JPH0277366U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0277366U JPH0277366U JP15792288U JP15792288U JPH0277366U JP H0277366 U JPH0277366 U JP H0277366U JP 15792288 U JP15792288 U JP 15792288U JP 15792288 U JP15792288 U JP 15792288U JP H0277366 U JPH0277366 U JP H0277366U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- gate
- view
- operating state
- section
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示すゲート部の
支持部の拡大斜視図、第２図はゲート部の支持部
の動作状態を説明する図、第３図ａ〜ｃは従来お
よびこの考案共通のゲート部の動作説明図、第４
図〜第６図は従来のゲート部と外箱を示した図で
、第４図は全体展開斜視図、第５図はトレーラー
部を外した状態のゲート部の展開斜視図、第６図
は外箱の背面斜視図である。 図において、６はゲート部、８は支持部、８ａ
は切欠き、９はばね、１０は連結棒を示す。なお
、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す
。
支持部の拡大斜視図、第２図はゲート部の支持部
の動作状態を説明する図、第３図ａ〜ｃは従来お
よびこの考案共通のゲート部の動作説明図、第４
図〜第６図は従来のゲート部と外箱を示した図で
、第４図は全体展開斜視図、第５図はトレーラー
部を外した状態のゲート部の展開斜視図、第６図
は外箱の背面斜視図である。 図において、６はゲート部、８は支持部、８ａ
は切欠き、９はばね、１０は連結棒を示す。なお
、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す
。
Claims (1)
- 真空チヤンバに使用するゲートバルブにおいて
、バルブの駆動源が遮断された場合にもバルブ動
作状態を保持するロツク機構を持つことを特徴と
するゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15792288U JPH0277366U (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15792288U JPH0277366U (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0277366U true JPH0277366U (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=31437786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15792288U Pending JPH0277366U (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0277366U (ja) |
-
1988
- 1988-12-02 JP JP15792288U patent/JPH0277366U/ja active Pending