JPH027487A - コヒーレント光放射を生成する装置及び方法並びに多縦モード光ポンピング式固体レーザ - Google Patents
コヒーレント光放射を生成する装置及び方法並びに多縦モード光ポンピング式固体レーザInfo
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- JPH027487A JPH027487A JP1039173A JP3917389A JPH027487A JP H027487 A JPH027487 A JP H027487A JP 1039173 A JP1039173 A JP 1039173A JP 3917389 A JP3917389 A JP 3917389A JP H027487 A JPH027487 A JP H027487A
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光共振器内の非線形光学材料との相互作用に
よって成る周波数の光放射を別の周波数の光放射へ変換
することに関するものである。更に詳細には、本発明は
、この様なプロセスにおいて非線形光学材料の少なくと
も２個の結晶を使用することに関するものである。
よって成る周波数の光放射を別の周波数の光放射へ変換
することに関するものである。更に詳細には、本発明は
、この様なプロセスにおいて非線形光学材料の少なくと
も２個の結晶を使用することに関するものである。
本発明によれば、レーザ共振器内で複数の非線形光学結
晶を使用することによって、改良された振幅安定性を有
し共振器内で周波数変換されたレーザが得られる。
晶を使用することによって、改良された振幅安定性を有
し共振器内で周波数変換されたレーザが得られる。
レーザとは、典型的にはエネルギ入力によって基底状態
から高エネルギ準位へ励起された能動媒体の原子、分子
又はイオンからフォトンを誘導放出することによって単
色のコヒーレント光を発生する能力を有する装置である
。この様な装置には光に対する閉じた周回移動路を形成
する高反射面によって定められる光共振器即ち共鳴体が
含まれており、この光共振器内には能動媒体が含まれて
いる。
から高エネルギ準位へ励起された能動媒体の原子、分子
又はイオンからフォトンを誘導放出することによって単
色のコヒーレント光を発生する能力を有する装置である
。この様な装置には光に対する閉じた周回移動路を形成
する高反射面によって定められる光共振器即ち共鳴体が
含まれており、この光共振器内には能動媒体が含まれて
いる。
能動媒体の励起によって反転分布が発生すれば、低エネ
ルギ状態へ遷位する励起された原子、分子又はイオンか
らのフォトンの自然放出は、他の励起された原子、分子
又はイオンからの実質的に同じエネルギのフォトンの放
出を誘導することができる。その結果、最初のフォトン
は、光共振器の反射面の間で、実質的に同一エネルギで
正確に位相が合っているフォトンのカスケードを発生す
る。
ルギ状態へ遷位する励起された原子、分子又はイオンか
らのフォトンの自然放出は、他の励起された原子、分子
又はイオンからの実質的に同じエネルギのフォトンの放
出を誘導することができる。その結果、最初のフォトン
は、光共振器の反射面の間で、実質的に同一エネルギで
正確に位相が合っているフォトンのカスケードを発生す
る。
このフォトンのカスケードの一部は、その後、例えばそ
の共振器の反射面のうちの１個以上を通る透過によって
光共振器外へ放出される。これらの放出されたフォトン
は、レーザ出力となる。
の共振器の反射面のうちの１個以上を通る透過によって
光共振器外へ放出される。これらの放出されたフォトン
は、レーザ出力となる。
レーザの能動媒体の励起は、各種方法によって達成可能
である。然し乍ら、最も普通の方法は、光ポンピング、
放電の使用、半導体レーザのｐｎ接合を通じての電流の
通過である。
である。然し乍ら、最も普通の方法は、光ポンピング、
放電の使用、半導体レーザのｐｎ接合を通じての電流の
通過である。
半導体レーザにはダイオードを形成するｐｎ接合が含ま
れ、この接合はレーザの能動媒体として機能する。レー
ザ・ダイオードとも称されるこの様な装置は、典型的に
はガリウム・ヒ素及びアルミニウム・ガリウム・ヒ素合
金の様な材料で構成されている。この様なレーザでは電
力を出力放射へ変換する効率は比較的高く、例えば、４
０％を超えることがある。
れ、この接合はレーザの能動媒体として機能する。レー
ザ・ダイオードとも称されるこの様な装置は、典型的に
はガリウム・ヒ素及びアルミニウム・ガリウム・ヒ素合
金の様な材料で構成されている。この様なレーザでは電
力を出力放射へ変換する効率は比較的高く、例えば、４
０％を超えることがある。
固体レーザ材料を光ポンピング即ち励起する目的でフラ
ッシュ・ランプ、発光ダ・イオード（本明細書で使用す
る場合、この用語にはスーパールミネッセント・ダイオ
ード及びスーパールミネッセント・ダイオード・アレイ
が含まれる）及びレーザ・ダイオード（本明細書で使用
される場合、この用語にはレーザ・ダイオード・アレイ
が含まれる）は良く知られている。この様な固体レーザ
で一般に使用されるレーザ材料には、三価ネオジム・イ
オンの様な能動材料が含まれる結晶性又はガラス状母体
材料が含まれる。慣用的な結晶性レーザ材料の詳細な要
約についてはフロリダ州ボア・レートンのＣＲＣプレス
社発行の第１巻、Ｍ−Ｊ・Ｗｅｂｅｒ、Ｅｄのレーザ：
学と ′ホ゛のＣＲＣ便驚、７２−１３５頁及びＮ、Ｙ
、ニューヨークオプチカル・サイエンス、Ｄ、Ｌ、Ｍａ
ｃＡｄａｍ、Ｅｄ、スプリンガ・ベアラークのスプリン
ガ・シリーズ第１４巻の−Ｗに記載しである。
ッシュ・ランプ、発光ダ・イオード（本明細書で使用す
る場合、この用語にはスーパールミネッセント・ダイオ
ード及びスーパールミネッセント・ダイオード・アレイ
が含まれる）及びレーザ・ダイオード（本明細書で使用
される場合、この用語にはレーザ・ダイオード・アレイ
が含まれる）は良く知られている。この様な固体レーザ
で一般に使用されるレーザ材料には、三価ネオジム・イ
オンの様な能動材料が含まれる結晶性又はガラス状母体
材料が含まれる。慣用的な結晶性レーザ材料の詳細な要
約についてはフロリダ州ボア・レートンのＣＲＣプレス
社発行の第１巻、Ｍ−Ｊ・Ｗｅｂｅｒ、Ｅｄのレーザ：
学と ′ホ゛のＣＲＣ便驚、７２−１３５頁及びＮ、Ｙ
、ニューヨークオプチカル・サイエンス、Ｄ、Ｌ、Ｍａ
ｃＡｄａｍ、Ｅｄ、スプリンガ・ベアラークのスプリン
ガ・シリーズ第１４巻の−Ｗに記載しである。
ネオジム・イオンと慣用的な母体材料には、ガラス、イ
ツトリウム・アルミニウム・ガーネット（Ｙ４１ Ａ
１ ｓ Ｏ＋ｚ、ＹＡＧと称する） 、ＹＡＡＯｘ・Ｙ
ＡＬＯと称する） 、Ｌ １ＹＦｎ （ＹＬＦと称す
る）及びＧＳＧＧと称するガドリニウム・スカンジウム
・ガリウム・ガーネッｂ （Ｇ Ｄ：＋ Ｓ ｃ ｚＱ
ａ ３０ ＋ｚ）が含まれる。−例として、光ポンピ
ング式固体レーザ内にレーザ材料としてネオジウム含有
ＹＡＧが採用される場合は、このレーザは約８０８ｎｍ
の波長の光を吸収することでポンピング可能であり、１
１０６４ｎの波長の光を放出することができる。
ツトリウム・アルミニウム・ガーネット（Ｙ４１ Ａ
１ ｓ Ｏ＋ｚ、ＹＡＧと称する） 、ＹＡＡＯｘ・Ｙ
ＡＬＯと称する） 、Ｌ １ＹＦｎ （ＹＬＦと称す
る）及びＧＳＧＧと称するガドリニウム・スカンジウム
・ガリウム・ガーネッｂ （Ｇ Ｄ：＋ Ｓ ｃ ｚＱ
ａ ３０ ＋ｚ）が含まれる。−例として、光ポンピ
ング式固体レーザ内にレーザ材料としてネオジウム含有
ＹＡＧが採用される場合は、このレーザは約８０８ｎｍ
の波長の光を吸収することでポンピング可能であり、１
１０６４ｎの波長の光を放出することができる。
１９７１年１１月３０日にＲｏｓｓに発行された米国特
許第３６２４５４５号には、少なくとも１個の半導体レ
ーザ・ダイオードにより側面ポンピングされるＹＡＧロ
ッドから成る光ポンピング式固体レーザについて記載し
である。同様に、１９７３年８月１４日にＣｈｅｓｌｅ
ｒに発行された米国特許第３７５３１４５号にはネオジ
ウム含有ＹＡＧロッドを端面ポンピングするため１個以
上の発光半導体ダイオードを使用することが開示しであ
る。ネオジウム含有ＹＡＧの様な固体レーザ材料を端面
ポンピングする目的でパルス処理されたレーザ・ダイオ
ードのアレイを使用することについては１９７６年９月
２１日にＲｏｓｅｎｋｒａｎｔｚ等に発行された米国特
許第３９８２２０１号に説明しである。最後に、Ｄ、Ｌ
Ｓｉｐｅｓは１９８５年、第４７巻、第２号の廠■肯理
Ｍ、７４−７５頁にネオジウム含有ＹＡＧを端面ポンピ
ングする近密に集光された半導体レーザ・ダイオードを
使用すると波長１１０６４ｎの放射を出力するための波
長８１０ｎｍのポンピング放射の高効率の変換を得るこ
とができることを報告している。
許第３６２４５４５号には、少なくとも１個の半導体レ
ーザ・ダイオードにより側面ポンピングされるＹＡＧロ
ッドから成る光ポンピング式固体レーザについて記載し
である。同様に、１９７３年８月１４日にＣｈｅｓｌｅ
ｒに発行された米国特許第３７５３１４５号にはネオジ
ウム含有ＹＡＧロッドを端面ポンピングするため１個以
上の発光半導体ダイオードを使用することが開示しであ
る。ネオジウム含有ＹＡＧの様な固体レーザ材料を端面
ポンピングする目的でパルス処理されたレーザ・ダイオ
ードのアレイを使用することについては１９７６年９月
２１日にＲｏｓｅｎｋｒａｎｔｚ等に発行された米国特
許第３９８２２０１号に説明しである。最後に、Ｄ、Ｌ
