JPH0273119A - 絶対周波数出力を有するコリオリ質量流量計 - Google Patents

絶対周波数出力を有するコリオリ質量流量計

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JPH0273119A
JPH0273119A JP1177842A JP17784289A JPH0273119A JP H0273119 A JPH0273119 A JP H0273119A JP 1177842 A JP1177842 A JP 1177842A JP 17784289 A JP17784289 A JP 17784289A JP H0273119 A JPH0273119 A JP H0273119A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、絶対周波数出力信号特に測定された質量流量
に比例する如き出力信号を生じるコリオリ(Corio
lis)質量流量計において使用される装置および付随
する方法に関する。
〔従来の技術〕
今日では、コリオリ質量流量計は、種々の処理流体の質
量流量を測定する正確な方法として用途が増えつつある
一般に、(1985年 1月 1日発行のJ、 E、 
S+n1jh等の)米国特許第4,491,025号に
記載される如きコリオリ質量流量計は、各々が典型的に
はU字形の流れ管路(flow conduiL)即ち
チューブである1つあるいは2つの平行な導管路を含む
各流れ管路は、回転する基準フレームを生じるため軸心
の周囲に振動するように駆動される。
U字形流れ管路においては、この軸心は曲げ軸心と呼ぶ
ことができる。処理流体が振動する各流れ管路を流過す
る時、流体の運動が流体の速度および管路の角速度の双
方に直角をなす反作用コリオリカを生じる。これらの反
作用コリオリカは、U字形の流れ管路の場合には各管路
の曲げ軸心に対し直角である捻れ軸心の周囲に各管路を
捻らせる。管路に与えられる捻れ量は、管路を流過する
処理流体の質量流量と関連している。
コリオリ質量流量計を流過する処理流体の全質量流量は
、この流量計により与えられる質量流量の値を合計する
ことにより容易に決定される。合計された流量の正確な
測定を行なうことは、カストデイ・トランスファ(cu
stodytransfer)の如き多くの用途におい
て非常に重要である。このためおよび冗長性のため、質
量流量の合計は、流量計のエレクトロエックス内(「内
部」集計)ならびに遠隔(「遠隔」集計)の双方で行な
われる。内部集計は、一般に、流量計の一部をなす電子
システム(「流量計エレクトロニックス」)内に存在す
るマイクロプロセッサあるいは類似の装置によって行な
われる。この内部集計された質量流量の値は、一般に流
量計エレクトロエックス内部に置かれた不揮発性のラン
ダム・アクセス・メモリー(NOVRAM)において格
納され、マイクロプロセッサにより周期的に適当に更新
され、またユーザの要求により局部的に表示されるかあ
るいは通信ボート、例えば直列ボートを介して表示のた
めの遠隔場所へ転送される。遠隔集計においては、測定
された質量流量は、通常、典型的にはユーザが選択した
最大および最小流量と対応するユーザが選択した最大お
よび最小周波数値間の範囲内のスケールされた周波数出
力として流量計エレクトロエックスにより与えられる。
この周波数出力は、ユーザの場所に置かれる機械的カウ
ンタあるいは電気的カウンタの如き外部の集計装置に送
られる。このように、もしマイクロプロセッサが内部の
集計された質量流量に接近不能にするどんな理由であれ
故障した場合には、遠隔集計装置に現われる集計された
流量は、故障の時までに生じた集計済み質量流量の測定
を行なうために使用することができる。
理想的には、内部の集計により生じるこの集計された質
量流量の値は、遠隔集計により生じるものと常に等しく
なくてはならない。しかし、実際には、両方の集計値は
時間と共に発散することが知られている。この発散の理
由は、周波数出力を生じる流量計エレクトロエックス内
部の回路に追跡される。従って、例え流量計エレクトロ
エックス内部の内部集計により即ちマイクロプロセッサ
自体により生じた集計の読みは正確であり、また遠隔集
計された読みが誤りあるものであったとしても、ユーザ
は?A量計により与えらねる内部集計の読みと外部のユ
ーザ装置に現われる遠隔集計の読みのどちらが真に正し
いかについては不確かな状態のままである。
このような発散については色々な要因が原因となる。第
1に、コリオリ質量流量計に提供される多くの周波数出
力回路はアナログ成分を使用する。これらの回路は一般
に、ディジタル化された質量流量の値をディジタル/ア
ナログ(D/A)コンバータに与え、ここからスケール
されたアナログ形態で電圧/周波数(V/F)コンバー
タへ与えてスケールされた周波数出力信号を生じること
により作動する。不都合なことには、このD/Aコンバ
ータおよびV/Fコンデンサはアナログを使用する。こ
のため、これらのコンバータは、典型的にアナログ回路
と関連する偏差、利得誤差、温度の影響等の如き固有の
誤差を有する。その結果、周波数値は誤差成分を含み、
これが更に一般的にはある時間にわたり生じる過剰数の
パルスをもたらすことになる。
コリオリ質量流量計において広く用いられる他の周波数
出力回路は、出力の値をチューブの振動サイクル毎に一
回の如く割込み毎にタイマーにロードするマイクロプロ
セッサを使用する。
このタイマーは、この値を予め定めたクロック速度で反
復的に減分して、所要の出力周波数で溢れが生じるよう
にする。この溢れは、周波数出力信号として使用される
。不都合なことには、マイクロプロセッサに基〈構成に
おいては、流量計エレクトロエックス内で実行する制御
プログラムによりいくつかの割込みが一般に用いられる
。このため、最初の割込み、例えばチューブ周期の割込
みが完全に処理される前に1つあるいは2つの他の割込
みが生じ得ることはめずらしくなく、このため入れ千秋
の割込みサービスを必要とする。この状態が生じると、
最も後で生じる割込みが完全にサービスを受けるまで、
直前の各別込みのサービスが保留される。
このため、チューブ周期の割込みは、これが実際に生じ
たよりもやや後で処理され得、これによりさもなければ
タイマーが出力周波数に対する新たな値により更新され
る時間を遅らせる。タイマーが継続的に出力パルスを与
えている限り、このような遅れは、タイマーが更新され
るnηに余分な出力パルスを生じさせるおそれがある。
発散の問題に加えて、公知の周波数出力回路は、コリオ
リ質量流量計においてこれを使用することを制限する別
の欠陥を存する。第1に、これらの回路はしばしば方形
パルスではなく各々が同じパルス巾を持ち休止期間が後
に続く狭いパルスのバーストを各タイミング間隔におい
て生じる。理想的には、周波数出力は、適当に50%の
デューティ・サイクルを方形パルスに与えなければなら
ない。方形パルスの使用は、遠隔集計装置が流量計エレ
クトロエックスの周波数出力に接続されるべき場合には
特に重要である。何となれば、もし50%より道かに短
いデューティ・サイクルを持つパルスが使用されるなら
ば、遠隔集計装置は、特にこれが機械的なものであれば
、これら各パルスに応答する充分な時間を持ち得ないか
らである。第2に、当技術において周知の周波数出力回
路、特に割込みに基いて作動するマイクロプロセッサを
使用するものは、狭い異質のパルス(一般に、「偽信号
(glitch) Jと呼ばれる)を時に生じる傾向を
有する。このような偽信号は、遠隔的に集計されたカウ
ントに誤差を与え得る。第3に、当接術において周知の
周波数出力回路は、しばしば充分に広いダイナミック・
レンジを有する周波数出力信号を生じることができない
。特に、周波数出力回路は、充分に低いかあるいは高い
周波数を持つパルスを生じることができず、これにより
周波数出力信号の分解能を制限する。
特に、アナログ成分に基く周波数出力回路においては、
V/Fコンバータは、そのアナログ性の故に制限された
ダイナミック・レンジを存する。ディジタル成分に基く
周波数出力回路においては、16ビツト・タイマーがし
ばしば使・用される。不都合なことには、低い質量流量
の測定を含むほとんどの用途において充分に低いパルス
速度を生じるには、65,000の内の1と略々等しい
216の分解能では一般に不充分である。もしこのよう
な2つのタイマーが直列で使用されるならば、充分な分
解能が生じるも第2のカウンタのコストが付加される。
次に、周波数出力信号の最大パルス速度を増加させるた
めに、これらタイマーに加えられるクロック周波数を増
加することができる。しかし、ある大きざのタイマーに
おけるクロック周波数を増加することは、周波数出力信
号の最小パルス速度をも増加させることである。このた
め、当接術において周知の周波数出力回路は、望ましく
ないことに制限されたダイナミック・レンジを有する。
最後に、当接術において周知の周波数出力回路は非常に
複雑かつ高価になろうとする傾向を有し、このためコリ
オリス質量流量計の製造コストおよび販売価格を増加さ
せる。
その結果、特にコリオす質量流量計において使用される
正確でありかつ充分に広いダイナミック・レンジを有す
る周波数出力を生じる装置および付随する方法に対する
需要が当接術において存在する。更に、このような出力
は、方形の周波数出力パルスを生じ、かつ如何なる偽信
号も実質的に含まないものでなければならない。
更に、このような出力を生じるため使用される装置は、
構造が比較的簡単でありかつ安価なものでなければなら
ない。このような装置および方法を使用すれば、流量計
内部で生じる集計された質量流量の読みは常に遠隔で生
成されるものと実質的に整合することになろう。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の目的は、コリオリ質量流量計において使用され
る正確な質量流量の周波数出力信号を生じる装置および
この装置において使用される方法の提供にある。
本発明の特定の目的は、遠隔的に集計が行なわれる時、
時間的に追跡を行ない、かつコリオリ質量流量計の内部
