを主体とする下地層厚は500Å〜
5000人の範囲内にあることが好ましい。これは、非
磁性下地層厚が500人以ドになると塑性変形防市効果
が著しく弱くなり、また5000人を超すと、1−記−
上地層にコラム構造が成長しはじめ、その1−に形成さ
れる磁性層の粒子が粗大化して磁気特性が劣化しはじめ
るためである。また、フロッピーやテープなどのように
可撓性が要求されるような場合には、L記下地層厚が5
000人を晟すと、磁気ヘッドとの接触性が著°シ<劣
化し、11r生出力エンベロープも乱れる。
The thickness of the base layer mainly composed of B and Si is 500 Å or more, which is sufficient to prevent plastic deformation of the substrate and recording magnetic layer due to the sliding of the magnetic head.
Preferably, the number is within 5,000 people. This is because when the thickness of the non-magnetic underlayer becomes 500 or less, the plastic deformation prevention effect becomes significantly weaker, and when it exceeds 5000, the
This is because a column structure begins to grow in the upper layer, and the grains of the magnetic layer formed on the top layer become coarser and the magnetic properties begin to deteriorate. In addition, in cases where flexibility is required, such as with floppy disks and tapes, the base layer thickness L should be 5.
000, the contact with the magnetic head deteriorates significantly and the 11r raw output envelope is also disturbed.

記録磁性層はCo単体またはCo合金から構成されてい
ることが好ましい。Co合金は例えば、Co−Cr、C
o−Ni、Co−Ni−Cr。
The recording magnetic layer is preferably composed of Co alone or a Co alloy. Co alloys include, for example, Co-Cr, C
o-Ni, Co-Ni-Cr.

Co−Fe、Go−T i+ Co−Pなどである。These include Co-Fe, Go-Ti+Co-P, etc.

その他のCo合金も当然使用できる。Co合金における
Coの3自°litは50%超であることが好ましい。
Other Co alloys can of course also be used. It is preferable that the 3rd degree lit of Co in the Co alloy is more than 50%.

所望により、上地層と記録磁性層との間には軟磁性層を
介在させることができる。このような[1的に使用でき
る軟磁性層の種類あるいは具体的形成材料の種類は当業
者に周知である。軟磁性層を介在させると、特に東向磁
気記録媒体の場合には、垂直記録磁性層の記録磁化が安
定化し、記録磁化増加による著しいFlr生出力出力1
−が1−iJ能となる。
If desired, a soft magnetic layer can be interposed between the upper layer and the recording magnetic layer. The types of soft magnetic layers that can be used or the specific materials used for forming such layers are well known to those skilled in the art. When a soft magnetic layer is interposed, the recorded magnetization of the perpendicular recording magnetic layer is stabilized, especially in the case of an eastward magnetic recording medium, and the recorded magnetization increases, resulting in a significant Flr raw output output of 1.
- becomes 1-iJ ability.

軟磁性層の膜厚は−・船釣に、50Å〜5000人の範
囲内である。
The thickness of the soft magnetic layer is within the range of 50 Å to 5,000 Å for boat fishing.

非磁性下地層、軟磁性層および記録磁性層は何れもペー
パーデポジション法により形成することができる。“°
ペーパー・デポジンロン法”とは気体または1°〔空空
間中で、析出させようとする物質あるいは化合物等を蒸
気またはイオン化蒸気として気体上に析出さ仕る方法を
、コ(味する。この方法には、真空蒸It t):: 
、イオン・ブレーティングl去。
The nonmagnetic underlayer, soft magnetic layer, and magnetic recording layer can all be formed by a paper deposition method. “°
The paper deposition method is a method in which a substance or compound to be deposited is deposited on the gas as vapor or ionized vapor in a gas or 1° [empty space]. is vacuum evaporated.
, ion bracing left.

高周波イオン・ブレーティング法、イオンeクラスター
ビーム法、イオンビー11デポジションを大。
High-frequency ion brating method, ion e-cluster beam method, and ion beam 11 deposition.

スパンタリング法、CVD法などがある。There are sputtering methods, CVD methods, etc.

非磁性下地層、軟磁性層および記録磁性層は連続的にa
?I処理することが好ましい。連続74着すると各層間
の密首性が高められる。記録磁性層は斜め蒸着あるいは
垂直蒸着の何れの形態でも使用できるが、1r1記の軟
磁性層を介する場合には市直磁気穴方性膜であることが
好ましい。
The non-magnetic underlayer, soft magnetic layer and recording magnetic layer are continuously formed by a
? I treatment is preferred. If you wear 74 pieces in a row, the neck tightness between each layer will be improved. The recording magnetic layer can be either obliquely deposited or perpendicularly deposited, but in the case of using a soft magnetic layer as described in 1r1, it is preferably a vertically oriented magnetic film.

