JPH0269638A - Fluid analyzing method by double fluid modulating system - Google Patents

Fluid analyzing method by double fluid modulating system

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JPH0269638A
JPH0269638A JP63220737A JP22073788A JPH0269638A JP H0269638 A JPH0269638 A JP H0269638A JP 63220737 A JP63220737 A JP 63220737A JP 22073788 A JP22073788 A JP 22073788A JP H0269638 A JPH0269638 A JP H0269638A
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JP
Japan
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fluid
fluids
detector
sample
signal
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Pending
Application number
JP63220737A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsushi Inoue
哲志 井上
Shigeyuki Kawarabayashi
河原林 成行
Aritoshi Yoneda
米田 有利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis

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Abstract

PURPOSE:To improve the measuring accuracy of such noxious components as exhaust fumes from automobiles, waste gases from factories, etc., contained in the atmosphere by dividing each fume or gas into two flows with a phase difference of 90 deg. in between and performing a synchronous detection rectifying process or smoothing process on each fluid modulated sample simultaneously and continuously made to flow to an analyzing section when the fume or gas is analyzed. CONSTITUTION:Comparison fluids R1 and R2 are prepared from sample fluids S1 and S2 obtained from different fluids or one fluid divided into two systems by setting a phase difference of 90 deg. between the fluids R1 and R2 with a common frequency. Then fluid modulation is performed by alternately passing the sample fluids and comparison fluids. Namely, the fluids S1 and S2 and R1 and R2 are simultaneously and continuously supplied to an analyzing section A provided with one detector D and its preamplifier 2. Then each analysis value is obtained on the fluids S1 and S2 by processing the output signal O (=O1+O2) of the detector D with a signal processing means B constituted of the combination of the 1st and 2nd synchronous detection rectifying means 3a and 3b and the 1st and 2nd smoothing means 4a and 4b.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ダブル流体変調方式(これは本発明者らの名
付けた名称である)という従来になかった特異な手法を
採用することにより、ただ一個の検出器を用いるだけで
ありながら、二種類の(または二つの系に分流された)
サンプル流体を同時にかつ連続的に分析することができ
る、全く新規な流体分析方法を提供せんとしてなされた
ものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention employs a unique technique never seen before, called the double fluid modulation method (this is the name given by the inventors). Although only one detector is used, two types (or two systems)
This was done with the aim of providing a completely new fluid analysis method that allows sample fluids to be analyzed simultaneously and continuously.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

例えば、サンプル流体の一例である大気中に含まれる自
動車排気ガスや工場排気ガスなどの有害成分(No、、
H,C,、あるいは、CO,など)の濃度(ひいては量
)を分析するような場合における流体分析方法としては
、従来から、ケミカルルミネッセンス検出器(CL D
)を備えた分析計とか、フレームイオン検出器(FID
)を備えた分析計とか、あるいは、コンデンサマイクロ
フォン方式またはマイクロフロ一方式等によるニューマ
チイック型検出器やサーモパイルあるいは半導体等の固
体検出器を備えた非分散型赤外線分析計(NDIR)な
ど、各種の検出器(センサー)を採用して成る流体分析
装置を用いる方法が知られている。
For example, harmful components such as automobile exhaust gas and factory exhaust gas contained in the atmosphere (No.
Conventionally, a chemical luminescence detector (CLD) has been used as a fluid analysis method when analyzing the concentration (and thus the amount) of H, C, or CO.
) or a flame ion detector (FID).
), or non-dispersive infrared analyzers (NDIR) equipped with pneumatic detectors using a condenser microphone type or micro flow type, or solid state detectors such as thermopiles or semiconductors. A method using a fluid analysis device that employs a detector (sensor) is known.

ところで、上記のような流体分析を行うに際しては、例
えば、NoとNO8、あるいは、メタン(CH4)とメ
タン以外のHC(NMHC) 、あるいはまた、COと
CO□というように、同一サンプル流体中の二種類の成
分の濃度を同時にかつ連続的に測定する必要があること
が多いが、従来−mに用いられてきた流体分析方法によ
りそれを実現するためには、どうしても二個の検出器(
センサー)が必要であった。
By the way, when performing the above-mentioned fluid analysis, it is necessary to analyze different types of fluids in the same sample fluid, such as No and NO8, methane (CH4) and HC other than methane (NMHC), or CO and CO□. It is often necessary to measure the concentration of two types of components simultaneously and continuously, but in order to achieve this with the fluid analysis method conventionally used, it is necessary to use two detectors (
sensor) was required.

即ち、N Oh N Oxとを同時連続測定する場合に
は、サンプル流体を二つの測定系に分流し、−方の系に
はサンプルガス中のNO濃度をそれ単独で測定するため
の第1NO検出器を設け、他方の系にはサンプルガス中
のNotをNOに変換する処理を施して生成された処理
流体中の全No濃度を測定するための第2NO検出器を
設ける、というように二個のNO検出器が必要であり(
No□濃度は第2NO検出器による全No濃度検出値と
第1NO検出器によるNo単独濃度検出値との差として
得られ、この手法は差量法と呼ばれる)、また、メタン
とメタン以外のHC(NMHC)とを同時連続測定する
場合には、サンプル流体を二つの測定系に分流し、一方
の系にはサンプル流体中の全HCtlA度(THC)を
測定するための第1HC検出器を設け、他方の系にはサ
ンプル流体中のメタン以外のHCを触媒燃焼させて除去
する処理を施して生成された処理ガス中のメタン濃度を
測定するための第2HC検出器を設ける、というように
二個のHC検出器が必要であり(この場合も差量法を用
いており、NMHCは第1HC検出器によるTHC濃度
検出値と第2HC検出器によるメタン濃度検出値との差
として得られる)、また、サンプル流体中のCOとCO
アとを同時連続測定する場合には、サンプル流体を二つ
の測定系に分流し、一方の系にはCO検出器を設は他方
の系にはCOを検出器を設けるというように、CO検出
器とCO2検出器の二個の異なる検出器が必要である。
That is, when simultaneously and continuously measuring N Oh, N Ox, the sample fluid is divided into two measurement systems, and the - system has a first NO detection system for independently measuring the NO concentration in the sample gas. One system is equipped with a second NO detector, and the other system is equipped with a second NO detector for measuring the total NO concentration in the processing fluid generated by converting Not in the sample gas to NO. NO detector is required (
The No□ concentration is obtained as the difference between the total No concentration detected by the second NO detector and the single No concentration detected by the first NO detector (this method is called the difference method), and methane and HC other than methane. (NMHC), the sample fluid is divided into two measurement systems, and one system is equipped with a first HC detector to measure the total HCtlA (THC) in the sample fluid. , the other system is provided with a second HC detector for measuring the methane concentration in the treated gas generated by performing a process to remove HC other than methane in the sample fluid by catalytic combustion. (A difference method is also used in this case, and NMHC is obtained as the difference between the THC concentration detected by the first HC detector and the methane concentration detected by the second HC detector.) Also, CO and CO in the sample fluid
In the case of simultaneous and continuous measurement of A and A, the sample fluid is divided into two measurement systems, and one system is equipped with a CO detector, and the other system is equipped with a CO detector. Two different detectors are required: a detector and a CO2 detector.

