JPH0274567A - セラミック基板の焼成用セッター - Google Patents
セラミック基板の焼成用セッターInfo
- Publication number
- JPH0274567A JPH0274567A JP63224314A JP22431488A JPH0274567A JP H0274567 A JPH0274567 A JP H0274567A JP 63224314 A JP63224314 A JP 63224314A JP 22431488 A JP22431488 A JP 22431488A JP H0274567 A JPH0274567 A JP H0274567A
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- JP
- Japan
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- setter
- substrate
- laminate
- ceramic
- ceramic substrate
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はセラミックグリーンシー（へ積層体を焼成して
セラミック基板を製造する際にセラミックグリーンシー
ト積層体を載せるセッターに関する。
セラミック基板を製造する際にセラミックグリーンシー
ト積層体を載せるセッターに関する。
従来、セラミック基板を焼成する際には表面力（平滑な
平板のセッター上にセラミ・ツクグリーンシート積層体
を保持し焼成炉によりセ・ンターとセラミックグリーン
シート積層体を同時に加熱し、焼成を行っていた。
平板のセッター上にセラミ・ツクグリーンシート積層体
を保持し焼成炉によりセ・ンターとセラミックグリーン
シート積層体を同時に加熱し、焼成を行っていた。
セラミック基板の焼成プロセスは有機ノ〈インダー成分
をバーンアウトする脱バインダープロセスと、無機粉末
成分を焼結させる、焼結プロセスＧこ分けられる。
をバーンアウトする脱バインダープロセスと、無機粉末
成分を焼結させる、焼結プロセスＧこ分けられる。
従来の表面が平滑な平板のセ・ンターを用ｌ／Ａた場合
、脱バインダープロセスにおいては基板（二反り、ボイ
ド、はがれなどが起きないよう）〈インダー焼成を徐々
に進行させる為、非常にゆっくりと時間をかけて行なう
必要がある。（参考文献：材料フォーラム Ｎ［Ｌｌｏ
１９８７．機能回路用セラミ・ツク基板 電子材料
工業会編 １９８５ ＞又、焼結プロセスにおいてはセ
ラミ・ツク基板の収縮が起こるが、この際、特に基板周
辺部では収縮による基板の動きが大きい為、セ・ンター
との摩擦によって収縮率のばらつき及びセラミック基板
の割れなどが生ずることがある。これらの欠点はセラミ
ック基板の厚み、大きさが増すと共に顕著となり、大き
な問題点になっている。
、脱バインダープロセスにおいては基板（二反り、ボイ
ド、はがれなどが起きないよう）〈インダー焼成を徐々
に進行させる為、非常にゆっくりと時間をかけて行なう
必要がある。（参考文献：材料フォーラム Ｎ［Ｌｌｏ
１９８７．機能回路用セラミ・ツク基板 電子材料
工業会編 １９８５ ＞又、焼結プロセスにおいてはセ
ラミ・ツク基板の収縮が起こるが、この際、特に基板周
辺部では収縮による基板の動きが大きい為、セ・ンター
との摩擦によって収縮率のばらつき及びセラミック基板
の割れなどが生ずることがある。これらの欠点はセラミ
ック基板の厚み、大きさが増すと共に顕著となり、大き
な問題点になっている。
本発明は、セラミックグリーンシート積層体を焼成して
セラミック基板を製造する際に前記セラミックグリーン
シート積層体を載せるセラミック基板の焼成用セッター
において、空気その他の気体を噴出させるための複数の
微小孔を設けたことを特徴とする。
セラミック基板を製造する際に前記セラミックグリーン
シート積層体を載せるセラミック基板の焼成用セッター
において、空気その他の気体を噴出させるための複数の
微小孔を設けたことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の平面図であり、微小孔付き
セッター１には直径１■の微小孔１−１が縦方向、横方
向共に１０ｍｍのピッチで空けられている。セッター１
の材質は９２〜９９％のアルミナセラミックである。セ
ッター１の厚さは５本、大きさは２１０ｍ＋ａ’である
が、周囲５ ｍ＋ａの幅の部分には高さ２ｍ−の土手状
突起１−２がついている。この土手状突起１−２は微小
孔１−１からのエア流によってセラミック基板が浮き上
がる時に、セッター１から落下するのを防止するための
ものである。なおセッター１は、表面粗度１０μｍ以下
で、反りは５０μｍ以下になる様、研摩されている。
セッター１には直径１■の微小孔１−１が縦方向、横方
向共に１０ｍｍのピッチで空けられている。セッター１
の材質は９２〜９９％のアルミナセラミックである。セ
ッター１の厚さは５本、大きさは２１０ｍ＋ａ’である
が、周囲５ ｍ＋ａの幅の部分には高さ２ｍ−の土手状
突起１−２がついている。この土手状突起１−２は微小
孔１−１からのエア流によってセラミック基板が浮き上
がる時に、セッター１から落下するのを防止するための
ものである。なおセッター１は、表面粗度１０μｍ以下
で、反りは５０μｍ以下になる様、研摩されている。
第ン図はこのセッターを使用して実際にセラミック基板
を焼成する際のセツティングの様子を示した断面図であ
る。微小孔付きセッター１はエア取り込み用の補助セッ
ター２の上に重ねられ、常に２枚−組で使用される。両
セッ゛ターの縁の形状は第２図のとおりで、微小孔付き
セッター１は表裏どちらでも使用できる様になっている
。補助セッターの空気取り込み穴２−１は直径２ｃｍで
ある。セッター１に載せられるセラミックグリーンシー
ト積層体３の大きさは２００市０ 、厚さは１０ｓ＋ｓ
である。
を焼成する際のセツティングの様子を示した断面図であ
る。微小孔付きセッター１はエア取り込み用の補助セッ
ター２の上に重ねられ、常に２枚−組で使用される。両
セッ゛ターの縁の形状は第２図のとおりで、微小孔付き
セッター１は表裏どちらでも使用できる様になっている
。補助セッターの空気取り込み穴２−１は直径２ｃｍで
ある。セッター１に載せられるセラミックグリーンシー
ト積層体３の大きさは２００市０ 、厚さは１０ｓ＋ｓ
である。
以上の様にセツティングした後に空気取り込み穴２−１
に空気を送ると、微小孔１−１からセラミックグリーン
シート積層体３の下面に向けて空気が吹き出し、セラミ