Ｓｉｐｅｓは１９８５年、第４７巻、第２号の廠■肯理
Ｍ、７４−７５頁にネオジウム含有ＹＡＧを端面ポンピ
ングする近密に集光された半導体レーザ・ダイオードを
使用すると波長１１０６４ｎの放射を出力するための波
長８１０ｎｍのポンピング放射の高効率の変換を得るこ
とができることを報告している。
非線形光学特性を有する材料は良く知られている。例え
ば、１９７６年４月６日にＣ１ｅｒｌｅｉｎ等に発行さ
れた米国特許第３９４９３２３号にはＭをに、Ｒｂ、Ｐ
Ｉ及びＮ Ｈ４の少なくとも１つとし、ＸをＮＨ４が存
在する場合を除き少なくともＰ又はＡｓの１つとし、次
に、ＸがＰのみとした場合の式ＭＴＩＯ（χ０４）の材
料により非線形光学特性が提供されることを開示してい
る。
ば、１９７６年４月６日にＣ１ｅｒｌｅｉｎ等に発行さ
れた米国特許第３９４９３２３号にはＭをに、Ｒｂ、Ｐ
Ｉ及びＮ Ｈ４の少なくとも１つとし、ＸをＮＨ４が存
在する場合を除き少なくともＰ又はＡｓの１つとし、次
に、ＸがＰのみとした場合の式ＭＴＩＯ（χ０４）の材
料により非線形光学特性が提供されることを開示してい
る。
その元の式には特に有用な非線形材料であるリン酸カリ
ウム・チタン、ＫＴｉＯＰＯ，が含まれる。
ウム・チタン、ＫＴｉＯＰＯ，が含まれる。
限定はされないが他の公知の非線形光学材料にはＫＨ２
Ｐ４ 、Ｌ １Ｎｂｏｔ 、ＫＮｂＯ４ｌ、β−ＢＡＢ
２０４ 、Ｂａ、ＮａＮｂ０．、Ｌ ｉ １０３ＨＩ
０３ 、Ｋ ｂｓ Ｏａ ・４Ｈ２０、カリウム・リ
チウム・ニオブ酸塩及びユリアが含まれる。多数の異な
る車軸結晶の非線形光学特性の検討については１９７７
年１月号、第７巻、第１号の５ｏｖＪ、ｌヱＸＶａ上旦
ヱ １−１３頁に発行している。
Ｐ４ 、Ｌ １Ｎｂｏｔ 、ＫＮｂＯ４ｌ、β−ＢＡＢ
２０４ 、Ｂａ、ＮａＮｂ０．、Ｌ ｉ １０３ＨＩ
０３ 、Ｋ ｂｓ Ｏａ ・４Ｈ２０、カリウム・リ
チウム・ニオブ酸塩及びユリアが含まれる。多数の異な
る車軸結晶の非線形光学特性の検討については１９７７
年１月号、第７巻、第１号の５ｏｖＪ、ｌヱＸＶａ上旦
ヱ １−１３頁に発行している。
非線形光学材料についても１９８６年フロリダ州ポカ・
レートンのＣＲＣブレス社ＭＪウェーバ−Ｅｄの第３巻
、レーザ科学と技術とＣＭＣ便覧にＳシングにより検討
されている。
レートンのＣＲＣブレス社ＭＪウェーバ−Ｅｄの第３巻
、レーザ科学と技術とＣＭＣ便覧にＳシングにより検討
されている。
非線形光学材料との相互作用を通じて１つの周波数の光
放射を別の周波数の光放射へ変換することは公知であり
、広汎に研究されている。こうした変換の例には調波発
生、光学的ミキシング及びパラメーター発振が含まれる
。第２調波発生又は「周波数倍加Ｊはおそらく最も共通
した重要な非線形オプティックスの例であり、非線形光
学結晶を進む角周波数ωの光波のエネルギーの部分が角
周波数２ωの波のエネルギーに変換される。第２調波発
生については１９７５年、ニューヨーク、ジョン・ワイ
リー＆サンズの第２版、】ｊ５（ｋｊ−トロニクス、３
０７−４３４頁にＡ、Ｙａｒｉｖにより且つ１９７６年
、ニューヨー２り、Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｄの
ソリッド・ステート・レーザー・エンジニアリング、４
９１−５２４頁にＷ、Ｋｏｅｃｈｎｅｒにより検討され
ている。
放射を別の周波数の光放射へ変換することは公知であり
、広汎に研究されている。こうした変換の例には調波発
生、光学的ミキシング及びパラメーター発振が含まれる
。第２調波発生又は「周波数倍加Ｊはおそらく最も共通
した重要な非線形オプティックスの例であり、非線形光
学結晶を進む角周波数ωの光波のエネルギーの部分が角
周波数２ωの波のエネルギーに変換される。第２調波発
生については１９７５年、ニューヨーク、ジョン・ワイ
リー＆サンズの第２版、】ｊ５（ｋｊ−トロニクス、３
０７−４３４頁にＡ、Ｙａｒｉｖにより且つ１９７６年
、ニューヨー２り、Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｄの
ソリッド・ステート・レーザー・エンジニアリング、４
９１−５２４頁にＷ、Ｋｏｅｃｈｎｅｒにより検討され
ている。
光学範囲の周波数を有し非線形結晶を通る電磁波は励起
波の合計値の差に等しい周波数を有する偏光波を誘因す
る。こうした偏光波はエネルギーを同じ周波数の電磁波
に転送できる。偏光波から対応する電磁波へのエネルギ
ーの転送効率は（ａ）テンソル素子の偏光波の振幅を決
定するので第２位分極率テンソルの大きさ及び（ｂ）偏
光波と放射された電磁波が位相的に充分とどまり得る距
離の関数である。
波の合計値の差に等しい周波数を有する偏光波を誘因す
る。こうした偏光波はエネルギーを同じ周波数の電磁波
に転送できる。偏光波から対応する電磁波へのエネルギ
ーの転送効率は（ａ）テンソル素子の偏光波の振幅を決
定するので第２位分極率テンソルの大きさ及び（ｂ）偏
光波と放射された電磁波が位相的に充分とどまり得る距
離の関数である。
結合長さ１ｃは以下の関係により与えられる偏光波と放
射波の間の位置関係の測定値であり、ｌｃ＝π／Δに ここで、Δには偏光の波ペルトルと電磁波の間の差であ
る。更に詳細には結合長さは非線形光学結晶の入口面か
ら放射電磁波のパワーがその最大値になる点迄の距離で
ある。位相整合はΔに＝０の時化じる。条件Δに＝ｏは
又、ｎ、Ｃ３−ｎｌω１ ±ｎ２ω２としても表現可能
である。ここで、Ｃ３−ω１±ω２ ；Ｃ１及びＣ２は
入力電磁波の周波数であり；ω、は放射される電磁波の
周波数であり、ｎｌ、ｎ２及びｎ、は非線形光学結晶に
おける個々の波の反射率である。第２調波発生の特別の
場合においては、１つの周波数ωのみの入力放射がある
ので、Ｃ１＝Ｃ２＝ω 及ヒω３＝２ωとなる。
射波の間の位置関係の測定値であり、ｌｃ＝π／Δに ここで、Δには偏光の波ペルトルと電磁波の間の差であ
る。更に詳細には結合長さは非線形光学結晶の入口面か
ら放射電磁波のパワーがその最大値になる点迄の距離で
ある。位相整合はΔに＝０の時化じる。条件Δに＝ｏは
又、ｎ、Ｃ３−ｎｌω１ ±ｎ２ω２としても表現可能
である。ここで、Ｃ３−ω１±ω２ ；Ｃ１及びＣ２は
入力電磁波の周波数であり；ω、は放射される電磁波の
周波数であり、ｎｌ、ｎ２及びｎ、は非線形光学結晶に
おける個々の波の反射率である。第２調波発生の特別の
場合においては、１つの周波数ωのみの入力放射がある
ので、Ｃ１＝Ｃ２＝ω 及ヒω３＝２ωとなる。
非線形光学結晶において成る周波数の光放射を他の周波
数の光放射に相当変換するには相互に作用する波は結晶
全体にわたり実質上位相が安定しなければならないので
、 Δｋｌｌｋｚ −ｋｒ ｋｚ ｌ＜２π／１ここで
に、 、ｋ２及びに、は各々周波数ω１、Ｃ２及びＣ３
の放射に対応する波の数も表わし、ｌは非線形材料内の
相互作用長さである。ここで使用された「実質上位相が
整合する１という用語は与えられた非線形光学結晶に対
し１Δに１く２π／ｌを意味する。
数の光放射に相当変換するには相互に作用する波は結晶
全体にわたり実質上位相が安定しなければならないので
、 Δｋｌｌｋｚ −ｋｒ ｋｚ ｌ＜２π／１ここで
に、 、ｋ２及びに、は各々周波数ω１、Ｃ２及びＣ３
の放射に対応する波の数も表わし、ｌは非線形材料内の
相互作用長さである。ここで使用された「実質上位相が
整合する１という用語は与えられた非線形光学結晶に対
し１Δに１く２π／ｌを意味する。
非線形光学材料における位相整合を達成する慣用的な方
法は分散（周波数による反射率の変化）が車軸又は双軸
結晶の固有複屈折を使用することによりオフセットでき
るという事実を利用している。こうした結晶は２つの許
容される対角的に偏光された伝播モードに対応する所定
の伝播方向につき２つの屈折率を有している。従って、
偏光と伝播方向を適度に選択することにより複屈折非線
形光学結晶における位相整合を達成することがしばしば
可能である。本明細書で使用された「位相整合軸ｊとい
う用語は示された入力放射と示された出力放射への実質
上位相整合する変換が前記人力放射の少なくとも一部の
偏光に対し許容されると非線形光学結晶での線又は方向
を示す。
法は分散（周波数による反射率の変化）が車軸又は双軸
結晶の固有複屈折を使用することによりオフセットでき
るという事実を利用している。こうした結晶は２つの許
容される対角的に偏光された伝播モードに対応する所定
の伝播方向につき２つの屈折率を有している。従って、
偏光と伝播方向を適度に選択することにより複屈折非線
形光学結晶における位相整合を達成することがしばしば
可能である。本明細書で使用された「位相整合軸ｊとい
う用語は示された入力放射と示された出力放射への実質
上位相整合する変換が前記人力放射の少なくとも一部の
偏光に対し許容されると非線形光学結晶での線又は方向
を示す。
位相整合は一般に型式■又は型式ＩＩのいずれかである
。型式Ｉの位相整合は非線形光学材料内で相互作用する
入力波が同じ偏光を有することを要求している。型式Ｉ
Ｉの位相整合は非線形光学材料内で相互作用する入力波
が対角偏光を有することを要求している。
。型式Ｉの位相整合は非線形光学材料内で相互作用する
入力波が同じ偏光を有することを要求している。型式Ｉ
Ｉの位相整合は非線形光学材料内で相互作用する入力波
が対角偏光を有することを要求している。
内部二重結晶による多縦モードレーザの共振器内の第２
調波発生については最近Ｔ、Ｂａｅｒ。
調波発生については最近Ｔ、Ｂａｅｒ。
Ｊ、 Ｏｔ、 Ｓｏｃ、 Ａｍ、Ｂ、第３巻、第９号。