で生成された集計の読みから実質的に発散することがな
い質量流量の読みを生じる如き信号を提供することにあ
る。
別の目的は、方形パルス即ち約50%のデューティ・サ
イクルを持つパルスを有し、かつ如何なる偽信号も実質
的に含まない如き信号の提供にある。
他の目的は、所要の範囲の質量流量にわたって充分に広
いダイナミック・レンジを持つ如き信号の提供にある。
更に他の目的は、比較的簡単でありかつ製造が安価であ
る如き装置の提供にある。
上記および他の目的は、測定された質量流量値に応答し
て、その時のタイミング間隔において生じる必要のある
対応数の出力パルスを決定する装置と、前の値で前記パ
ルス数を集計して第1の部分と残りの部分とを有する集
計パルス・カウント値を生じる装置と、第1のタイミン
グ値の各々がタイミング間隔において生じる出力パルス
毎に「オン」の時間を規定し、かつ第2の値の各々が前
記タイミング間隔において生じる出力パルス数を包含す
るに充分な長さであるゲート間隔に対する「オン」の時
間を規定する複数の第1および第2のタイミング値を含
む索引表と、前記第1の部分の値に応答して、前記索引
表からこの第1の値の1つおよび酵記第2の値の対応す
る1つをアクセスして第1および第2のタイミング値を
生じる装置と、この第1および第2のタイミング値に応
答して、その時のタイミング間隔中に生じるゲート間隔
における周波数出力信号における出力パルスとして実質
的に方形パルスのストリームを連続的に生じることによ
り、このパルス・ストリームが実質的に如何なる異質の
パルスをも含まないようにする装置とを有するコリオリ
質量流量計により本発明の教示内容に従って提供される
本発明の望ましい実施態様によれば、出力パルス・スト
リームが、マイクロコントローラ内部の2つの内部タイ
マーを使用することにより生成され、1つのタイマーが
一連の出力パルスを生しるようにセットされ、各パルス
が予め定めた「オン」時間を有しかつ第2のタイマーが
ゲート間隔に等しい「オン1時間を有する出力パルスを
生じるようにセットされる。両方のタイマーは、各タイ
ミング間隔の初めに新たな値をロードされ、次いで略々
同時にこの間隔の残りにわたるタイミングを開始するよ
う指令される。
各タイミング間隔は、典型的にはl/64秒であり、割
込みに基いて実時間クロックを用いて確立される。両方
のタイマーにより生成されたパルスは、ゲート信号とし
て第2のタイマーの出力を用いて外部のANDゲートを
介してゲートされる。このゲート動作の御蔭で、AND
ゲートは、入れ千秋の割込み処理により遭遇した遅れを
介して生成されることになる異質の出力パルスの発生が
周波数出力信号に加えられることを有効に阻止する。更
に、集計されたパルス・カウント値における残りを維持
しかつ残りでない部分を用いてその時のタイミング間隔
において生じる多数のパルス数を確立することにより、
周波数出力信号に生じる累!1′l数の出力パルスが、
内部で集計された質量流量の読みを形成するため用いら
れる数と有効に整合することにより、内部および外部で
集計された質量流量の読みが時間的に完全にではなくと
も実質的に発散することがない。
本発明の教示内容は、添付図面に関して以降の詳細な記
述を考察することにより明瞭に理解することができよう
理解を容易にするため、各図に共通する同じ構成要素を
示すため同じ番号を可能な限り用いた。
〔実施例〕
以降の詳細な記述を読めば、当業者は、絶対周波数出力
信号を生成する本発明の装置および方法が、遠隔的に集
計される周波数出力信号を生じるどんな測定および制御
装置の両方およびその一方に通用し得ることを速やかに
理解されよう。しかし、簡潔にする目的のため、本発明
はコリオリ質量流量計との関連において論述することに
なろう。
A、ハードウェア 第1図は、本発明の教示を実態化するコリオリ質量流量
計測システム5の全体図を示している。
図に示すように、システム5は2つの基本的な構成要素
、即ち、コリオリ流量計組立体10と流量計のエレクト
ロエックス20とからなっている。流量計組立体10は
、所要の処理流体の質量流量を計測する。リード線10
0を介して流量計組立体lOと接続された流量計エレク
トロエックス20は、質量流量および集計された質量流
量情報を提供する。質量流量情報および内部で集計され
た質量流量値は、リード線25上を直列形態で流量計エ
レクトロエックスにより与えられる。質量流量情報はま
た、周波数形態およびスケールされたパルス形態でリー
ド線26上に与えられる。更に、質量流量情報は、下流
側のプロセス制御および(または)測定装置と容易に接
続する゛ように、アナログ4−20m A形態でリード
線26上に与えられる。
ユーザの人力(例えば、測定単位の選択およびパラメー
タのエントリ)は、4−20m A信号と結合された特
殊な直列インターフェースを介して与えられる。特に、
流量計と遠隔のユーザの場所(図示せず)との間を走る
この4−20m A信号は、直列データ信号により変調
される重ね合された高い周波数のキャリアを運ぶ。この
インターフェースを介して、ユーザは単に、1つの装置
、望ましくは米国ミネソタ州イーデン・ブレーリーのI
losemount社により最近製造されたモデル26
8  r SmarLFamily4インターフェース
の如き適当な電気的インターフェースを備えたハンド・
ベルト端末を用いて便利な場所で4−20m A信号を
取上げ、流量計エレクトロエックス20との直列通信を
開始する。この通信により、ユーザは、種々のソフトウ
ェア・スイッチをセットして、tItfit計エレクト
ロニックスにより後で使用するため種々のユーザ・パラ
メータを人力することができる。
コリオリ流量計組立体10は、図示の如く、1対のマニ
フオールド110 、110’と、管状部材150と、
1対の並列流れチューブ+30 、 +30°と、駆動
機構+80と、1対の速度検出コイル160L160R
と、1対の永久磁石170 L、 170 Rとを含む
。チューブ+30 、130°は略々U字形を呈し、そ
の端部がチューブ取付はブロック120 、120’に
取付けられており、このブロックは更に各マニフオール
ド110 、110°に取付けられている。
両方の流れチューブは圧力感知ジヨイントがない。
チューブ130 、130°の側方脚部がチューブ取付
はブロック120 、120’に固定され、これらのブ
ロックは更に第1図に示されるようにマニフォールド1
10.110°に固定されており、連続する閉鎖流体経
路がコリオリ流量計組立体IOにより提供される。特に
、流量計10が測定される流体を運ぶ管路系(図示せず
)に流入端部101および流出端部lOビを介して結合
されると、流体はマニフオールド110の流入端部10
1のオリフィスを介して流量計に流入し、徐々に変化す
る断面を有するその通路を介してチューブ取付はブロッ
ク120に導入される。ここで、流体は分岐され、流れ
チューブ130 、130’に送られる。流れチューブ
+30.1410’から出ると、流体は再びチューブ取
付はブロック】20°内の単一な流れに合流し、その後
マニフオールド110°へ送られる。マユフォールド+
10°内では、流体は点線105により示されるように
マニフオールド+10と類似する徐々に変化する断面を
持つ通路を介して流出端部101′のオリフィスへ流れ
る。端部101’において、流体は再び管路系に進入す
る。管状部材150は流体を一切流さない。その代り、
この部材はマニフオールド110 、110″を軸方向
に整合してその間の間隙を予め定めた量だけ維持するよ
うに働き、その結果これらマニフオールドが容易に取付
はブロック+20.120°および流れチューブ+30
、■30′を収受するようにする。
U字形の流れチューブ]:llO,130°は、それぞ
れ曲げ軸W−Wおよびw’−w’の周囲に実質的に同じ
慣性モーメントおよびばね定数を持つように選択され取
付けられる。これらの曲げ軸は、U字形流れチューブの
側方脚部に対し直角に置かれ、かつチューブ取付はブロ
ック120.120゜の各々の付近に配置されている。
このU字形流れチューブは、取付はブロックから外方へ
略々平行に延長し、またその各曲げ軸の周囲に略々等し
い慣性モーメントおよび等しいばね定数を持つ。
これらチューブのばね定数が温度と共に変化するため、
抵抗温度検出器(RTD)190  (典型的には、プ
ラチナRTD装置)が流れチューブの一方、ここでは1
30°に取付けられて、チューブの温度を連続的に測定
する。チューブの温度、従ってRTDを流れる与えられ
た電流に対してRTDに現われる電圧は、流れチューブ
を流過する流体の温度によって支配されることになる。
RTDに現われるこの温度に依存する電圧は、以降にお
いて詳細に論述するように、チューブ温度における変化
に対してばね定数の値を適当に補償するため流量計エレ
クトロエックス20によって使用される。このRTDは
、リード線195により流量計エレクトロエックス20
と結合されている。
これらの流れチューブの両方は、その曲げ軸の周囲で反
対方向にかつその共通共振周波数で正弦波状に駆動され
る。このように、両方の流れチューブは音叉の枝部と同
様に振動する。駆動機構180は、チューブ130 、
130’に対し正弦波状の振動駆動力を与える。この駆
動機構は、両方の流れチューブを共通の周波数で正弦波
状に振動させるため、磁石のような多くの周知の装置の
1つと、交流が流されるコイルとからなっている。第4
図に関して以下に詳細に論述するように、適当な振動駆
動信号が、流量計エレクトロエックス20によって駆動
機構180に対しリード線+85を介して加えられる。
これらチューブが反対方向に正弦波状に駆動される間両
力のチューブを流体が流れると、コリオリの力が流れチ
ューブ+30 、+30’の各々の隣接する側方脚部に
沿って反対方向に、即ち側方脚部13]に生じるコリオ
リの力は側方脚部I31“に生成された作用力と向きが
反対になるように生成される。この現象は、流体は流れ
チューブ内を略々同じ平行な方向に流れるが振動する流
れチューブに対する角速度は反対方向であるが略々平行
な方向に置かれる故に生じる。従って、両方の流れチュ
