JPH027428A - エッチング用機械 - Google Patents
エッチング用機械Info
- Publication number
- JPH027428A JPH027428A JP1035175A JP3517589A JPH027428A JP H027428 A JPH027428 A JP H027428A JP 1035175 A JP1035175 A JP 1035175A JP 3517589 A JP3517589 A JP 3517589A JP H027428 A JPH027428 A JP H027428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- trunk
- insert
- recess
- nozzle body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
- B05B15/65—Mounting arrangements for fluid connection of the spraying apparatus or its outlets to flow conduits
- B05B15/658—Mounting arrangements for fluid connection of the spraying apparatus or its outlets to flow conduits the spraying apparatus or its outlet axis being perpendicular to the flow conduit
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
- B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
- B05B1/042—Outlets having two planes of symmetry perpendicular to each other, one of them defining the plane of the jet
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、品物、特に電子回路用ボードのエツチング用
機械に関するものであり、少くとも１つのノズルトラン
ク（ｎｏｚｚｌｅ ｔｒｕｎｋ）と、それぞれがノズル
開口と、ノズルトランクに異なった角度位置で固定可能
であり、且つエツチング（腐食）されるべき品物に液エ
ツチング媒体の通過噴霧可能なノズル本体とを有する多
数のノズルと、ノズルトランクを通過してエツチングさ
れる品物を案内する移送装置とを備えている。
機械に関するものであり、少くとも１つのノズルトラン
ク（ｎｏｚｚｌｅ ｔｒｕｎｋ）と、それぞれがノズル
開口と、ノズルトランクに異なった角度位置で固定可能
であり、且つエツチング（腐食）されるべき品物に液エ
ツチング媒体の通過噴霧可能なノズル本体とを有する多
数のノズルと、ノズルトランクを通過してエツチングさ
れる品物を案内する移送装置とを備えている。
この種の機械はドイツ公開（ＤＥ−ＯＳ）第３３４５１
２４に記述されている。これではノズルは１部品である
。即ち現実のノズル開口がノズル本体それ自身に作成さ
れている。ノズル本体は、公知のエッチング機械では板
状に設計されているノズルトランク上に、保持ナツトに
よって異なった角度位置に取付けられている。ノズルト
ランク内部のノズルの角度位置の調整性は、平坦断面ノ
ズルを用いる時の個々のスプレー型式を達成する目的を
有しており、このスプレー型式によって処理される品物
の最も均一なエツチングが達成される。若し、エツチン
グ機械の作業中にノズル開口がつまれば、掃除のために
ノズルを外さねばならない。この掃除作業で、あらかじ
め厳密に設定されたノズル開口の角度位置は失われ、目
印があらかじめ付けられていなければ再び苦心して位置
決めせねばならない。
２４に記述されている。これではノズルは１部品である
。即ち現実のノズル開口がノズル本体それ自身に作成さ
れている。ノズル本体は、公知のエッチング機械では板
状に設計されているノズルトランク上に、保持ナツトに
よって異なった角度位置に取付けられている。ノズルト
ランク内部のノズルの角度位置の調整性は、平坦断面ノ
ズルを用いる時の個々のスプレー型式を達成する目的を
有しており、このスプレー型式によって処理される品物
の最も均一なエツチングが達成される。若し、エツチン
グ機械の作業中にノズル開口がつまれば、掃除のために
ノズルを外さねばならない。この掃除作業で、あらかじ
め厳密に設定されたノズル開口の角度位置は失われ、目
印があらかじめ付けられていなければ再び苦心して位置
決めせねばならない。
本発明の課題は、掃除の目的でノズル開口部を取り外し
た後でさえ最初に設定した角度位置が容易且つ正確に再
び設定出来る仕方で、冒頭に述べた類の機械を設計する
ことにある。
た後でさえ最初に設定した角度位置が容易且つ正確に再
び設定出来る仕方で、冒頭に述べた類の機械を設計する
ことにある。
この課題は、各ノズルにノズルインサートがあり、それ
には開口が設けられており、そしてノズル本体に唯一つ
の角度位置で解除自在に取付けられたことによって解決
される。
には開口が設けられており、そしてノズル本体に唯一つ
の角度位置で解除自在に取付けられたことによって解決
される。
本発明に従えば、ノズルは故に２部分で設計されており
、ノズル本体それ自体は、公知のエツチング機と同じく