１１７５−１１８０頁（１９８６）で分析されている。
この報告書はレーザ・ダイオード・アレイによりポンピ
ングされて白兵振器二重結晶を含むＮｄ：ＹＡＧの出力
を実験的且つ理論的に評価することを求めている。二重
結晶がレーザ共振器内に挿入されると、振幅の大きい変
動と縦モード不安定性が生ずることが報告されている。
ングされて白兵振器二重結晶を含むＮｄ：ＹＡＧの出力
を実験的且つ理論的に評価することを求めている。二重
結晶がレーザ共振器内に挿入されると、振幅の大きい変
動と縦モード不安定性が生ずることが報告されている。
然し乍ら、これらの不安定性はレーザが白兵振器エタロ
ンにより単発振モードに制限される際消えることも報告
されている。多縦モード内共振器二重レーザの詳細な理
論的分析についてばＸ、Ｇ、Ｗｕ等により、Ｊ、 Ｏｔ
、 Ｓｏｃ、 Ａｒｎ、 Ｂ、第４巻、第１１号、１８
７０−１８７７頁（１９８７年）に報告されている。
ンにより単発振モードに制限される際消えることも報告
されている。多縦モード内共振器二重レーザの詳細な理
論的分析についてばＸ、Ｇ、Ｗｕ等により、Ｊ、 Ｏｔ
、 Ｓｏｃ、 Ａｒｎ、 Ｂ、第４巻、第１１号、１８
７０−１８７７頁（１９８７年）に報告されている。
米国特許第４６５６６３５号（１９８７年４月７日）及
び同第４７０１９２９号（１９８７年１１月２０日）は
両方共Ｂａｅｒ等に発行されているが、これらの特許に
はレーザ・ダイオードポンピング式内共振器周波数二重
固体レーザが開示しである。これらの特許においては、
こうした装置に固有の問題は安定性が高いか又は一定の
出力を要求する適用上使用も阻止又は制限する振幅の大
きいスパイクを含む振幅ノイズの発生であることが記載
しである。更に、このノイズは多縦モードの組合せから
生じるとも記載しである。然し乍ら、こうしたノイズは
エタロンをレーザ共振器内に挿入し、そこでレーザを単
一モードで動作させることにより当該ノイズを低減化又
は無くすことができると開示しである。このノイズはレ
ーザをロックするモードにより低減化することが可能で
あることも開示しである。
び同第４７０１９２９号（１９８７年１１月２０日）は
両方共Ｂａｅｒ等に発行されているが、これらの特許に
はレーザ・ダイオードポンピング式内共振器周波数二重
固体レーザが開示しである。これらの特許においては、
こうした装置に固有の問題は安定性が高いか又は一定の
出力を要求する適用上使用も阻止又は制限する振幅の大
きいスパイクを含む振幅ノイズの発生であることが記載
しである。更に、このノイズは多縦モードの組合せから
生じるとも記載しである。然し乍ら、こうしたノイズは
エタロンをレーザ共振器内に挿入し、そこでレーザを単
一モードで動作させることにより当該ノイズを低減化又
は無くすことができると開示しである。このノイズはレ
ーザをロックするモードにより低減化することが可能で
あることも開示しである。
１９７１年１１月９日に後胚等に発行された米国特許第
３（ｉ１９６３７号には（ａ）結晶の入力面と出力面が
相互に平行であり； （ｂ）人力放射の調波への変換に
対し結晶が位相整合される： （ｃ）入力放射が入力面
に対し直角の結晶内に向けられる； （ｄ）結晶がカス
ケード状に配設される；及び（ｅ）入力面で投射される
隣接した結晶の光軸が直角にて相互に交差するような、
少なくとも２個の非線形誘電体結晶を含む調波発生器を
開示している。更に、こうした装置は大量放射の偏光面
の向きとは関係無く調波放射の効率的発生をもたらすと
も開示しである。同様に、１９８５年４月９日にＳｕｍ
ｍｅｒｓ等に発行された米国特許第４５１０３０２号は
第２又は第３調波発生のいずれかに対し位置付けること
ができる直列に配列された一対の車軸複屈折結晶を含む
光学的調波発生器に向けられている。然し乍ら、これら
の特許にはいずれも多罪線形光学結晶をレーザの光共振
器内に挿入できるとする示唆は含まれていない。
３（ｉ１９６３７号には（ａ）結晶の入力面と出力面が
相互に平行であり； （ｂ）人力放射の調波への変換に
対し結晶が位相整合される： （ｃ）入力放射が入力面
に対し直角の結晶内に向けられる； （ｄ）結晶がカス
ケード状に配設される；及び（ｅ）入力面で投射される
隣接した結晶の光軸が直角にて相互に交差するような、
少なくとも２個の非線形誘電体結晶を含む調波発生器を
開示している。更に、こうした装置は大量放射の偏光面
の向きとは関係無く調波放射の効率的発生をもたらすと
も開示しである。同様に、１９８５年４月９日にＳｕｍ
ｍｅｒｓ等に発行された米国特許第４５１０３０２号は
第２又は第３調波発生のいずれかに対し位置付けること
ができる直列に配列された一対の車軸複屈折結晶を含む
光学的調波発生器に向けられている。然し乍ら、これら
の特許にはいずれも多罪線形光学結晶をレーザの光共振
器内に挿入できるとする示唆は含まれていない。
本発明は、非線形光学結晶をレーザ共振器内に挿入した
際レーザの出力に表れることがある振幅ノイズを低減化
若しくは無くする方法に関するものである。こうしたノ
イズはこうしたレーザの出力放射をデータの光学的記録
、スペクトル分析、通信、投射表示、レーザ印刷及びレ
ーザ・フィルム読取り／書込みシステムといった適用例
に使用すべき場合には相当望ましくない。
際レーザの出力に表れることがある振幅ノイズを低減化
若しくは無くする方法に関するものである。こうしたノ
イズはこうしたレーザの出力放射をデータの光学的記録
、スペクトル分析、通信、投射表示、レーザ印刷及びレ
ーザ・フィルム読取り／書込みシステムといった適用例
に使用すべき場合には相当望ましくない。
本発明の一実施例は（ａ）第１周波数の光放射用光共振
器； （ｂ）前記第１周波数の光放射を発生する目的で
前記共振器内に配設されたレーザ材料；及び（ｃ）第１
周波数の前記光放射を第２周波数の光放射に変換し、前
記光共振器内に位置付けられて光共振器内に循環する前
記第１周波数の放射が第１及び第２周波数の前記放射に
対する各結晶の位相整合軸に沿って前記結晶と相互作用
できるよう配向された少なくとも２個の非線形光学結晶
を含む非線形光学手段から成るコヒーレント光放射を発
生する装置である。
器； （ｂ）前記第１周波数の光放射を発生する目的で
前記共振器内に配設されたレーザ材料；及び（ｃ）第１
周波数の前記光放射を第２周波数の光放射に変換し、前
記光共振器内に位置付けられて光共振器内に循環する前
記第１周波数の放射が第１及び第２周波数の前記放射に
対する各結晶の位相整合軸に沿って前記結晶と相互作用
できるよう配向された少なくとも２個の非線形光学結晶
を含む非線形光学手段から成るコヒーレント光放射を発
生する装置である。
本発明の他の実施例は（ａ）第１周波数の光放射用光共
振器； （ｂ）レーナ゛・ダイオードと発光ダイオード
とから成るグループから選択される光ポンピング放射を
発性する光ポンピング手段； （ｃ）前記共振器内に配
設され、前記ポンピング手段からポンピング放射を受取
るよう位置付けられ且つ前記ポンピング放射を受取った
際前記第１周波数の光放射を発生するのに有効な固体レ
ーザ材料：及び（ｄ）第１周波数の前記放射を第２周波
数の光放射に変換し、光共振器内で循環する前記第１周
波数と放射が第１及び第２周波数と前記放射に対する各
結晶と位相整合軸に沿って前記結晶と相互作用できるよ
う前記光共振器内に位置付けられ且つ配向された少なく
とも２個の非線形光学結晶を含む非線形光学手段から成
る多縦モード光ポンピング式固体レーザである。
振器； （ｂ）レーナ゛・ダイオードと発光ダイオード
とから成るグループから選択される光ポンピング放射を
発性する光ポンピング手段； （ｃ）前記共振器内に配
設され、前記ポンピング手段からポンピング放射を受取
るよう位置付けられ且つ前記ポンピング放射を受取った
際前記第１周波数の光放射を発生するのに有効な固体レ
ーザ材料：及び（ｄ）第１周波数の前記放射を第２周波
数の光放射に変換し、光共振器内で循環する前記第１周
波数と放射が第１及び第２周波数と前記放射に対する各
結晶と位相整合軸に沿って前記結晶と相互作用できるよ
う前記光共振器内に位置付けられ且つ配向された少なく
とも２個の非線形光学結晶を含む非線形光学手段から成
る多縦モード光ポンピング式固体レーザである。
本発明の他の実施例は少なくとも２個の非線形光学結晶
を前記レーザの光学共振器内に挿入することから成るレ
ーザを周波数倍加する方法である。
を前記レーザの光学共振器内に挿入することから成るレ
ーザを周波数倍加する方法である。
本発明の目的は内部共振器非線形光学手段により周波数
変調される改善型振幅安定性を有するレーザを提供する
ことにある。
変調される改善型振幅安定性を有するレーザを提供する
ことにある。
本発明の他の目的は改善された振幅安定性を有する多縦
モードで光ポンピングされ内部共振器倍加された固体レ
ーザを提供することにある。
モードで光ポンピングされ内部共振器倍加された固体レ
ーザを提供することにある。
本発明の他の目的は改善された出力安定性を有するダイ
オードポンピングされ内部共振器倍加された多縦モード
の固体レーザを提供することにある。
オードポンピングされ内部共振器倍加された多縦モード
の固体レーザを提供することにある。
本発明の他の目的は非線形光学材料がレーザ共振器内に
挿入される際レーザの出力に見られる振幅非安定性を低
減化する方法を提供することにある。
挿入される際レーザの出力に見られる振幅非安定性を低
減化する方法を提供することにある。
本発明の更に他の目的は内部共振器周波数倍加レーザの
振幅安定性を改善する方法を提供することにある。
