JPH027705A - 圧電振動素子とその周波数調整方法 - Google Patents
圧電振動素子とその周波数調整方法Info
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- JPH027705A JPH027705A JP15866488A JP15866488A JPH027705A JP H027705 A JPH027705 A JP H027705A JP 15866488 A JP15866488 A JP 15866488A JP 15866488 A JP15866488 A JP 15866488A JP H027705 A JPH027705 A JP H027705A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
リチウムナイオベートの単結晶を使用した圧電振動素子
に関し、 圧電体を小型化すると共に実装を容易にする新規構成と
、その構成に適する共振周波数の新規調整方法の提供を
目的とし、 リチウムナイオベート単結晶を圧電体とする圧電振動素
子にして、断面四角形の棒状である該圧電体の電極形成
面を該単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板の切り出し面と
し、一対の対向電極を同一の該電極形成面に形成したこ
とを特徴とし、一対の該対向電極を形成した面を該圧電
体の表面としたとき、共振周波数の調整は該圧電体の裏
面を機械的手段で削るごとを特徴とし構成する。
に関し、 圧電体を小型化すると共に実装を容易にする新規構成と
、その構成に適する共振周波数の新規調整方法の提供を
目的とし、 リチウムナイオベート単結晶を圧電体とする圧電振動素
子にして、断面四角形の棒状である該圧電体の電極形成
面を該単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板の切り出し面と
し、一対の対向電極を同一の該電極形成面に形成したこ
とを特徴とし、一対の該対向電極を形成した面を該圧電
体の表面としたとき、共振周波数の調整は該圧電体の裏
面を機械的手段で削るごとを特徴とし構成する。
本発明はリチウムナイオベートの単結晶を使用した圧電
振動素子、特に圧電体を小型化すると共に実装を容易に
する構造上の改良および、新規構造の圧電振動素子に適
した共振周波数の調整方法に関する。
振動素子、特に圧電体を小型化すると共に実装を容易に
する構造上の改良および、新規構造の圧電振動素子に適
した共振周波数の調整方法に関する。
昭和５８年５月３０日付けて本出願人は、リチウムナイ
オベート単結晶の回転Ｙ仮より切り出した圧電体の対向
主面に適当な電極を形成し該圧電体の厚さすべり振動を
利用した圧電振動素子（特願昭５８−９５２６５）につ
いて提案した。
オベート単結晶の回転Ｙ仮より切り出した圧電体の対向
主面に適当な電極を形成し該圧電体の厚さすべり振動を
利用した圧電振動素子（特願昭５８−９５２６５）につ
いて提案した。
上記特願昭５８−９５２６５の圧電振動素子は、リチウ
ムナイオベート単結晶からなる圧電体の対向主面を、該
単結晶において１６５度の回転Ｙ板の切り出し面とし、
さらには、該圧電体の長平方向を該回転Ｙ板のＸ軸に対
し９０度方向とすることを特徴とし、ＩＭＩｌｚ〜３０
ＭＨｚ帯用に広く使用されるようになった。
ムナイオベート単結晶からなる圧電体の対向主面を、該
単結晶において１６５度の回転Ｙ板の切り出し面とし、
さらには、該圧電体の長平方向を該回転Ｙ板のＸ軸に対
し９０度方向とすることを特徴とし、ＩＭＩｌｚ〜３０
ＭＨｚ帯用に広く使用されるようになった。
第６図は、従来の圧電振動素子を示す斜視図であり、圧
電振動素子１は圧電体２の対向主面（上面と下面）に対
向電極３を形成してなる。
電振動素子１は圧電体２の対向主面（上面と下面）に対
向電極３を形成してなる。
