JPH0274050A

JPH0274050A - 検査装置

Info

Publication number: JPH0274050A
Application number: JP63227224A
Authority: JP
Inventors: Munetoshi Nagasaka; 旨俊長坂
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-09-09
Filing date: 1988-09-09
Publication date: 1990-03-14
Anticipated expiration: 2012-08-27
Also published as: JP2647162B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、テストヘッドを回転移動することができる検
査装置に関する。

（従来の技術）例えば、半導体ウニの検査装置では、プローブ装置にて
半導体ウェハ上の各チップの電極バッドにプローブ針等
を接触させ、一方、テスタから上記グローブ針を介して
各チップに測定パターンを付与し、この各チップからの
出カバターンをテスタにてモニタすることで、半導体ウ
ェハ上の各チップの電気的特性の検査を実行している。

ここで、近年、特に高周波測定を実行する場合にあって
は、半導体ウェハからテスタまでの入出カケ−プルを長
くするとノイズの重畳により正確な検査を実行できない
ため、検査時にあっては１０−プ装置にテストヘッドを
接続状態とし、非検査時には１０−プ装置上でのマイク
ロスコープの使用等を確保するために退避させる構成を
採用することが切望されている。

そして、このようなテストヘッドの移動を最も簡易に実
行するには、テストヘッドを回転させる構成が有利であ
る。

（発明が解決しようとする問題点）ところで、上記のようなテストヘッドは相当な重量（例
えば２００　ｋ＋ｒ程度）を有するので、これを従来の
ように人手によって回転させることはオペレータの負担
が大きく、衝撃なく所定の位置に回転させて載置するこ
とは極めて困難である。

従って、このような相当平波のテストヘッドの回転を完
全自動化するものが好ましい、さらに、テストヘッドの
回転移動を自動化した場合には、通常プローバー本体と
の接続位置と、このプローバー本体との接続を解除した
退避位置との２点の間で停止できるものであれば良いが
、ユーザによってはその途中の角度で停止させたいとい
う要望もあり、また、メインテナンスの都合上同様にテ
ストヘッドを途中で停止させたい場合も生じていた。

このようにテストヘッドを回転領域の途中で停止するこ
とは、手操作により回転する場合にあってはこの間相当
重量のテストヘッドを人手によって支持していなければ
ならないので事実上不可能であった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、テスト
ヘッドをその回転領域の任意回転位置で自動的に停止さ
せることができる検査装置を提供することを目的とする
。

［発明の構成〕（問題点を解決するための手段）本発明は、テストヘッドを１０−バとの接続位置と非接
続位置とに回転移動させる検査装置において、スイッチオン操作により上記テストヘッドを回転駆動す
る駆動手段を設け、かつ、上記テストヘッドの回転移動
中でのスイ・ｙチオフ操作により、上記テストヘッドを
任意の回転位置で停止可能とした構成としている。

（作用）本発明では、スイッチオン操作に基づきテストヘッドの
回転移動を自動化でき、しかも、このテストヘッド回転
中にスイッチオフ操作を実行すると、テストヘッドをそ
のスイッチオフ操作がされたタイミングで回転領域内の
任意回転角度で停止させることができる。

従って、ユーザが希望する任意位置になんらの労力を要
せずにテストヘッドを停止制御することができ、メイン
テナンス作業等の便宜となる。

（実施例）以下、本発明を半導体ウェハの検査装置に適用した一実
施例について、図面を参照して具体的に説明する。

まず、第２図（Ａ）、（Ｂ）を参照してこの検査装置の
概略について説明すると、１０−バー本体ｌＯは半導体
ウェハの各チップの電極パッドにグローブ針等を触針さ
せ、各チップとの電気的接続を確保するための装置であ
り、上記のブロー１針はテストヘッド１を介して、第２
［Ｊ（ＡＪの上側に配置されているテスタ１２とケーブ
ル（図示せず）によって接続されている。