ックグリーンシート積層体３が浮き上がり、セッター１
との間に間隙が生じる。この状態で脱バインダーを行な
うと、バインダー燃焼排気が基板の下部からも行なわれ
る為、従来のセッターを用いた場合に比べ約２０％時間
を短縮しても基板のはがれ、割れなどが生じない。
に空気を送ると、微小孔１−１からセラミックグリーン
シート積層体３の下面に向けて空気が吹き出し、セラミ
ックグリーンシート積層体３が浮き上がり、セッター１
との間に間隙が生じる。この状態で脱バインダーを行な
うと、バインダー燃焼排気が基板の下部からも行なわれ
る為、従来のセッターを用いた場合に比べ約２０％時間
を短縮しても基板のはがれ、割れなどが生じない。
また焼結プロセスでは、基板が浮き上がることによって
、焼結時の収縮の際、特に基板周辺部でのすべり摩擦が
非常に小さくなり、収縮がスムーズに行なわれる。この
結果、従来のセッターを用いた場合に比べ約３０％の時
間短縮を図ることができた。
、焼結時の収縮の際、特に基板周辺部でのすべり摩擦が
非常に小さくなり、収縮がスムーズに行なわれる。この
結果、従来のセッターを用いた場合に比べ約３０％の時
間短縮を図ることができた。
このように微小孔セッターは焼成時間を大幅に短縮でき
る効果を持っている。
る効果を持っている。
以上説明した様に本発明は、セッターに微小孔を設ける
ことによってセラミック基板の脱バインダー時間及び焼
結時間の短縮に大きな効果がある。
ことによってセラミック基板の脱バインダー時間及び焼
結時間の短縮に大きな効果がある。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例の平面
図および焼成時のセツティングの様子を示した断面図で
ある。 ｌ・・・微小孔セッター、１−１・・・微小孔、１−２
・・・土手状突起、２・・・補助セッター、３・・・セ
ラミックグリーンシート積層体。
図および焼成時のセツティングの様子を示した断面図で
ある。 ｌ・・・微小孔セッター、１−１・・・微小孔、１−２
・・・土手状突起、２・・・補助セッター、３・・・セ
ラミックグリーンシート積層体。
Claims (1)
- セラミックグリーンシート積層体を焼成してセラミッ
ク基板を製造する際に前記セラミックグリーンシート積
層体を載せるセラミック基板の焼成用セッターにおいて
、空気その他の気体を噴出させるための複数の微小孔を
設けたことを特徴とするセラミック基板の焼成用セッタ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224314A JPH0274567A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | セラミック基板の焼成用セッター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224314A JPH0274567A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | セラミック基板の焼成用セッター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274567A true JPH0274567A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16811812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63224314A Pending JPH0274567A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | セラミック基板の焼成用セッター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0274567A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10212166A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Toray Ind Inc | セラミックスシート、グリーンシートおよびセラミックスシートの製造方法 |
| US6644963B1 (en) | 1996-02-19 | 2003-11-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Batch-type kiln |
| US6705860B2 (en) | 2000-10-03 | 2004-03-16 | Hitachi Metals Ltd. | Setter for burning |
| KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
| US10945821B2 (en) | 2015-08-03 | 2021-03-16 | Amann Girrbach Ag | Sintered blank for producing a dental prosthesis |
-
1988
- 1988-09-06 JP JP63224314A patent/JPH0274567A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6644963B1 (en) | 1996-02-19 | 2003-11-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Batch-type kiln |
| JPH10212166A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Toray Ind Inc | セラミックスシート、グリーンシートおよびセラミックスシートの製造方法 |
| US6705860B2 (en) | 2000-10-03 | 2004-03-16 | Hitachi Metals Ltd. | Setter for burning |
| KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
| US10945821B2 (en) | 2015-08-03 | 2021-03-16 | Amann Girrbach Ag | Sintered blank for producing a dental prosthesis |
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