対向主面から見た幅がＨ１長さがＬ２厚さがＴである圧
電体２は、電極３の形成された対向主面をリチウムナイ
オベート単結晶の１６５度±１５度回転Ｙ板の切り出し
面としたものであり、電極３の一端からリード部３ａが
延在し、リード部３ａは対向主面の端部に形成した外部
接続端子４と接続されている。電極３に適当な電界を印
加し発生する圧電体２の厚みすべり振動は、図中に破線
５で示すように、長さし方向に変位し、かつ、対向主面
に近く変位量が大きくなる。
電体２は、電極３の形成された対向主面をリチウムナイ
オベート単結晶の１６５度±１５度回転Ｙ板の切り出し
面としたものであり、電極３の一端からリード部３ａが
延在し、リード部３ａは対向主面の端部に形成した外部
接続端子４と接続されている。電極３に適当な電界を印
加し発生する圧電体２の厚みすべり振動は、図中に破線
５で示すように、長さし方向に変位し、かつ、対向主面
に近く変位量が大きくなる。
第７図は前記圧電振動素子をその搭載基板に実装した側
面図であり、絶縁基板６の上面には少なくとも一対の導
体層７を形成し、スペーサ８を介して搭載した圧電振動
素子１の接続端子４は、半田または導電性接着材９によ
って、対向する導体層７と電気的に接続される。このよ
うな圧電振動素子１の共振周波数の自動調整は、レーザ
トリミング装置や蒸着装置等を使用し、電極３の質量を
増減させて実施することになる。
面図であり、絶縁基板６の上面には少なくとも一対の導
体層７を形成し、スペーサ８を介して搭載した圧電振動
素子１の接続端子４は、半田または導電性接着材９によ
って、対向する導体層７と電気的に接続される。このよ
うな圧電振動素子１の共振周波数の自動調整は、レーザ
トリミング装置や蒸着装置等を使用し、電極３の質量を
増減させて実施することになる。
かかる振動子において、断面四角形の棒状であるストリ
ップ型圧電体の寸法は、低周波になるに従って大形とな
る。即ち、例えば６Ｍｌ１ｚ帯用の圧電体の寸法が０．
３ｍｍ Ｘｏ、５ｍｍ ｘ ５ｍｍ程度であるのに対し
、２ＭＨｚ帯用では圧電体の寸法が０．９ｍｍ Ｘｏ、
９ｍｍ ｘ ７ｍｍ程度であり、２ＭＨｚ用の圧電体は
６Ｍ Ｈｚ用の圧電体より容積比で７．６倍程度の大形
になる。
ップ型圧電体の寸法は、低周波になるに従って大形とな
る。即ち、例えば６Ｍｌ１ｚ帯用の圧電体の寸法が０．
３ｍｍ Ｘｏ、５ｍｍ ｘ ５ｍｍ程度であるのに対し
、２ＭＨｚ帯用では圧電体の寸法が０．９ｍｍ Ｘｏ、
９ｍｍ ｘ ７ｍｍ程度であり、２ＭＨｚ用の圧電体は
６Ｍ Ｈｚ用の圧電体より容積比で７．６倍程度の大形
になる。
以上説明したように、リチウムナイオベートの単結晶か
ら圧電体を切り出した従来の圧電振動素子は、低周波帯
用にあって圧電体が大形になるという問題点があった。
ら圧電体を切り出した従来の圧電振動素子は、低周波帯
用にあって圧電体が大形になるという問題点があった。
また、圧電体の対向主面の双方に駆動電極が形成される
ため、圧電体の厚さ方向にそれを基板等に搭載した←←
とき、上方の主面に形成した電極は、圧電体の側端面を
通って搭載基板の導体層と接続しなければならないとい
う構成上の不都合があった。
ため、圧電体の厚さ方向にそれを基板等に搭載した←←
とき、上方の主面に形成した電極は、圧電体の側端面を
通って搭載基板の導体層と接続しなければならないとい
う構成上の不都合があった。
本発明の目的は、低周波帯用の圧電体を小型化すると共
に、その搭載を容易にし、さらに、従来のものより容易
な新規周波数調整方法を提供したものである。
に、その搭載を容易にし、さらに、従来のものより容易
な新規周波数調整方法を提供したものである。
本発明の圧電振動素子は第１図によれば、リチウムナイ
オベート単結晶を圧電体１２とする圧電振動素子１１．
２１にして、断面四角形の棒状である該圧電体１２の電
極形成面を該単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板の切り出