上記プローバー本体１０とテストヘッド１とはコネクタ
によって電気的接続が可能となっていて、同図の実線で
示すように１０−バー本体１０の真上にテストヘッド１
が配置された場合にコネクタ接続が実行されるようにな
っている。

そして、上記テストヘッド１は、１０−バー本体１０の
隣に配置されたヒンジボックス１４に対して回転自在に
支持されていて、このヒンジボックス１４の左側に配置
されたサイドデスク１６上に移動することで、プローバ
ー本体１０との接続を解除して退避可能となっている。

このなめ、第６図に示すように上記テストヘッド１は、
回転中心に対してその重心がθｌ　　（プローバー本体
側の位置）からθ２　　（サイドデスク側の位置）間で
、回転可能となっている。なお、上記プローバー本体１
０及びサイドデスク１６にはそれぞれテストヘッド１の
クランパー１０ａ、１６ａが設けられている。また、前
記ヒンジボックス１４には、前記テストヘッド１をプロ
ーバー本体１ｏ（Ｉ！Ｉに移動する場合のスイングスイ
ッチ１４ａと、テストヘッド１をサイドデスク１６側に
移動する場合のスイングスイッチ１４ｂとが設けられて
いる。

次に、上記テストヘッド１の回転移動を自動化するため
の機構について、第３図を参照して説明する。

主軸２０は、上記テストヘッド１を固着した状態で一体
回転できるように回転自在に支持されていて、この主軸
２０にはアーム２２が固着されている。そして、このア
ーム２２の主軸中心より離れた偏心点２２ａは、上下動
案内部材２４によって上下動可能に支持された上下動部
材２６の上端に回転自在に支持されている。

上記上下動部材２６は、第１の往復動手段の一例である
第１のエアーシリンダ３０の可動部３２にねじ止めされ
ていて、この第１のエアーシリンダ３０の案内軸３４の
下端は、前記上下動案内部材２４に固着されている。

上記第１のエアーシリンダ３０の駆動原理は、第６図に
示すＩＮ側にエアーを導入することで可動部３２か下降
し、反対にＯＵＴ側にエアーを導入することで可動部３
２が上昇するようになっている。

また、上記第１のエアーシリンダ３０は第３図（Ａ）の
裏面−表面に向かう方向、すなわち第３図（Ｂ）の左右
方向に移動自在となっていて、このため、上記主軸２０
の回転に伴って上記第１のエアーシリンダ３０及びこれ
を固定する部材を確実に水平移動させるための構成が設
けられている。

すなわち、上記主軸２０には第１の１−リ５０が固着さ
れ、また、ヒンジボックス１４のブラケット１４ｃに回
転自在に支持された第２の１−リ５２が設けられ、この
第１．第２の１一リ５０５２間にはベルト５４が張架さ
れている。また、前記第２のプーリ５２を固着したプー
リ軸５６の先端にはアーム５８が固着されている。一方
、このアーム５８の他＠側は、前記上下動部材２６に固
着された押動ブロック６０に回転自在に支持されている
。この結果、上記主軸２０が回転すると第１のプーリ５
０．ベルト５４を介して第２のプーリ５２が回転し、こ
れと−本釣にアーム５８が回転することになる。そして
、このアーム５８は第３図（Ｃ）に示す軌跡を描くこと
になるので、上記押動ブロック６０が第３図（Ｃ）の左
右方向に移動し、このため第１のエアーシリンダ３０等
が水平移動することになる。

次に、上記第１のエアーシリンダ３０によるテストヘッ
ド１の回転駆動を確実ならしめるための機構について説
明する。

この第１のエアーシリンダ３０を支持する前記上下動案
内部材２４の下端にはベアリング３８を介してレールブ
ロック４０が設けられ、このレールブロック４０は、ヒ
ンジボックス１４に固着されたレールブラケット４４内
に配置されているレール４２上を水平移動可能となって
いる。