最適のエツチング効果を達成するに必要なノズルトラン
クに対する角度位置で取付けられる。ノズル本体とノズ
ルトランクとのこの連結は、しかしながら、その後には
解除不可能である。この連結は、本発明によれば事実上
のノズル開口が別体のノズルインサート上に形成される
故に可能となる。このノズルインサートはノズル本体に
取外し可能に取付けられているが、しかしながら、この
取付けが事実上一定位置でのみ可能であるように予防措
置が施されている。この事は適切な形態の閉鎖構造のた
めに最も簡単に生ずる。
、ノズル本体それ自体は、公知のエツチング機と同じく
最適のエツチング効果を達成するに必要なノズルトラン
クに対する角度位置で取付けられる。ノズル本体とノズ
ルトランクとのこの連結は、しかしながら、その後には
解除不可能である。この連結は、本発明によれば事実上
のノズル開口が別体のノズルインサート上に形成される
故に可能となる。このノズルインサートはノズル本体に
取外し可能に取付けられているが、しかしながら、この
取付けが事実上一定位置でのみ可能であるように予防措
置が施されている。この事は適切な形態の閉鎖構造のた
めに最も簡単に生ずる。
機械の作動中に若しノズル開口がつまれば、全ノズルを
機械から取外す必要はなくて、ノズルインサートのみを
取外せば良い。ノズル開口を掃除した後は、再調整作業
又は予め付加された目印の観察の必要なしにノズルを以
前の角度位置に再設置することが可能である。
機械から取外す必要はなくて、ノズルインサートのみを
取外せば良い。ノズル開口を掃除した後は、再調整作業
又は予め付加された目印の観察の必要なしにノズルを以
前の角度位置に再設置することが可能である。
好都合には、ノズル本体は円形から外れた断面の凹部を
ノズルインサートのために有し、そしてノズルインサー
トは少くとも該凹部に入る領域には該断面に相応する断
面を有している。
ノズルインサートのために有し、そしてノズルインサー
トは少くとも該凹部に入る領域には該断面に相応する断
面を有している。
一般的には、ノズルインサートの内面とノズル本体との
間に平パッキングを備えるのが望ましい。
間に平パッキングを備えるのが望ましい。
ノズルインサートはノズル本体上に保持ナツトで保持可
能である。
能である。
本発明の例示実施例は、以下図面を用いてより詳細に記
述する。
述する。
第１図で、配管システムの１字部品が符号２で示されて
いる。この１字部分品はノズルトランク（ｎｏｚｚｌｅ
ｔｒｕｎｋ）の構成要素であり、該トランクには同一
形状のノズル１の多数が配置されており、そしてトラン
クを介して液体エツチング媒体が個々のノズル１に供給
される。１字部品の分岐点で、ブッシング３が堅固に、
且つ手軽に挿入固着又は溶着されている。ブッシング３
の内腔は上部円筒部分５と下部円錐部分４とを有してい
る。Ｔ字部品２から突出している端部で、ブッシング３
は外側ネジ１６を備えている。符号１で全体として指さ
れているノズルは、ブッシング３に取付けられており、
従って、ノズルトランクに属しているＴ字部品２に、ノ
ズル１の外側カラー１２に係合する保持ナツト１５の手
段によって取付けられている。
いる。この１字部分品はノズルトランク（ｎｏｚｚｌｅ
ｔｒｕｎｋ）の構成要素であり、該トランクには同一
形状のノズル１の多数が配置されており、そしてトラン
クを介して液体エツチング媒体が個々のノズル１に供給
される。１字部品の分岐点で、ブッシング３が堅固に、
且つ手軽に挿入固着又は溶着されている。ブッシング３
の内腔は上部円筒部分５と下部円錐部分４とを有してい
る。Ｔ字部品２から突出している端部で、ブッシング３
は外側ネジ１６を備えている。符号１で全体として指さ
れているノズルは、ブッシング３に取付けられており、
従って、ノズルトランクに属しているＴ字部品２に、ノ
ズル１の外側カラー１２に係合する保持ナツト１５の手
段によって取付けられている。
ノズルｌは２つの部分で構成されている。゛上述の環状
のカラー１２を外面に有するノズル本体６が、円錐部分
８を備え、そしてそれによってブッシング３の内腔の対
応部分内に差し込まれている。
のカラー１２を外面に有するノズル本体６が、円錐部分
８を備え、そしてそれによってブッシング３の内腔の対
応部分内に差し込まれている。
ブッシング３の内腔とノズル本体６の円錐部分７との円
錐角は、保持ナツト１５が締め付けられる時に自己把持
力が発生するように選ばれている。
錐角は、保持ナツト１５が締め付けられる時に自己把持
力が発生するように選ばれている。
一般的には、お互いに対向するブッシング３の内腔と、
ノズル本体６の円錐部分７との円錐面は、別部材のパッ
キングがもはや必要でない程の良いシールを提供する。
ノズル本体６の円錐部分７との円錐面は、別部材のパッ
キングがもはや必要でない程の良いシールを提供する。
しかしながら、若し必要ならこの種パッキングはノズル
本体の円筒部分８に形成された環状溝９内に配設可能で
ある。
本体の円筒部分８に形成された環状溝９内に配設可能で
ある。
保持ナツト１５から突出している領域では、ノズル本体
６が更に別の溝１３を備えている。弾性止め座金１４が
この溝１３内に挿入されている。
６が更に別の溝１３を備えている。弾性止め座金１４が
この溝１３内に挿入されている。
弾性止め座金は、ネジがゆるめられた時にノズル本体６
の保持ナツト１５がブッシング３の把持にもかかわらず
引込められるように、保持ナツト１５のためのストップ
として作用する。
の保持ナツト１５がブッシング３の把持にもかかわらず
引込められるように、保持ナツト１５のためのストップ
として作用する。
ノズル本体は軸方向孔１０によって貫通されて、おり、