そして、上記のように同一サンプル流体を二つの系に分
流することにより、そのサンプル流体中の二種類の成分
の同時連続分析を行う場合に限らず、二種類の異なるサ
ンプル流体について夫々の中に含まれる特定成分の同時
連続分析を行おうとする場合にも、同様に複数の検出器
(センサー)を必要とすることが明らかである。
By dividing the same sample fluid into two systems as described above, it is not only possible to simultaneously and continuously analyze two types of components in the sample fluid, but also to analyze two different sample fluids in each system. It is clear that a plurality of detectors (sensors) are similarly required when simultaneously and continuously analyzing the specific components contained.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、上記したように、同一サンプル流体中の
二種類の成分の同時連続分析、あるいは、二種類の異な
るサンプル流体について夫々の中に含まれる特定成分の
同時連続分析を行うに際して、前記従来方法のように二
個の検出器(センサー)を用いなければならないという
ことは、(ア)分析装置が大型化すると共に製造コスト
が高くつく、 という問題のみならず、 (イ)二個の検出器毎にゼロ・スパン調整などの調整を
必要とするので、測定に要する手間が大きく非常に面倒
である、 (つ)各検出器の調整が十分で無く、二個の検出器の間
にゼロ調整誤差や感度差が存在する場合には、非常に大
きな測定誤差が生じることになる、 といった種々の問題を引き起こす。
However, as mentioned above, when performing simultaneous and continuous analysis of two types of components in the same sample fluid, or simultaneous and continuous analysis of specific components contained in two different sample fluids, it is difficult to use the conventional method. The need to use two detectors (sensors) in this way not only poses the problem of (a) increasing the size of the analyzer and increasing manufacturing costs, but also (b) requiring the use of two detectors each. (1) The adjustment of each detector is insufficient and there may be zero adjustment errors between the two detectors. If there is a difference in sensitivity or difference in sensitivity, a very large measurement error will occur, causing various problems.

なお、このような問題を避けるために、ただ一個の検出
器を備えた分析計を用いて、同一サンプル流体中の二種
類の成分を交互に測定するとか、あるいは、二種類の異
なるサンプル流体を交互に測定するという、言わばバッ
チ的な分析方法が考えられるが、その場合には、同時連
続測定を行えないために、測定データが不連続になって
しまうという欠点があり、特に、前述した差量法を用い
た分析を行う場合には、測定精度の大きな劣化を招く虞
れがある。従って、単に検出器の個数を節約するために
のみ、このようなバッチ的分析方法を採用することは、
流体分析の本来の目的を大きく犠牲にすることになりか
ねず、得策とは言えない。
In order to avoid such problems, it is recommended to alternately measure two types of components in the same sample fluid using an analyzer equipped with only one detector, or to measure two different types of sample fluids alternately. A so-called batch-like analysis method in which measurements are taken alternately can be considered, but in that case, the disadvantage is that the measurement data becomes discontinuous because simultaneous and continuous measurements cannot be performed. When performing analysis using a quantitative method, there is a risk that measurement accuracy will be significantly degraded. Therefore, adopting such a batch analysis method simply to save the number of detectors is
This is not a good idea as it may lead to a major sacrifice of the original purpose of fluid analysis.

そこで、かかる従来実情に鑑みて、本発明者らは、鋭意
研究の結果、各サンプル流体に対する流体変調周波数を
異ならせるマルチ流体変調方式という画期的な手法を採
用することによって、ただ一個の検出器を用いるだけで
ありながら、複数の(または複数の系に分流された)サ
ンプル流体を、同時にかつ連続的に分析することができ
る、全く新規な流体分析方法および装置を開発するに至
っており、その基本的概念については、昭和62年12
月11日付は出願の特願昭62−314806号等多数
の先願により、既に提案しているところである。
Therefore, in view of the conventional situation, the present inventors have conducted intensive research and have developed a method that allows for detection of only one fluid by adopting an innovative method called a multi-fluid modulation method in which the fluid modulation frequency for each sample fluid is different. We have developed a completely new fluid analysis method and device that can simultaneously and continuously analyze multiple sample fluids (or divided into multiple systems) using only a single device. Regarding its basic concept, please refer to December 1986.
The date of May 11 has already been proposed in many earlier applications, including Japanese Patent Application No. 1983-314806.

即ち、その先願に係るマルチ流体変調方式による流体分
析方法および装置は、第10図に示す基本的概念図およ
び第11図に示す要部具体的構成図に示すところから明
らかなように、 複数(この例では二つ)のサンプル流体31゜32(こ
れらは、もともと異なるものでも、あるいは、単一のサ
ンプル流体を二つの系に分流したものでもよい)を、夫
々、比較流体R1,R2により互いに異なる周波数Fl
(この例では1ヘルツ)、  F2 (この例では2ヘ
ルツ)で流体変調するための流体変調手段Vl、V2と
、 ただ一個の検出器dを有すると共に、前記流体変調され
た各サンプル流体Sl、S2が同時にかつ連続的に供給
される分析部aと、 前記分析部aにおける前記検出器dからの出力信号0を
、適宜周波数分離手段および信号整流・平滑手段(第1
0図においては概念的に示している)を用いて、前記各
サンプル流体SL、S2に対する各変調周波数Fl、F
2の信号成分01゜o2に分離して夫々整流および平滑
化処理することにより、前記各サンプル流体31.S2
に関する分析値を得るための信号処理手段すとから成り
、そして、前記信号処理手段すを構成するに、第11図
に具体的に示しているように、 プリアンプpを介して前記検出器dから出力される信号
Oから、前記各変調周波数Fl、F2付近の帯域の信号
のみを夫々選択的に通過させる2つのバンドパスフィル
ター al、a2を互いに並列的に設けると共に、 前記各バンドパスフィルターal(a2)の後段に、そ
の通過帯域周波数Fl(F2)に対応する流体変調手段
vl (V2)による実際の流体変調動作に同期して、
そのバンドパスフィルターal(a2)からの出力信号
を検波整流する同期検波整流器bl(b2)を設け、か
つ、前記各同期検波整流器bt(b2)の後段に、それ
からの出力信号を平滑化するための平滑回路cl(c2
)を設けである、 という構成を備えているものである。
That is, the fluid analysis method and apparatus using the multi-fluid modulation method according to the earlier application has multiple components, as is clear from the basic conceptual diagram shown in FIG. 10 and the specific configuration diagram of main parts shown in FIG. 11. (in this example, two) sample fluids 31 and 32 (these may be originally different or may be a single sample fluid divided into two systems) are respectively Different frequencies Fl
(1 Hz in this example), fluid modulation means Vl, V2 for fluid modulation at F2 (2 Hz in this example), and only one detector d, and each fluid modulated sample fluid Sl, An analysis section a to which S2 is simultaneously and continuously supplied, and an output signal 0 from the detector d in the analysis section a are suitably frequency separated means and signal rectification/smoothing means (first
(shown conceptually in Figure 0), each modulation frequency Fl, F for each sample fluid SL, S2 is
By separating the two signal components 01°o2 and rectifying and smoothing them, each of the sample fluids 31. S2
The signal processing means consists of a signal processing means for obtaining an analytical value for the signal, and as specifically shown in FIG. Two band pass filters al and a2 are provided in parallel with each other, which selectively pass only signals in bands around the respective modulation frequencies Fl and F2 from the output signal O, and each of the band pass filters al ( After a2), in synchronization with the actual fluid modulation operation by the fluid modulation means vl (V2) corresponding to the passband frequency Fl (F2),
A synchronous detection rectifier bl (b2) for detecting and rectifying the output signal from the band pass filter al (a2) is provided, and a synchronous detection rectifier bl (b2) is provided at the subsequent stage of each of the synchronous detection rectifiers bt (b2) for smoothing the output signal therefrom. The smoothing circuit cl (c2
) is provided.

