JPH0278911A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JPH0278911A JPH0278911A JP63231257A JP23125788A JPH0278911A JP H0278911 A JPH0278911 A JP H0278911A JP 63231257 A JP63231257 A JP 63231257A JP 23125788 A JP23125788 A JP 23125788A JP H0278911 A JPH0278911 A JP H0278911A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 229910003266 NiCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、磁気センサに関し、ざらに詳しくは配線基板
等に対する取付は態様の改良を図った磁気セン“す゛に
関する。
等に対する取付は態様の改良を図った磁気セン“す゛に
関する。
(従来の技術)
強磁性薄膜層を基板上に所定のパターンで形成し、強磁
性薄膜層に外部磁界が作用するときこの部分の磁気抵抗
が変化することを利用して回転体等の変位検出を行う磁
気センサとして従来第8図に示すものが知られている。
性薄膜層に外部磁界が作用するときこの部分の磁気抵抗
が変化することを利用して回転体等の変位検出を行う磁
気センサとして従来第8図に示すものが知られている。
同図に示す磁気センサ30は、ガラス製の基板31上に
フォトエツチング方法によりNiCo等の磁気抵抗効果
を発揮する強磁性薄膜パターンを同図に示す形状に形成
して一対の感磁部MRt 。
フォトエツチング方法によりNiCo等の磁気抵抗効果
を発揮する強磁性薄膜パターンを同図に示す形状に形成
して一対の感磁部MRt 。
MR2とするとともに両感磁部MRt 、MR2の両端
部及び接続部には電極部32a、32b。
部及び接続部には電極部32a、32b。
32Gを設け、各電極部32a、32b、32cにそれ
ぞれリード端子33a、33b、33cを接続配置した
ものである。
ぞれリード端子33a、33b、33cを接続配置した
ものである。
ところで、この磁気センサ30を所定の配線パターンを
形成した配線基板34に取付は実際の使用に供する場合
には、第9図に示すように各電極部32a、32b、3
2cから導出した各リード端子33a、33b、33c
を配線基板34上の配線パターンに半田付等により接続
固定する。
形成した配線基板34に取付は実際の使用に供する場合
には、第9図に示すように各電極部32a、32b、3
2cから導出した各リード端子33a、33b、33c
を配線基板34上の配線パターンに半田付等により接続
固定する。
しかしながら、この磁気センサ30の場合、単に基板3
1から各リート端子33a、33b。
1から各リート端子33a、33b。
33Cを突出させただけの構成であるため、各リート端
子33a、33b、33cと配線パターンとの接続の仕
方によっては第9図に示すように配線基板34に対し磁
気センサ30が傾斜配置に接続固定され、この結果、こ
の磁気セン+130による外部磁界の検出動作が不正確
になるという問題がある。
子33a、33b、33cと配線パターンとの接続の仕
方によっては第9図に示すように配線基板34に対し磁
気センサ30が傾斜配置に接続固定され、この結果、こ
の磁気セン+130による外部磁界の検出動作が不正確
になるという問題がある。
このような問題を解決するため、従来においても配線基
板34へ磁気センサ30を正確な配置で取付ける取付部
材を用意する試みもなされているが、この取付部材は、
例えば磁気センサ30@装着するセンサ装着孔を有し、
かつ、一方の端部を支点とし、他方の端部に位置調整用
の鋸歯状部を設けた構成であるため、その構造が複雑化
し製造コトスも高くなってしまうという問題がある。
板34へ磁気センサ30を正確な配置で取付ける取付部
材を用意する試みもなされているが、この取付部材は、
例えば磁気センサ30@装着するセンサ装着孔を有し、
かつ、一方の端部を支点とし、他方の端部に位置調整用
の鋸歯状部を設けた構成であるため、その構造が複雑化
し製造コトスも高くなってしまうという問題がある。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、簡略な
構成で製造コストを低減でき、かつ、取付部材を用いる
ことなく配線基板に対し正確に取付けることができる磁