ーブの振動サイクルの半分において、側方脚部13+ 
、l:lビは、駆動機構180により生じるチューブの
振動運動のみにより生じた脚部間に生じる最小距離より
更に近くで一緒に捻られることになる。次の半サイクル
において、生成されたコリオリの力は、駆動機構180
により生じたチューブの振動運動のみにより生じる側方
脚部1:Jl 、 131’間に生じる最大距離よりも
更に遠く離れるようこれら側方脚部を捻ることになる。
流れチューブの振動中、対応する側方脚部よりも相互に
近付くよう強制される隣接する側方脚部は、その移動の
終点に達し、ここでその速度はその対応するものが達す
る以前に零に交わる。
1対の隣接する側方脚部がその移動の終点に達する瞬間
から対応する対の側方脚部即ち更に離れるよう強it1
された脚部がその各々の終点に達する瞬間までに及ぶ時
間間隔は、流量計組立体IOを流れる流体の全質量流量
に比例する。この時間間隔(Δt)は、以下に詳細に述
べるように、他方例えば左側の速度(即ち位置)の波形
に置かれ2つの測定点の間に一時的に生じる基準点に対
して、一方例えば右側の速度(即ち位置)の波形に置か
れる2つの測定点の各々の間に生じる時間間隔を測定す
ることにより4つのパルス測定法によって容易に測定さ
れる。この手法の詳細な説明については、本願と同時に
出願され同じ譲受人に譲渡された係属中の米国特許出願
第   号「4つのパルス調波の除波を行なうコリオリ
質量流量計」を参照されたい。
更にまた、呈示したものより更に詳細な平行経路コリオ
リ流量計の作用原理の論議については、(1985年 
1月 1日発行の J、 E、 5ra7th等の)米
国特許第4,491,025号を参照されたい。
時間間隔Δtの測定のために、チューブ+30.130
°のいずれか一方にその自由端部付近でコイル160 
L、 160 Rが取付けられ、永久磁石170 L、
170 Rもまたチューブの他方の自由端部付近に取付
けられている。磁石170 L 、 170 Rは、各
永久磁石を包囲する空間内にコイル+60 L、160
□を配置させるように、また磁界が略々均一になるよう
に置かれる。このような形態により、コイル160 L
、 160□により生じる電気的信号出力は、チューブ
の完全な移動の速度特性を生じ、また以下に詳細に述べ
るように、時間間隔および流量計を流れる流体の質量流
量を決定するように処理することができる。特に、コイ
ル160 L 、 +6ORは、それぞれリード線16
5 Lおよび165 Rに現われる左右の速度信号を生
じる。
上記のように、流量計エレクトロエックス20は、リー
ド線195上に現われるRTD信号、およびリード線1
65 L 、165 gに現われる左右の速度信号を入
力としてそれぞれ受入れる。流量計エレクトロエックス
20はまた、上記のように、リード線185上に現われ
る正弦波駆動信号を生じる。リード線165 L%16
5 R、+85および195は、まとめてリード線10
0と呼ばれる。
流量計エレクトロエックスは、以下に説明するように、
左右両方の速度信号およびRTDの温度を処理して、流
量計組立体IOを流れる流体の質量流量および集計され
た質量流量を決定する。
この質量流量は、リード線26の関連する回線上に、回
IIQ25上にアナログ4−20mAの形態でおよび直
列形態で流量計エレクトロニックス20により与えられ
る。質量流量情報は、下流側の装置と結合するためリー
ド線26の適当な回線上に(典型的に0〜10にtlz
の最大範囲を有する)周波数形態で与えられる。集計さ
れた流量情報もまた、リード線25上に直列形態で与え
られる。
故障の諸条件は、第2A図および第2B図に関して詳細
に述べるように、1秒に4回ずつ発光ダイオード(LE
D)を発光させることにより表示される。
流量計エレクトロニックス20のブロック図が第2A図
および第2B図に示され、これらの図面は第2図におい
てその各図の正しい接続状態が示される。米国カルフォ
ルニア州すンタクララのNational Semlc
onductor社製のモデルHPC36003マイク
ロコントローラであることが望ましい16ビツトのマイ
クロコントローラが、流量計エレクトロエックス20の
基礎を形成している。
両方向のアドレスおよびデータ・バス285がこのマイ
クロコントローラを、4パルス測定回路230、不揮発
性ランダム・アクセス・メモリー(NOVRAM)27
0 、プログラム可能読出し専用メモリー(PROM)
275および4−20mA出力回路280にリンクする
。適当なりロック信号が、典型的に16MIIzの共振
周波数を有する水晶発振子149を用いて、マイクロコ
ントローラ250により生成される。更に、マイクロコ
ントローラは、一連のタイミング・パルスを生成する実
時間クロック252を含む。1764秒の間隔で生じる
これらパルスは各々、以下に詳細に述べるように、実時
間クロック割込みルーチンを実行させ、リード線262
に現われるスケールされた周波数出力信号を生じるため
使用されるタイミング値を更新する。
上記のように、RT D 190が流れ管路130゜(
第1図参照)の温度を測定する。この温度の値は、如何
なる温度の変化に対しても流れ管路のばね定数の値を補
償する際マイクロコントローラ250により使用される
。回路20は如何なるアナログ/ディジタル(A/D)
コンバータも含まずタイマーを使用するため、RTD1
90の両側に現われる電圧がリード線195を介して電
圧/周波数(V/F)コンバータ245へ送られ、これ
がこの電圧を予め定めた範囲内で適当な周波数に変換す
る。その結果生じる信号は、リード線247を介してマ
イクロコントローラ250におけるタイマー人力、特に
TIMERIに与えられる。このタイマーは、ある与え
られた期間中この信号に現われるパルスをカウントして
、測定された温度に比例するディジタル値を生じる。こ
の値は、マイクロコントローラ内で実行するプログラム
により周期的に読出される。
以下に詳細に論述するように、4パルス測定回路230
は、左右の速度センサ16OR、160Lにより生じる
速度の波形をそれぞれ処理して、ディジタル加算カウン
トおよびディジタル減算カウントを決定し、これが差引
かれる時Δtの値を生じる。これら両方のカウントの値
は、バス285を介して、マイクロコントローラにより
流れ管路の振動運動の2サイクル毎に一回ずつチューブ
期間割込みのサービスにより読出される。
この割込みのサービスにおいて、マイクロコントローラ
はこれらの値を差引いてその時のΔtの測定値を生じ、
次いでこの測定値が質量流量のその時の値の決定に用い
られる。
駆動回路240は、リード線185を介して正弦波形の
駆動信号を生じて駆動コイル+80を駆動する。この回
路は、正弦波形の駆動信号を左方の速度信号、特に4パ
ルス測定回路230内に位置する増巾器204により生
じた増巾された左方の速度信号と同期させる。
N OV RA M270 ハ、−時的なデータ格納の
ための不揮発性のランダム・アクセス・メモリーを含む
。このメモリーは、バッテリでバックアップされたCM
O3RAM回路を含む集積回路を用いて例示的に構成さ
れている。定数およびデータの両方の新たな値が、プロ
グラムの実行中NOVRAMに対してルーチン的に書込
まれる。PROM275はプログラム記憶域を含む。
出力回路280は、上記の如(4−20mA出力信出力
対して重ねられるキャリア信号を変調する専用の直列イ
ンターフェースを提供する。この出力回路は、ディジタ
ル/パルス巾コンバータ2820、アイソレータ283
0、パルス巾7474−2Oコンバータ2840、モデ
ム2850およびACカップラ2860を含む。この4
−20m A信号自体は、ユーザにより選択される如き
流量計lOを流れる処理流体の測定された流量あるいは
密度に比例する線形の電流値を生じる。4−20m A
信号自体を生じるため、マイクロコントローラ250は
適当なディジタル値をバス285を介してディジタル/
パルス巾コンバータ2820にロードする。このコンバ
ータは、ディジタル値により定義されるパルス巾を有す
る一連のパルスを生じる。これらのパルスは、典型的に
は光学型であるアイソレータ2830を介して、パルス
巾7474−2Oコンバータ2840へ送られる。この
ように、流量計エレクトロニツクス20は、下流側のプ
ロセス制御装置に存在する有害電圧から隔離された状態
を維持する。コンバータ2840は、流量計の実装中ユ
ーザにより選択される如き測定される流量即ち密度に比
例する4乃至20m A間の値を有するリード線26の
一部を形成するリード線268上に送られる電流信号を
生じる。この電流信号は、1〜5ボルトをリード線26
8間に生じるように、適当な値の抵抗、例えば250Ω
を接続することにより対応する電圧信号へ変換すること
ができる。マイクロコントローラ250は、両方向の直
列データを受入れる内部インターフェースを含む。マイ
クロコントローラにより生成される直列の出力データは
、その送出(rxMITJ)出力ビンに現われ、リード
線2フイヘ与えられ、ここから従来のR5−485直列
インターフェース290の適当な入力および4−20m
 A出力回路280内にあるモデム2850へ与えられ
る。このモデムは、データをタイプの2028all信
号に基く周波数シフト・キーイング(FSに)された直
列信号を使用するHARTプロトコル(HARTはRo
semount社の商標)へ変換する。この信号は、次
いで、前記FSに信号を4−20m A出力信号にAC
接続するカップラ2860に対して送られる。
本流量計は、R5−485インターフエース290を介
して、あるいは4−20m A信号上に直列データをそ
れぞれ受取るように点線により示されるように位置28
3または287のいずれかにジャンパを設置することに
より構成することができる。4−20m A信号上に現
われる直列人力データを受取るため、前記ジャンパが位
置287に置かれ、モデム2850から入力する直列デ
ータがマイクロコントローラ250へ与えられるように
する。特に、この場合、ACカップラ2860は、入力
するFSX信号をモデム2850へ送り、このモデムが
この信号から直列データを取出す。
