JPH0273624U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0273624U JPH0273624U JP15324088U JP15324088U JPH0273624U JP H0273624 U JPH0273624 U JP H0273624U JP 15324088 U JP15324088 U JP 15324088U JP 15324088 U JP15324088 U JP 15324088U JP H0273624 U JPH0273624 U JP H0273624U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- mask
- view
- original image
- temperature detection
- Prior art date
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- Pending
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Description
図面はこの考案の実施例に係り、第１図は焼枠
の第１実施例を示す一部破断平面図、第２図は第
１図の―′線断面図、第３図は焼枠の第２実
施例を示す一部破断平面図、第４図は第３図の
―′線断面図、第５図は第１実施例の他の態様
を示す断面図である。 Ａ１，Ａ２……焼枠、被露光物……Ｗ，Ｗ′、
１……上枠、２……下枠、３，３′……原稿画像
フイルム、４……シール材、５……マスク、５ａ
，９ａ……吸着溝、５ｂ，９ｂ……溝部、５ｃ…
…穴部、６……枠体、６ａ……孔、７，８，１０
……温度検出素子、９……小型マスク。
の第１実施例を示す一部破断平面図、第２図は第
１図の―′線断面図、第３図は焼枠の第２実
施例を示す一部破断平面図、第４図は第３図の
―′線断面図、第５図は第１実施例の他の態様
を示す断面図である。 Ａ１，Ａ２……焼枠、被露光物……Ｗ，Ｗ′、
１……上枠、２……下枠、３，３′……原稿画像
フイルム、４……シール材、５……マスク、５ａ
，９ａ……吸着溝、５ｂ，９ｂ……溝部、５ｃ…
…穴部、６……枠体、６ａ……孔、７，８，１０
……温度検出素子、９……小型マスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 光源から照射されるマスクに原稿画像フイルム
を装着した露光装置の焼枠において、 上記マスクの複数箇所に温度検出素子を配設し
たことを特徴とする露光装置の焼枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15324088U JPH0273624U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15324088U JPH0273624U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273624U true JPH0273624U (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=31428900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15324088U Pending JPH0273624U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273624U (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54149586A (en) * | 1978-05-17 | 1979-11-22 | Hitachi Ltd | Mask aligner |
| JPS5527866U (ja) * | 1978-08-15 | 1980-02-22 | ||
| JPS6344647A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Ricoh Co Ltd | 複写装置 |
| JPS63125928A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 感熱複写装置 |
| JPS63260023A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | Sharp Corp | Ｘ線露光装置 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15324088U patent/JPH0273624U/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54149586A (en) * | 1978-05-17 | 1979-11-22 | Hitachi Ltd | Mask aligner |
| JPS5527866U (ja) * | 1978-08-15 | 1980-02-22 | ||
| JPS6344647A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Ricoh Co Ltd | 複写装置 |
| JPS63125928A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 感熱複写装置 |
| JPS63260023A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | Sharp Corp | Ｘ線露光装置 |