気センサを提供することを目的とするものである。
構成で製造コストを低減でき、かつ、取付部材を用いる
ことなく配線基板に対し正確に取付けることができる磁
気センサを提供することを目的とするものである。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
請求項1記載の発明は、基板と、この基板上に形成した
感磁部と、この感磁部に対する電気信号伝送用の電極部
とを備えたセンサ部と、前記電極部から導出した複数の
リード端子とを有する磁気センサにおいて、前記センサ
部及びこのセンサ部から所定間隔を隔てた各リード端子
の領域をそれぞれ樹脂被覆することにより構成したもの
でおる。
感磁部と、この感磁部に対する電気信号伝送用の電極部
とを備えたセンサ部と、前記電極部から導出した複数の
リード端子とを有する磁気センサにおいて、前記センサ
部及びこのセンサ部から所定間隔を隔てた各リード端子
の領域をそれぞれ樹脂被覆することにより構成したもの
でおる。
請求項2記載の発明は、基板と、この基板上に形成した
感磁部と、この感磁部に対する電気信号伝送用の電極部
とを備えたセンサ部と、前記電極部から導出した複数の
リード端子とを有する磁気センサにおいて、前記センサ
部外周を被覆するセンサ被覆部と、前記センサ部から所
定間隔を隔てた各リード端子の領域を被覆する端子被覆
部と、この端子被覆部に設けられ前記センサ被覆部で覆
われたセンサ部の端部が嵌合可能なセンサ受部と、前記
端子被覆部を貫通する取付孔部とを有するものである。
感磁部と、この感磁部に対する電気信号伝送用の電極部
とを備えたセンサ部と、前記電極部から導出した複数の
リード端子とを有する磁気センサにおいて、前記センサ
部外周を被覆するセンサ被覆部と、前記センサ部から所
定間隔を隔てた各リード端子の領域を被覆する端子被覆
部と、この端子被覆部に設けられ前記センサ被覆部で覆
われたセンサ部の端部が嵌合可能なセンサ受部と、前記
端子被覆部を貫通する取付孔部とを有するものである。
(作 用)
以下に上記構成の磁気センサの作用を特徴する
請求項1記載の磁気センサによれば、センサ部が樹脂被
覆され、また、このセンサ部から所定間隔を隔てた各リ
ード端子の領域が樹脂被覆されているので、センサ部と
樹脂被覆されたリード端子との間に各リード端子の露出
部分が生じ、この露出部分を折曲げることにより樹脂被
覆されたリード端子外周部分を配線基板等に対する取付
部材として機能させることができ、これによりセンサ部
を配線基板等に正確に取付けることが可能となる。
覆され、また、このセンサ部から所定間隔を隔てた各リ
ード端子の領域が樹脂被覆されているので、センサ部と
樹脂被覆されたリード端子との間に各リード端子の露出
部分が生じ、この露出部分を折曲げることにより樹脂被
覆されたリード端子外周部分を配線基板等に対する取付
部材として機能させることができ、これによりセンサ部
を配線基板等に正確に取付けることが可能となる。
請求項2記載の磁気センサによれば、センサ部がセンサ
被覆部により、リード端子の所定の領域が端子被覆部に
よりそれぞれ被覆され、センサ被覆部と端子被覆部との
間にリード端子の露出部分が生じるので、この露出部分
を折曲げることにより、端子被覆部を配線基板等に対す
る取付部材として機能ざぜることができるとともに、折
曲げたセンサ被覆部を有するセンサ部を端子被覆部に設
けたセンサ受部に嵌合することによりセンサ部の取付状
態が安定し、さらに、端子被覆部には取付孔部が設けら
れているので配線基板に対する取付けの便宜を図れる。
被覆部により、リード端子の所定の領域が端子被覆部に
よりそれぞれ被覆され、センサ被覆部と端子被覆部との
間にリード端子の露出部分が生じるので、この露出部分
を折曲げることにより、端子被覆部を配線基板等に対す
る取付部材として機能ざぜることができるとともに、折
曲げたセンサ被覆部を有するセンサ部を端子被覆部に設
けたセンサ受部に嵌合することによりセンサ部の取付状
態が安定し、さらに、端子被覆部には取付孔部が設けら
れているので配線基板に対する取付けの便宜を図れる。
(実施例)
以下に本発明の詳細な説明する。
まず、第1図乃至第3図を参照して本発明の第1の実施
例を説明する。
例を説明する。
第1図に示す磁気センサ1は、詳細は後述するセンサ部
4の外周全体を被覆したセンサ被覆部2と、センサ部4
から導出した詳細は後述する3本のリード端子5a、5
b、5cを所定の範囲に亘って、かつ、所定の形状で被
覆する端子被覆部3とを有している。
4の外周全体を被覆したセンサ被覆部2と、センサ部4