つまり、かかる構成を有するマルチ流体変調方式による
流体分析装置においては、例えばロータリーバルブとか
3方切換電磁弁あるいは4方切換電磁弁などで構成され
る適宜流体変調手段Vl■2を用いて、比較流体R1,
R2により互いに異なる周波数Fl、F2で夫々流体変
調した二つの(または二つの系に分流された)サンプル
流体Sl、S2を、ただ一個の検出器dを有する分析部
aへ、同時にかつ連続的に供給することにより、先ず、
そのただ一個の検出器dから、全てのサンプル流体Sl
、32に対応する個々の測定信号成分(ol、o2)が
−柄内に重畳されたひとつの測定信号0 (=o 1 
+02)を得る、という従来常識では全く考えられなか
った特異な手法を採用すると共に、次に、前記ただ一個
の検出器dからの出力信号Oを、例えば、前記第10図
に例示しているように、適宜周波数分離手段と信号整流
・平滑手段とを組み合わせて構成された信号処理手段す
を用いて、前記各サンプル流体31.32に対する各変
調周波数Fl、F2の信号成分olO2に分離して夫々
整流および平滑化処理するという信号処理を行うことに
より、前記各サンプル流体Sl、S2に関する分析値を
得るようにしであるから、たとえ、同一サンプル流体中
の二種類の成分の同時連続分析、あるいは、二種類の異
なるサンプル流体について夫々の中に含まれる特定成分
の同時連続分析を行うに際しても、ただ一個の検出器(
センサー)dを設けるだけで済み、従って、二個の検出
器を必要としていた従来一般の流体分析装置の場合に比
べて、装置全体の小型化および筒素化ならびにコスト低
減を容易に図れると共に、検出器dの禰整を容易かつ短
時間に行え、かつ、従来のように複数の検出器間のゼロ
調整誤差や感度差は生じ得ないことから、常に良好な測
定精度を確保でき、以って、前述したような従来問題(
ア)、(イ)、(つ)を全て一挙に解消できるという基
本的に優れた利点を存している。
In other words, in a fluid analysis device using a multi-fluid modulation method having such a configuration, a comparative fluid is R1,
Two sample fluids Sl and S2 (or divided into two systems) fluid-modulated at different frequencies Fl and F2 by R2 are simultaneously and continuously sent to an analysis section a having only one detector d. By supplying, first,
From that single detector d, all sample fluid Sl
, 32, the individual measurement signal components (ol, o2) are superimposed within the -shaft as one measurement signal 0 (=o 1
+02), which was completely unthinkable in the conventional wisdom, and next, the output signal O from the single detector d is exemplified in FIG. 10, for example. Using a signal processing means constructed by appropriately combining a frequency separation means and a signal rectification/smoothing means, the sample fluids 31 and 32 are separated into signal components olO2 of each modulation frequency Fl and F2. By performing signal processing such as rectification and smoothing processing, the analytical values for each of the sample fluids Sl and S2 are obtained. Therefore, even if two types of components in the same sample fluid are analyzed simultaneously or continuously, , even when performing simultaneous and continuous analysis of specific components contained in two different sample fluids, only one detector (
It is only necessary to provide a sensor (sensor) d, and therefore, compared to conventional fluid analysis devices that require two detectors, the entire device can be made smaller and more cylindrical, and costs can be reduced. Detector d can be adjusted easily and quickly, and zero adjustment errors and sensitivity differences between multiple detectors do not occur as in conventional methods, so good measurement accuracy can always be ensured. Therefore, the conventional problem as mentioned above (
It has the fundamentally excellent advantage of being able to eliminate all of A), (B), and (T) at once.

ところが、このように優れた利点を有する先行技術に係
るマルチ流体変調方式による流体分析方法(ただし、各
サンプル流体に対する流体変調周波数を異ならせる、言
わば周波数分離式のもの)においても、 (1)各サンプル流体に対する流体変調周波数を異なら
せていることから、周波数特性に差が生じることが避け
られず、それによる測定誤差が生じる可能性がある、 (オ)全体としての応答速度は、複数の流体変調手段の
うちの最も流体変調周波数が低い(前記の例ではFl−
1ヘルツ)のものにより決定されてしまう一方、流体変
調手段の耐久性は最も流体変調周波数が高い(前記の例
ではF2−2ヘルツ)のものにより決定されてしまうた
め、各流体変調手段の流体変調周波数の最適設計が困難
である、 という問題点があることが判明した。
However, even in the fluid analysis method using the multi-fluid modulation method according to the prior art which has such excellent advantages (however, the fluid modulation frequency for each sample fluid is different, so to speak, a frequency separation method), (1) Since the fluid modulation frequency for the sample fluid is different, it is inevitable that differences in frequency characteristics will occur, which may cause measurement errors. Of the modulation means, the fluid modulation frequency is the lowest (in the above example, Fl-
1 Hz), while the durability of the fluid modulation means is determined by the highest fluid modulation frequency (F2-2 Hz in the above example). It was found that there is a problem in that it is difficult to optimally design the modulation frequency.