し面とし、一対の対向電極１３または２２を同一の該電
極形成面に形成してなることを特徴とし、 さらに、圧電体１２の長さをｌとしたとき、長さｌの方
向を前記回転Ｙ板のＸ軸に対し９０度±５度の方向とし
たこと、 前記電極形成面から見た圧電体１２の幅をり、厚さをｔ
としたとき、厚さｔが幅りのＡ以下であること、 圧電体１２の長さ２と幅りとの関係が、１７ｈ＞８ であること、 対向電極２２に接続する外部接続用端子２３が、圧電体
１２の長さｌ方向の端部かつ幅り方向の中央に形成しな
ることを特徴とし構成する、 並びに、周波数調整に際して、一対の対向電極１３また
は２２を形成した面を圧電体１２の表面としたとき、該
圧電体１２の裏面を機械的手段で削ることを特徴とする
ものである。
オベート単結晶を圧電体１２とする圧電振動素子１１．
２１にして、断面四角形の棒状である該圧電体１２の電
極形成面を該単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板の切り出
し面とし、一対の対向電極１３または２２を同一の該電
極形成面に形成してなることを特徴とし、 さらに、圧電体１２の長さをｌとしたとき、長さｌの方
向を前記回転Ｙ板のＸ軸に対し９０度±５度の方向とし
たこと、 前記電極形成面から見た圧電体１２の幅をり、厚さをｔ
としたとき、厚さｔが幅りのＡ以下であること、 圧電体１２の長さ２と幅りとの関係が、１７ｈ＞８ であること、 対向電極２２に接続する外部接続用端子２３が、圧電体
１２の長さｌ方向の端部かつ幅り方向の中央に形成しな
ることを特徴とし構成する、 並びに、周波数調整に際して、一対の対向電極１３また
は２２を形成した面を圧電体１２の表面としたとき、該
圧電体１２の裏面を機械的手段で削ることを特徴とする
ものである。
上記手段によれば、リチウムナイオベート単結晶の６０
度〜９５度回転Ｙ板から圧電体を切り出し、一対の対向
電極を該圧電体の同一面に形成したことによって、圧電
体は従来のものより薄くなって小型化し、かつ、実装を
容易ならしめると共に、その周波数調整は、表呈する圧
電体の裏面を機械加工手段で削ることにより、そのため
に必要とする設備費を大幅に低減できるようにした。
度〜９５度回転Ｙ板から圧電体を切り出し、一対の対向
電極を該圧電体の同一面に形成したことによって、圧電
体は従来のものより薄くなって小型化し、かつ、実装を
容易ならしめると共に、その周波数調整は、表呈する圧
電体の裏面を機械加工手段で削ることにより、そのため
に必要とする設備費を大幅に低減できるようにした。
以下に、図面を用いて本発明による圧電振動素子を説明
する。
する。
第１図は本発明の実施例による圧電振動素子の斜視図で
ある。
ある。
第１図（イ）において、圧電振動素子１１は圧電体１２
の上面（または下面）に一対の対向電極１３を形成して
なる。対向電極１３の形成面より見たとき、幅り、長さ
１．厚さｔである圧電体１２は、リチウムナイオベート
単結晶の６０度〜９５度の回転Ｙ板（ウェーハ）の切り
出し面が、対向電極１３の形成面であり、各電極１３の
一端から圧電体１２の縁に沿った直状に延在するリード
部１３ａは、圧電体１２の長手方向の端部、かつ、電極
１３と同一面に形成した外部接続用端子１４と接続する
。
の上面（または下面）に一対の対向電極１３を形成して
なる。対向電極１３の形成面より見たとき、幅り、長さ
１．厚さｔである圧電体１２は、リチウムナイオベート
単結晶の６０度〜９５度の回転Ｙ板（ウェーハ）の切り
出し面が、対向電極１３の形成面であり、各電極１３の
一端から圧電体１２の縁に沿った直状に延在するリード
部１３ａは、圧電体１２の長手方向の端部、かつ、電極
１３と同一面に形成した外部接続用端子１４と接続する
。
電極１３に適当な電界を印加し発生する圧電体１２の幅
すべり振動、即ち従来の圧電振動素子１の厚みすべり振
動に相当する幅すべり振動は、図中に破線１５と矢印で