次いで、このデータは、リード線288および276を
介してマイクロコントローラ250の受信(REC)入
力ビンに対して与えられる。遠隔のユーザ位置において
、ユーザは単に、望ましくは、米国ミネソタ州イーデン
・プレーリーのrlosemount社により現在製造
されるモデル268[スマート・ファミリ]インターフ
ェースの如き適当な電気的インターフェースを備えたハ
ンド・ベルト端末である装置を用いて都合のよい場所で
4−20m A信号を取出して、両方向に流量計エレク
トロエックス20と順次通信することができる。この通
信を介して、ユーザは、種々のソフトウェア・スイッチ
をセットし、m il計エレクトロニックスにより後で
イ吏用するように種々のユーザ・パラメータを入れて、
この流量計エレクトロニックス内部で生じたどんな検出
された故障条件についても情報を得ることができる。リ
ード線25上に入力するR S −485直列信号はR
S −485インターフエース290へ送られ、このイ
ンターフェースはこれから直列データを取出してこのデ
ータをリードM 284へ与える。この時、もしユーザ
がジャンパを位置283に設定するならば、RS −4
85インターフエース290から入力する直列信号は、
リード線284および276を介してマイクロコントロ
ーラ250の受信入力ピンへ送ることができる。
上記のように、Δtの測定は、他方例えば左側の速度(
即ち位置)の波形に置かれ一時的に2つの測定点の各々
の間に生じる基準点に関して一方例えば右側の速度(即
ち位置)の波形の立上り側に置かれた2つの測定点の各
々の間に生じる時間間隔を測定することにより行なわれ
る。位相差が左右の速度波形間に現わわない時の流れの
ない条件においては、前記測定点は首記基準点の両側に
対称的に位置されていなければならない。第1の測定点
と基準点間、およびこの基準点と第2の測定点との間の
時間間隔の期間の差は、左右の速度波形間の位相差に、
従って測定された質量流量に比例する。
従って、1つのカウンタ(「加算(up) Jカウンタ
)、特に(4で除算する)予めスケールされたカウンタ
226およびカウンタ234に置かれた16ビツトのカ
ウンタC1が、測定点の最初の1つと基準点との間の時
間間隔(「逓増(1) J間隔)を測定する。別のカウ
ンタ(「減算(down) J 、特に(4で除算する
)予めスケールされたカウンタ228およびこれまたカ
ウンタ234に置かれた16ビツトのカウンタC2が、
基準点と2つの測定点の第2のものとの間に生じる時間
間隔(「逓減(down ) j間隔)を測定する。充
分な粒度を提供するため、これらのカウンタは、水晶発
振子249により生じるクロック周波数、典型的には1
6M1lzで増進される。同様な時間間隔測定が、右側
の速度波形の立下り側に位置する1組の2つの測定点、
およびその間で左側の速度波形に一時的に位置する基準
点を用いて行なわれる。零の流量においても、立下り側
の測定点は、それらの対応する基準点に関して対称的に
位置されねばならない。前記カウンタは、各速度波形の
立上りおよび立下り側の間ではリセットされず、これら
波形の2つの隣接するサイクルの全体にわたり生じる測
定間隔中累積し続けることが許容される。−旦これらの
サイクルが生じると、Δtの測定がマイクロコントロー
ラによフて単に前記の「加算」カウンタ内に存在する合
計カウントから「減算」カウンタに格納された合計カウ
ントを差引くだけで計算される。実験の観察により、こ
の上うなΔtの測定が、例えば(1983年12月23
日発行のJ、 E、 Sm1thの)米国特許第4,4
22,338号に示される如き当接術で周知の従来のア
ナログ手法により生じるものよりも、測定されたΔを値
に存在する偶数調波の量の実質的な減少をもたらすこと
がわかる。その結果、質量流量の値、従ってマイクロコ
ントローラ250により生じる集計された流量の値は、
当接術において現在周知の手法を用いてこれまで可能で
あったものより実質的に少ない誤差を含む。この4パル
ス測定法の詳細な説明については、本願と同時に出願さ
れ、米国特許出願第    号が付されかつ同じ譲受人
に譲渡された継続中の米国特許出願「4パルス調波の除
波を行なうコリオリ質量IADi計」を参照されたい。
次に、この4パルス測定法を念頭において、7a mは
4パルス測定回路230について述べることにする。左
右の速度センサ160 n 、 16OLにより生じる
速度波形が、リード線+65 R,165Lにより、典
型的には10の因数である適当な利得をこれら信号に与
える増巾器202 、204に対して送られる。この結
果束じる増巾された左右のセンサ信号が積度積分器20
8 、210へ送られ、これらが90°のシフトをこれ
らの各信号に与えて実際に各速度信号を位置の信号に変
換する。
各積分器はまた、各速度信号からノイズおよび他の高い
周波数のアーチファクト(arti fact)を除去
するためあるフィルタ操作を行なう。この積分された波
形は、次に飽和増lJ器209 、222へ与えられ、
これら増巾器がこれらの信号を増巾し、結果として生じ
る信号の正および負のレベルを±10ボルトへクリップ
して、これら積分器の下流側に置かれたコンパレータ2
14.220および224が飽和状態に付勢されないよ
うにする。左側の速度センサ波形における立上りおよび
立下り側の両側に関する基準点が、対応する位置の波形
の零交差点となるように適当に選定される。左側の速度
(即ち位置)の波形における他の点は、関連する測定点
が零の流動状態におけるこの基準点に関して対称的に位
置される限り、基準点として選定することができる。こ
のため、各基準点(零交差点)の発生時に、コンパレー
タ224は、リード線225におけるその出力状態を変
化させる。これら測定点は、零に関して対称的な電圧、
±vr、事例としては±4ボルトになるように定められ
る。コンパレータ214.218は、高いレベルを対応
するリード線21Bまたは220に加えることにより、
右側の速度(ここでは、位置)の波形における各測定点
の発生を検出するため使用される。リード線216 、
220および225に現われる信号は論理回路300へ
送られ、これが第3図に示され以下に詳細に述べるよう
な簡単な組合せゲートを介して、チューブ期間割込みと
して作用する2チユーブ・サイクルおきにリード線34
5上にパルスを生じ、また第2A図および第2B図に示
されるように、加算および減算カウンタの一部をなすカ
ウンタ226および228に対する適当な使用可能信号
を生じる。
特に、カウンタ226 、228は、クロック・リード
線236上に現われる16M1lzのクロック・パルス
によりクロックが与えられる。これらのカウンタは各々
2つの使用可能入力、即ちEnlおよびEn2を含み、
これらは共にカウンタが増進するために高いレベルでな
ければならない。117r記コンパレータの出力に応答
して、論理回路300は、第1の測定パルスが生じた時
常に、高レベルのパルスを両方のカウンタのEn1入力
に対するリード線315上に生成する。この高レベルは
、全タイミング間隔、即ち第2の測定パルスの発生まで
存続する。その後、あるタイミング間隔(即ち、最初の
測定点と基準点との間、あるいはこの基準点と第2の測
定点との間)においてどの特定のカウンタが増進される
かに従って、論理回路300は、それぞれカウンタ22
6または228のEn2人力に対するリード線365ま
たは375のいずれか一方に高レベルを与えて、この間
隔において該当カウンタのみを増進させる。典型的にカ
ウンタ234はカウンタ226 、228と同じ高い速
度ではクロックされ得ないため、これら後者の2つのカ
ウンタは4で除算される予備スケーラとして働く。この
ため、カウンタ226および228の溢れ出力が、カウ
ンタ234内に置かれた別個の16ビツト・カウンタC
1およびC2のクロック人力CklおよびCk2に対し
て送られる。カウンタC1、C2はバス285に接続さ
れる。このため、リード線345上の割込みの発生毎に
、マイクロコントローラ250はこれら両カウンタの内
容を読出す。以下に述べるように、これらのカウンタは
クリアされない代りにロールオーバーされ、府の組の2
つの隣接するチューブ・サイクルの終了時に生じたこれ
らのカウンタの値がマイクロコントローラにより現在の
組の終了時に生じる値から差引かれ、適宜の計数を生じ
る。
流量計エレクトロニックス20はまた、リード線26上
に3つのディジタルのプロセス出力信号、即ちリード線
262上のスケールされた周波数出力パルス、流動方向
を示すリード線264上のレベル信号、およびリード線
266上の低い周波数信号を、正規の作動を表示するた
めIHzの速度で、あるいは故障の状態の検出を表示す
るため4Hzの速度で遠く離れて取付けられた発光ダイ
オード(L E D ) 272に対して与える。マイ
クロコントローラ250において得られる別の1ビツト
のディジタル出力を用いて、リード線264および25
B上に適当な信号を与える。
特に、スケールされた周波数出力は、2つのタイマー出
力信号のゲートされた組合せにより生成される。このス
ケールされた周波数出力、即ちリード線262上に現わ
れる各パルスは、ユーザが選定する流体の世、例えば1
オンスまたは1グラムが1秒の如きユーザが規定する時
間間隔において流量計を流過したことを表わす。ここで
、理解を容易にするため、以降の論議については第2A
図、第2B図および第7図を同時に参照されたい。第7
図は、スケールされた周波数出力信号を生じる際用いら
れる例示的な波形を示す。これらのタイマー、即ちTI
MER2およびT I MER3はマイクロコントロー
ラに対して内部のものである。各64Hzの割込みの発
生は、マイクロコントローラ250内部に置かれた実時
間クロック252により生成されるパルス701または
705の如きパルスにより1764秒のタイミング間隔
の初めを規定する。このタイミング間隔は、以下に述へ
るように、典型的には1764秒(図に示すように)で
あるが低い流量においてはl/32秒、あるいは更に1
716秒でもあり得る基準タイミング・ウィンドウ70
