JPH0272571U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0272571U JPH0272571U JP15174288U JP15174288U JPH0272571U JP H0272571 U JPH0272571 U JP H0272571U JP 15174288 U JP15174288 U JP 15174288U JP 15174288 U JP15174288 U JP 15174288U JP H0272571 U JPH0272571 U JP H0272571U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- utility
- model
- laser device
- pulse
- inductance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の回路図、第２図は
本考案の特性説明図、第３図は本考案による実験
結果の説明図である。 １……パルスガスレーザ装置、７……エタロン
、Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ１ｃ……充電用一次コンデ
ンサ、Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ２ｃ……主放電用二次
コンデンサ、Ｌ１ａ，Ｌ１ｂ，Ｌ１ｃ……インダ
クタンス。
本考案の特性説明図、第３図は本考案による実験
結果の説明図である。 １……パルスガスレーザ装置、７……エタロン
、Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ１ｃ……充電用一次コンデ
ンサ、Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ２ｃ……主放電用二次
コンデンサ、Ｌ１ａ，Ｌ１ｂ，Ｌ１ｃ……インダ
クタンス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 単一の光共振器内にエタロンを配置したパル
スレーザ装置において、 レーザ光の長パルス化手段を備えた狭帯域パル
スレーザ装置。 ２ 実用新案登録請求項第１項において、 パルス時間幅を４０ｎｓ以上にしたことを特徴
とする狭帯域パルスレーザ装置。 ３ 実用新案登録請求項第１項において、 前記長パルス化手段として、レーザ光軸に沿つ
て分割された複数組の放電電極を設け、さらに各
分割された前記放電電極に対応する個別の充電用
一次コンデンサとの間に直列にインダクタンスを
設け、前記各インダクタンスの値が異なるように
設定したことを特徴とする狭帯域パルスレーザ装
置。 ４ 実用新案登録請求項第１項記載の狭帯域パル
スレーザを用いたことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15174288U JPH0272571U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15174288U JPH0272571U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272571U true JPH0272571U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31426060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15174288U Pending JPH0272571U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272571U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024600A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP15174288U patent/JPH0272571U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024600A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
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