示すように、長さｌ方向に変位し、その変位量は長手方
向の側面（振動の対向主面）に近く大きくなる。
すべり振動、即ち従来の圧電振動素子１の厚みすべり振
動に相当する幅すべり振動は、図中に破線１５と矢印で
示すように、長さｌ方向に変位し、その変位量は長手方
向の側面（振動の対向主面）に近く大きくなる。
かかる圧電体１２は、従来の圧電体２を第善図に一点鎖
線で示すように、矢印Ａ方向へ厚さｔとなるように割断
したものに相当し、対向電極１３の形成面は圧電体２の
前面に相当する。そして、共振周波数が同一である従来
の圧電体２と本発明による圧電体１２の寸法関係はＡ＃
Ｌ、ｈ＃Ｔとなり、圧電体１２の厚さｔは圧電体２の幅
Ｈの２以下になる。
線で示すように、矢印Ａ方向へ厚さｔとなるように割断
したものに相当し、対向電極１３の形成面は圧電体２の
前面に相当する。そして、共振周波数が同一である従来
の圧電体２と本発明による圧電体１２の寸法関係はＡ＃
Ｌ、ｈ＃Ｔとなり、圧電体１２の厚さｔは圧電体２の幅
Ｈの２以下になる。
即ち、従来の２ＭＨｚ用圧電振動素子１において圧電体
２が、幅がＨ＝０．９ ｍｍ、厚さＴ＝０．９ｍｍＰ長
さＬ＝７ｍｍであるのに対し、本発明による２ＭＨｚ用
圧電振動素子１１の圧電体１２は、その実施例において
長さ１−７ ｍｍ、幅ｈ ＝０．９ ｍｍ、厚さｔ＝０
゜３ｍｍとなり、電極１３の長さｆ’＝４ｎｕｎ、電極
１３の対向間隙ｇ＝０．５ｍｍとしたとき、共振抵抗が
８０Ωであった。
２が、幅がＨ＝０．９ ｍｍ、厚さＴ＝０．９ｍｍＰ長
さＬ＝７ｍｍであるのに対し、本発明による２ＭＨｚ用
圧電振動素子１１の圧電体１２は、その実施例において
長さ１−７ ｍｍ、幅ｈ ＝０．９ ｍｍ、厚さｔ＝０
゜３ｍｍとなり、電極１３の長さｆ’＝４ｎｕｎ、電極
１３の対向間隙ｇ＝０．５ｍｍとしたとき、共振抵抗が
８０Ωであった。
第１図（０）において、圧電振動素子２１は圧電体１２
の上面（または下面）に一対の対向電極２２等を形成し
てなる。前述の圧電振動素子１１と同一の圧電体１２を
使用し、対向電極１３と同一面に対向電極２２等を形成
した圧電振動素子２１は、外部接続用端子２３を圧電体
１２の電極２２と同一面の長さ方向の端部かつ幅方向の
中央に形成し、対向電極２２の端部から導出されほぼ７
字形状のリード部２２ａが外部接続用端子２３に接続さ
れてなる。
の上面（または下面）に一対の対向電極２２等を形成し
てなる。前述の圧電振動素子１１と同一の圧電体１２を
使用し、対向電極１３と同一面に対向電極２２等を形成
した圧電振動素子２１は、外部接続用端子２３を圧電体
１２の電極２２と同一面の長さ方向の端部かつ幅方向の
中央に形成し、対向電極２２の端部から導出されほぼ７
字形状のリード部２２ａが外部接続用端子２３に接続さ
れてなる。
かかる圧電振動素子２１において、電極２２に適当な電
界を印加したとき発生ずる幅すべり振動とアドミッタン
ス特性は、圧電振動素子１１のそれと同等になるが、後
述するように圧電振動素子２１をその搭載基板に実装し
たとき、外部接続用端子２３を圧電体１２の幅方向の中
央に設けたことによって、該基板との接続が係わるアド
ミッタンス特性に安定性が得られる。
界を印加したとき発生ずる幅すべり振動とアドミッタン
ス特性は、圧電振動素子１１のそれと同等になるが、後
述するように圧電振動素子２１をその搭載基板に実装し
たとき、外部接続用端子２３を圧電体１２の幅方向の中
央に設けたことによって、該基板との接続が係わるアド
ミッタンス特性に安定性が得られる。
リチウムナイオベート単結晶からなる圧電体の対向主面
に駆動電極を形成した特願昭５８−９５２６５の圧電振
動素子において、該対向主面を該単結晶の１６５６５度
回転Ｙ板り出し面とし、その圧電体の長手方向を該回転
Ｙ板のＸ軸に対し９０度方向とすることを提案したが、
その厚みすべり振動を幅すべり振動とした本発明の圧電
振動子は、リチウムナイオベート単結晶の７５度（１６