本発明は、かかる実情に鑑みて、更なる研究の結果なさ
れたものであって、その目的は、ただ一個の検出器を用
いるだけでありながら、二種類の(または二つの系に分
流された)サンプル流体を、同時にかつ連続的に測定で
きるダブル流体変調方式による流体分析方法であって、
しかも、各サンプル流体に対する流体変調周波数を一定
にできるようにすることにより、より一層優れた測定精
度が得られると共に、装置全体としての耐久性の向上を
も図り得るようにぜんとすることにある。
The present invention was made as a result of further research in view of the above circumstances, and its purpose is to use only one detector, but to divide the flow into two types (or into two systems). ) A fluid analysis method using a double fluid modulation method that can simultaneously and continuously measure a sample fluid,
Moreover, by making the fluid modulation frequency constant for each sample fluid, it is possible to obtain even better measurement accuracy and to improve the durability of the entire device. .

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記目的を達成するために、本発明によるダブル流体変
調方式による流体分析方法は、第1図の基本的概念図(
クレーム対応図)に示すように、二種類のサンプル流体
Sl、S2 (これは、もともと異なるものであっても
、あるいは、単一のサンプル流体を二つの系に分流した
ものであってもよい)を、夫々、比較流体R1,R2に
より所定の周波数F(ヘルツ)で、かつ、互いに90゜
または略90@異なる位相関係を持たせて流体変調し、 ただ一個の検出器りを有する分析部Aへ、前記流体変調
された各サンプル流体31.32を、同時にかつ連続的
に供給し、 前記分析部Aにおける前記検出器りからの出力信号0(
01+02)を、前記各サンプル流体S1、S2に対す
る各流体変調動作に一致する同期信号により夫々同期検
波整流および平滑化処理することによって、前記各サン
プル流体St、32に関する各分析値を得る、 という手順によることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the fluid analysis method using the double fluid modulation method according to the present invention is based on the basic conceptual diagram shown in FIG.
As shown in the claim correspondence diagram), two types of sample fluids Sl and S2 (this may be originally different, or a single sample fluid may be divided into two systems) are fluid-modulated by reference fluids R1 and R2 at a predetermined frequency F (Hertz) and with a phase relationship that is 90° or approximately 90@ different from each other, and an analysis section A has only one detector. simultaneously and continuously supplying each of the fluid-modulated sample fluids 31 and 32 to
01+02) are subjected to synchronous detection rectification and smoothing processing using synchronous signals corresponding to each fluid modulation operation for each of the sample fluids S1 and S2, thereby obtaining each analysis value regarding each of the sample fluids St and 32. It is characterized by

(作用〕 かかる特徴ある手段を採用したことにより発揮される作
用は次の通りである。
(Effects) The effects achieved by employing such distinctive means are as follows.

即ち、上記本発明に係るダブル流体変調方式による流体
分析方法においては、後述する実施例の記載からもより
一層明らかとなるように、例えばロータリーパルプとか
3方切換電磁弁または4方切換電磁弁などで構成される
適宜流体変調手段を用いて、比較流体R1,R2により
所定の(共通の)周波数Fで、かつ、互いに90°また
は略90°異なる位相関係を持たせて夫々流体変調した
二種類の(または二つの系に分流された)サンプル流体
S1.S2を、ただ一個の検出器りを有する分析部Aへ
、同時にかつ連続的に供給することにより、先ず、その
ただ一個の検出器りから、両サンプル流体Sl、S2に
対応する個々の測定信号成分01,02が一括的に重畳
された一つの測定信号0(−01+02)を得る、とい
う更に特異な手法を採用すると共に、次に、前記ただ一
個の検出器りからの出力信号0(O1+02)を、例え
ば、図に例示しているような同期検波整流手段と平滑手
段とを組み合わせて構成された適宜信号処理手段を用い
て、前記各サンプル流体Sl。
That is, in the fluid analysis method using the double fluid modulation method according to the present invention, for example, rotary pulp, a 3-way switching solenoid valve, a 4-way switching solenoid valve, etc. Two types of fluids are modulated by comparative fluids R1 and R2 at a predetermined (common) frequency F and with a phase relationship that is different from each other by 90° or approximately 90° using appropriate fluid modulating means consisting of: (or split into two systems) sample fluid S1. By simultaneously and continuously supplying S2 to the analysis section A, which has only one detector, the individual measurement signals corresponding to both sample fluids Sl and S2 are first obtained from that single detector. We adopted a more unique method of obtaining a single measurement signal 0 (-01+02) in which components 01 and 02 were superimposed all at once, and then obtained an output signal 0 (O1+02) from the single detector. ), for example, by using an appropriate signal processing means configured by combining a synchronous detection rectification means and a smoothing means as exemplified in the figure.

S2に対する各流体変調動作に一致する同期信号により
夫々同期検波整流および平滑化処理することにより、前
記各サンプル流体SL、S2に関する各分析値を得るよ
うにしたから、たとえ、同一サンプル流体中の二種類の
成分の同時連続分析、あるいは、二種類の異なるサンプ
ル流体について夫々の中に含まれる特定成分の同時連続
分析を行うに際しても、ただ一個の検出器(センサー)
Dを備えているだけの簡素かつ安価な分析装置を用いる
ことができ、従って、二個の検出器を必要としていた従
来一般の流体分析方法の場合に比べて、装置全体の小型
化および簡素化ならびにコスト低減を容易に図れると共
に、検出器の調整を容易かつ短時間に行え、かつ、従来
のように二個の検出器間のゼロ調整誤差や感度差は生じ
得ないことから、常に良好な測定精度を確保できるよう
になり、しかも、先に説明した先行技術に係る周波数分
離式のマルチ流体変調方式による流体分析方法の場合と
は異なり、二つのサンプル流体に対する流体変調の位相
関係を互いに異ならせる、言わば位相分離式のダブル流
体変調方式を採用したことにより、両サンプル流体に対
する流体変調周波数を一定にできるようにしたから、分
析装置に最も適した流体変調周波数を容易に設定するこ
とができ、以って、測定精度および装置全体としての耐
久性のより一層の向上を達成することができるようにな
った。
Since each analysis value for each of the sample fluids SL and S2 is obtained by performing synchronous detection rectification and smoothing processing using a synchronous signal that matches each fluid modulation operation for S2, even if two Only one detector (sensor) is required for simultaneous and continuous analysis of different types of components, or for simultaneous and continuous analysis of specific components contained in two different sample fluids.
It is possible to use a simple and inexpensive analyzer equipped with only D, and therefore the entire apparatus can be made smaller and simpler than conventional fluid analysis methods that require two detectors. In addition, it is easy to reduce costs, the detector can be adjusted easily and in a short time, and there is no zero adjustment error or sensitivity difference between two detectors as in the past, so it is always possible to achieve good results. It is now possible to ensure measurement accuracy, and unlike the fluid analysis method using the frequency-separated multi-fluid modulation method according to the prior art described above, it is possible to make the phase relationship of the fluid modulation for two sample fluids different from each other. By adopting a phase-separated double fluid modulation method, the fluid modulation frequency for both sample fluids can be kept constant, making it easy to set the most suitable fluid modulation frequency for the analyzer. Therefore, it has become possible to further improve the measurement accuracy and the durability of the device as a whole.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明に係るダブル流体変調方式による流体分析
方法の具体的実施例を図面(第2図ないし第9図)に基
いて説明する。
Hereinafter, a specific embodiment of the fluid analysis method using the double fluid modulation method according to the present invention will be described with reference to the drawings (FIGS. 2 to 9).

