JPH0278885U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0278885U JPH0278885U JP15832688U JP15832688U JPH0278885U JP H0278885 U JPH0278885 U JP H0278885U JP 15832688 U JP15832688 U JP 15832688U JP 15832688 U JP15832688 U JP 15832688U JP H0278885 U JPH0278885 U JP H0278885U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- shaft
- drive shaft
- valve
- body drive
- Prior art date
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- Granted
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- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例による超高真空バルブ
の部分断面図、第２図は第１図における―線
方向断面図、第３図は同―線方向断面図、第
４図は本実施例の真空バルブの各部材の分解斜視
図、第５Ａ図、第５Ｂ図はこれら部材の組立て手
順を示す断面図、第６図は従来例の真空バルブの
断面図、第７図は同バルブの各部材の分解斜視図
、第８Ａ図乃至第８Ｄ図は各部材の組立て手順を
示す断面図である。 なお図において、５８……弁体、６２……係合
板、６２ａ……孔、６３……弁体駆動軸、６３ａ
……軸頭部。
の部分断面図、第２図は第１図における―線
方向断面図、第３図は同―線方向断面図、第
４図は本実施例の真空バルブの各部材の分解斜視
図、第５Ａ図、第５Ｂ図はこれら部材の組立て手
順を示す断面図、第６図は従来例の真空バルブの
断面図、第７図は同バルブの各部材の分解斜視図
、第８Ａ図乃至第８Ｄ図は各部材の組立て手順を
示す断面図である。 なお図において、５８……弁体、６２……係合
板、６２ａ……孔、６３……弁体駆動軸、６３ａ
……軸頭部。
Claims (1)
- 弁本体と、該弁本体内に配設される弁体と、前
記弁本体の開口部に形成される弁座と、前記弁体
に形成された凹所に軸頭部を位置させた弁体駆動
軸と、前記弁体に固定され前記弁体駆動軸を挿通
させる孔を有し、前記弁体駆動軸の軸頭部の前記
凹所からの抜け止めを行なう係合板と、前記弁体
駆動軸をその軸方向に往復動させ、前記弁体を前
記弁座に着座させ、かつ該弁座から離座させる弁
体駆動部と、前記弁体駆動軸を摺動自在に案内支
持する環状部材と、該環状部材と前記弁体とに両
端部が固定され、前記弁体駆動軸を包囲するベロ
ースとを具備した真空バルブにおいて、前記弁体
駆動軸の軸頭部の断面形状を非円形状とし、前記
係合板の孔の形状を非円形状でかつ前記軸頭部を
挿通可能な形状とし、組立時には前記軸頭部を前
記係合板の孔に挿通させて前記弁体の凹所に位置
させた後、前記弁体駆動軸をその軸心の周りに、
ある角度回動させて前記軸頭部の前記係合板によ
る前記凹所からの抜け止めを行なうようにしたこ
とを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158326U JPH0544628Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158326U JPH0544628Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0278885U true JPH0278885U (ja) | 1990-06-18 |
| JPH0544628Y2 JPH0544628Y2 (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=31438551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988158326U Expired - Lifetime JPH0544628Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544628Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008175265A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Smc Corp | 高真空バルブ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59153775U (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | 日本電子株式会社 | バルブ開閉速度制御機構 |
| JPS60128065U (ja) * | 1984-02-07 | 1985-08-28 | 株式会社クボタ | アングル弁の弁体と弁棒の連結構造 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP1988158326U patent/JPH0544628Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59153775U (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | 日本電子株式会社 | バルブ開閉速度制御機構 |
| JPS60128065U (ja) * | 1984-02-07 | 1985-08-28 | 株式会社クボタ | アングル弁の弁体と弁棒の連結構造 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008175265A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Smc Corp | 高真空バルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544628Y2 (ja) | 1993-11-12 |