そして、このレールブロック４０に対して水平方向に外
力を付与するための第２の往復動手段の一例である第２
のエアーシリンダ６０が、前記レールブラケット４４上
に固定されている。

この第２のエアーシリンダ６０は、エアー駆動によって
ピストン６２を水平駆動するもので、上記ピストン６２
の先端側は、前記レールブロック４０と連結板６４を介
して連結され、従って第２のエアーシリンダ６０の駆動
によって上記レールブロック４０に対して水平方向への
外力を付与可能となっている。

次に、上記スイングスイッチ１４ａ、１４ｂのオン操作
に基づき、上記第１．第２のエアーシリンダ３０．６０
を駆動し、かつ、上記スイッチ１４ａ、１４ｂのオフ操
作に基づき、テストヘッド１を任意回転位置で停止させ
るためのエアー回路について、第１図を参照して説明す
る。

第１のエアーシリンダ３０を駆動するためのエアー回路
として、まず、同シリンダー３０のＯＵＴ側にエアーを
導入するための２つのエアー導入経路が設けられ、上段
の経路途中には第１．第２のソレノイド７０．７１が設
けられ、下段の経路途中には第３のソレノイド７２が設
けられている。

ここで、第２のソレノイド７１は電源オンによりオン状
態とされ、第１のソレノイド７０はテストヘッド１の回
転中にスイングスイッチ１４ａまたは１４ｂがオフされ
た場合にオン状態とされ、第１のエアーシリンダ３０の
ＩＮｆｌｌＪのエアー圧力と同一の出力となるエアー圧
力を０ＵＴＩＩＩ！Ｉに導入することで、テストヘッド
１を任意回転位置に停止させるものである。一方、前記
第３のソレノイド７２は、可動部３２を上昇する際にオ
ンされる。

また、第１のエアーシリンダ３０のＩＮＩＩに工アーを
導入する経路途中には第４のソレノイド７３が配置され
、同様に第２のエアーシリンダ６０のＩＮ側、ＯＵＴ側
にエアーを導入する経路途中には、第５．第６のソレノ
イド７４．７５がそれぞれ設けられている。なお、各ソ
レノイドの前段側、後段側には、それぞれエアー圧力ゲ
ージＧと、シリンダ内圧力を急速に大気圧に戻すための
急速排気弁ＥＶとが設けられている。

さらに、テストヘッド１の回転領域での途中の停止状態
を安全に維持するため、本実施例ではロックビン８１に
よってテストヘッド１を停止可能となっていて、このた
め上記ロックビン８１を圧縮コイルスゲリング８２によ
り常時突出付勢して支持するシリンダ８０内にエアーを
導入可能であり、このエアーの導入によりロックビン８
１をシリンダ８０の中側に引っ込めることが可能である
。

このような動作を実現するために、テストヘッド１の回
転中にあってはエアーを導入し、スイングスイッチ１４
ａ、またはスイングスイッチ１４ｂがオフされた際にエ
アーの導入を遮断するための第７のソレノイド８３か、
上記シリンダ８０へのエアー導入経路途中に設けられて
いる。そして５このロックビン８１が突出する位置で前
記テストヘッド１と共に回転する部位には、例えば２０
゜おきに９つの穴（図示せず）が設けられ、この穴に上
記ロックビン８１が挿入されることで、テストヘッドｌ
を２０°毎の回転位置でＲ械的に停止可能となっている
。

次に、作用について説明する。

まず、退避状態にあるテストヘッド１を、サイドデスク
１６上よりプローバー本体１０１ＦＩに移動する場合に
ついて、第４図の操作フローチャートを参照して説明す
る。

グローバー本体１０の電源をオンとしくステップ１）、
イニシャルスイッチ（図示せず）をブツシュしてイニシ
ャルオン状態とする（ステップ２゜３）、なお、上記ｔ
ｉスイッチのオンにより、第１図の第２のソレノイド７
１がオンされる。ここで、マニュアルか否かを判別しく
ステップ４）、マニュアルでない場合にはマニュアルモ
ードとする（ステップ５）。

