JPH0269721U - - Google Patents

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JPH0269721U
JPH0269721U JP14941388U JP14941388U JPH0269721U JP H0269721 U JPH0269721 U JP H0269721U JP 14941388 U JP14941388 U JP 14941388U JP 14941388 U JP14941388 U JP 14941388U JP H0269721 U JPH0269721 U JP H0269721U
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JP
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semiconductor
chip
vortex generator
strain gauge
base
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JP14941388U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図、第３図は第１図の要部構成説明図、第４図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図である。 １１……シリコンチツプ、１１１……渦発生体
部、１１２……枠部、１２１……第１半導体ゲー
ジ、１２２……第２半導体ゲージ、１２３……演
算回路、１３……基板、１４……ベース、１４１
……リード線、１５……チユーブ、１６……カバ
ー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 渦発生体により発生するカルマン渦に基づく揚
    力と抗力とを演算して質量流量を測定する半導体
    質量流量計において、 柱状の渦発生体部と該渦発生体部の一端がを固
    定される枠部とを備えるシリコンチツプと、該チ
    ツプの渦発生体部に半導体プロセスを利用して一
    体的に形成され前記渦発生体の放出する渦の揚力
    に基づき該渦発生体部に生ずる歪みを検出する第
    １半導体歪みゲージと、該チツプの渦発生体部に
    半導体プロセスを利用して一体的に形成され前記
    渦発生体の放出する渦の抗力に基づき該渦発生体
    部に生ずる歪みを検出する第２半導体歪みゲージ
    と、前記シリコンチツプに半導体プロセスを利用
    して一体的に形成され該第２半導体歪みゲージと
    前記第１半導体歪みゲージの出力を演算する演算
    回路と、前記チツプを支持する基板と、前記抵抗
    体の検出電気信号を外部に取出すリード線が固定
    されたベースと、該ベースと前記基板とを結合す
    ると共に前記測定流体の流入通路となるチユーブ
    と、前記チツプを覆うように設けられ前記ベース
    に一端が固定され前記測定流体の流出通路となる
    カバーとを具備したことを特徴とする半導体質量
    流量計。
JP14941388U 1988-11-16 1988-11-16 Pending JPH0269721U (ja)

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JPH0269721U true JPH0269721U (ja) 1990-05-28

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ID=31421621

Family Applications (1)

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JP14941388U Pending JPH0269721U (ja) 1988-11-16 1988-11-16

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JP (1) JPH0269721U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8869604B2 (en) 2010-09-08 2014-10-28 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Flow rate detection device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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