第2図は第1実施例に係り、例えば大気中や生産設備か
らの排気流体などのサンプル流体中に含まれるN Ox
あるいはH,C,などの濃度を分析するような場合に本
発明方法を適用して構成されたダブル流体変調方式によ
る流体分析装置の概略構成を示している。
FIG. 2 relates to the first embodiment, and shows NOx contained in a sample fluid such as the atmosphere or exhaust fluid from production equipment.
Alternatively, it shows a schematic configuration of a fluid analysis device using a double fluid modulation method, which is configured by applying the method of the present invention when analyzing the concentration of H, C, etc.

さて、図示しているように、二種類のサンプル流体31
.S2 (これは、もともと異なるものであっても、あ
るいは、後で詳述するように単一のサンプル流体を二つ
の系に分流したものであってもよい)を、夫々、第1お
よび第2流体変調手段la、lbを用いて、比較流体R
1,R2(一般にはゼロ流体が使用される)により、所
定の共通周波数F(この例では1ヘルツに設定している
)で、かつ、互いに異なる位相関係を持たせて(両者の
位相差θを90”または略906に設定して)流体変調
した(つまり、サンプル流体と比較流体とを交互に通過
させた)後、それら流体変調された各サンプル流体31
.S2 (R1,R2)を、ただ一個の検出器D(セン
サー)およびそれに対するプリアンプ2を有する分析部
Aへ、同時にか津連続的に供給する。なお、この場合に
は、前記分析部Aにおける検出器りとしては、−aに、
NO検出用のケミカルルミネッセンス検出器(CLD)
、あるいは、炭化水素(HC)検出用のフレームイオン
検出器(F I D)などのように、サンプル流体が直
接通過するタイプのものが用いられるため、前記のよう
に流体変調された両サンプル流体Sl、S2 (R1,
R2)は、混合状態で前記検出器りへ供給される。
Now, as shown in the figure, two types of sample fluids 31
.. S2 (which may be different in nature or may be a single sample fluid split into two systems, as detailed below), into the first and second systems, respectively. Using the fluid modulation means la, lb, the comparative fluid R
1 and R2 (generally zero fluid is used), at a predetermined common frequency F (set to 1 Hz in this example) and with mutually different phase relationships (phase difference θ between the two). 90” or approximately 906) (i.e., passing the sample fluid and the reference fluid alternately), each of the fluid-modulated sample fluids 31
.. S2 (R1, R2) are simultaneously and continuously supplied to an analysis section A having only one detector D (sensor) and a preamplifier 2 for it. In this case, the detector in the analysis section A is -a,
Chemical luminescence detector (CLD) for NO detection
Alternatively, since a type of flame ion detector (FID) through which the sample fluid passes directly is used, such as a flame ion detector (FID) for detecting hydrocarbons (HC), both sample fluids modulated as described above are Sl, S2 (R1,
R2) is supplied to the detector in a mixed state.

従って、プリアンプ2を介して前記検出器りから出力さ
れる信号Oは、図中模式的に示しているように、両サン
プル流体St、S2に対応する個々の測定信号成分Of
、02が一括的に重畳されたひとつの測定信号(o=0
1+02)として得られることになる。
Therefore, the signal O outputted from the detector via the preamplifier 2 has individual measurement signal components Of corresponding to both sample fluids St and S2, as schematically shown in the figure.
, 02 are collectively superimposed on one measurement signal (o=0
1+02).

そこで、前記検出器D(プリアンプ2)からの出力信号
0 (−01+02)を、例えば、同第2図に概念的に
例示しているような第1および第2同期検波整流手段3
a(3b)と第1および第2平滑手段4a(4b)とを
組み合わせて構成された適宜信号処理手段B(その詳細
構成については後述する)を用いて、前記各サンプル流
体SL。
Therefore, the output signal 0 (-01+02) from the detector D (preamplifier 2) is transferred to the first and second synchronous detection rectification means 3, for example, as conceptually illustrated in FIG.
a (3b) and a first and second smoothing means 4a (4b).

S2に対する各流体変調動作に一致する同期信号により
夫々同期検波整流することにより、前記各サンプル流体
Sl、S2に関する信号成分0f02に分離し、しかる
後、夫々の信号成分01゜02を平滑する、という信号
処理を行うことによって、前記各サンプル流体SL、S
2に関する各分析値を得るようにしたものである。
By performing synchronous detection rectification using a synchronous signal corresponding to each fluid modulation operation for S2, the sample fluids S1 and S2 are separated into signal components 0f02, and then the respective signal components 01 and 02 are smoothed. By performing signal processing, each of the sample fluids SL, S
In this example, each analysis value related to 2 is obtained.

第3図は第2実施例に係り、例えば大気中や生産設備か
らの排気流体などのサンプル流体中に含まれるC Ox
などの4度を分析するような場合に本発明方法を適用し
て構成されたダブル流体変調方式による流体分析方法の
要部の概略装置を示している。
FIG. 3 relates to the second embodiment, and shows COx contained in a sample fluid such as the atmosphere or exhaust fluid from production equipment.
This figure shows a schematic apparatus of a main part of a fluid analysis method using a double fluid modulation method, which is configured by applying the method of the present invention to the case of analyzing 4 degrees.