3を画成するため用いられる。 64Hzの割込みのサ
ービス中、以下に詳細に述へるように、内部的に集計さ
れる質量流量が更新される。この内部的に集計されるa
m流量の値は、上位の8ビツトが1つの部分を構成し残
りの24ビツトが第2の部分(「残り」)を構成する3
2ビツトの分解能に維持される。実質的に、−旦更新動
作が完了すると、上位の8ビツト部分の値は、そわぞれ
タイマーT I MER2およびT I MER3にロ
ードするその時の「周波数」および「ゲート」の値を与
える索引表に対する1つのアドレスとして使用される。
直後に生じるタイミング基準ウィンドウの期間、一般に
l/64秒としてマイクロコントローラのクロック周波
数(16MIIz )で作動するタイマーにより減算さ
れる時タイマーT I MER2にロードされるこの「
周波数」の値は、この間隔においてこのタイマーにより
生じる各出力パルスに対する「オン1時間を与える。こ
の「オン」時間は、タイミング・サイクルの間、パルス
712 、714および716の如き所要数の方形パル
ス即ち各々が50%のデューティ・サイクルを存するシ
ーケンスを生じるようセットされる。−旦このタイマー
が1つの値によりロードされると、このタイマーはこれ
が次のタイミング基準ウィンドウの間に再び更新される
まで、作動してリード線254にパルスを生じるように
指令されるに過ぎない。不都合なことには、時に生じ得
る入れ千秋の割込みサービスの発生の故に、タイマーT
 I MER2は必ずしも次に続くタイミング基準ウィ
ンドウの開始中通当な時点では更新されず、むしろやや
後で更新されることもある。タイマーTIMER2は、
依然としてこの間隔中にパルスを生じることになる。そ
の結果、このタイマーにより生じるパルス?+8の如き
別の即ち異質のパルスがスケールされた周波数出力信号
を壊すこと、および外部で集計される質量流量の値が内
部的に集計された質量流量の値から発散することを有効
に阻止するため、タイマーT I MER2に「周波数
」の値がロードされる「周波数」の値と略々同時に「ゲ
ート」の値がタイマーT I MER3にロードされる
。−旦この状態が生じると、両方のタイマーはカウント
を開始して、基準タイミング・ウィンドウの初めにおい
て1つの論理的状態(高あるいは低)から始まり、1つ
の論理的状態(高または低)でウィンドウの終りにおい
て終る各出力信号を生じるように指令される。もし両方
のタイマーの出力がこのようなウィンドウの終りにおい
て反対の即ち異なる論理的状態にあるならば、誤りのあ
る出力が生じる。論理回路(図示せず)は、このような
誤りのある状態についてテストして、その発生をマイク
ロコントローラ250に適当に通知するように構成する
こともできる。このような回路の使用は、カストデイ・
トランスファにおける如き非常に正確な計量用途におい
て有効となろう。いずれの場合も、図に示すように、「
ゲート」の値が、タイミング基準ウィンドウにおいて生
成される第1の周波数出力パルスの初めから継続してこ
のウィンドウの間に生じる最後の周波数出力パルスの低
レベルの部分まで略々半分にわたり存続する時間間隔、
即ち「オン」の時間を規定する。このため、出力、例え
ばタイマーTIMER3により生成されリード線256
に現われるパルス730がこの期間中高レベルにある。
リード線254および256に現われる信号は、次にA
NDゲート260の対応する入力に対して与えられ、こ
のゲートは適正数の方形パルス、例えばパルス742 
、744 、746のみをリード線262上に現われる
スケールされた周波数出力信号としてゲートする。従っ
て、このスケールされた周波数出力信号は、「絶対」周
波数出力信号として見做すことができる。
その結果、累積された質量流量の残りは特に24ビツト
の分解能で常に保持され、また適正(絶対)数の方形出
力周波数パルスのみがどのタイミング基準ウィンドウの
間も生成されるため、内部および外部で集計されるカウ
ントは時間と共に発散することが実質的にないことにな
る。
第2A図および第2B図に示される論理回路300のブ
ロック図が第3図に示されている。コンパレータ2目お
よび218の出力は、Δを測定間隔の初めと終り、即ち
左側の速度センサ波形における対応する基準点(零交差
点)を挟む右側の速度センサ波形における第1および第
2の測定点(±v、、の値)の発生を規定する。明らか
なように、これら出力は、リード線21Bおよび220
上を排他的ORゲート310の対応する入力に対して送
られ、このゲートが更に各測定間隔内の高レベルをリー
ド線315上に与え、これが測定回路230におけるカ
ウンタ226.228の第1の使用可能即ちEn1人力
に送られる。更に、リード線220上のコンパレータ2
18の出力は、インバータ320を介して、フリップフ
ロップ330を予めセットするため用いられる。リード
線216上のコンパレータ214の出力はフリップフロ
ップ330をクリアする。フリップフロップ330の真
のQ出力はフリップフロップ340のクロック入力へ送
られ、このフリップフロップは単に2でこの出力を除算
するように働く。2チユーブ振動サイクル毎に一回のパ
ルス速度を有するその結果生じた除算された出力は、チ
ューブ期間割込みとしてリード線345上をマイクロコ
ントローラ250に対して与えられる。カウンタ226
および228に対する第2の使用可能信号En2を生成
するため、コンパレータ224の出力はリード線225
を介して排他的ORゲート350の1つの入力端へ送ら
れる。このゲートに対する他の入力は、フリップフロッ
プ330の真の出力における信号となる。このため、こ
のゲートは各測定間隔の第1の部分、即ち各第1の測定
点の発生後およびその関連する零交差点の前に高レベル
を、また各測定間隔の第2の部分、即ち各基準点(零交
差点)の後およびその関連する第2の測定点の発生の前
に低いレベルを生じる。ゲート350の出力は、カウン
タ226に対するEn2使用可能信号としてインバータ
360を介してリード線365へ、またカウンタ228
に対するEn2使用可能信号としてバッファ370を介
してリード線375へ与えられる。
B、ソフトウェア マイクロコントローラ250により実行されるソフトウ
ェアは、実質的に、主要ループ400と2つの割込みサ
ービス・ルーチン、即ち64Hzの割込みルーチン50
0およびチューブ期間割込みルーチン600からなって
いる。主要ループ400は初期化を行ない、次いで割込
みが生じるかあるいはユーザが選定可能な値を変更する
ためユーザが流量計に対して配位モードに入ることを信
号することを待機する。64 II zの割込みルーチ
ン500は、64 II zのタイミング・パルスが生
じて加算および減算カウンタを読取りかつ測定された質
量流量の値を更新する毎に実行される。チューブ期間割
込みルーチン600は、流れ管路(チューブ)の運動の
2サイクル毎に一回実行されてスケールされた周波数出
力を更新する。
主要ループ400が第4A図および第4B図に総合的に
示され、これら各図の正しい組合せが第4図に示される
特に、一般にパワーオンのリセット状態において生じる
主要ループ400へのエントリ時に、実行は最初に初期
化ルーチン410へ進む。
このルーチン内で、ブロック413が最初に実行して全
ての割込みを不能状態にする。その後、ブロック415
が実行されて、種々のハードウェアの初期化ステップお
よび種々のソフトウェアに基く診断を行なう。−旦この
状態が生じると、ブロック418が実行されて独々のソ
フトウェアの変数をその初期値ヘセットする。これら変
数は、以下に述べるようにルーチン600内で使用さt
L ルS L ON G 1.5LONG2.0LDD
ELTA  TおよびNEXT  DELTA  Tを
含む。その後、ブロック420が実行されて、パワーオ
ンのリセットの発生後のシステムの始動中のようにソフ
トウェアの初期化が前に生じなかった場合に、NOVR
AMからの種々のパラメータに対する不履行値をロード
する。もしソフトウェアの初期化が生じた場合は、これ
らのパラメータに対する前にエントリされたユーザ選定
値が対応する不履行値の代りに使用されることになる。
次に、実行はブロックイ25へ進み、このブロックが最
大流量時に生じるべき予期された最大出力周波数(MA
X  FREQ)を計算して格納する。その後、実行は
ブロック430へ進み、これがカウンタDIVIDE 
 DOWNを零に初期化する。このカウンタは、流量が
測定される場合にタイミング間隔のカウントに使用され
る。次いで判断ブロック435および445が実行され
、小さな流量が測定されるかどうかを判定し、もしそう
であれば、適当な更新間隔を規定するようカウンタをセ
ットする。特に、もしMAX  FREQの値が「16
」より小さければ、判断ブロック435は実行をそのY
ES経路を介してブロック440へ送り、このブロック
は実行される時カウンタの値DIVIDE  DOWN
を1にセットし、これによりスケールされた周波数出力
に対してl/32秒の更新間隔を与える。次に実行は判
断ブロック445へ進む。あるいはまた、もしMAX 
 FREQが「16」より大きいかあるいはこれと等し
ければ、実行はNo経路438を通って判断ブロック4
イ5へ進む。この判断プロ、ツタは、実行される時、M
AX  FREQが「8」より小さいかどうかを決定す
る。もしそうであれば、実行は、判断ブロック445か
ら生じるYESの経路を通ってブロック450へ進み、
このブロックは実行される時カウンタの値DIVIDE
  0OWNを2ヘセツトし、これによりスケールされ
た周波数出力に対する1716秒に等しい更新間隔を生
じる。次いで実行はブロック455へ進む。あるいはま
た、もしMAX  FREQの値が「8」より大きいか
あるいはこれと等しければ、実行はNo経路448を通
って判断ブロック455へ進む。ブロック455は、実
行されると、変数FREQIの値を計算して格納し、こ
の値は以下に述べるように後で計数逓減率として働き、
これは更新間隔の間に生じるスケールされた適当数の周
波数出力パルスを決定するよう流量が乗じられることに
なる。
−旦ブロック455が実行すると、初期化ルーチン41