振幅安定性を改善する方法を提供することにある。
本発明は多くの形態でその実施例が可能であるが、第１
図、第３図及び第４図においては３つの特定の実施例が
概略的に図示してあり、本発明の開示内容は本発明を図
示の実施例に制限する意図はないことを理解すべきであ
る。
図、第３図及び第４図においては３つの特定の実施例が
概略的に図示してあり、本発明の開示内容は本発明を図
示の実施例に制限する意図はないことを理解すべきであ
る。
第１図を参照すると、レーザ材料ｌは図面に示されてい
ない励起手段による励起に応答してレーザ光（以後共振
器放射と称する）を出す。次にこの共振器放射は鏡３及
び４で定められた光学共振器内の経路に沿って循環され
る。非線形光学結晶５及び６は共振器放射がその調波で
ある放射に変換されるよう共振器放射が位相整合軸に沿
って各結晶と相互作用できるような様式で光共振器内に
位置付けである。調波放射は非線形光学結晶５及び６と
の共振器放射の相互作用時に発生され、出力放射７とし
て鏡４を通過する。
ない励起手段による励起に応答してレーザ光（以後共振
器放射と称する）を出す。次にこの共振器放射は鏡３及
び４で定められた光学共振器内の経路に沿って循環され
る。非線形光学結晶５及び６は共振器放射がその調波で
ある放射に変換されるよう共振器放射が位相整合軸に沿
って各結晶と相互作用できるような様式で光共振器内に
位置付けである。調波放射は非線形光学結晶５及び６と
の共振器放射の相互作用時に発生され、出力放射７とし
て鏡４を通過する。
レーザ材料１は適当なエネルギ源による励起時にレーザ
光を発生できる任意の慣用的な材料にできる。レーザ材
料ｌは例えばエキシマ・レーザ（ガス）、ダイ・レーザ
（液体）又はネオジム含有ＹＡＧレーザ（固体）におけ
る如くガス、液体又は固体状態のいずれかで存在できる
ことは理解されよう。レーザ材料１のレーザ化により発
生される放射は偏光されるか又は実質上非偏光状態にで
きる。
光を発生できる任意の慣用的な材料にできる。レーザ材
料ｌは例えばエキシマ・レーザ（ガス）、ダイ・レーザ
（液体）又はネオジム含有ＹＡＧレーザ（固体）におけ
る如くガス、液体又は固体状態のいずれかで存在できる
ことは理解されよう。レーザ材料１のレーザ化により発
生される放射は偏光されるか又は実質上非偏光状態にで
きる。
鏡３及び４はレーザ材料１のレーザ化により発生される
共振器放射を高度に反射する。更に、鏡３は周波数変調
された出力放射７を高度に反射し、鏡４は出力放射７を
高度に透過するのが好ましい。
共振器放射を高度に反射する。更に、鏡３は周波数変調
された出力放射７を高度に反射し、鏡４は出力放射７を
高度に透過するのが好ましい。
鏡３及び４で定められた光共振器内で循環する共振器放
射は共振器放射を所望の調波へ効率的に変換できる各結
晶の位相整合軸に沿って非線形光学結晶５及び６内に向
けられる。２個の非線形光学結晶５及び６は同じ化学組
成にするか又は異なる化学組成にできる。例えば、非線
形光学結晶５及び６は両者共、リン酸塩チタン酸カリウ
ムで構成でき、又は別形態としては一方の結晶をリン酸
塩チタン酸カリウムで構成し、他方の結晶を他の適当な
非線形光学材料で構成することができる。
射は共振器放射を所望の調波へ効率的に変換できる各結
晶の位相整合軸に沿って非線形光学結晶５及び６内に向
けられる。２個の非線形光学結晶５及び６は同じ化学組
成にするか又は異なる化学組成にできる。例えば、非線
形光学結晶５及び６は両者共、リン酸塩チタン酸カリウ
ムで構成でき、又は別形態としては一方の結晶をリン酸
塩チタン酸カリウムで構成し、他方の結晶を他の適当な
非線形光学材料で構成することができる。
コヒーレント放射ビームが位相整合軸に沿って単一非線
形光学結晶と相互作用可能とされ結晶がその軸の周わり
に固定配向を有する場合は、入ノコビームのある偏光は
周波数変調出力放射を生むよう結晶とは相互作用しない
。本発明の実施に際しては２個以上の非線形光学結晶（
第１図にはこうした２個の非線形光学結晶５及び６のみ
が示しである）は共振器放射と相互作用できない。好適
には選択された位相整合軸の周わりで相互に対するこれ
らの結晶の配向は周波数変調された出力放射７が光共振
器内で循環する共振器放射の総ての可能な偏光から発生
されるよう調整される。本発明の好適実施例には出力放
射７の発生を最大にし、装置から放出される出力放射７
における振幅変動を最低にするようその選択された位相
整合軸の周わりで相互に対し結晶の相対的配向を調整す
ることが含まれる。
形光学結晶と相互作用可能とされ結晶がその軸の周わり
に固定配向を有する場合は、入ノコビームのある偏光は
周波数変調出力放射を生むよう結晶とは相互作用しない
。本発明の実施に際しては２個以上の非線形光学結晶（
第１図にはこうした２個の非線形光学結晶５及び６のみ
が示しである）は共振器放射と相互作用できない。好適
には選択された位相整合軸の周わりで相互に対するこれ
らの結晶の配向は周波数変調された出力放射７が光共振
器内で循環する共振器放射の総ての可能な偏光から発生
されるよう調整される。本発明の好適実施例には出力放
射７の発生を最大にし、装置から放出される出力放射７
における振幅変動を最低にするようその選択された位相
整合軸の周わりで相互に対し結晶の相対的配向を調整す
ることが含まれる。
本発明の非線形光学結晶が同じ組成である場合は、これ
らの結晶は望ましくは相互に対し異なる結晶性配向を有
している。従って、所定の偏光の共振器放射は異なる様
式で各結晶と相互作用し、かくして周波数変調された出
力放射７がその入力放射から発生されることになる。第
１図に図解された２個の結晶装置の一実施例においては
、非線形光学結晶５及び６は両者共対称中心が欠けてい
る斜方点クループｍｍ２（スペース・グループＰｎａ２
．）に属するリン酸塩チタン酸カリウムで構成できる。
らの結晶は望ましくは相互に対し異なる結晶性配向を有
している。従って、所定の偏光の共振器放射は異なる様
式で各結晶と相互作用し、かくして周波数変調された出
力放射７がその入力放射から発生されることになる。第
１図に図解された２個の結晶装置の一実施例においては
、非線形光学結晶５及び６は両者共対称中心が欠けてい
る斜方点クループｍｍ２（スペース・グループＰｎａ２
．）に属するリン酸塩チタン酸カリウムで構成できる。
これらの結晶は１１０６４ｎの波長を有する共振器放射
を５３２ｎｍの波長を有するその第２調波に変換するよ
う位相整合できる。この周波数変換に対して、リン酸塩
チタン酸カリウム結晶は結晶性ｘｙ面内の位相整合軸に
沿い、結晶Ｘ軸から２４±２°離れ、結晶Ｚ軸に直角に
進む共振器放射と型式ＩＩ相互作用するよう配向できる
。各結晶のこの同じ位相整合軸が使用されれば、一方の
結晶の結晶Ｚ軸は望ましくは第２結晶の２軸に対してこ
の軸の周ねりにて成る角度になる。この角度は各種可能
性のある角度の任意のものにできる。然し乍ら、約３０
６ないし約７０゜の範囲にある角度が特に良好であると
信じられている。
を５３２ｎｍの波長を有するその第２調波に変換するよ
う位相整合できる。この周波数変換に対して、リン酸塩
チタン酸カリウム結晶は結晶性ｘｙ面内の位相整合軸に
沿い、結晶Ｘ軸から２４±２°離れ、結晶Ｚ軸に直角に
進む共振器放射と型式ＩＩ相互作用するよう配向できる
。各結晶のこの同じ位相整合軸が使用されれば、一方の
結晶の結晶Ｚ軸は望ましくは第２結晶の２軸に対してこ
の軸の周ねりにて成る角度になる。この角度は各種可能
性のある角度の任意のものにできる。然し乍ら、約３０
６ないし約７０゜の範囲にある角度が特に良好であると
信じられている。
１１０６４ｎ波長の共振器放射を５３２ｎｍ波長出力放
射に変換するよう位相整合されるリン酸塩チタン酸カリ
ウムの２個の結晶を使用することを含む前述した実施例
を第２図に示すが、ここでは共振器放射の伝播は線１０
に沿って行なわれ、リン酸塩チタン酸カリウムの結晶１
１及び１２の位相整合軸も線ＩＯに沿っている。線１０
に対するリン酸塩チタン酸カリウム結晶１１の結晶Ｚ軸
の相対的配向は線１３で示され、線ｌＯに対するリン酸
塩チタン酸カリウム結晶１２の結晶Ｚ軸と相対的配向は
線１４で示されている。線１０及び１３で定められる面
及び線１０及び１４で定められる面は例えば約６０°の
相対的角度を形成する。
射に変換するよう位相整合されるリン酸塩チタン酸カリ
ウムの２個の結晶を使用することを含む前述した実施例
を第２図に示すが、ここでは共振器放射の伝播は線１０
に沿って行なわれ、リン酸塩チタン酸カリウムの結晶１
１及び１２の位相整合軸も線ＩＯに沿っている。線１０
に対するリン酸塩チタン酸カリウム結晶１１の結晶Ｚ軸
の相対的配向は線１３で示され、線ｌＯに対するリン酸
塩チタン酸カリウム結晶１２の結晶Ｚ軸と相対的配向は
線１４で示されている。線１０及び１３で定められる面
及び線１０及び１４で定められる面は例えば約６０°の
相対的角度を形成する。
勿論、本発明の実施に際しては２個以上の非線形光学結
晶を使用可能であることは理解できよう。
晶を使用可能であることは理解できよう。
例えば、循環する共振器放射の総ての可能な偏光に対し
所望の周波数変調出力放射が発生されるような様式にて
相互に対し相対的に配向されるのが望ましい３個又は４
個の結晶を使用可能である。
所望の周波数変調出力放射が発生されるような様式にて
相互に対し相対的に配向されるのが望ましい３個又は４
個の結晶を使用可能である。
本発明の実施にあたり使用された非線形光学結晶の幾何
学形状は広範に変化し得る。例えば、結晶は第２図に図
解される如き棒形状又は菱面体形状にでき、所望ならば