５度−９０度）回転Ｙ板の切り出し面に駆動電極を形成
し、圧電体の長さ方向を７５度回転Ｙ板のＸ軸に対し９
０度方向とすることで、振動特性の優れることが容易に
想定される。
に駆動電極を形成した特願昭５８−９５２６５の圧電振
動素子において、該対向主面を該単結晶の１６５６５度
回転Ｙ板り出し面とし、その圧電体の長手方向を該回転
Ｙ板のＸ軸に対し９０度方向とすることを提案したが、
その厚みすべり振動を幅すべり振動とした本発明の圧電
振動子は、リチウムナイオベート単結晶の７５度（１６
５度−９０度）回転Ｙ板の切り出し面に駆動電極を形成
し、圧電体の長さ方向を７５度回転Ｙ板のＸ軸に対し９
０度方向とすることで、振動特性の優れることが容易に
想定される。
第２図は本発明の圧電体を切り出す回転Ｙ板における回
転角度依存性を測定した図であり、共振抵抗が３００Ω
の実用範囲に納まる回転Ｙ板の回転角度は６０度〜９５
度となる。従って、本願発明による圧電体１２を切り出
すリチウムナイオベート単結晶のウェーハは、６０度〜
９５度回転Ｙ板が適当であり、特に７０度〜８５度回転
Ｙ板を使用した圧電体１２の共振抵抗は、１００Ω以下
の優れた特性が得られることになる。
転角度依存性を測定した図であり、共振抵抗が３００Ω
の実用範囲に納まる回転Ｙ板の回転角度は６０度〜９５
度となる。従って、本願発明による圧電体１２を切り出
すリチウムナイオベート単結晶のウェーハは、６０度〜
９５度回転Ｙ板が適当であり、特に７０度〜８５度回転
Ｙ板を使用した圧電体１２の共振抵抗は、１００Ω以下
の優れた特性が得られることになる。
第３図はリチウムナイオベート単結晶の７５度回転Ｙ板
から切り出した圧電体の長さ方向をその単結晶のＸ軸に
対し９０度の方向とした圧電振動子のアドミッタンス特
性である。
から切り出した圧電体の長さ方向をその単結晶のＸ軸に
対し９０度の方向とした圧電振動子のアドミッタンス特
性である。
縦軸を共振レベル（ｄＢ）、横軸を周波数（ＭＨｚ）と
した第３図において、図示の如く高周波交流電源５１．
抵抗Ｒｉｎ、抵抗Ｒｏｕｔ、検出器５２からなる測定回
路に圧電振動子１１または２１を接続して得られたアド
ミッタンス特性は、２．１９ＭｔＩｚ付近に一つの強い
共振ピークが見出され、該ピークの近傍に不要波による
スプリアスが現れない高特性となる。
した第３図において、図示の如く高周波交流電源５１．
抵抗Ｒｉｎ、抵抗Ｒｏｕｔ、検出器５２からなる測定回
路に圧電振動子１１または２１を接続して得られたアド
ミッタンス特性は、２．１９ＭｔＩｚ付近に一つの強い
共振ピークが見出され、該ピークの近傍に不要波による
スプリアスが現れない高特性となる。
そして、リチウムナイオベート単結晶の７５度回転Ｙ板
から切り出した圧電体の長さ方向を該単結晶のＸ軸に対
し９０度±５度の範囲で振らした圧電振動子１１および
２１について同様にアドミッタンス特性を測定したとこ
ろ、共振ピークの近傍に有害なスプリアスの現れること
がなかった。
から切り出した圧電体の長さ方向を該単結晶のＸ軸に対
し９０度±５度の範囲で振らした圧電振動子１１および
２１について同様にアドミッタンス特性を測定したとこ
ろ、共振ピークの近傍に有害なスプリアスの現れること
がなかった。
なお、第１図の圧電振動子１１および２１において圧電
体１２内の電界方向は、一方の電極１３または２２から
他方の電極１３または２２に向かうことになる。
体１２内の電界方向は、一方の電極１３または２２から
他方の電極１３または２２に向かうことになる。
そして、かかる電界によるスプリアスを抑制するには、
圧電体１２の厚さｔを薄くして、利用する伝播電界の方
向が成る程度揃ったものに限定すればよいことになり、
本発明では厚さｔ＜Ｈ−ｈとすることによって、圧電体
内の伝播電界による不必要なスプリアスを抑制すること
に成功した。
圧電体１２の厚さｔを薄くして、利用する伝播電界の方
向が成る程度揃ったものに限定すればよいことになり、