この場合には、装置の分析部Aは、−mに、非分散型赤
外線分析計(NDIR)で構成され、従って、検出器D
(センサー)としては、コンデンサマイクロフォン方式
あるいはマイクロフロ一方式等によるニエーマテインク
型検出器やサーモパイルあるいは半導体等の固体検出器
などのようにサンプル流体が直接通過しないタイプのも
のが用いられる。ただし、この図に示すように、分析部
Aを、ただ一個のセルCを用いた所謂シングルセルタイ
プのNDIRで構成する場合には、やはり、上記第1実
施例の場合と同様に、流体変調された両サンプル流体S
l、32  (R1,R2)は、混合状態で前記セルC
へ供給され、そのセルCを通過する測定用赤外線の吸光
度が検出器りにより測定される。
In this case, the analysis section A of the device consists of a non-dispersive infrared analyzer (NDIR) at -m, and therefore a detector D
As the sensor, a type through which the sample fluid does not pass directly is used, such as a condenser microphone type or microflow type detector, or a solid state detector such as a thermopile or semiconductor. However, as shown in this figure, when the analysis section A is configured with a so-called single cell type NDIR using only one cell C, the fluid modulation is also performed as in the case of the first embodiment. Both sample fluids S
l, 32 (R1, R2) are the cells C in a mixed state.
The absorbance of infrared rays for measurement passing through the cell C is measured by a detector.

なお、この実施例におけるその他の構成等については、
上記第1実施例のものと同様であるから、同じ機能を有
する部材には同じ参照符号を付することにより、その説
明は省略する。
Regarding other configurations in this example,
Since it is the same as that of the first embodiment, the same reference numerals are given to the members having the same functions, and the explanation thereof will be omitted.

第4図は第3実施例に係り、これも、COXなどの1度
を分析するような場合に本発明方法を適用して構成され
たダブル流体変調方式による流体分析方法の要部の概略
装置を示している。
FIG. 4 relates to the third embodiment, and this is also a schematic device of the main part of the fluid analysis method using the double fluid modulation method, which is configured by applying the method of the present invention when analyzing COX etc. once. It shows.

この場合には、分析部Aを、2個のセルClC2を有す
る所謂ダブルセルタイプの非分散型赤外線分析計(ND
IR)で構成しであるから、流体変調された両サンプル
流体Sl、S2 (R1゜R2)は、互いに混合される
こと無く、各別のセルCI、C2内へ供給されることに
なるが、それら両セルCI、C2を通過した各測定用赤
外線の吸光度は、一個の検出器りにより同時に測定され
る。なお、図示はしていないが、前記二個のセルCI、
C2のには、例えば、その一方にCO測定用のソリッド
フィルターが、そして、他方にCO□測定用のソリッド
フィルターが、夫々、付設されている。
In this case, the analysis section A is replaced with a so-called double cell type non-dispersive infrared analyzer (ND) having two cells ClC2.
IR), both fluid-modulated sample fluids S1 and S2 (R1°R2) are supplied into separate cells CI and C2 without being mixed with each other. The absorbance of each measuring infrared ray that has passed through both cells CI and C2 is simultaneously measured by one detector. Although not shown, the two cells CI,
C2 has, for example, a solid filter for CO measurement on one side, and a solid filter for CO□ measurement on the other side.

また、この実施例におけるその他の構成等については、
前記第1実施例および第2実施例のものと同様であるか
ら、同じ機能を有する部材には同じ参照符号を付するこ
とにより、その説明は省略する。
In addition, regarding other configurations in this example,
Since it is the same as that of the first and second embodiments, members having the same functions will be given the same reference numerals and their explanation will be omitted.

ところで、前記両サンプル流体S1.S2は、例えば2
つの排気流路から各別に導いてくる場合のように、もと
もと異なるものであってもよいし、あるいは、第5図に
例示するように、単一のサンプル流体SOを2つの系に
分流したものであってもよい。これは、一般に、同一サ
ンプル流体SO中のCOとCOtとか、NoとN Ox
とか、メタンとメタン以外のHC(NMHC)とを同時
連続測定する場合などに適用されるが、その場合には、
図示しているように、少なくとも一方の系に、NO□を
NOに変換するための、あるいは、COをCO8に変換
するためコンバータ5とか、図示はしていないが、ノン
メタン除去装置、あるいは、所要のフィルターなどが設
けられるのが普通である。なお、この第5図に例示して
いるように、前記比較流体R1,R2についても、共通
の比較流体RO(例えばゼロ流体)を用い得るように構
成してもよい。
By the way, both sample fluids S1. S2 is, for example, 2
They may be originally different, as in the case where each sample fluid is introduced separately from two exhaust channels, or a single sample fluid SO may be divided into two systems, as illustrated in Fig. 5. It may be. This generally refers to CO and COt or No and NOx in the same sample fluid SO.
It is applied when simultaneously and continuously measuring methane and HC other than methane (NMHC), but in that case,
As shown in the figure, at least one of the systems is equipped with a converter 5 for converting NO□ to NO or CO to CO8, and a non-methane removal device or other necessary components, although not shown in the figure. Usually, a filter or the like is provided. Note that, as illustrated in FIG. 5, a common comparison fluid RO (for example, zero fluid) may be used for the comparison fluids R1 and R2.

また、前記各流体変調手段1a、lbは、サンプル流体
5l(S2)と比較流体R1(R2)とを所定の周波数
で交互に切り換え得るものでありさえすれば、その構成
は任意であり、例えば、第6図(イ)に示すように、例
えばモーターMで内部ローターを駆動するようにしたロ
ータリーパルプで構成してもよく、あるいは、第6図(
ロ)に示すような4方切換電磁弁で構成してもよく、ま
た、図示はしていないが、3方切換電磁弁を用いて構成
しても差し支え無い。
Further, each of the fluid modulation means 1a, lb may have any configuration as long as it can alternately switch between the sample fluid 5l (S2) and the comparison fluid R1 (R2) at a predetermined frequency. For example, , as shown in FIG. 6(a), it may be constructed of a rotary pulp in which the internal rotor is driven by a motor M, for example, or as shown in FIG. 6(a).
It may be configured with a four-way switching solenoid valve as shown in b), or it may be configured using a three-way switching solenoid valve, although not shown.

なお、前記第6図(イ)、(ロ)に夫々示しているよう
に、前記流体変調手段1a、lbの一方または両方には
、その実際の流体変調動作を検出してそれに対応した同
期信号を発生する同期信号発生器9 (9a、9b)が
付設されている。
As shown in FIGS. 6(a) and 6(b), one or both of the fluid modulating means 1a and 1b detects the actual fluid modulating operation and generates a corresponding synchronizing signal. A synchronizing signal generator 9 (9a, 9b) is attached to generate the synchronous signal.