結晶はレンズ形状面を有することができる。非線形光学
結晶は結晶の温度を制御するためこの結晶と組合う加熱
手段を設け、これにより位相整合を最適化できることも
理解されよう。例えば、各結晶は別々に独立して制御さ
れる加熱手段を結晶と組合って設けることができる。可
能な場合は、ビームの拡散とｔウオーク・オフ」の作用
を最低にするため重要でない位相整合が通常好適である
。
学形状は広範に変化し得る。例えば、結晶は第２図に図
解される如き棒形状又は菱面体形状にでき、所望ならば
結晶はレンズ形状面を有することができる。非線形光学
結晶は結晶の温度を制御するためこの結晶と組合う加熱
手段を設け、これにより位相整合を最適化できることも
理解されよう。例えば、各結晶は別々に独立して制御さ
れる加熱手段を結晶と組合って設けることができる。可
能な場合は、ビームの拡散とｔウオーク・オフ」の作用
を最低にするため重要でない位相整合が通常好適である
。
リン酸塩チタン酸カリウム、ＫＴｉＯＰＯ４、は高温に
好適な非線形光学材料である。然し乍ら本発明の実施に
際しては任意の非線形光学材料を利用できることが理解
されよう。限定はされないが、最適の非線形光学材料に
はＫＨ，ＰＯ４、ＬｉＮｂｏｚ 、ＫＮｂＯ３、β−Ｂ
ａＢ２０４、Ｂａｘ ＮａＮｂ５ ＯＩＳ％’Ｌ ｉ
ＩＯｚ 、Ｈ１０３、ＫＢ５０８ ・４Ｈ２０、ニオブ
酸塩リチウム・カリウム、ユリア及びＭをＫＸＲｂ及び
１゛ｌから成るグループから選択し、ＸをＰ及びＡｓか
ら成るグループより選択した場合の式ＭＴ ｉ Ｏ（Ｘ
０４ ）の化合物が含まれる。
好適な非線形光学材料である。然し乍ら本発明の実施に
際しては任意の非線形光学材料を利用できることが理解
されよう。限定はされないが、最適の非線形光学材料に
はＫＨ，ＰＯ４、ＬｉＮｂｏｚ 、ＫＮｂＯ３、β−Ｂ
ａＢ２０４、Ｂａｘ ＮａＮｂ５ ＯＩＳ％’Ｌ ｉ
ＩＯｚ 、Ｈ１０３、ＫＢ５０８ ・４Ｈ２０、ニオブ
酸塩リチウム・カリウム、ユリア及びＭをＫＸＲｂ及び
１゛ｌから成るグループから選択し、ＸをＰ及びＡｓか
ら成るグループより選択した場合の式ＭＴ ｉ Ｏ（Ｘ
０４ ）の化合物が含まれる。
先に注記した如く、レーザの出力放射を周波数倍加する
目的で非線形光学結晶がレーザ共振器内に挿入される際
大きい振幅変動と縦方向モードの不安定性がネオジム含
有ＹＡＧレーザの出力内に導入されることが観察された
。これらの不安定性は本発明による複数個の非線形光学
結晶を使用することで低減化又は消去できることが判明
した。
目的で非線形光学結晶がレーザ共振器内に挿入される際
大きい振幅変動と縦方向モードの不安定性がネオジム含
有ＹＡＧレーザの出力内に導入されることが観察された
。これらの不安定性は本発明による複数個の非線形光学
結晶を使用することで低減化又は消去できることが判明
した。
本発明の高度に好適な実施例においては、第１図で図解
されたレーザには付加的にレーザの光学的共振器の温度
とその内容とを調節し制御する温度制御手段が設けであ
る。この温度制御手段は光共振器を実質上一定の温度に
維持するのに有効でなければならない。温度制御手段は
任意の慣用的な型式例えば電気的に電力を受ける抵抗型
ヒータ又は熱電気的装置にできる。こうした温度制御手
段を使用することで、共振器の温度とその内容とは好適
にはその選択された値の±１℃に維持され好適にはその
選択された値の±５℃に、又、更に好適にはその選択さ
れた値の±０．１℃に維持される。光学的共振器とその
内容も実質上一定の温度に維持することにより更に出力
放射７の振幅を安定化することができる。
されたレーザには付加的にレーザの光学的共振器の温度
とその内容とを調節し制御する温度制御手段が設けであ
る。この温度制御手段は光共振器を実質上一定の温度に
維持するのに有効でなければならない。温度制御手段は
任意の慣用的な型式例えば電気的に電力を受ける抵抗型
ヒータ又は熱電気的装置にできる。こうした温度制御手
段を使用することで、共振器の温度とその内容とは好適
にはその選択された値の±１℃に維持され好適にはその
選択された値の±５℃に、又、更に好適にはその選択さ
れた値の±０．１℃に維持される。光学的共振器とその
内容も実質上一定の温度に維持することにより更に出力
放射７の振幅を安定化することができる。
出力放射７の振幅におけるランダムな変動は例えば約１
ｋＨｚないし約５０ＭＨ２の周波数範囲内においてはノ
イズと称し、％ルート平均自乗（％ＲＭＳ）ノイズとし
て簡便に測定される。改善された振幅安定性の内部共振
器周波数変調レーザはレーザ共振器内の複数個の非線形
光学結晶５及び６の簡単な使用で得られるが、本出願人
は又、出力放射７のノイズ内容が実質的に成る温度範囲
にねたりＯに降下することも発見した。更に詳細には、
出力放射７のノイズ成分がレーザ共振器の温度の関数と
して測定されれば、ノイズが実質上０に降下する成る温
度範囲又は「温度窓ｊが観察される。これらの窓の幅及
びこれらの窓が生じる正確な温度は各個々のレーザに対
して異なる。即ち、２つの完全に同一のレーザを作成す
べく相当の努力がなされたとしても本出願人はそれらが
充分に異なるものであること、レーザ共振器の温度の関
数としての出力放射７のノイズ成分が各装置の独得の特
性になることを発見した。然し乍ら、所定のレーザに対
しては温度の関数としての出力放射７のノイズ成分は数
カ月の期間にわたり又は相当の温度範囲にわたり繰返さ
れる周期につきあまり変化しない。従って、本発明の高
度に好適な実施例は光共振器の温度の関数として出力放
射７のノイズ成分を測定し且つ１！、 Ｈの動作中にこ
うした窓内の値においてレーザ共振器の温度を維持する
ことによりレーザに対し実質上ノイズの無い動作を呈す
る窓を位置付けることから成っている。
ｋＨｚないし約５０ＭＨ２の周波数範囲内においてはノ
イズと称し、％ルート平均自乗（％ＲＭＳ）ノイズとし
て簡便に測定される。改善された振幅安定性の内部共振
器周波数変調レーザはレーザ共振器内の複数個の非線形
光学結晶５及び６の簡単な使用で得られるが、本出願人
は又、出力放射７のノイズ内容が実質的に成る温度範囲
にねたりＯに降下することも発見した。更に詳細には、
出力放射７のノイズ成分がレーザ共振器の温度の関数と
して測定されれば、ノイズが実質上０に降下する成る温
度範囲又は「温度窓ｊが観察される。これらの窓の幅及
びこれらの窓が生じる正確な温度は各個々のレーザに対
して異なる。即ち、２つの完全に同一のレーザを作成す
べく相当の努力がなされたとしても本出願人はそれらが
充分に異なるものであること、レーザ共振器の温度の関
数としての出力放射７のノイズ成分が各装置の独得の特
性になることを発見した。然し乍ら、所定のレーザに対
しては温度の関数としての出力放射７のノイズ成分は数
カ月の期間にわたり又は相当の温度範囲にわたり繰返さ
れる周期につきあまり変化しない。従って、本発明の高
度に好適な実施例は光共振器の温度の関数として出力放
射７のノイズ成分を測定し且つ１！、 Ｈの動作中にこ
うした窓内の値においてレーザ共振器の温度を維持する
ことによりレーザに対し実質上ノイズの無い動作を呈す
る窓を位置付けることから成っている。
実質上ノイズの無い動作のこれらの窓は典型的には幅が
約０．５ないし約５℃であり、こうした窓内で％ＲＭＳ
ノイズは典型的には約５％以下であり、しばしば約１％
以下である。実質上ノイズの無い動作と窓は動作の観点
からは例えば約０°ないし１００℃又は更に簡便には約
３０’ないし６５°Ｃが都合の良い温度範囲にわたり出
力放射７のノイズ内容を測定することにより容易に確認
される。
約０．５ないし約５℃であり、こうした窓内で％ＲＭＳ
ノイズは典型的には約５％以下であり、しばしば約１％
以下である。実質上ノイズの無い動作と窓は動作の観点
からは例えば約０°ないし１００℃又は更に簡便には約
３０’ないし６５°Ｃが都合の良い温度範囲にわたり出
力放射７のノイズ内容を測定することにより容易に確認
される。
この測定はレーザの温度に関係ある性能の妥当なサンプ
リングを与える目的で少なくとも約５℃の範囲、好適に
は少なくとも約１０又は２０°Ｃの範囲にわたり実施さ
れなければならない。
リングを与える目的で少なくとも約５℃の範囲、好適に
は少なくとも約１０又は２０°Ｃの範囲にわたり実施さ
れなければならない。
第３図は非線形光学結晶の設定を除き第１図のものと同
一の本発明の第２実施例を概略的に示している。第３図
を参照すると、レーザ材料２０は図示されていない励起
手段による励起に応答してレーザ（以後共振器放射と称
する）を出す。次に、共振器放射は鏡２２及び２３で定
められる光共振器内で径路２１に沿い循環される。非線
形光学結晶２４及び２５は共振器放射をその調波である
放射に変換する目的で共振器放射が位相整合軸に沿い各
結晶と相互作用できるような様式で光共振器内に位置付
けられる。非線形光学結晶２４及び２５の性質と向きは
第１図の非線形光学結晶５及び６に対して説明したもの
と同じである。調波放射は、非線形光学結晶２４及び２
５との共振器放射の相互作用で発生され、出力放射２６
として鏡２３を通過する。
一の本発明の第２実施例を概略的に示している。第３図
を参照すると、レーザ材料２０は図示されていない励起
手段による励起に応答してレーザ（以後共振器放射と称
する）を出す。次に、共振器放射は鏡２２及び２３で定
められる光共振器内で径路２１に沿い循環される。非線
形光学結晶２４及び２５は共振器放射をその調波である
放射に変換する目的で共振器放射が位相整合軸に沿い各
結晶と相互作用できるような様式で光共振器内に位置付