本発明では厚さｔ＜Ｈ−ｈとすることによって、圧電体
内の伝播電界による不必要なスプリアスを抑制すること
に成功した。
圧電振動子１１および２１において、圧電体１２の長さ
ｌと幅りの比率はその等個直列抵抗に関係し、圧電振動
子１１および２１に有害なスプリアスは、等個直列抵抗
が大きくなると増大することが知られている。
ｌと幅りの比率はその等個直列抵抗に関係し、圧電振動
子１１および２１に有害なスプリアスは、等個直列抵抗
が大きくなると増大することが知られている。
第４図はＥ／ｈと等個直列抵抗との関係を示す図であり
、等個直列抵抗は１／ｈが８以下になると急激に増加し
、スプリアスもその範囲において発生、増大するため、
本発明ではｌ／ｈを８以上とすることでアドミッタンス
特性に優れた圧電振動子１１および２１が得られた。
、等個直列抵抗は１／ｈが８以下になると急激に増加し
、スプリアスもその範囲において発生、増大するため、
本発明ではｌ／ｈを８以上とすることでアドミッタンス
特性に優れた圧電振動子１１および２１が得られた。
第５図は本発明による圧電振動子の実装例とその周波数
調整方法を説明するための側面図であり、搭載基板６の
上面には圧電振動子１１（または２１）の外部接続端子
１４（または２３）に対応する導体層７を形成し、導体
層７の上にはスペーサ８を搭載してなる。そして圧電振
動子１１は、電極１３が下を向くようにして、端子１４
とスペーサ８とを半田または導電性接着材９等で接続す
る。
調整方法を説明するための側面図であり、搭載基板６の
上面には圧電振動子１１（または２１）の外部接続端子
１４（または２３）に対応する導体層７を形成し、導体
層７の上にはスペーサ８を搭載してなる。そして圧電振
動子１１は、電極１３が下を向くようにして、端子１４
とスペーサ８とを半田または導電性接着材９等で接続す
る。
かかる圧電振動子１１ （または２１）において、電極
１３ （または２２）の形成面を圧電体１２の表面とし
たとき、実装後に表呈する圧電体１２の裏面をサンドブ
ラスト等の機械加工手段で削って厚さｔをΔｔだけ薄く
する、例えば１＝６ｈ〜ｔｏｈ、ｔ＝５／８・ｈ〜２７
８・ｈの圧電体１２を使用した振動子１１の共振周波数
は、長さｌの１／１００量だけ厚さＬを薄（することで
、１．５％程度高い方向に調整されるようになる。
１３ （または２２）の形成面を圧電体１２の表面とし
たとき、実装後に表呈する圧電体１２の裏面をサンドブ
ラスト等の機械加工手段で削って厚さｔをΔｔだけ薄く
する、例えば１＝６ｈ〜ｔｏｈ、ｔ＝５／８・ｈ〜２７
８・ｈの圧電体１２を使用した振動子１１の共振周波数
は、長さｌの１／１００量だけ厚さＬを薄（することで
、１．５％程度高い方向に調整されるようになる。
なお、電極の質量を増減させる従来の周波数調整には、
エツチングまたはめっきを利用する方法、レーザトリミ
ング方法、蒸着方法が利用されているが、乾式であり自
動調整が可能であるレーザトリミング装置または蒸着装
置の設備費は通常のもので数千万円である。しかるに、
サンドブラスト装置を利用した周波数自動調整設備は、
数百万円程度であり、レーザトリミングおよび蒸着を利
用するものより安価に、設備を整えることができるよう
になる。
エツチングまたはめっきを利用する方法、レーザトリミ
ング方法、蒸着方法が利用されているが、乾式であり自
動調整が可能であるレーザトリミング装置または蒸着装
置の設備費は通常のもので数千万円である。しかるに、
サンドブラスト装置を利用した周波数自動調整設備は、
数百万円程度であり、レーザトリミングおよび蒸着を利
用するものより安価に、設備を整えることができるよう
になる。
以上説明したように本発明によれば、リチウムナイオベ
ート単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板から圧電体を切り
出し、一対の対向電極を該圧電体の同一面に形成したこ