そして、第7図は、前記信号処理手段Bの具体的な一構
成例を示し、前記プリアンプ2を介して検出器りから出
力された信号Oを、前記流体変調周波数Fに相当する1
ヘルツの中心周波数を有するバンドパスフィルター6を
通すことにより、他の周波数のノイズ成分を予め除去し
た後、互いに並列に設けられた二つの信号処理系列に分
岐し、一方の信号処理系列には、第1t体変調手段1a
による実際の流体変調動作を表す信号く前記第6図(イ
)、(ロ)に示したように、第1流体変調手段1aに付
設された第1同期信号発生器9aからの同期信号〉によ
り、前記バンドパスフィルター6からの出力信号Oを同
期整流するための第1同期検波整流回路7aを設け、更
に、その後段に、前記第1同期検波整流回路7aからの
出力信号を平滑化すると共に高周波ノイズを除去するた
めの第1平滑回路8aの一例としてのローパスフィルタ
ー(L、P、F)を設け、そして、他方の信号処理系列
には、第22i!L体変調手段1bによる実際の流体変
調動作を表す信号く前記第6図(イ)(ロ)に示したよ
うに、第2流体変調手段1bに付設された第2同期信号
発生器9bからの同期信号〉により、前記バンドパスフ
ィルター6からの出力信号Oを同期整流するための第2
同期検波整流回路7bを設け、更に、その後段に、前記
第2同期検波整流回路7bからの出力信号を平滑化する
と共に高周波ノイズを除去するための第2平滑回路8b
の一例としてのローパスフィルター(L。
FIG. 7 shows a specific example of the configuration of the signal processing means B, in which the signal O output from the detector via the preamplifier 2 is converted into a signal O corresponding to the fluid modulation frequency F.
After noise components of other frequencies are removed in advance by passing through a band pass filter 6 having a center frequency of Hertz, the signal processing system branches into two signal processing systems installed in parallel with each other, and one signal processing system includes: 1st t-body modulation means 1a
As shown in FIGS. 6(a) and 6(b), the synchronizing signal from the first synchronizing signal generator 9a attached to the first fluid modulating means 1a is , a first synchronous detection rectifier circuit 7a is provided for synchronously rectifying the output signal O from the band pass filter 6, and further, at a subsequent stage, the output signal from the first synchronous detection rectifier circuit 7a is smoothed and A low-pass filter (L, P, F) as an example of the first smoothing circuit 8a for removing high-frequency noise is provided, and the other signal processing series includes a 22i! The signal representing the actual fluid modulation operation by the L-body modulation means 1b is generated from the second synchronous signal generator 9b attached to the second fluid modulation means 1b, as shown in FIGS. 6(a) and 6(b). synchronous signal> for synchronously rectifying the output signal O from the bandpass filter 6.
A synchronous detection rectifier circuit 7b is provided, and a second smoothing circuit 8b is provided at the subsequent stage for smoothing the output signal from the second synchronous detection rectifier circuit 7b and removing high frequency noise.
A low pass filter (L.

P、  F)を設けたものである。P, F).

なお、上記第7図に示した信号処理手段Bは、前記両流
体変調手段1a、1b夫々に同期信号発生器9a、9b
を付設した場合の回路構成例であるが、一方の流体変調
手段(例えば第1流体変調手段1a)のみに同期信号発
生器9を付設した場合には、第8図に示すように、その
同期信号発生器9から得られる同期信号(第1流体変調
手段1aの実際の流体変調動作を表す信号)から、位相
がθ(90’または略90°)異なる信号(第2流体変
調手段1bの実際の流体変調動作を表す信号)を生成す
る移相回路10を設けるように構成すればよい。
It should be noted that the signal processing means B shown in FIG.
This is an example of a circuit configuration when a synchronizing signal generator 9 is attached to only one of the fluid modulating means (for example, the first fluid modulating means 1a), as shown in FIG. A signal whose phase differs by θ (90' or approximately 90°) from a synchronization signal (a signal representing the actual fluid modulation operation of the first fluid modulation means 1a) obtained from the signal generator 9 (a signal representing the actual fluid modulation operation of the second fluid modulation means 1b). The configuration may be such that a phase shift circuit 10 is provided that generates a signal representing a fluid modulation operation.