けられる。非線形光学結晶２４及び２５の性質と向きは
第１図の非線形光学結晶５及び６に対して説明したもの
と同じである。調波放射は、非線形光学結晶２４及び２
５との共振器放射の相互作用で発生され、出力放射２６
として鏡２３を通過する。
第４図は２個の非線形光学結晶が光ポンピングされる固
体レーザの光共振器内に含まれる本発明の第３実施例を
概略的に図解している。第４図を参照すると、光ポンピ
ング手段３１及び３２からの光ポンピング放射３０は収
束手段３３により固体レーザ材料３４上に収束され、当
該固体レーザ材料は表面３５上に適当な反射コーティン
グを有し、前記ポンピング手段（３１及び３２．）から
の放射によりポンピング可能である。固体レーザ材料３
４のレーザ作用で出される光は表面３５上の反射コーテ
ィングと鏡３６により定められる光共振器内に含まれ以
後これは共振器放射と称する。
体レーザの光共振器内に含まれる本発明の第３実施例を
概略的に図解している。第４図を参照すると、光ポンピ
ング手段３１及び３２からの光ポンピング放射３０は収
束手段３３により固体レーザ材料３４上に収束され、当
該固体レーザ材料は表面３５上に適当な反射コーティン
グを有し、前記ポンピング手段（３１及び３２．）から
の放射によりポンピング可能である。固体レーザ材料３
４のレーザ作用で出される光は表面３５上の反射コーテ
ィングと鏡３６により定められる光共振器内に含まれ以
後これは共振器放射と称する。
非線形光学結晶３７及び３８は光共振器内で循環する共
振器放射が共振器放射をその調波である放射に変換する
目的で位相整合軸に沿って各結晶と相互作用できるよう
な様式で光共振器内に位置付けられる。非線形光学結晶
３７及び３８の性質と向きは第１図の非線形光学結晶５
及び６に対して述べられたものと同じである。調波放射
は非線形光学結晶３７及び３８との共振器放射の相互作
用時に発生され出力放射３９として鏡３６を通過する。
振器放射が共振器放射をその調波である放射に変換する
目的で位相整合軸に沿って各結晶と相互作用できるよう
な様式で光共振器内に位置付けられる。非線形光学結晶
３７及び３８の性質と向きは第１図の非線形光学結晶５
及び６に対して述べられたものと同じである。調波放射
は非線形光学結晶３７及び３８との共振器放射の相互作
用時に発生され出力放射３９として鏡３６を通過する。
光ポンピング手段３１及び３２は任意の慣用的な光ポン
ピング放射源を含むことができる。限定はされないが、
適当な供給源はフラッシュ・ランプ及びレーザである。
ピング放射源を含むことができる。限定はされないが、
適当な供給源はフラッシュ・ランプ及びレーザである。
然し乍ら、光ポンピング放射３０の好適な供給源は発光
ダイオード及びレーザ・ダイオードで構成される。こう
したダイオードは通常熱抵抗のある電熱性ヒート・シン
クに取付けられ、金属製ハウジング内に包装される。効
率的な作動のため、光ポンピング放射３０は固体レーザ
材料３４の適当な吸収帯と一致される。約６３７ｎｍな
いし約１６００ｎｍの範囲にわたる波長を備えた出力放
射を発生する慣用的な発光ダイオードとレーザ・ダイオ
ードが利用可能であり、固体レーザ材料３４をポンピン
グするのに効果的な波長の光ポンピング放射３０を発生
する装置を本発明の実施に際し使用可能である。例えば
、ＡｌＧａ ＩｎＰ／Ｇａ Ｉ ｎＰ装置は約６３０ｎ
ｍないし７００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使
用可能であり、ＧａＡＩＡＳ装置は約７５０ｎｍないし
約９００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使用可能
であり、ＩｎＧａＡｓＰ装置は約１１０００ｎないし約
１６００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使用可能
である。
ダイオード及びレーザ・ダイオードで構成される。こう
したダイオードは通常熱抵抗のある電熱性ヒート・シン
クに取付けられ、金属製ハウジング内に包装される。効
率的な作動のため、光ポンピング放射３０は固体レーザ
材料３４の適当な吸収帯と一致される。約６３７ｎｍな
いし約１６００ｎｍの範囲にわたる波長を備えた出力放
射を発生する慣用的な発光ダイオードとレーザ・ダイオ
ードが利用可能であり、固体レーザ材料３４をポンピン
グするのに効果的な波長の光ポンピング放射３０を発生
する装置を本発明の実施に際し使用可能である。例えば
、ＡｌＧａ ＩｎＰ／Ｇａ Ｉ ｎＰ装置は約６３０ｎ
ｍないし７００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使
用可能であり、ＧａＡＩＡＳ装置は約７５０ｎｍないし
約９００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使用可能
であり、ＩｎＧａＡｓＰ装置は約１１０００ｎないし約
１６００ｎｍの波長範囲の放射を提供するのに使用可能
である。
光ポンピング放射３０の高度に適した供給源はヒート・
シンクたる光ポンピング手段３１に取付けられる約８１
０ｎｍの波長を有する光を出すガリウム・アルミニウム
・ヒ素レーザ・ダイオード・アレイ３２から成る。ヒー
ト・シンク３１は特性上受動的にできる。然し乍ら、ヒ
ート・シンク３１は又、レーザ・ダイオード・アレイ３
２を一定温度に維持するのを助け、かくして一定波長に
おけるレーザ・ダイオード・アレイ３２の最適動作を確
実にする熱電気式クーラを含むこともできる。勿論、動
作中は光ポンピング手段は適当な電源に取付けられるこ
とは理解されよう。電源に向けであるレーザ・ダイオー
ド・アレイ３２から出る電線は第４図には図解されてい
ない。
シンクたる光ポンピング手段３１に取付けられる約８１
０ｎｍの波長を有する光を出すガリウム・アルミニウム
・ヒ素レーザ・ダイオード・アレイ３２から成る。ヒー
ト・シンク３１は特性上受動的にできる。然し乍ら、ヒ
ート・シンク３１は又、レーザ・ダイオード・アレイ３
２を一定温度に維持するのを助け、かくして一定波長に
おけるレーザ・ダイオード・アレイ３２の最適動作を確
実にする熱電気式クーラを含むこともできる。勿論、動
作中は光ポンピング手段は適当な電源に取付けられるこ
とは理解されよう。電源に向けであるレーザ・ダイオー
ド・アレイ３２から出る電線は第４図には図解されてい
ない。
収束手段３３は光ポンピング放射３０を固体レーザ材料
３４上に収束するよう作用する。この収束作用は結果的
に固体レーザ材料３４内に高いポンピング強度及び組合
った高いフォトン対フォトンの変換効率をもたらす。収
束手段３３は屈折率勾配型レンズ、ボール・レンズ、非
球面レンズ又は組合せレンズといった光を収束する慣用
的な手段を含むことができる。然し乍ら、収束手段３３
は本発明の実施に対し本質的なものではなくこうした収
束手段の使用は単に好適な実施例を表わすことが理解さ
れよう。
３４上に収束するよう作用する。この収束作用は結果的
に固体レーザ材料３４内に高いポンピング強度及び組合
った高いフォトン対フォトンの変換効率をもたらす。収
束手段３３は屈折率勾配型レンズ、ボール・レンズ、非
球面レンズ又は組合せレンズといった光を収束する慣用
的な手段を含むことができる。然し乍ら、収束手段３３
は本発明の実施に対し本質的なものではなくこうした収
束手段の使用は単に好適な実施例を表わすことが理解さ
れよう。
選択された光ポンピング手段により光ポンピング可能で
あることを条件にすれば任意の慣用的な固体レーザ材料
３４を利用可能である。限定はされないが、適当なレー
ザ材料には能動材料が含有されるガラス状及び結晶性母
体材料から成るグループより選択された固体が含まれる
。限定はされないが、高度に適した能動材料にはクロム
、チタン及び希土類金属のイオンが含まれる。高度に適
したレーザ材料にはネオジム含有ＴＡＧ、ネオジム含有
ＹＡＬＯ及びネオジム含有ＹＬＦが含まれる。特定の例
として、ネオジム含有ＴＡＧは約７１０ｎｍの波長も有
する光を発生する光ポンピング手段との組合せた使用の
ため高度に適したレーザ材料３４である。この波長の光
でポンピングされると、ネオジム含有ＴＡＧは１１０６
４ｎの波長を有する光を出すことができる。
あることを条件にすれば任意の慣用的な固体レーザ材料
３４を利用可能である。限定はされないが、適当なレー
ザ材料には能動材料が含有されるガラス状及び結晶性母
体材料から成るグループより選択された固体が含まれる
。限定はされないが、高度に適した能動材料にはクロム
、チタン及び希土類金属のイオンが含まれる。高度に適
したレーザ材料にはネオジム含有ＴＡＧ、ネオジム含有
ＹＡＬＯ及びネオジム含有ＹＬＦが含まれる。特定の例
として、ネオジム含有ＴＡＧは約７１０ｎｍの波長も有
する光を発生する光ポンピング手段との組合せた使用の
ため高度に適したレーザ材料３４である。この波長の光
でポンピングされると、ネオジム含有ＴＡＧは１１０６
４ｎの波長を有する光を出すことができる。
レーザ材料３４の正確な幾何学的形状は広範囲に変化し
得る。例えば、レーザ材料３４は所望ならば形状を棒状
又は菱面体にでき、所望ならばレンズ型表面を使用可能
である。例えば、第４図に示された平坦な表面３５の周
わりに凸状入力面を使用できる。こうした凸状面は非整
合に対する共鳴体の感度を低下させ、非線形光学結晶３
７及び３８との効率的相互作用に対し最適化されたビー
ム・ウェイストを有する固体レーザ材料３４から出力ビ
ームを発生するよう作用できる。所望ならば、レーザ材
料の端面ポンピングファイバを使用できる。この目的の