次に、プローバー本体１０上のマイクロスコープ（図示
せず）が回避状態であるか否かを判別しくステップ６）
、回避状態でない場合にはこれを回避位置まで移動する
（ステップ７）、このようにマイクロスコーグが回避さ
れていないと、テストヘッド１をプローバー本体ｔｏｔ
ｌｌに移動した場合に干渉してしまうからであり、マイ
クロスコープが回避されていない場合には以降の動作が
できないように制御されている。

次に、ベースプレート１のヘッドプレートがセット状態
か否かを判別しくステップ８）、これがア・ｙグ状態の
場合にはセット状態に設定する（ステップ９）、なお、
上記ヘッドプレートがアップ状態の場合にも、以降の動
作ができないように安全対策がなされている。

この後、１０−バー本体１０側のクランパー１０ａがオ
フされているか否かを判別しくステップＩＯ）、オンの
場合にはオフ状態に設定する（ステップ１１）、この後
、サイドデスク１６側のクランパー１６ａをオフ状態に
設定する（ステップ１２）、なお、上記クランパー１０
ａ、１６ａがオン状態の場合には、以降の動作ができな
いように安全対策がなされている。

次に、スイングスイッチ１４ａをオンとし、テストへラ
ド１の回転移動を開始しくステ・ｙ　７’　Ｌ　３　）
このテストヘッド１が１０−バー本体１０のクランパー
１０ａにてクランプ可能な状態となるまで回転が続行さ
れることになる（ステップ１４）。

このテストヘッド１の回転移動について説明すると、上
記スイングスイッチ１４ａをオンすると、第４のソレノ
イド７３がオンされて第１のエアーシリンダ３０の作動
方向ｌＮｌ１！Ｉにエアーが導入され、この結果可動部
３２が第３図（Ｂ）の右側の鎖線状態より下降し、アー
ム２２を介して主軸２０を回転させるように駆動するこ
とになる。この主軸２２の回転により第１のプーリ５０
が一体的に回転し、ベルト５４を介して第２の１−リ５
２を回転させ、このためアーム５８が揺動することで、
第１のエアーシリンダ３０等が水平方向に移動すること
になる。このような可動部３２の下降移動及び水平移動
により、主軸２０が連続的に回転されることになる。こ
の結果、この主軸２０に固定されたテストヘッド１が回
転駆動されることにな′る。

そして、テストへラド１が第６図の６０’付近に達した
時点で（このような時期の検出は、テストヘッド１の回
転位置を検出するもの、あるいは回転初期からの経過時
間から割り出すもの等がある）、第６のソレノイド７５
がオンされて第２のエアーシリンダ６０のＩＮ側にエア
ーが導入される。この結果、ピストン６２が収縮し、連
結板６４を介してレールブロック４０を第３図（Ｃ）の
左側に押動することになる。そして、上記第２のエアー
シリンダ６０の駆動により、テストヘッド１の６０°か
ら１２０°付近までの回転領域Ａでの回転をフォローす
ることになる。

ここで、テストヘッド１が９０°に到達した際には、上
記可動部３２は最下点に達するので、このタイミングで
第１のソレノイド７０がオンされて第１のエアーシリン
ダ３０のＯＵＴ側にＩＮ側圧力による出力よりも大きい
出力になるような圧力のエアーが導入され、可動部３２
を最下点より上昇移動させることになる。

この下降時から上昇時に切り替わる際には、上記第２の
エアーシリンダ６０による水平外力が第１のエアーシリ
ンダ３０に作用されているので、テストヘッド１の同一
方向の回転を確実に実行することができる。

そして、テストヘッド１が１２０”付近に達すると、第
６のソレノイド７５がオフされ、上記第２のエアーシリ
ンダ６０のＯＵＴ側に入っていたエアーは、急速排気弁
ＥＶのオープン状態により大気圧と等しくなり、第２の
エアーシリンダ６０の役割が終了する。