0の実行が終了する。
この時点で、主要ループ400は、配位°モードの割込
みあるいはユーザのエントリのいずれかが生じるのを待
機する。特に、実行はブロック457へ進み、全ての割
込みを可能状態にする。その後、実行は判断ブロック4
60へ進む。割込みが生じる場合、実行はこの判断ブロ
ックから出るYESの経路ブロック465へ進む。ブロ
ック465は、実行される時、割込みのサービスのため
適当な割込みサービス・ルーチン(64ftzの割込み
サービス・ルーチン500か、チューブ期間割込みルー
チン600)を実行する。−旦この状態が生じるかある
いは割込みが一切生じず、判断ブロック460が実行を
Noの経路463へ送る場合は、次いで実行は判断ブロ
ック470へ進む。この判断ブロックは、ユーザが流量
計の配位の変更を要求したかどうかを判定する。もしユ
ーザが外部端末における適当なキーの打鍵による如くこ
の要求を行なフたならば、判断ブロック470は実行を
そのYES経路を経てブロック475へ送る。
このブロックは、実行される時、ユーザが直列ボートお
よび外部端末装置(前に述べたモデル268「スマート
・ファミリ」インターフェースの如き)を介してアクセ
スし得る予め定めたメニューを経て種々のパラメータの
ユーザが選定可能な値を入れるよう促す。これらのパラ
メータは、測定される最大流量(MAX  FLORR
ATE)、ユーザが選定可能な、スケールされた周波数
出力において生じるべき最大周波数、例えばl0KHz
  (U S E RF RE Q )、およびこの周
波数と対応するユーザが選定した流11(USERRA
TE)を含む。その後、実行は再び経路480を経て初
期化ルーチン410のエントリ点へ戻る。あるいはまた
、もしユーザがこのような要求をしなかったならば、判
断ブロック470は実行をNO経路473を経て再び判
断ブロック460へ戻して割込みが生じるのを待機する
。判断ブロック460および実行ブロック465を含む
ループは一般に明確にプログラムされずマイクロコント
ローラ自体の内部にハードワイヤドされるが、このルー
プは割込みサービス・プロセスを概略示すことにより容
易な理解のため使用される。
主要ループ400の一部として実行される64Hzの割
込みルーチン500のフローチャートが第5A図および
第5B図においてまとめて示されており、これら図面の
正しい組合せ状態が第5図に示される。上記のように、
64 II z割込みルーチン500は、64 Hzタ
イミング・パルスが加算および減算カウンタの読出しお
よび測定された質量流量の値の更新のため生じる毎に実
行される。
特に、ルーチン500へのエントリ時に、実行はブロッ
ク503へ進み、このブロックがNOVRAM270 
 (第2A図および第2B図参照)から内部で集計され
た質量流量(PULSEACCUM)の値を読出す。そ
の後、第5A図および第5B図に示されるように、実行
はブロック506へ進み、このブロックが直面のタイミ
ング間隔において生じる最も後に測定された質量流量の
値(RATE)が与えられて、スケールされた周波数出
力パルスに関して保持される集計された質量流量を更新
する。この質量流量の値は、初期化の量決定された計数
逓減率FREQIの値が乗じられて、加算されるべきパ
ルス数を決定する。その結果前られる更新値は、次にN
OVRAM270に再び格納される。−旦この状態が生
じると、実行はブロック509へ進み、カウンタDIV
IDE  DOWNの値を時間的変数DIV  FRE
Qに格納する。その後、実行は判断ブロック512へ進
み、l/32およびl/16秒のタイミング間隔が用い
られる小さな最大質量流量について、周波数出力の更新
がこのl/64秒のタイミング間隔において生じるべき
かどうかを判定する。ループ・カウンタFREQ  L
OOPCNTの内容が零でなくこれによりこのような更
新がその時の間隔においては生じないことを示す場合に
は、判断ブロック512が実行をそのNo経路を経てブ
ロック515へ送り、このブロックハ単ニカウンタノ値
FREQ  LOOPCNTを1だけ減分する。その後
、実行はルーチン500へ戻る。あるいはまた、もしF
REQ  LOOPCNTの内容が零に等しいことによ
り更新が生じるべきことを示すならば、判断ブロック5
12は実行をそのYES経路を経てブロック518へ送
る。このブロックは、実行される時、周波数を与えかつ
マイクロコントローラ250からの出力をゲートするタ
イマーT I MER2およびTIMER3(第2A図
および第2B図参照)を停止させる。−旦この状態が生
じると、第5A図および第5B図に示されるように、実
行はブロック522へ進み、このブロックは実行される
時変数PLUSE  ACCUMの上位バイトを読出し
、その結果を時間変数Aに格納する。次に、実行は判断
ブロック525へ進み、変数Aの値が基準タイミング・
ウィンドウに生じ得る方形パルスの予め定めた最大数で
あるr  180Jを越えるかどうかを判定する。特に
、市販の装置におけるほとんどの周波数出力は、約10
 K Hzの最大出力周波数を有する。従って、変数A
の最大値は、スケールされた周波数出力に対して両立し
得る最大周波数を生じるような大きさとされる。
従って、変数Aの値がr 180Jであれば、l/64
秒の基準タイミング・ウィンドウを使用する出力パルス
7秒の最大値は、180*64即ち11,520パルス
となる。基準タイミング・ウィンドウがl/32または
l/16秒の持続時間を有するならば、最大出力パルス
数7秒は、それぞれ180*  32即ち5.76(1
パルス、あるいは +110*16 !l’17ち2,
8+10パルスとなる。次に、変数Aの値かr  18
0」を越える場合は、判断ブロック525は実行をその
YES経路を経てブロック531へ送り、このブロック
は実行される時変数Aの値をr 1804にセットする
。次いで実行はブロック534へ進み、このブロックは
適当なエラー・フラッグをセットしてユーザに範囲外の
条件の発生を警告する。
次に実行はブロック537へ進む。あるいはまた、もし
変数Aの値がr r80Jと等しいかあるいはこれよ小
さければ、判断ブロック525は実行をそのNo経路を
経て直接ブロック537へ送る。
ブロック537は実行される時、最も後のパルス数即ち
この時のタイミング間隔において生じるべき変数Aの値
で生成された実際のパルス数の実行集計を維持する集計
子TOTAL  ACCUMの値を更新する。−旦この
状態が生じると、実行はブロック540へ進み、このブ
ロックが変数Aの値をPROM275  (第2A図お
よび第2B図参照)に格納された索引表に対するアドレ
スとじて用いて対応する値T2および第3をアクセスす
るが、この値は「周波数」タイマーT I MER2に
ロードされてタイマーT I MER3を「ゲート]す
る。次に、第5A図および第5B図に示されるように、
ブロック543が実行されて、これらの値を変数DIV
  FREQの値に等しい位置の数だけ左方ヘシフトす
ることにより小さな質量流量に対する値T2および第3
を修正する。毎秒I6より多いパルスを生じる小さな質
量流量においては、DIV  FREQの値は零となる
。その後、実行はブロック546へ進み、このブロック
は実行される時値T2および第3をそれぞれタイマー1
1MER2およびT I MER3にロードする。
旦この状態が生じると、ブロック549が実行されてこ
れら両方のタイマーを始動させる。その後、実行はブロ
ック552へ進む。ブロック552〜570は、ループ
・カウンタFREQ  L OOPCNTの適当な値を
セットするため用いられる。
特に、ブロック552は実行される時、DIVFREQ
の値を時間変数Aに格納する。次いでブロック556が
実行されて、変数Aの値(値DIV  FREQ)に2
を乗じる。その後、実行は判断ブロック560へ進み、
このブロックは変数Aが零より大きな値を持つかどうか
をテストする。もし変数Aの値が男より大きいことによ
り1/32または1/16の基準タイミング・ウィンド
ウを必要とする小さな質量流量を示すならば、実行は判
断ブロック560からのYESの経路を経てブロック5
64へ進む。この後者のブロックは、変数Aの値を1だ
け減分する。次に実行はブロック570へ進み、このブ
ロックは実行される時、結果として得る変数Aの値−を
後で使用するためループ・カウンタFREQ  LOO
PCNTに格納する。あるいはまた、もし変数Aの値が
零に等しければ、判断ブロック560は単に実行をその
Noの経路を経て直接ブロック570へ送る。
−旦ブロック570が実行されると、実行はルーチン5
00から主要ループ400へ戻る。このため、スケール
された周波数出力に生じたパルス数は、1つの基準タイ
ミング・ウィンドウから、集計された質量流量の変数P
ULSE  ACCUMの残りでない部分(上位バイト
)のこの時の値に基〈次のウィンドウへ変化し得ること
が判る。
例えば、1つのl/64秒の基準タイミング・ウィンド
ウは5つのパルス、次の4つのパルス、後に続く1また
は0のパルス、等を持ち得る。
しかし、1秒が経過する時までに、64の隣接するウィ
ンドウに生じるパルス数は、必要とされるパルスの絶対
数に等しいことになり、これにより内部または外部で生
じる集計質量流量値が時間に関して実質的に発散しない
ことを保証する。
これまた主要ループ400の一部として実行されるチュ
ーブ期間割込みルーチン600のフローチャートが第6
A図および第6B図にまとめて示され、これらの図面の
正しい組合せは第6図に示されている。上記のように、
チューブ期間割込みルーチン600は、スケールされた
周波数出力の更新のため流れ管路(チューブ)の運動の
2サイクル毎に一回実行される。
ルーチン600に入ると、実行はブロック605へ進み
、このブロックは実行される時全ての割込みを不能化す
る。その後、ブロック610が実行されてカウンタ23
4に置かれたカウンタC1およびC2に格納されるこの
時の加算および減算カウント・データを読出す。変数5
INTIはカウンタC1からの(加算)カウントを格納
するが、変数S I NT2はカウンタC2からの(減
算)カウントを格納する。次いで、全ての割込みがブロ