ため高度に適したファイバは限定はされないが、ネオジ
ムの如き希土類金属のイオンが含有される光ガラス・フ
ァイバが含まれる。こうしたファイバの長さは光ポンピ
ング放射３０総での実質的な吸収になるよう容易に調節
される。極めて長いファイバが要求される場合には、本
発明のレーザの全体の長さを最低にする目的から、例え
ば、スプール上にコイル状にできる。
得る。例えば、レーザ材料３４は所望ならば形状を棒状
又は菱面体にでき、所望ならばレンズ型表面を使用可能
である。例えば、第４図に示された平坦な表面３５の周
わりに凸状入力面を使用できる。こうした凸状面は非整
合に対する共鳴体の感度を低下させ、非線形光学結晶３
７及び３８との効率的相互作用に対し最適化されたビー
ム・ウェイストを有する固体レーザ材料３４から出力ビ
ームを発生するよう作用できる。所望ならば、レーザ材
料の端面ポンピングファイバを使用できる。この目的の
ため高度に適したファイバは限定はされないが、ネオジ
ムの如き希土類金属のイオンが含有される光ガラス・フ
ァイバが含まれる。こうしたファイバの長さは光ポンピ
ング放射３０総での実質的な吸収になるよう容易に調節
される。極めて長いファイバが要求される場合には、本
発明のレーザの全体の長さを最低にする目的から、例え
ば、スプール上にコイル状にできる。
固体レーザ材料３４の表面３５上の反射コーティングは
光ポンピング放射３０に対して実質的に透過性となるよ
う選択されるが、固体レーザ材料３４のレーザ作用によ
り発生される共振器放射に関して高度に反射するよう選
択される。好適な実施例においては、このコーティング
は又、調波出力放射３９を高度に反射しよう。この調波
放射に対するコーティングの高い反射率は鏡３６による
非線形光学結晶３７及び３８内への共振器放射の反射時
に発生される調波放射のポンピング側ロスも防止するよ
う作用する。こうしたコーティングは特性上慣用的なも
のである。例えば、誘電性コーティングにできる。
光ポンピング放射３０に対して実質的に透過性となるよ
う選択されるが、固体レーザ材料３４のレーザ作用によ
り発生される共振器放射に関して高度に反射するよう選
択される。好適な実施例においては、このコーティング
は又、調波出力放射３９を高度に反射しよう。この調波
放射に対するコーティングの高い反射率は鏡３６による
非線形光学結晶３７及び３８内への共振器放射の反射時
に発生される調波放射のポンピング側ロスも防止するよ
う作用する。こうしたコーティングは特性上慣用的なも
のである。例えば、誘電性コーティングにできる。
鏡３６は固体レーザ材料３４のレーザ作用で発生される
共振器放射に対し高度に反射性のある様式で選択される
が、非線形光学結晶３７及び３８との共振器放射の相互
作用により発生される出力放射３９に対し実質上透過性
がある。鏡３６は特性上慣用的なものであり、例えば、
任意の適当な基材上の適当な慣用的コーティングを含む
ことができる。
共振器放射に対し高度に反射性のある様式で選択される
が、非線形光学結晶３７及び３８との共振器放射の相互
作用により発生される出力放射３９に対し実質上透過性
がある。鏡３６は特性上慣用的なものであり、例えば、
任意の適当な基材上の適当な慣用的コーティングを含む
ことができる。
高度に好適な実施例においては、第４図の周波数変調レ
ーザには付加的にレーザの光共振器の温度とその内容と
を調整制御する温度制御手段が設けである。第１図に示
された実施例に関連して説明した如く、共振器とその内
容とを実質上一定の温度に保持する温度制御手段の使用
は更に出力放射３９における振幅変動を低減化させる作
用がある。
ーザには付加的にレーザの光共振器の温度とその内容と
を調整制御する温度制御手段が設けである。第１図に示
された実施例に関連して説明した如く、共振器とその内
容とを実質上一定の温度に保持する温度制御手段の使用
は更に出力放射３９における振幅変動を低減化させる作
用がある。
第４図に示された実施例の特定の例においては、ネオジ
ム含有ＴＡＧが固体レーザ材料３４として使用され、非
線形光学結晶３７及び３８は両者共リン酸塩チタン酸カ
リウムで構成されている。ネオジム含有ＹＡＧは、熱電
気クーラ３１に取付けられるマルチ・ストライプブ・レ
ーザ・ダイオード・アレイ３２により光ポンピングされ
る（アレイ及び取付けられる熱電気クーラはカリフォル
ニア州サン・ジョセ、スペクトラ・ダイオード研究所で
製造されたＮＤＬ２４２２−Ｈ１型である。）。
ム含有ＴＡＧが固体レーザ材料３４として使用され、非
線形光学結晶３７及び３８は両者共リン酸塩チタン酸カ
リウムで構成されている。ネオジム含有ＹＡＧは、熱電
気クーラ３１に取付けられるマルチ・ストライプブ・レ
ーザ・ダイオード・アレイ３２により光ポンピングされ
る（アレイ及び取付けられる熱電気クーラはカリフォル
ニア州サン・ジョセ、スペクトラ・ダイオード研究所で
製造されたＮＤＬ２４２２−Ｈ１型である。）。
レーザ・ダイオード・アレイ３２は波長約８１０ｎ ｒ
ｎで約２００ｍｗの光ポンピング放射３０を提供出来る
中心間１０ミクロンの３ミクロン・ストライプで構成さ
れた１０本のストライプ・アレイである。この光ポンピ
ング放射３０は０．２９ビッ千の屈折率勾配型レンズ３
３により固体レーザ材料３４内に収束される。固体レー
ザ材料３４は約１％のネオジムを含み、長さ７ＩＩＩＩ
、直径３ ｕの棒の形態になっている。固体レーザ材料
３４は１１０５４ｎの波長にて低い閾値動作をするよう
向けられ、ポンピング放射による励起に応答して１１０
５４ｎの波長の光（共振器放射）を出す。固体レーザ材
料３４の入力面たる表面３５は１１０６４ｎの波長にて
高度の反射性があり（Ｒ＞９９．８％）、且つ７１０ｎ
ｍの波長にて高度に透過性（Ｔ〉８０％）の多Ｊｌ ｍ
ミコーティングを支承している。固体レーザ材料３４の
出力面４０は１０６４ｎｒｎの波長の光に対し抗反射コ
ーティング（Ｒく０．２％）を支承している。非線形光
学結晶３７及び３８はＩＸＩＸ３ｍｍ（共振器放射に対
し３龍の相互作用長さを有する）の寸法のリン酸塩チタ
ン酸カリウムの菱面体プリズムであり、５３２ｎｍの波
長の第２調波の共振器放射の型式ＩＩ非臨界位相整合変
換に対しカントされる。非線形光学結晶３７及び３８は
又、共振器放射に遭遇する軸の周わりで他方の結晶の結
晶ｚ軸に対し４５°を一方の結晶の結晶Ｚ軸となすよう
な様式で位置付けられる。更に、非線形光学結晶３７及
び３８は５３２ｎｍ及び１１０６４ｎと放射に対し相対
的に抗反射コーティングされる。５３２ｎｍの周波数を
有する出力放射３９は鏡３６を透過する。この鏡は典率
半径が１０ｃｍであり、１１０６４ｎの波長にて高度の
反射性があり（Ｒ＞９９．８％）、且つ５３２ｎｍの波
長にて高度に透過性がある誘電性コーティングを有して
いる。このレーザの光共振器は約３０−＠の長さ（表面
３５から鏡３６迄の距離）を有している。
ｎで約２００ｍｗの光ポンピング放射３０を提供出来る
中心間１０ミクロンの３ミクロン・ストライプで構成さ
れた１０本のストライプ・アレイである。この光ポンピ
ング放射３０は０．２９ビッ千の屈折率勾配型レンズ３
３により固体レーザ材料３４内に収束される。固体レー
ザ材料３４は約１％のネオジムを含み、長さ７ＩＩＩＩ
、直径３ ｕの棒の形態になっている。固体レーザ材料
３４は１１０５４ｎの波長にて低い閾値動作をするよう
向けられ、ポンピング放射による励起に応答して１１０
５４ｎの波長の光（共振器放射）を出す。固体レーザ材
料３４の入力面たる表面３５は１１０６４ｎの波長にて
高度の反射性があり（Ｒ＞９９．８％）、且つ７１０ｎ
ｍの波長にて高度に透過性（Ｔ〉８０％）の多Ｊｌ ｍ
ミコーティングを支承している。固体レーザ材料３４の
出力面４０は１０６４ｎｒｎの波長の光に対し抗反射コ
ーティング（Ｒく０．２％）を支承している。非線形光
学結晶３７及び３８はＩＸＩＸ３ｍｍ（共振器放射に対
し３龍の相互作用長さを有する）の寸法のリン酸塩チタ
ン酸カリウムの菱面体プリズムであり、５３２ｎｍの波
長の第２調波の共振器放射の型式ＩＩ非臨界位相整合変
換に対しカントされる。非線形光学結晶３７及び３８は
又、共振器放射に遭遇する軸の周わりで他方の結晶の結
晶ｚ軸に対し４５°を一方の結晶の結晶Ｚ軸となすよう
な様式で位置付けられる。更に、非線形光学結晶３７及
び３８は５３２ｎｍ及び１１０６４ｎと放射に対し相対
的に抗反射コーティングされる。５３２ｎｍの周波数を
有する出力放射３９は鏡３６を透過する。この鏡は典率
半径が１０ｃｍであり、１１０６４ｎの波長にて高度の
反射性があり（Ｒ＞９９．８％）、且つ５３２ｎｍの波
長にて高度に透過性がある誘電性コーティングを有して
いる。このレーザの光共振器は約３０−＠の長さ（表面
３５から鏡３６迄の距離）を有している。
一連のレーザは第４図に示されたレーザの特定の例に対
し先に詳述した如く構成された。一連の各レーザからの
５３２ｎｍ出力放射のパワーと％ルート平均自乗（％Ｒ
ＭＳ）ノイズはサーモスタット付き留めからの湯を循環
させることにより温度制御された相補形状の銅製ブロッ
ク内に各レーザと光共振器を嵌合させることに′より約
３０ ”ｃないし約７０℃の範囲にわたる温度の関数と
して測定された。出力パワーはリコニソクス４５ＫＭ型
パワー・メータで測定され、出力放射における％ＲＭＳ
ノイズはフォトダイン１５００ＸＰ型の光波形分析器で
放射を検出し、パランチン３２３型トルーＲＭＳＡＣ電
圧計で結果の信号を評価することで測定された。このレ
ーザ列の典型的な部材に対する３０℃ないし６５℃の温
度範囲にわたる結果（温度は温度制御される銅ブロック