そして、以降は第１のエアーシリンダ３０の可動部３２
の上昇によりテストヘッド１が回転駆動され、テストヘ
ッド１がθ２°の位置に到達し、プローバー本体１０１
Ｆｌへ移動されることになる。

そして、この際に例えばテストヘッド１に付いている位
置検知スイッチがＯＮとなり、テストヘッドｌの停止と
同時に第１のエアーシリンダ３０のＩＮＩＩ！Ｉに入っ
ていたエアーは、急速排気弁ＥＶのオープン状態により
大気圧と等しくなり、テストへラド１の跳ね上がりが防
止される。

このような状態でプローバー本体１０がクランプができ
る状態となるので、クランパー１０ａの操作によりテス
トヘッド１を１０−バー本体１０にクランプしくステッ
プ１５）、テストヘッド１のサイドテーブル１６より１
０−バー本体１０側への移動が完了する。

また、上記動作とは逆にテストヘッド１をプローバー本
体１０よりサイドテーブル１６側に移動する場合には、
上記とは逆の経路をたどるように第５図の操作フローに
従って動作が行われる。この際、第１のエアーシリンダ
３０は可動部３２が第３図（Ｂ）の左側のｇｔｍ状態よ
り下降するように動作し、テストヘッド１が９０°に達
したところで可動部３２を上昇するように切り換え動作
されることになる。また、第２のエアーシリンダ６０は
、テストヘッド１が１２０゛付近の時にビスント６２を
第３図（Ｃ）の右側に伸張するように動作し、この動作
はテストヘッド１が６０゛付近に達するまで、すなわち
第６図の回転領域はＢの間で続行されることになる。

このように、本実施例によれば第１のエアーシリンダ３
０の可動部３２の移動方向が切り換えられる際には、第
２のエアーシリンダ６０により第１のエアーシリンダ３
０の水平移動方向を一義的に決定する外力を付与してい
るので、第１のエアーシリンダ３０が下死点に達した場
合のように、水平方向が定まらない場合にも、上記外力
の付与によって同一方向の回転を円滑に実行することが
できる。

次に、テストヘッド１を任意の回転位置で停止する場合
の作用について、第７図のフローチャートを参照して説
明する。

例えば、サイドデスク１６ＰＩよりテストヘッド１の回
転移動を開始し、この回転移動中にスイングスイッチ１
４ａをオフすると（ステップ１）、第１のエアーシリン
ダ３０のＩＮＩＩＩＩのエアー圧力はそのまま維持され
（ステップ２）、第１のソレノイド７０がオン、第７の
ソレノイド８３がオフされる（ステップ３．４）。

第１のソレノイド７０がオンすると、このエアー導入経
路を介して第１のエアーシリンダ３０のＯＵ　Ｔ　ｉｌ
ｌに、ＩＮ側と同出力となるように調整されたエアー圧
力が加わることで、可動部３２の下降移動が停止される
（ステップ５）、また、第７のソレノイド８３がオフす
ることで、シリンダ８０内のロックビン８１が圧縮コイ
ルスプリング８２の付勢力によって突出され（ステップ
６）、もし、その突出位置に上述したいずれかの穴が存
在すればこの穴に挿入されてテストへラド１を機械的に
停止してロック状態とし、穴が存在しない場合ではその
その表面にロックビン８１が当接した状態となる。