とによって、圧電体は従来のものより薄くなって小型化
し、かつ、実装を容易ならしめると共に、圧電体の厚さ
と幅および長さと幅の相対関係について振動特性を高め
る規制を付与し、従来のものと性能が同程度であり小型
化した圧電振動素子を提供し、その周波数調整は表呈す
る圧電体の裏面を機械加工手段で削ることにより、周波
数調整に必要とする設備費を大幅に低減できるようにし
た効果がある。
ート単結晶の６０度〜９５度回転Ｙ板から圧電体を切り
出し、一対の対向電極を該圧電体の同一面に形成したこ
とによって、圧電体は従来のものより薄くなって小型化
し、かつ、実装を容易ならしめると共に、圧電体の厚さ
と幅および長さと幅の相対関係について振動特性を高め
る規制を付与し、従来のものと性能が同程度であり小型
化した圧電振動素子を提供し、その周波数調整は表呈す
る圧電体の裏面を機械加工手段で削ることにより、周波
数調整に必要とする設備費を大幅に低減できるようにし
た効果がある。
第１図は本発明の実施例による圧電振動素子、第２図は
本発明の回転Ｙ板における回転角度依存性を示す図、 第３図は本発明の実施例におけるアドミッタンス特性図
、 第４図はｌ／ｈと等個直列抵抗との関係を示す図、 第５図は本発明による圧電振動子の実装例とその周波数
調整方法の説明図、 第６図は従来の圧電振動素子、 第７図は従来の圧電振動素子の実装例、である。 図中において、 １１．２１は圧電振動素子、 １２は圧電体、 １３．２２は電極、 １４．２３は外部接続用端子、 ｈは圧電体の幅、 ｌは圧電体の長さ、 ｔは圧電体の厚さ、 を示す。 絖明め火抱例１−Ｊ：ろ万電坂動索チ 第 １ 図 （Ａ） Ｇｏ ７０ ８０ ’１０（、度）回
転角度 本奈明の回転わ坂１一方・ｆすが丑転角度依存・ｊ生と
示す図第 ２ 図 （、ｆｌ） ｆ２／江と尊イ面直タ１１抵抗との関係と示す図＄ ４
図 Ｃｄ Ｂ） ２．１５ ２Ｊ８ ２，２ｊ ２，２４２２
７ ２．３周 ノｔ （更 （Ｍ
目２）本完日月の寅施發１ｉｓ、３１するアドミ・・／
夕〉又特住図第３図 従来の圧電板動索） 第 ６ 図
本発明の回転Ｙ板における回転角度依存性を示す図、 第３図は本発明の実施例におけるアドミッタンス特性図
、 第４図はｌ／ｈと等個直列抵抗との関係を示す図、 第５図は本発明による圧電振動子の実装例とその周波数
調整方法の説明図、 第６図は従来の圧電振動素子、 第７図は従来の圧電振動素子の実装例、である。 図中において、 １１．２１は圧電振動素子、 １２は圧電体、 １３．２２は電極、 １４．２３は外部接続用端子、 ｈは圧電体の幅、 ｌは圧電体の長さ、 ｔは圧電体の厚さ、 を示す。 絖明め火抱例１−Ｊ：ろ万電坂動索チ 第 １ 図 （Ａ） Ｇｏ ７０ ８０ ’１０（、度）回
転角度 本奈明の回転わ坂１一方・ｆすが丑転角度依存・ｊ生と
示す図第 ２ 図 （、ｆｌ） ｆ２／江と尊イ面直タ１１抵抗との関係と示す図＄ ４
図 Ｃｄ Ｂ） ２．１５ ２Ｊ８ ２，２ｊ ２，２４２２
７ ２．３周 ノｔ （更 （Ｍ
目２）本完日月の寅施發１ｉｓ、３１するアドミ・・／
夕〉又特住図第３図 従来の圧電板動索） 第 ６ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）リチウムナイオベート単結晶を圧電体（１２）と
する圧電振動素子にして、断面四角形の棒状である該圧
電体（１２）の電極形成面を該単結晶の６０度〜９５度
回転Ｙ板の切り出し面とし、一対の対向電極（１３、２
２）を同一の該電極形成面に形成してなることを特徴と
する圧電振動素子。 （２）前記圧電体（１２）の長さをｌとしたとき、長さ
ｌの方向を前記回転Ｙ板のＸ軸に対し９０度±５度の方
向としたことを特徴とする前記請求項１に記載した圧電
振動素子。（３）前記電極形成面から見た前記圧電体（
１２）の幅をｈ、厚さをｔとしたとき、厚さｔが幅ｈの
１／２以下であることを特徴とする前記請求項１または
２に記載した圧電振動素子。 （４）前記圧電体（１２）の長さｌと幅ｈとの関係が、