ック615の実行により使用可能状態になる。−旦この
状態が生じると、時定数の値(TC)がNOVRAM2
70  (参照第2A図および第2B図)から読出され
る。この値は、システム構成中ユーザにより選定される
如きいくつかの予め定めた値のどれか1つであり得、以
降の使用のためNOVRAMに格納される。
その後、第6A図および第6B図に示されるように、実
行はブロック625へ進んでこの時のΔtの値を計算す
る。この値は単に、その時の測定間隔において累積され
たカウンタC1およびC2内に格納されたカウントを差
引くだけで決定される。しかし、これらのカウンタはど
の測定間隔の初めにおいてもリセットされないため、間
隔の終りに存在するこれらカウンタの内容、5INTI
および5INT2は、それぞれ測定間隔の初めに存在す
る対応する内容、0LDUP  C0UNTおよびOL
D  DOWNCOUNTから差引される。次に、Δt
は、これら2つの値開の差をとることによって計算され
る。−旦この計算が行なわれると、実行はブロック62
8へ進み、このブロックは実行される時、次の組の2つ
の測定間隔に対1−るルーチン600による次の反復の
間使用される値0LDUP  C0UNTおよびOLD
  DOWQNCOUNTとしてその時のカウントを保
管する。
次に、−旦Δtの値が計算されると、この値は、2つの
同じ極を有するディジタル・フィルタを構成する2極フ
イルタ・ルーチン630を介してディジタル的にフィル
タされる。特に、ルーチン630にエントリすると、実
行はブロック633へ進み、このブロックは実行される
時、時間変数5LONGIの値をその時のΔを値にセッ
トする。次に、ブロック635が実行されて、5LON
GIの値をこれに16進数r 4000Jを乗じること
により適当にスケールリングする。
その後、実行はブロック640へ進み、このブロックは
時間変数5LONG2の値を変数0LDDELTA  
Tの値にセットする。この時、ブロック645が実行さ
れて、ディジタル・フィルタの第1の極を生じる。その
結果ディジタル的にフィルタされた値5LONGIが、
ルーチン600における次の反復の間使用される変数O
LD  DELTA  Tとしてブロック650の実行
によって保管される。次に、ブロック655が実行して
、変数5LONG2の値を変数NEXT  DELTA
  Tのその時の値にセットする。その後、実行はブロ
ック660へ進み、このブロックはディジタル・フィル
タ操作の第2の極を生じる。同じフィルタ式がブロック
645および660においても用いられる。その結果フ
ィルタされる5LONGIの値が、ブロック665の実
行により変数NEXT  DELTA  Tに保管され
る。上記のように、値5LONGI、OLD  DEL
TA  T、5LONG2およびNEXT  DELT
A  Tが初期化の間零にセットされる。
一旦ブロック665が実行すると、ディジタル・フィル
タ動作が完了し、この時点で実行はルーチン630から
ブロック670へ進む。このブロックは、実行される時
、変数の値5LONGI、即ちディジタル的にフィルタ
されたΔを値から質量流量が零である条件において決定
される機械的な偏差のその時の値を差引く。その後、実
行はブロック675へ進み、このブロックは速度の変換
回数で乗じることにより5LONGIに格納されたΔを
値を変換してg/秒単位で測定した質量流(il(FL
OATI)を生じる。次に、実行は判断ブロック680
へ進み、このブロックは、その時の質量流量が予め定め
た小さい質量流量の遮断値よりも小さな値を持つかどう
かを判定する。もしその時の質量流量がこのような値を
持つならば、判断ブロック680が実行をそのYES経
路を経てブロック685へ送り、このブロックは実行さ
れる時、変数FLOATIの値即ちその時の質量流量を
零にセットする。次いで、実行はブロック690へ進み
、このブロックが6月IZの割込みルーチン500によ
り使用されるために変数FLOAT1の値を変数RAT
Eヘロードする。あるいはまた、もしその時の質量流量
が小さな質量流量遮断値と等しいかあるいはこれよりも
大きな値を持つならば、判断ブロック680は実行をN
oの経路688を経て直接ブロック690へ送る。−旦
ブロック690が実行完了状態となると、ブロック69
5が実行されてその時の質3j1′流量の値が与えられ
る他プロセスの変数(もしあれば)を更新する。−旦こ
の状態が生じると、ルーチン600の実行が完了し、こ
の時実行はこのルーチンから主要ループ400へ戻る。
明らかに、当業者は、開示された実施態様はU字形の流
れ管路を使用しているが、この管路が慣性のない基準フ
レームを確立するため軸心の周囲に振動し得るものであ
る限り、略々どんな大きさおよび形状の流れ管路でも使
用できることを認識しよう。例えば、これら管路は直線
状のチューブ、S字形チューブあるいはループ状チュー
ブも含み得る。更に、2木の平行な流わ管路を持つ如き
流量計が示されたが、1本の流れ管路あるいは2本より
多い、例えば3本、4本あるいはそれ以、Lの平行流れ
管路を持つ実施態様も必要に応じて使用可能である。
本発明の1つの実施態様について本文に示し記したが、
本発明の教示内容を含む他の多くの変更例が当業者によ
って容易に形成することができよう。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の教示内容を包含するコリオす質量流量
計量システム5を示す全体図、第2図は第2A図および
第2B図の正しい結合状態を示す図、第2A図および第
2B図は共に第1図に示されたコリオリ質量流量計lO
とインターフェースされる流量計エレクトロニックス2
0を示す全体ブロック図、第3図は第2A図および第2
B図に示された論理回路300を示すブロック図、第4
図は第4A図および第4B図の正しい結合状態を示す図
、第4A図および第4B図は第2A図および第2B図に
示されたマイクロコントローラ250により実行される
主要ループ400の全体フローチャート、第5図は第5
A図および+58図の正しい結合状態を示す図、第5A
図および+58図は主要ループ400の一部として実行
される6 4 II y、割込みルーチン500の全体
フローチャート、第6図は第6A図および第6B図の正
しい結合状態を示す図、第6A図および+68図は主要
ループ400の一部として実行されるチューブ期間割込
みルーチン600の全体フローチャート、および第7図
は第2A図および第2B図に示されるリード262上に
現われる本発明の教示に従うスケールされた周波数出力
信号を生じる際使用される例示的な波形を示す図である
。 10・・・コリオリ流量計組立体、20−・・流量計エ
レクトロニックス、25.26・・・リード線、73・
・・基準タイミング・ウィンドウ、100・・・リード
線、+01・・・流入端部、101゛・・・流出端部、
110.110°・・・マニフォールド、120 、1
20°・・・チューブ取付はブロック、130 、13
0°・・・並列流れチューブ、131 、13F・・・
側方脚部、+49・・・水晶発振子、+50・・・管状
部材、160R,160L・・・速度検出コイル、16
5 R%11i5、−・・リード線、170 R−17
0L・・・永久磁石、+80−・・駆動機構、185−
・・リード線、190−・・抵抗温度検出器(RTD)
+95・・・リード線、202.204−・・増巾器、
208.210−・・精度積分器、209・・・飽和増
巾器、214.218 、220、224−・・コンパ
レータ、216 、225−・・リード線、222・・
・飽和増巾器、226 、228・・・予めスケールさ
れたカウンタ、230・・・4パルス測定回路、234
・・・カウンタ、240・−駆動回路、249−・・水
晶発振子、250・・・マイクロコントローラ、252
・・・実時間クロック、254 、256・・・リード
線、260 ・・−A N Dゲート、262 、 2
64 、 266.268 ・・・リード線、270−
・・不揮発性ランダム・アクセス・メモリー(N OV
 RA M ) 、 272・・・発光ダイオード(L
ED)、274・・・リード線、275−・・プログラ
ム可能読出し専用メモリー(PROM)、280−4−
20m A出力回路、284−・・リード線、285−
・・両方向アドレス/データ・バス、288・・・リー
ド線、290−・・RS −485直列インターフェー
ス、300・・・論理回路、31O・−排他的ORゲー
ト、315・・・リード線、320・−インバータ、3
30軸・フリップフロップ、340−・・フリップフロ
ップ、345.346・・・リード線、350・・・排
他的ORゲート、360・・・インバータ、365 、
375・・・リード線、370−・・バッファ、400
・・・主要ループ、500−64Hzの割込みルーチン
、600・・・チューブ期間割込みルーチン。 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、4B IG 平成 元年 9月1/日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、コリオリ質量流量計にあって約50%のデューティ
    ・サイクルを持つ出力パルスを有する周波数出力信号を
    生じる装置であって、タイミング間隔の間に生じる該パ
    ルスの数が測定された質量流量に比例する装置において
    、 コリオリ質量流量計量組立体と、 該計量組立体と結合されて、内部に保持される流れ管路
    を流れる流体の質量流量を測定して該測定された質量流
    量に比例する値を生成する手段とを具備し、該測定兼生
    成手段が、前記測定された質量流量に応じて、その時の
    タイミング間隔の間に生じる必要のある対応数の出力パ
    ルスを決定する手段と、 前の質量流量値で前記出力パルス数を集計して、第1の
    部分と残りの部分とを有する集計されたパルス・カウン
    ト値を生じる手段と、 複数の第1と第2のタイミング値を含み、該第1のタイ
    ミング値の各々がタイミング間隔の間に生じる前記各出