この結果、テストヘッド１が回転移動途中で停止される
ことになる（ステップ７）、なお、第１のエアーシリン
ダ３０のＩＮ、ＯＵＴ側のエアー圧力のバランスを収る
ことだけでテストヘッドＩを停止維持することは可能で
ある。また、テストヘッド１の停止維持をより確実にす
るためロックビン８１による機械的な停止状態を併せて
採用している。そして、前述した穴にロックビン８１が
挿入されている場合には、この位置で確実にテストヘッ
ド１の移動を制限でき、穴よりも外れた位置にロックビ
ン８１が当接している場合にあっては、テストヘッド１
が、かりに落下しはじめた場合でも、落下開始後設も近
いいずれかの穴に即座にこのロックビン８１が挿入され
るので、同様にロックビン８１による機械的なロック状
態を確保することができる。

次に、この停止状態のテストヘッド１を再度回転移動さ
せる場合には、ｍｌえばスイングスイッチ１４ａをオン
とする（ステップ８）、そうすると、第１のエアーシリ
ンダ３０のＩＮ側のエアー圧力はそのまま維持されると
共に（ステップ９）、第１のソレノイド７０がオフされ
、第７のソレノイド８３がオンされることになる（ステ
ップ１０゜１１　）。

第１のソレノイド７０がオフされると、第１のエアーシ
リンダ３０のＯＵＴ側のエアー圧力は大気圧と同等にな
り、しかも、前記第７のソレノイド８３のオンによりロ
ックビン８１がエアー圧力によって引っ込められること
になり、従って、テストヘッドＩの停止ロック状態が解
除されることになる（ステップ１４）。

このため、第１のエアーシリンダ３０のＩＮ側のエアー
圧力によって可動部３２が下降し、テストヘッド１の回
転移動が再開されることになる。

次に、第１のエアーシリンダ３０の可動部３２の上昇移
動の場合の、停止動作について第８図のフローチャート
を参照して説明する。

例えば９０゛より、プローバ本体ｔｏ（ｌｉｔへ回転移
動中にスイングスイッチ１４ａをオフするとくステップ
１）、第１のエアーリンダ３０のＩＮ側のエアー圧力は
そのまま維持され（ステップ２）第１のエアーシリンダ
３０の可動部３２の上昇移動をさせるための第３のソレ
ノイド７２がオフと同時に第１のソレノイド７０がＯＮ
され（ステップ３．４）、かつ第７のソレノイド８３が
オフされる（ステップ５）。

第３のソレノイド７２がオフし、第１のエアーシリンダ
３０の０ＵＴＩＩｉｌのエアーが大気圧と同等になると
同時に、第１のソレノイド７０がオンとなり、切換弁９
０により第１のソレノイド７０を経路とする、第１のエ
アーシリンダ３０のＯＵＴ側にＩＮＩＩＩＩと同出力と
すなるように調整されたエアー圧力が加わることで可動
部３２の上昇移動が停止される（ステップ８）。

また、第７のソレノイド８３がオフすることで、シリン
ダ８０内のロックビン８１が圧縮コイルスプリング８２
の付勢力によって突出され（ステップ６）、らし、その
突出位置に上述したいずれかの穴が存在すればこの穴に
挿入されてテストへラド１を機械的に停止してロック状
態とし、穴が存在しない場合ではそのその表面にロック
ビン８１が当接した状態となる（ステツブフン。

この結果、テストヘッド１が回転移動途中で停止される
ことになる（ステップ８）、なお、第１のエアーシリン
ダ３０のＩＮ、ＯＵＴ側のエアー圧力のバランスを取る
ことだけでテストヘッド１を停止維持することは可能で
ある。また、テストヘッド１の停止維持をより確実にす
るためロックビン８１による機械的な停止状態を併せて
採用している。そして、前述した穴にロックビン８１が
挿入されている場合には、この位置で確実にテストヘッ
ドエの移動を制限でき、穴よりも外れた位置にロックビ
ン８１が当接している場合にあっては、テストヘッド１
が、かりに落下しはじめた場合でも落下開始後肢も近い
いずれかの穴に即座にこのロックビン８１か挿入される
ので、同様にロックビン８１による機械的なロック状Ｑ
ｉを確保することができる。