ｌ／ｈ＞８ であることを特徴とする前記請求項１〜３の何れかに記
載した圧電振動素子。 （５）前記対向電極（２２）と同一面に形成された外部
接続用端子（２３）が、前記圧電体（１２）の長さｌ方
向の端部かつ幅ｈ方向の中央に形成しなることを特徴と
する前記請求項１〜４の何れかに記載した圧電振動素子
。 （６）一対の前記対向電極（１３、２２）を形成した面
を前記圧電体（１２）の表面としたとき、共振周波数の
調整は該圧電体（１２）の裏面を機械的手段で削ること
を特徴とする圧電振動素子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158664A JP2854581B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧電振動素子とその周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158664A JP2854581B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧電振動素子とその周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027705A true JPH027705A (ja) | 1990-01-11 |
| JP2854581B2 JP2854581B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=15676658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63158664A Expired - Lifetime JP2854581B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧電振動素子とその周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2854581B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5736018U (ja) * | 1980-08-11 | 1982-02-25 | ||
| JPS59156013A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-05 | Hiroshi Shimizu | 高結合弾性表面波圧電基板 |
| JPS60113511A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Fujitsu Ltd | 圧電振動素子 |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP63158664A patent/JP2854581B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5736018U (ja) * | 1980-08-11 | 1982-02-25 | ||
| JPS59156013A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-05 | Hiroshi Shimizu | 高結合弾性表面波圧電基板 |
| JPS60113511A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Fujitsu Ltd | 圧電振動素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2854581B2 (ja) | 1999-02-03 |
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