JPH02712Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02712Y2 JPH02712Y2 JP18596882U JP18596882U JPH02712Y2 JP H02712 Y2 JPH02712 Y2 JP H02712Y2 JP 18596882 U JP18596882 U JP 18596882U JP 18596882 U JP18596882 U JP 18596882U JP H02712 Y2 JPH02712 Y2 JP H02712Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulsed
- electron beam
- time width
- measuring
- pulsed electron
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
(1) 考案の技術分野
本考案はパルス状電子ビームの時間幅測定装
置、さらに詳しくは例えばストロボSEM等の時
間分解能を左右する電子ビームの時間幅を測定す
る装置に関する。
置、さらに詳しくは例えばストロボSEM等の時
間分解能を左右する電子ビームの時間幅を測定す
る装置に関する。
(2) 従来技術と問題点
最近ストロボSEMが注目を集めている。この
ストロボSEMの時間分解能はパルス電子ビーム
の時間幅に依存するため短い時間幅のパルスビー
ムの発生が必要とされているが簡便なパルスビー
ムの時間幅の測定法は確立されていない。
ストロボSEMの時間分解能はパルス電子ビーム
の時間幅に依存するため短い時間幅のパルスビー
ムの発生が必要とされているが簡便なパルスビー
ムの時間幅の測定法は確立されていない。
従来パルスビームの時間幅の測定法としてはパ
ルスビームをフオトダイオードに受けて電流波形
を観測する方法やパルスビームを偏向することに
よつて電流波形を光軸と直角方向に引き伸ばして
これを測定する方法が実施されている。後者は特
に帯域幅の広い測定系を必要としないので時間幅
の非常に短かいパルスビームの測定に適している
が得られた一次元電流分布の長さの簡単な測定方
法がないため構造が複雑になつてり多くの時間や
労力を費やさなければならない欠点があつた。
ルスビームをフオトダイオードに受けて電流波形
を観測する方法やパルスビームを偏向することに
よつて電流波形を光軸と直角方向に引き伸ばして
これを測定する方法が実施されている。後者は特
に帯域幅の広い測定系を必要としないので時間幅
の非常に短かいパルスビームの測定に適している
が得られた一次元電流分布の長さの簡単な測定方
法がないため構造が複雑になつてり多くの時間や
労力を費やさなければならない欠点があつた。
(3) 考案の目的
本考案は上記従来技術の欠点にかんがみ簡単な
構造の測定系によつて容易に且つ精密にパルス幅
を測定できる装置を提供することを目的とする。
構造の測定系によつて容易に且つ精密にパルス幅
を測定できる装置を提供することを目的とする。
(4) 考案の構成
この目的は本考案によればパルス化した電子ビ
ームを用いる装置において、パルスビームをその
繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数で偏向する
ことにより前記パルスビームの電流波形を光軸と
垂直方向に引き伸ばし、この引き伸ばされたビー
ムをシンチレータ板に受けて光に変換し、それを
光フアイバ板を介して真空外に取り出しその長さ
を測定することによりパルス状電子ビームの時間
幅を測定することを特徴とするパルス状電子ビー
ムの時間幅測定装置を提供することによつて達成
される。
ームを用いる装置において、パルスビームをその
繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数で偏向する
ことにより前記パルスビームの電流波形を光軸と
垂直方向に引き伸ばし、この引き伸ばされたビー
ムをシンチレータ板に受けて光に変換し、それを
光フアイバ板を介して真空外に取り出しその長さ
を測定することによりパルス状電子ビームの時間
幅を測定することを特徴とするパルス状電子ビー
ムの時間幅測定装置を提供することによつて達成
される。
(5) 考案の実施例
以下本考案の実施例を図面により詳細に説明す
る。
る。
図は本考案の測定装置の１実施例を示す。図に
示す装置は静電偏向器２、シンチレータ４、光フ
アイバ板（拡大用）５によつて構成される。なお
１はパルスビームを示す。その長さが時間幅を示
す。かかる装置において静電偏向器２にパルスビ
ームの繰り返し周波数と同じ周波数ののこぎり波
２ａを印加するとそこを通過するパルスビーム１