次に、この停止状態のテストヘッド１を再度回転移動さ
せる場合には、例えばスイングスイッチ１４ａをオンと
する（ステップ９）、そうすると、第１のエアーシリン
ダ３０のＩＮ側のエアー圧力はそのまま維持されると共
に（ステップ１６）、第１のソレノイド７０がオフされ
、第３のソレノイド７２がオンし、かつ第７のソレノイ
ド８３がオンされることになる（ステップｔｏ、ｔｉ。

１２）。

第１のソレノイド７０がオフされると、エアーシリンダ
３０のＯＵＴ側のエアー圧力は大気圧と同等になると同
時に第３のソレノイドがオンし、切換弁９０により第３
のソレノイド７２を経路とする第１のエアーシリンダＩ
ＮｒｌｌＪのエアー圧力も大きい出力のエアー圧力が加
わり、しかし、前記第７のソレノイド８３のオンにより
ロックビン８１がエアー圧力によって引っ込められるこ
とになり、従って、テストヘッド１の停止ロック状態が
解除されることになる（ステップ１３，１４゜１５）。

このため、第１のエアーシリンダ３０の０ＩＪＴ側のエ
アー圧力によって可動部３２が上昇し、テストヘッド１
の回転移動が再開されることになる。

上記の説明によりテストヘッド１が１８０＠の回転領域
のいずれの位置にある場きでも、同様な動作によってテ
ストヘッド１を途中で停止することが可能である。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、テストヘッド１をオン時に駆動し、オフ時に停
止させるスイッチとしては、例えばそのスイッチを押し
続けることでオン状態が維持され、離すことでオフに設
定されるノンロックスイッチ、−度プッシュすれば手を
離してもオン状態が維持され、再度ブツシュした場合に
オフされるロック付きスイッチ、あるいは、オン、オフ
専用の２種のスイッチなど、いずれのスイッチであって
もよい。

また、テストヘッド１の回転駆動を実現するための駆動
手段としては、上記実施例のような垂直方向および水平
方向の２種のエアーシリンダを採用するものに限らず、
回転領域の途中で停止Ｍ＃可能な種々の駆動機構を採用
できる。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によればテストヘッドの回
転駆動を自動化し、さらに、このテストヘッドの回転領
域の途中でテストヘッドを停止させることができ、ユー
ザーのニーズに応じた検査装置を提供することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を適用した検査装置のテストヘッド駆
動用及び途中位置での停止用のエアー回路の一例を説明
するための概略説明図、第２図（Ａ）、（Ｂ）は、本発
明の一実施例装置の平面図、正面図、第３図は、テスト
ヘッドの回転Ｒ桐を示す図で、同図（Ａ）は第１のエア
ーシリンダの正面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図
、同図（Ｃ）は第２のエアーシリンダの平面図、第４図
はテストヘッドをサイドデスク側より１０−バー本体側
に移動する場合の操作フローチャート、第５図は、テス
トヘッドを１０−バー本体側よりサイドデスク側に移動
する場合の操作フローチャート、第６図は、実施例装置
の作動原理を概略的に説明するための概略説明図、第７
図、第８図は、テストヘッドを途中で停止させる場合の
動作を説明するための動作フローチャートである。１・・・テストヘッド、１０・・・プローバー本体、１２・・・テスタ、１４ａ、１４ｂ・・・スイッチ、１６・・・サイドデスク、３０・・・第１のエアーシリンダ６０・・・第２のエアーシリンダ、７０〜７５．８３・・・ソレノイド、８１・・・ロックビン。

Claims

【特許請求の範囲】テストヘッドのプローブ針を被検査体の電極端子に接触
させて検査する接続位置と非接続位置とに回転選択移動
させる検査装置において、スイッチオン操作により上記テストヘッドを回転駆動す
る駆動手段を設け、かつ、上記テストヘッドの回転移動
中でのスイッチオフ操作により、上記テストヘッドを任
意の回転位置で停止可能としたことを特徴とする検査装
置。