本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性基板としては
、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等の品分Y
フィルム、ガラス類、セラミック。
The non-magnetic substrate used in the magnetic recording medium of the present invention is made of polyimide, polyethylene terephthalate, etc.
Films, glass, ceramics.

アルミ、陽極酸化アルミ、黄銅などの金属板、Si弔結
晶板1表面を熱酸化処理したSi中結晶板などがある。
There are metal plates such as aluminum, anodized aluminum, and brass, and Si medium crystal plates whose surfaces are thermally oxidized.

この非磁性基体は必要に応じて、甲面研磨やテクスチャ
リング加」二を行うためのニッケル・リン系合金層やア
ルマイト処理層等のド地研磨層を設けることもできる。
This non-magnetic substrate may be provided with a hard polishing layer such as a nickel-phosphorous alloy layer or an alumite treatment layer for back surface polishing or texturing, if necessary.

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルt・
、ポリイミドフィルt、などの合成樹脂フィルムを基体
とする磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、
アルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラム
を基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッ
ドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
In addition, as a magnetic recording medium, polyester film t.
, magnetic tapes and disks based on synthetic resin films such as polyimide film t, synthetic resin films,
It includes various forms of structures that come into sliding contact with a magnetic head, such as magnetic disks and magnetic drums whose bases are disks and drums made of aluminum plates, glass plates, etc.

[実施例] 以ド、実施例により本発明を史に詳細に説明する。[Example] Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to examples.

実111− 厚さ40 II mのポリイミドフィルム基板、ヒに、
0〜1.0μmの範囲内の様々な膜厚のB上地層を形成
し、形層−LにCoat Crt q磁性層(0゜25
μm)を真空蒸着法により基板温度230℃の条件でm
Q次積層した。このようにして形成した記録媒体を5.
25インチのディスクに打ち抜き、ギヤノア’140.
18/1mのアモルファス・フェライト複合へノドを具
備したフロッピーディスクドライブにより、記録牛、l
l性及びその経時変化を測定した。その結末をド記の表
1に波約して小す。表1)50は、初期出力か1′滅す
る記録密度を示し、高密度記録性能の示標となるもので
ある。また、N80は出力が初期出力の80%に低下す
るまでの磁気ヘット通過回数を示す。
Example 111 - A polyimide film substrate with a thickness of 40 II m,
A B upper layer with various thicknesses within the range of 0 to 1.0 μm was formed, and a Coat Crt q magnetic layer (0°25
μm) using the vacuum evaporation method at a substrate temperature of 230°C.
Q-order lamination was performed. 5. Recording medium formed in this way.
Punched into a 25 inch disc, gear Noah '140.
Recording cattle, l
l properties and their changes over time were measured. The results are summarized in Table 1 below. Table 1) 50 indicates the recording density at which the initial output decreases by 1', and is an indicator of high-density recording performance. Further, N80 indicates the number of times the magnetic head passes until the output decreases to 80% of the initial output.

K± 71m(5000人)を超えると、出力低ドは防げるも
のの、媒体剛性が高すぎるためにへ、ドタッチが劣化し
、エンベロープが乱れる。
If K±71 m (5,000 people) is exceeded, although a low output can be prevented, the medium rigidity is too high, causing deterioration in contact and disturbance of the envelope.

実J1剋2一 実施例1と同様の条件で、非磁性下地層材料を種々変え
、同様の評価を行った。なお非磁性下地層厚は、0.2
C)7jmとした。測定結果をド記の表2に°災約して
示す。
J1-21 Under the same conditions as in Example 1, the non-magnetic underlayer material was varied and the same evaluation was performed. The thickness of the non-magnetic underlayer is 0.2
C) 7jm. The measurement results are shown in Table 2 below.

、に2− 前記の結果から明らかなように、B下地層の膜厚が0.
05/lln (500人)未満の場合には、記録磁性
層の塑性変形のために11生出力が甲、い時期に低下す
る。また、B下地層の膜厚が0.5前記の結果から明ら
かなように、モース硬度が5以−1−のBまたはSi系
の材料から形成された非磁性下地層を何する磁気記録媒
体は長時間にわたって安定な再生出力を示すが、その他
の材料からなる下地層を有する磁気記録媒体は短時間の
うちに+IF牛出力出力下する。
, 2- As is clear from the above results, when the film thickness of the B underlayer is 0.
If it is less than 0.05/lln (500 people), the 11 raw output will drop in the early stages due to plastic deformation of the recording magnetic layer. In addition, the thickness of the B underlayer is 0.5.As is clear from the above results, the magnetic recording medium has a nonmagnetic underlayer formed from a B or Si-based material with a Mohs hardness of 5 or more. shows a stable reproduction output over a long period of time, but magnetic recording media with underlayers made of other materials drop the +IF output in a short period of time.