にて測定された）を第５図に示す。第５図を参照すると
、本装置のＲＭＳノイズは成る温度範囲又は「温度窓ｊ
にわたり実質上０に降下することが注目されよう。例え
ば、こうした窓は約３７．９〜４０．３°Ｃで生じ、他
の窓は約５０．７〜５１．４℃で現われる。
し先に詳述した如く構成された。一連の各レーザからの
５３２ｎｍ出力放射のパワーと％ルート平均自乗（％Ｒ
ＭＳ）ノイズはサーモスタット付き留めからの湯を循環
させることにより温度制御された相補形状の銅製ブロッ
ク内に各レーザと光共振器を嵌合させることに′より約
３０ ”ｃないし約７０℃の範囲にわたる温度の関数と
して測定された。出力パワーはリコニソクス４５ＫＭ型
パワー・メータで測定され、出力放射における％ＲＭＳ
ノイズはフォトダイン１５００ＸＰ型の光波形分析器で
放射を検出し、パランチン３２３型トルーＲＭＳＡＣ電
圧計で結果の信号を評価することで測定された。このレ
ーザ列の典型的な部材に対する３０℃ないし６５℃の温
度範囲にわたる結果（温度は温度制御される銅ブロック
にて測定された）を第５図に示す。第５図を参照すると
、本装置のＲＭＳノイズは成る温度範囲又は「温度窓ｊ
にわたり実質上０に降下することが注目されよう。例え
ば、こうした窓は約３７．９〜４０．３°Ｃで生じ、他
の窓は約５０．７〜５１．４℃で現われる。
調べた温度範囲にわたり一連の各レーザは幅が少なくと
も約０．５℃の実質上ノイズの無い動作の少なくとも１
個の窓を備え、観察された最大の窓は約５℃の幅を備え
た。実質上ノイズの無い動作のこれらの窓は正確な位置
と幅は時間と共に著しく変化せず又は摂氏温度の数１０
°Ｃにわたり温度サイクルが繰返される。従って各レー
ザは動作中にこうした窓内における温度に本装置の光共
振器を維持することにより実質上ノイズの無い様式で動
作するよう作成できた。
も約０．５℃の実質上ノイズの無い動作の少なくとも１
個の窓を備え、観察された最大の窓は約５℃の幅を備え
た。実質上ノイズの無い動作のこれらの窓は正確な位置
と幅は時間と共に著しく変化せず又は摂氏温度の数１０
°Ｃにわたり温度サイクルが繰返される。従って各レー
ザは動作中にこうした窓内における温度に本装置の光共
振器を維持することにより実質上ノイズの無い様式で動
作するよう作成できた。
第１図は本発明の一実施例を概略的に表わす図。
第２図は第１図に示された実施例の２個の構成要素の斜
視図。第３図は本発明の第２実施例の概略図。第４図は
本発明の第３実施例の概略図。第５図は第４図に示され
た型式の周波数倍加レーザ・ダイオードでポンピングさ
れた固体レーザの光学的出力パワー及びレーザ共振器の
温度の関数としての前記出力ルート平均自乗ＲＭＳノイ
ズ内容を示す図。 なお図面に用いた符号において、 １−・−一一−−−−−・・・−・・・ レーザ材料２
・−・−−−−−一−・−・−・経路３．４−−−−
−−−−−・鏡 ５．６ −−−−−−−−・−非線形光学結晶７−・−
一−−−−・・・−−−−−・出力放射１１、 ｌ ２
−・−・ １３、１４ ２ ０ −−−−−−−−−−−−−・２１ ・・−・
・−・−・・−・・−・・・２２、２３ ・・−・・・
・・ ２４、４５ ・−・−・ ２６ ・− ３０−・−−−−−−−−−・−−一−−・３１、３２
・・−・ ３３−・・・−・−・−・ ３４−・・・・−・・・・・−・−・・−・・・３５
・−−−−−一−−−・・ ３６−・ ３７、３８−・・−・ ４ ０ −−−−−−−・・ である。 代 軸 リン酸塩チタン酸カリウ ム結晶 線 レーザ材料 経路 鏡 非線形光学結晶 出力放射 光ポンピング放射 光ポンピング手段 収束手段 固体レーザ材料 表面 鏡 非線形光学結晶 出力放射 出力面 埋入 上屋 勝 根室δが９１１ 九王子ム晶
視図。第３図は本発明の第２実施例の概略図。第４図は
本発明の第３実施例の概略図。第５図は第４図に示され
た型式の周波数倍加レーザ・ダイオードでポンピングさ
れた固体レーザの光学的出力パワー及びレーザ共振器の
温度の関数としての前記出力ルート平均自乗ＲＭＳノイ
ズ内容を示す図。 なお図面に用いた符号において、 １−・−一一−−−−−・・・−・・・ レーザ材料２
・−・−−−−−一−・−・−・経路３．４−−−−
−−−−−・鏡 ５．６ −−−−−−−−・−非線形光学結晶７−・−
一−−−−・・・−−−−−・出力放射１１、 ｌ ２
−・−・ １３、１４ ２ ０ −−−−−−−−−−−−−・２１ ・・−・
・−・−・・−・・−・・・２２、２３ ・・−・・・
・・ ２４、４５ ・−・−・ ２６ ・− ３０−・−−−−−−−−−・−−一−−・３１、３２
・・−・ ３３−・・・−・−・−・ ３４−・・・・−・・・・・−・−・・−・・・３５
・−−−−−一−−−・・ ３６−・ ３７、３８−・・−・ ４ ０ −−−−−−−・・ である。 代 軸 リン酸塩チタン酸カリウ ム結晶 線 レーザ材料 経路 鏡 非線形光学結晶 出力放射 光ポンピング放射 光ポンピング手段 収束手段 固体レーザ材料 表面 鏡 非線形光学結晶 出力放射 出力面 埋入 上屋 勝 根室δが９１１ 九王子ム晶
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（ａ）第１周波数の光放射用の光共振器； （ｂ）前記第１周波数の光放射を生成する前記共振器内
に配設されたレーザ材料；及び （ｃ）第１周波数の前記光放射を第２周波数の光放射へ
変換するためのものであり、少なくとも２つの非線形光
学結晶を有しており、前記光共振器内を循環する前記第
１周波数の放射が第１及び第２周波数の前記放射用の各
結晶の位相整合軸に沿っている前記結晶と相互作用可能
な様に前記結晶が前記光共振器内に位置付けられ且つ配
向されている非線形光学手段を夫々具備するコヒーレン
ト光放射を生成する装置。 ２、第２周波数の放射が第１周波数の前記循環する放射
の総ての可能な偏光から生成される様に前記軸の周わり
の前記結晶の配向が決められている請求項１記載の装置
。 ３、前記結晶が同じ成分から成っている請求項１記載の
装置。 ４、前記結晶が互いに異なる結晶配向を有している請求
項３記載の装置。 ５、前記光共振器の温度とその内容を調節し制御する温
度制御手段を更に具備する請求項１記載の装置。 ６、前記温度制御手段が前記光共振器とその内容とを実
質上一定温度に維持するのに有効な請求項５記載の装置
。 ７、前記第２周波数が前記第１周波数の２倍である請求
項１記載の装置。 ８、（ａ）第１周波数の光放射用の光共振器； （ｂ）レーザ・ダイオードと発光ダイオードとから成る
グループより選択される光ポンピング放射を生成する光
ポンピング手段； （ｃ）前記共振器内に配設され、前記光ポンピング手段
からポンピング放射を受取り、前記ポンピング放射の受
取り時に前記第１周波数の光放射を生成するのに有効な
固体レーザ材料；及び （ｄ）第１周波数の前記放射を第２周波数の光放射へ変
換するためのものであり、少なくとも２つの非線形光学
結晶を有しており前記光共振器内を循環する前記第１周
波数の放射が第１及び第２周波数の前記放射用の各結晶
の位相整合軸に沿っている前記結晶と相互作用可能な様
に前記結晶が前記光共振器内に位置付けられ且つ配向さ
れている非線形光学手段とを夫々具備する多縦モード光
ポンピング式固体レーザ。 ９、前記第２周波数が前記第１周波数の２倍である請求
項８記載のレーザ。 １０、前記軸の周わりの前記結晶の配向が、第２周波数
の放射が第１周波数の前記循環放射の総ての可能な偏光
に対して生成される様にしている請求項８記載のレーザ
。 １１、前記結晶が同一組成である請求項８記載のレーザ
。 １２、前記結晶が互いに異なる結晶配向を有している請
求項１１記載のレーザ。 １３、前記光共振器の温度とその内容とを調節し制御す
る温度制御手段を更に具備する請求項８記載のレーザ。 １４、前記温度制御手段が前記光共振器とその内容を実
質上一定温度に維持するのに有効な請求項１３記載のレ
ーザ。 １５、（ａ）第１周波数の放射用の光共振器内のレーザ
材料から第１周波数の光放射を生成すること；及び （ｂ）少なくとも２つの非線形光学結晶を有しており前
記第１周波数の放射が第１及び第２周波数の前記放射用
の各結晶の位相整合軸に沿っている前記結晶と相互作用
する様に配向されている非線形光学手段で前記光共振器
内において第１周波数の前記光放射を第２周波数の光放
射へ変換することを夫々具備するコヒーレント光放射を
生成する方法。 １６、（ａ）第２周波数の前記光放射を出力放射として
前記光共振器から取出すこと； 及び （ｂ）前記光共振器の温度を前記出力放射が比較的ノイ
ズの無い状態にある範囲内に維持することを更に具備す
る請求項１５記載の方法。 １７、（ａ）前記出力放射内のノイズを前記光共振器の
温度の関数として測定すること；（ｂ）前記出力放射が
比較的ノイズの無い状態になる前記光共振器に対しての
温度範囲を決定すること；及び （ｃ）前記出力放射の後続の生成中に前記所定の温度範
囲内にある値に前記光共振器の温度を維持することを更
に具備する請求項１６記載の方法。 １８、前記第２周波数が前記第１周波数の２倍である請
求項１５記載の方法。 １９、光共振器内で循環する第１周波数の前記放射の総
ての可能な偏光から第２周波数の放射が生成される様に
前記軸の周わりに前記結晶を配向することを更に具備す
る請求項１５記載の方法。 ２０、前記結晶が互いに異なる結晶配向を有する様に前
記結晶を配向することを更に具備する請求項１５記載の
方法。
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