液孔を介して液エツチング媒体が丁字部品２に供給され
る。軸方向孔ＩＯは、ノズル本体６の外面に機械加工さ
れた凹部１１の底内に出ている。第２図かられかる如く
、凹部１１の断面は、真円から外れた形状を有している
。図示例では、凹部１１は平面２５によって対向側が縁
取られている。
液孔を介して液エツチング媒体が丁字部品２に供給され
る。軸方向孔ＩＯは、ノズル本体６の外面に機械加工さ
れた凹部１１の底内に出ている。第２図かられかる如く
、凹部１１の断面は、真円から外れた形状を有している
。図示例では、凹部１１は平面２５によって対向側が縁
取られている。
凹部１１内の半径方向に突き出したカラー２２の領域で
対応する断面を存する独立したノズルインサート１９が
ノズル本体６の凹部１１内に挿入されている。この事は
また第２図から明らかである。インサート１９は貫通す
る軸方向内孔２０を有し、そして液孔２０はノズル本体
６の内孔ｌＯと接続し、且つノズルインサート１９の外
側前面で事実上のノズル開口２１に連続している。開口
２１は一種のファンシェッドが形成されるように円形か
らそれており、移送方向に関するその角度は丁字部品２
内でのノズル本体６の角度配列に依存している。
対応する断面を存する独立したノズルインサート１９が
ノズル本体６の凹部１１内に挿入されている。この事は
また第２図から明らかである。インサート１９は貫通す
る軸方向内孔２０を有し、そして液孔２０はノズル本体
６の内孔ｌＯと接続し、且つノズルインサート１９の外
側前面で事実上のノズル開口２１に連続している。開口
２１は一種のファンシェッドが形成されるように円形か
らそれており、移送方向に関するその角度は丁字部品２
内でのノズル本体６の角度配列に依存している。
凹部１１の内側にあるノズルインサート１９の端面とノ
ズル本体６の凹部１１の底部との間に、ノズル本体６と
ノズルインサート１９間でのエツチング媒体のもれを防
止する平パッキング２３がある。
ズル本体６の凹部１１の底部との間に、ノズル本体６と
ノズルインサート１９間でのエツチング媒体のもれを防
止する平パッキング２３がある。
第２保持ナツト１８がノズルインサート１９の外周上で
カラー２２に係合しており、そしてノズル本体６の外側
ネジ１７上に螺着されている。
カラー２２に係合しており、そしてノズル本体６の外側
ネジ１７上に螺着されている。
若しノズル開口２１がつまれば、保持ナツト１８を外し
た後に、ノズルインサート１９は機械から外されて掃除
される。ノズル本体６の丁字部品に関する≠４．角度位
置は、保持ナツト１５が外されないので、この間は変更
されない。清掃後、ノズルインサート１９は簡単に凹部
１１内に再挿入され、保持ナツト１８によって固定され
る。両方共に円形から外れた凹部１１の断面形状と対応
するノズルインサート１９の領域とのために、ノズル開
口２１の最初の角度配置を再設定することは容易である
。あらかじめ最適であると認められたスプレー型式は、
従ってノズル開口２１の掃除のために要した中断の後に
も再び得られる。
た後に、ノズルインサート１９は機械から外されて掃除
される。ノズル本体６の丁字部品に関する≠４．角度位
置は、保持ナツト１５が外されないので、この間は変更
されない。清掃後、ノズルインサート１９は簡単に凹部
１１内に再挿入され、保持ナツト１８によって固定され
る。両方共に円形から外れた凹部１１の断面形状と対応
するノズルインサート１９の領域とのために、ノズル開
口２１の最初の角度配置を再設定することは容易である
。あらかじめ最適であると認められたスプレー型式は、
従ってノズル開口２１の掃除のために要した中断の後に
も再び得られる。
第１図は、ノズルトランクの１部であるＴ字部品位置で
の本発明のノズルを通る軸方向断面図である。 第２図は、第１図の■−■線の断面図である。 １：ノズル、 ２：丁字部品、３：ブッシ
ング、 ４：円錐部分、５：円筒部分、
６：ノズル本体、７：円錐部分、 ９．１
３：溝、１０：孔、 １１：凹部、１２
：外側カラー １４二弾性止め座金、１５、 ｔ
ａ：保持ナツト、 １６．１７：外側ネジ、１９：
ノズルインサート、２１：開口、２２：カラ−２３：平
パッキング。
の本発明のノズルを通る軸方向断面図である。 第２図は、第１図の■−■線の断面図である。 １：ノズル、 ２：丁字部品、３：ブッシ
ング、 ４：円錐部分、５：円筒部分、
６：ノズル本体、７：円錐部分、 ９．１
３：溝、１０：孔、 １１：凹部、１２
：外側カラー １４二弾性止め座金、１５、 ｔ
ａ：保持ナツト、 １６．１７：外側ネジ、１９：
ノズルインサート、２１：開口、２２：カラ−２３：平
パッキング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少くとも１つのノズルトランクと、それぞれがノズ
ル開口とノズル本体とを有して、ノズルトランクに種々
の角度位置に取付け可能であって、腐食されるべき品物
に液エッチング媒体で噴霧可能な多数のノズルと、腐食
されるべき品物をノズルトランクを越えて案内する移送
装置とを有し、各ノズル（１）のためにノズルインサー
ト（１９）が備えられ、該インサートにはノズル開口（
２１）が設けられ、且つ該インサートがノズル本体（６
）に唯１つの角度位置で取付けられたことを特徴とする
、品物、特に電子回路用ボードのエッチング用機械。 ２、ノズル本体（６）が、ノズルインサート（１９）の
ための凹部（１１）を有し、凹部の断面が円形から外れ
ており、そしてノズルインサート（１９）が少くとも凹
部（１１）に入る領域では凹部断面に相応する断面を有
している請求項１に記載の機械。 ３、平パッキング（２３）がノズルインサート（１９）