ａは時間的に１ｂ，１ｃのように光軸に対して垂
直方向に引き伸ばされてシンチレータ４の面上で
は図示のごとき一次元電流分布３に変換される。
この長さはパルス波、静電偏向器２に印加される
偏向の強さ、静電偏向器２とシンチレータ４との
間の距離、偏向のこぎり波の傾斜等に依存するが
1nSのパルスビームを数百μｍ程度に引き伸ばす
ことが可能である、このシンチレータ４に受けた
パルスビームの一次元電流分布３はここにおいて
光に変換され光フアイバー板５で拡大されて真空
外に取り出すことにより拡大された分布６となり
一次元電流分布の観測およびその長さの測定が容
易に行なえる。
示す装置は静電偏向器２、シンチレータ４、光フ
アイバ板（拡大用）５によつて構成される。なお
１はパルスビームを示す。その長さが時間幅を示
す。かかる装置において静電偏向器２にパルスビ
ームの繰り返し周波数と同じ周波数ののこぎり波
２ａを印加するとそこを通過するパルスビーム１
ａは時間的に１ｂ，１ｃのように光軸に対して垂
直方向に引き伸ばされてシンチレータ４の面上で
は図示のごとき一次元電流分布３に変換される。
この長さはパルス波、静電偏向器２に印加される
偏向の強さ、静電偏向器２とシンチレータ４との
間の距離、偏向のこぎり波の傾斜等に依存するが
1nSのパルスビームを数百μｍ程度に引き伸ばす
ことが可能である、このシンチレータ４に受けた
パルスビームの一次元電流分布３はここにおいて
光に変換され光フアイバー板５で拡大されて真空
外に取り出すことにより拡大された分布６となり
一次元電流分布の観測およびその長さの測定が容
易に行なえる。
(6) 考案の効果
以上詳細に説明したように本考案によれば従来
よりも簡単な構造の測定系によつて容易に正確に
パルスの時間幅を測定することができる。また螢
光体の前面にマイクロチヤネルプレートを設ける
ことにより螢光量を増加し測定を容易にすること
も可能である。
よりも簡単な構造の測定系によつて容易に正確に
パルスの時間幅を測定することができる。また螢
光体の前面にマイクロチヤネルプレートを設ける
ことにより螢光量を増加し測定を容易にすること
も可能である。
図は本考案にかかるパルス状電子ビームの時間
幅測定装置の１実施例の構成を示す。 図において２は静電偏向器、４はシンチレー
タ、５は光フアイバ板をそれぞれ示す。
幅測定装置の１実施例の構成を示す。 図において２は静電偏向器、４はシンチレー
タ、５は光フアイバ板をそれぞれ示す。
Claims (1)
- パルス化した電子ビームを用いる装置におい
て、パルスビームをその繰り返し周波数と同じ繰
り返し周波数で偏向することにより前記パルスビ
ームの電流波形を光軸と垂直方向に引き伸ばし、
この引き伸ばされたビームをシンチレータ板に受
けて光に変換し、それを光フアイバ板を介して真
空外に取り出しその長さを測定することによりパ
ルス状電子ビームの時間幅を測定することを特徴
とするパルス状電子ビームの時間幅測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18596882U JPS5990876U (ja) | 1982-12-10 | 1982-12-10 | パルス状電子ビ−ムの時間幅測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18596882U JPS5990876U (ja) | 1982-12-10 | 1982-12-10 | パルス状電子ビ−ムの時間幅測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990876U JPS5990876U (ja) | 1984-06-20 |
| JPH02712Y2 true JPH02712Y2 (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=30401813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18596882U Granted JPS5990876U (ja) | 1982-12-10 | 1982-12-10 | パルス状電子ビ−ムの時間幅測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990876U (ja) |
-
1982
- 1982-12-10 JP JP18596882U patent/JPS5990876U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5990876U (ja) | 1984-06-20 |
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