    力パルスに対して「オン」の時間を定義し、また前記第
    2の値の各々が前記タイミング間隔の間に生じる前記出
    力パルス数を包含するに充分な長さであるゲート間隔に
    対し「オン」の時間を定義する索引表と、 前記第1の部分の値に応じて、前記第1の値の1つおよ
    び前記第2の値の対応する1つを前記索引表からアクセ
    スして第1および第2のタイミング値を生じる手段と、 前記第1および第2のタイミング値に応じて、前記のそ
    の時のタイミング間隔の間に生じる前記ゲート間隔にお
    ける前記周波数出力信号における出力パルスとして実質
    的に方形のパルスのストリームを順次生じることにより
    該ストリームが如何なる異質パルスも実質的に含まない
    ようにする手段とを含むことを特徴とする装置。 2、前記パルス・ストリームを生じる手段が、前記第1
    および第2のタイミング値に応答して作動する第1およ
    び第2のタイマーであって、該第1のタイマーが前記方
    形パルスを生じ、前記第2のタイマーが前記ゲート間隔
    と実質的に等しい「オン」時間を有するゲート・パルス
    を生じる第1および第2のタイマーと、 前記第1および第2のタイミング信号に応答して、該第
    1のタイミング信号における前記方形パルスを前記ゲー
    ト間隔における前記周波数出力信号に加えるゲートとを
    含むことを特徴とする請求項1記載の装置。 3、前記第1および第2のタイマーが、前記間隔の初め
    に共に第1の論理状態において始まり、該間隔の終りに
    おいて共に第2の論理状態において終るパルスを生じ、
    該第1および第2の論理状態が同じかあるいは異なる論
    理状態であることを特徴とする請求項2記載の装置。 4、前記コリオリ計量組立体が、 少なくとも1つの流れ管路と、 駆動信号に応答して前記流れ管路を正弦波状パターンで
    振動させる手段とを含むことを特徴とする請求項3記載
    の装置。 5、前記測定兼生成手段が更に、 前記流れ管路内の流体の流過により生じる反対方向のコ
    リオリの作用力により生じる前記流れ管路の運動を検出
    し、かつ前記流れ管路の検出された運動に応答して第1
    および第2のセンサ信号を生じる手段と、 前記第1および第2のセンサ信号に応答して、前記流体
    の質量流量の値を生じる回路手段とを含み、該回路手段
    は、 前記センサ信号の少なくとも1つに応答して前記駆動信
    号を生じる手段と、 前記第1および第2のセンサ信号に応答して、前記第1
    のセンサ信号の立上り側に置かれた2つの測定点の各々
    の間に生じる時間差を、前記第2のセンサ信号に置かれ
    た該2つの測定点の各々の間に一時的に生じる基準点に
    関して決定する手段であって、該時間差は前記流れ管路
    内を流過する流体の質量流量の値の一次関数である手段
    と、 前記の決定された時間差に応答して前記質量流量値を生
    成する手段とを含むことを特徴とする請求項4記載の装
    置。 6、前記コリオリ計量組立体が更に第1および第2の流
    れ管路を含み、前記運動検出手段が更に、前記第1およ
    び第2のセンサ信号が前記両流れ管路の検出された運動
    に応答するように該両流れ管路の運動を検出する手段を
    含むことを特徴とする請求項5記載の装置。7、前記時
    間差決定手段が、 前記第1および第2のセンサ信号を積分して第1および
    第2の位置の信号を生じる手段と、予め定めた基準値に
    対して前記第1および 第2の位置の信号を比較して、前記2つの測定点の各々
    および前記基準点の発生を検出する手段と、 前記比較手段に応答して、第1および第2の制御信号を
    生じる論理回路と、 前記第1および第2の制御信号および予め定めた周波数
    のクロック・パルスに応答して、前記第1の測定点と前
    記基準点との間に生じる第1の時間間隔と、前記基準点
    と前記第2の測定点との間に生じる第2の時間間隔とを
    表わすカウント値を生じる第1および第2のカウンタと
    を含むことを特徴とする請求項6記載の装置。 8、前記時間差決定手段が更に、少なくとも2組の前記
    第1および第2の測定点に対して生じるカウント値と、
    前記流れ管路の前記1つの運動の2サイクルにわたり生
    じる前記基準点とに応答して、前記時間差を得る手段を
    含むことを特徴とする請求項7記載の装置。9、前記測
    定点が、流れのない条件下での前記基準点の両側に対称
    的に置かれることを特徴とする請求項8記載の装置。 10、コリオリ質量流量計量組立体内に保持された流れ
    管路内を流れる処理流体の質量流量を測定し、また測定
    された質量流量に比例する値を生じるコリオリ質量流量
    計にあって、約50%のデューティ・サイクルを持つ出
    力パルスを有する周波数出力信号を生じる方法であって
    、タイミング間隔において生じる該パルス数が測定され
    た質量流量に比例する方法において、 測定された質量流量の値に応答して、その時のタイミン
    グ間隔において生じる必要がある対応数の出力パルスを
    決定し、 前の質量流量値で前記パルス数を集計して、第1の部分
    と残りの部分とを有する集計されたパルス・カウントを
    生じ、 前記第1の部分に応答して、索引表から第1の値の1つ
    および対応する第2の値の1つをアクセスするステップ
    を含み、該索引表は複数の第1および第2のタイミング
    値を有し、該第1のタイミングは各々タイミング間隔に
    おいて生じる前記各出力パルスに対して「オン」の時間
    を定義し、前記第2の値は各々前記タイミング間隔にお
    いて生じる前記出力パルスの所要数の連続するパルスを
    包含するに充分な長さであるゲート間隔に対して「オン
    」時間を定義し、 前記第1および第2のタイミング値に応答して、前記そ
    の時のタイミング間隔の間に生じる前記ゲート間隔の間
    に前記周波数出力信号における出力パルスとして実質的
    に方形のパルスのストリームを順次生じるステップを含
    み、以て該ストリームが如何なる異質のパルスも実質的
    に含まないことを特徴とする方法。 11、第1および第2のタイマーを前記第1および第2
    のタイミング値でロードして、前記第1のタイマーが前
    記方形パルスを生じ、かつ前記第2のタイマーが前記ゲ
    ート間隔と実質的に等しい「オン」時間を持つゲート・
    パルスを生じるようにし、 前記第1および第2のタイミング信号に応答して、該第
    1のタイミング信号における前記方形パルスを前記ゲー
    ト間隔の間に前記周波数出力信号に対してゲートするス
    テップを更に含むことを特徴とする請求項10記載の方
    法。 12、前記間隔の初めにおいて共に第1の論理状態で開
    始し、かつ該間隔の終りにおいて共に第2の論理状態で
    終る前記第1および第2のタイマーのパルスを介して生
    じるステップを更に含み、該第1および第2の論理状態
    が同じであるかあるいは異なる論理状態であることを特
    徴とする請求項11記載の方法。 13、前記流れ管路内の流体の流過により生じるコリオ
    リの作用力によって生じる少なくとも1つの流れ管路の
    運動を検出して、該流れ管路の該検出された運動に応答
    して第1および第2のセンサ信号を生じ、 該センサ信号の少なくとも1つに応答して前記駆動信号
    を生じ、 該記駆動信号に応答して前記流れ管路を正弦波状パター
    ンで振動させ、 前記第1および第2のセンサ信号に応答して、前記第1
    のセンサ信号の立上り側に置かれた2つの測定点の各々
    の間に生じる時間差を、該第2のセンサ信号に置かれ該
    2つの測定点の各々の間に生じる基準点に関して決定す
    るステップを更に含み、前記時間差が前記流れ管路内を
    流過する流体の質量流量の値の一次関数であり、 該決定された時間差に応答して前記流体の質量流量の測
    定された値を生成するステップを更に含むことを特徴と
    する請求項12記載の方法。 14、前記運動検出ステップが更に、前記第1および第
    2のセンサ信号が前記両流れ管路の検出された運動に応
    答するように第1および第2の流れ管路の運動を検出す
    るステップを含むことを特徴とする請求項13記載の方
    法。 15、前記流れ管路の1つの振動運動の2サイクル毎に
    質量流量の測定を更新するステップを更に含むことを特
    徴とする請求項14記載の方法。 16、前記の時間差決定ステップが更に、 前記第1および第2のセンサ信号を積分して第1および
    第2の位置の信号を生じ、 該第1および第2の位置の信号を予め定めた基準値と比
    較して前記2つの測定点の各々および前記基準点の発生
    を検出し、 該比較手段に応答して第1および第2の制御信号を生成
    し、 該第1および第2の制御信号および予め定めた周波数の
    クロック・パルスに応答して、前記第1の測定点と前記
    基準点との間に生じる第1の時間間隔と前記基準点と前
    記第2の測定点との間に生じる第2の時間間隔とを表わ
    すカウントされた値を生じるステップを含むことを特徴
    とする請求項15記載の方法。 17、前記時間差決定ステップが更に、少なくとも2組
    の前記第1および第2の測定点に対して生じるカウント
    値と、前記流れ管路の前記1つの運動の2サイクルにわ
    たり生じる前記基準点とに応答して、前記時間差を得る
    ステップを含むことを特徴とする請求項16記載の方法
    。 18、前記測定点が、流れのない条件下において前記基
    準点の両側に対称的に置かれることを特徴とする請求項
    17記載の方法。
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