第9図は、上記のように構成されたダブル流体変調方式
による流体分析方法における各部の動作ならびに信号の
タイミングチャートを示しており、この図から明らかな
ように、前記第1同期検波整流回路7aおよび第1平滑
回路8aにおいては、サンプル流体S2に対応する検出
信号はキャンセルされて、サンプル流体Slに対応する
検出信号のみがその濃度信号に関する有意な信号として
出力され、一方、前記第2同期検波整流回路7bおよび
第2平滑回路8bにおいては、サンプル流体Slに対応
する検出信号はキャンセルされて、サンプル流体S2に
対応する検出信号のみがその濃度信号に関する有意な信
号として出力されることになる。
FIG. 9 shows the operation of each part and a signal timing chart in the fluid analysis method using the double fluid modulation method configured as described above, and as is clear from this diagram, the first synchronous detection rectifier circuit 7a In the first smoothing circuit 8a, the detection signal corresponding to the sample fluid S2 is canceled and only the detection signal corresponding to the sample fluid Sl is output as a significant signal related to the concentration signal, while the second synchronous detection In the rectifier circuit 7b and the second smoothing circuit 8b, the detection signal corresponding to the sample fluid Sl is canceled, and only the detection signal corresponding to the sample fluid S2 is output as a significant signal regarding the concentration signal.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
ダブル流体変調方式による流体分析方法によれば、二種
類のくまたは二つの系に分流された)サンプル流体を、
夫々、比較流体により所定の共通周波数で、かつ、互い
に90’または略90°異なる位相関係を持たせて流体
変調し、それら流体変調された全てのサンプル流体を、
ただ一個の検出器を有する分析部へ、同時にかつ連続的
に供給することにより、先ず、そのただ一個の検出器か
ら、全てのサンプル流体に対応する個々の測定信号成分
が一括的に重畳された一つの測定信号を得るようにし、
次に、前記ただ一個の検出器からの出力信号を、前記各
サンプル流体に対する各流体変調動作に一致する同期信
号により、夫々、同期横波整流および平滑化処理するこ
とにより、前記各サンプル流体に関する各分析値を得る
ようにしたから、たとえ、同一サンプル流体中の二種類
の成分の同時連続分析、あるいは、二種類の異なるサン
プル流体について夫々の中に含まれる特定成分の同時連
続分析を行うに際しても、ただ一個の検出器(センサー
)を備えているだけの簡素かつ安価な流体分析装置を用
いることができ、従って、二個の検出器を必要としてい
た従来一般の流体分析方法の場合に比べて、装置全体の
小型化および簡素化ならびにコスト低減を容易に図れる
と共に、検出器の調整を容易かつ短時間に行え、かつ、
従来のように二個の検出器間のゼロ調整誤差や感度差は
生じ得ないことから、常に良好な測定精度を確保できる
ようになり、しかも、先に説明した先行技術に係る周波
数分離式のマルチ流体変調方式による流体分析方法とは
異なり、二つのサンプル流体に対する流体変調の位相関
係を異ならせる、という言わば位相分離式のマルチ流体
変調方式を採用していることから、両サンプル流体に対
する流体変調周波数を一定にできるようになり、分析装
置に最も適した流体変調周波数を容易に設定することが
でき、以って、測定精度および装置全体としての耐久性
のより一層の向上を達成することができる、という顕著
に優れた効果が発揮される。
As is clear from the detailed description above, according to the fluid analysis method using the double fluid modulation method according to the present invention, the sample fluid (divided into two types or systems) can be
Fluid modulation is performed using a comparative fluid at a predetermined common frequency and with a phase relationship different from each other by 90' or approximately 90°, and all sample fluids subjected to fluid modulation are
By simultaneously and continuously supplying the analyzer with a single detector, the individual measurement signal components corresponding to all the sample fluids from that single detector were first superimposed all at once. Try to get one measurement signal,
The output signal from the single detector is then subjected to synchronous transverse rectification and smoothing processing by synchronous signals corresponding to each fluid modulation operation for each sample fluid, respectively. Since analytical values are obtained, even when performing simultaneous and continuous analysis of two types of components in the same sample fluid, or simultaneous and continuous analysis of specific components contained in two different sample fluids. , it is possible to use a simple and inexpensive fluid analysis device equipped with just one detector (sensor), compared to conventional fluid analysis methods that require two detectors. , the entire device can be easily miniaturized and simplified, and costs can be reduced, and the detector can be adjusted easily and in a short time, and
Since there is no zero adjustment error or sensitivity difference between the two detectors as in the past, it is possible to always ensure good measurement accuracy. Unlike fluid analysis methods that use multi-fluid modulation, we use a phase-separated multi-fluid modulation method in which the phase relationship of fluid modulation for two sample fluids is different, so that fluid modulation for both sample fluids is possible. The frequency can now be kept constant, making it easy to set the most suitable fluid modulation frequency for the analyzer, thereby further improving measurement accuracy and the durability of the device as a whole. It is possible to achieve a remarkable effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明に係るダブル流体変調方式による流体
分析方法の基本的概念および作用の説明図(クレーム対
応図)であり、また、第2図ないし第9図は各種具体的
実施例を示し、第2図は本発明方法を適用して構成され
た第1実施例に係る流体分析装置の全体概略構成図、第
3図は第2実施例に係る流体分析装置の要部概略構成図
、第4図は第3実施例に係る流体分析装置の要部概略構
成図、第5図は各実施例に対する補足説明のための要部
概略構成図、第6図(イ)、(ロ)は夫々各実施例に対
する別の補足説明のための要部概略構成図、第7図は各
実施例に対する更に別の補足説明のための要部概略構成
図、第8図は第7図の変形例に相当する要部概略構成図
、そして、第9図は上記各実施例に共通する動作説明用
タイミングチャートである。 また、第10図および第1!図は本発明の技術的背景な
らびに先行技術における問題点を説明するためのもので
あって、第1O図は先行技術に係るマルチ流体変調方式
による流体分析装置の基本的概念図、第11図はその要
部の概略回路構成図を夫々示している。 Sl、S2    :サンプル流体、 R1,R2:比較流体、 la、lb    :流体変調手段、 F       :所定の流体変調周波数、θ    
   :流体変調動作の位相差、9 (9a、9b):
同期信号発生器、A       :分析部、 D       :検出器、 B       :信号処理手段、 ?a、7b    :同期検波整流回路、8a、8b 
   :平滑回路。 出願人 株式会社 堀 場 製 作 所代理人 弁理士
  藤 本 英 夫
FIG. 1 is an explanatory diagram (diagram corresponding to claims) of the basic concept and operation of the fluid analysis method using the double fluid modulation method according to the present invention, and FIGS. 2 to 9 illustrate various specific embodiments. 2 is an overall schematic configuration diagram of a fluid analysis device according to a first embodiment configured by applying the method of the present invention, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram of main parts of a fluid analysis device according to a second embodiment. , FIG. 4 is a schematic diagram of the main parts of the fluid analysis device according to the third embodiment, FIG. 5 is a schematic diagram of the main parts for supplementary explanation of each embodiment, and FIGS. 6 (a) and (b) 7 is a schematic configuration diagram of main parts for further supplementary explanation of each embodiment, and FIG. 8 is a modification of FIG. 7. FIG. 9 is a schematic configuration diagram of main parts corresponding to an example, and a timing chart for explaining the operation common to each of the above embodiments. Also, Figure 10 and Figure 1! The figures are for explaining the technical background of the present invention and problems in the prior art, and FIG. A schematic circuit configuration diagram of the main part thereof is shown. SL, S2: sample fluid, R1, R2: comparison fluid, la, lb: fluid modulation means, F: predetermined fluid modulation frequency, θ
: Phase difference of fluid modulation operation, 9 (9a, 9b):
Synchronous signal generator, A: Analysis section, D: Detector, B: Signal processing means, ? a, 7b: Synchronous detection rectifier circuit, 8a, 8b
: Smoothing circuit. Applicant Horiba Manufacturing Co., Ltd. Representative Patent Attorney Hideo Fujimoto

Claims (1)

【特許請求の範囲】 二種類の(または二つの系に分流された)サンプル流体
を、夫々、比較流体により所定の周波数で、かつ、互い
に90°または略90°異なる位相関係を持たせて流体
変調し、 ただ一個の検出器を有する分析部へ、前記流体変調され
た各サンプル流体を、同時にかつ連続的に供給し、 前記分析部における前記検出器からの出力信号を、前記
各サンプル流体に対する各流体変調動作に一致する同期
信号により夫々同期検波整流および平滑化処理すること
によって、前記各サンプル流体に関する各分析値を得る
、 という手順によることを特徴とするダブル流体変調方式
による流体分析方法。
[Scope of Claims] Two types of sample fluids (or divided into two systems) are controlled by a comparative fluid at a predetermined frequency and with a phase relationship that is different from each other by 90° or approximately 90°. simultaneously and continuously supplying each of the fluid-modulated sample fluids to an analysis section having only one detector, and output signals from the detectors in the analysis section to an analysis section having only one detector; A fluid analysis method using a double fluid modulation method, characterized in that each analysis value for each sample fluid is obtained by performing synchronous detection rectification and smoothing processing using a synchronization signal that matches each fluid modulation operation.
JP63220737A 1988-09-03 1988-09-03 Fluid analyzing method by double fluid modulating system Pending JPH0269638A (en)

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JP63220737A Pending JPH0269638A (en) 1988-09-03 1988-09-03 Fluid analyzing method by double fluid modulating system

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JP (1) JPH0269638A (en)

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