の内表面とノズル本体（６）の凹部（１１）の底との間
に備えられた請求項１又は２に記載の機械。 ４、ノズルインサート（１９）がノズル本体（６）に保
持ナット（１８）によって保持されている請求項１項か
ら３項までのいずれか１項に記載の機械。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3804878.7 | 1988-02-17 | ||
| DE3804878A DE3804878A1 (de) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Maschine zum aetzen von gegenstaenden |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027428A true JPH027428A (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=6347563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1035175A Pending JPH027428A (ja) | 1988-02-17 | 1989-02-16 | エッチング用機械 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0328907A1 (ja) |
| JP (1) | JPH027428A (ja) |
| BR (1) | BR8900686A (ja) |
| DE (1) | DE3804878A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9013668U1 (de) * | 1990-09-29 | 1992-01-30 | HAMATECH Halbleiter-Maschinenbau und Technologie GmbH, 7137 Sternenfels | Vorrichtung für die Halbleitertechnik |
| DE9217671U1 (de) * | 1992-12-24 | 1993-02-25 | Lechler Gmbh & Co Kg, 7012 Fellbach | Hochdruck-Düsenanordnung zur Versprühung von Flüssigkeiten, insbesondere zur Entzunderung von Walzstahl |
| FR3166812A1 (fr) * | 2024-10-02 | 2026-04-03 | Exel Industries | Pistolet de pulvérisation avec indexation angulaire, bague, ensemble et procédé associés |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1500603A1 (de) * | 1966-07-15 | 1969-06-12 | Spraying Systems Co | Spritzduese |
| FR2188461A5 (ja) * | 1972-06-15 | 1974-01-18 | Berthoud Sa | |
| US3799453A (en) * | 1972-08-18 | 1974-03-26 | Rain Bird Sprinkler Mfg | Quick disconnect nozzle |
| GB2095583A (en) * | 1981-03-26 | 1982-10-06 | Cooper John Derek | Spray nozzle |
| DE8202030U1 (de) * | 1982-01-28 | 1982-12-30 | Hauni-Werke Körber & Co KG, 2050 Hamburg | Vorrichtung zum aufreissen von zigaretten |
| DE3345124A1 (de) * | 1983-12-14 | 1985-06-27 | Hans 7033 Herrenberg Höllmüller | Vorrichtung zur behandlung von gegenstaenden mit einer behandlungsfluessigkeit |
-
1988
- 1988-02-17 DE DE3804878A patent/DE3804878A1/de not_active Ceased
-
1989
- 1989-01-26 EP EP89101299A patent/EP0328907A1/de not_active Withdrawn
- 1989-02-16 JP JP1035175A patent/JPH027428A/ja active Pending
- 1989-02-16 BR BR898900686A patent/BR8900686A/pt unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3804878A1 (de) | 1989-08-31 |
| BR8900686A (pt) | 1989-10-10 |
| EP0328907A1 (de) | 1989-08-23 |
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