[発明の効果] 以l−説明したように、・本発明では、非磁性基体l−
に、モース硬度5以−LのBまたはSi系材料からなる
一下地層をベーパーデポジション法により500Å〜5
000人形成し、該層上、に記録磁性層を設けるように
している。
[Effects of the Invention] As explained below, in the present invention, the non-magnetic substrate l-
Then, a base layer made of B or Si-based material with a Mohs hardness of 5 or more is deposited with a thickness of 500 Å to 5
000 layers, and a recording magnetic layer is provided on the layer.

このような構成を採ることにより、磁気ヘッドの抑圧に
よる記録磁性層及び基板の塑性変形を大きく緩和するこ
とができ、長時間の摺動に対しても高い再生出力を維持
することができる。
By adopting such a configuration, plastic deformation of the recording magnetic layer and the substrate due to the suppression of the magnetic head can be greatly alleviated, and a high reproduction output can be maintained even during long-time sliding.

モース硬度5以りのBまたはSi系材料は非常に高い硬
度をHするので、その蒸着膜厚が薄くても記録磁性層及
び基板の塑性変形を抑制する効果か大きい。
B or Si-based materials with a Mohs hardness of 5 or higher have a very high hardness, so even if the deposited film is thin, it has a great effect in suppressing plastic deformation of the recording magnetic layer and the substrate.

また、ペーパーデボジンロン法によりこれらの薄膜を非
磁性基体lユに形成するとアモルファス構造をとるため
、その七に形成される磁性層が形態面、結晶構造面で下
地の影響を受けにくいことである。特に、磁性層かCo
−Cr合金膜である場合には、ド地がアモルファスであ
るとCo−Crは結晶学的に良好に配向するようになり
、優れたITL直磁化膜となる。
In addition, when these thin films are formed on a non-magnetic substrate by the paper deposition method, they take on an amorphous structure, so the magnetic layer formed on that layer is less susceptible to the influence of the substrate in terms of morphology and crystal structure. be. In particular, the magnetic layer or Co
In the case of a -Cr alloy film, if the ground is amorphous, Co--Cr will be well crystallographically oriented, resulting in an excellent ITL direct magnetization film.

史に、BまたはSi系蒸着−下地層は形態的に;(l(
構造であるため、そのヒに形成される磁性層粒子の粗大
化を抑えることができ、磁性層の磁化!11位を非常に
小さくすることができる。
Historically, B or Si-based vapor deposition-base layer was morphologically; (l(
Because of this structure, it is possible to suppress the coarsening of the magnetic layer particles that are formed in the magnetic layer, thereby reducing the magnetization of the magnetic layer! The 11th place can be made very small.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性基体上に、モース硬度5以上の材料をベー
パーデポジションすることにより形成された非磁性下地
層を有し、該下地層上に、軟磁性層を介するか、または
介さずに、記録磁性層が設けられていることを特徴とす
る薄膜型磁気記録媒体。
(1) A nonmagnetic underlayer formed by vapor deposition of a material having a Mohs hardness of 5 or more on a nonmagnetic substrate, with or without a soft magnetic layer on the underlayer. , a thin film magnetic recording medium characterized by being provided with a recording magnetic layer.
(2)モース硬度5以上の材料は、BあるいはSi単体
あるいはこれらの合金もしくは化合物であることを特徴
とする請求項1記載の薄膜型磁気記録媒体。
(2) The thin film magnetic recording medium according to claim 1, wherein the material having a Mohs hardness of 5 or more is B or Si alone, or an alloy or compound thereof.
(3)非磁性下地層の膜厚が500Å〜5000Åの範
囲内であることを特徴とする請求項1記載の薄膜型磁気
記録媒体。
(3) The thin film magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the nonmagnetic underlayer is within the range of 500 Å to 5000 Å.
(4)記録磁性層がCo単体またはCo合金からなる垂
直磁気異方性膜であることを特徴とする請求項1記載の
薄膜型磁気記録媒体。
(4) The thin film magnetic recording medium according to claim 1, wherein the recording magnetic layer is a perpendicular magnetic anisotropic film made of Co alone or a Co alloy.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5558945A (en) * 1993-12-28 1996-09-24 Tdk Corporation Magnetic recording medium
US5674637A (en) * 1993-12-28 1997-10-07 Tdk Corporation Magnetic recording medium

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