から導出した詳細は後述する3本のリード端子5a、5
b、5cを所定の範囲に亘って、かつ、所定の形状で被
覆する端子被覆部3とを有している。
前記センサ部4は、第2図に示すように従来例の場合と
同様に、ガラス製の基板31の一方の面にフートエツチ
ングの方法により同図に示すパターンの磁気抵抗効果を
発揮する例えばNiC0等の強磁性薄膜層からなる感磁
部MRz 、MR2を形成するとともに、従来例と同様
な電極部32a。
同様に、ガラス製の基板31の一方の面にフートエツチ
ングの方法により同図に示すパターンの磁気抵抗効果を
発揮する例えばNiC0等の強磁性薄膜層からなる感磁
部MRz 、MR2を形成するとともに、従来例と同様
な電極部32a。
32b、32C8−設けた構成となっている。
また、前記各リード端子5a乃至5Cのうち、第3図に
示すように電極部32bに半田付けにより接続する中央
のリード端子5bは、直線状態に形成され、電極部32
8.32Gに半田付けする両側のリード端子5a、5c
は、センサ部4から一定長の直線部6a1.6Ctとそ
れぞれ外方に拡開する拡開部682.6C2と、この拡
開部6a2,6C2に続く直線部6a3,6C3とをそ
れぞれ具備する構成となっている。そして、第3図に二
点1′1線を付して示すように、前記センサ部4の全外
周に例えば膜厚数十乃至数百μm程度の酸化ケイ素、窒
化ケイ素等からなるセンサ被覆部2を成形加工する。
示すように電極部32bに半田付けにより接続する中央
のリード端子5bは、直線状態に形成され、電極部32
8.32Gに半田付けする両側のリード端子5a、5c
は、センサ部4から一定長の直線部6a1.6Ctとそ
れぞれ外方に拡開する拡開部682.6C2と、この拡
開部6a2,6C2に続く直線部6a3,6C3とをそ
れぞれ具備する構成となっている。そして、第3図に二
点1′1線を付して示すように、前記センサ部4の全外
周に例えば膜厚数十乃至数百μm程度の酸化ケイ素、窒
化ケイ素等からなるセンサ被覆部2を成形加工する。
同様に、前記各リード端子5a乃至5Cのうち、リード
端子5a、5Cの直線部6a1.6C1の一部、拡開部
682.602 、直線部6a3゜603の一部及びリ
ード端子5bの前記各部に対応する部分を含む第3図に
二、点鎖線を付して示す領域に、やはり膜厚数十乃至数
百μm程度の酸化ケイ素、窒化ケイ素等からなるセンサ
被覆部3を成形加工する。
端子5a、5Cの直線部6a1.6C1の一部、拡開部
682.602 、直線部6a3゜603の一部及びリ
ード端子5bの前記各部に対応する部分を含む第3図に
二、点鎖線を付して示す領域に、やはり膜厚数十乃至数
百μm程度の酸化ケイ素、窒化ケイ素等からなるセンサ
被覆部3を成形加工する。
上述した端子被覆部2と端子被覆部3との相対向する面
の間隔は例えば5乃至20mIn程度に設定する。
の間隔は例えば5乃至20mIn程度に設定する。
このようにして、第1図に示す形状を有する磁気センサ
1を製造した俊、センサ被覆部2と端子被覆部3との間
における各リード端子5a、5b。
1を製造した俊、センサ被覆部2と端子被覆部3との間
における各リード端子5a、5b。
5Cの露出部分を前記両波覆部2.:ll;90度の角
度配置を呈するように折曲げる。そして、第4図に示す
ように端子被覆部3の一方の面を配線基板34上に載置
固定するとともに、端子被覆部3から突出する各リード
端子5a乃至5Cの端部を配線基板34上の配線パター
ン35に半田7を用いて接続することにより、この磁気
センサ1の配線基板34に対する取付けが完了する。
度配置を呈するように折曲げる。そして、第4図に示す
ように端子被覆部3の一方の面を配線基板34上に載置
固定するとともに、端子被覆部3から突出する各リード
端子5a乃至5Cの端部を配線基板34上の配線パター
ン35に半田7を用いて接続することにより、この磁気
センサ1の配線基板34に対する取付けが完了する。
この磁気センサ1によれば、端子被覆部3が配線基板3
4に対する取付部材として機能し、従来例のごとき複雑
な構成の取付部材が不要となって製造コストが低廉とな
る。そして、各リード端子5a乃至5Cの露出部分(折
曲部分)が予め一定の長さに設定され均等に折曲げられ
るので、センサ被覆部2により被覆されているセンサ部
4が、配線基板34に対し傾斜することがなく正確な配
置で配線基板34の上方に支持されることになる。
4に対する取付部材として機能し、従来例のごとき複雑
な構成の取付部材が不要となって製造コストが低廉とな
る。そして、各リード端子5a乃至5Cの露出部分(折
曲部分)が予め一定の長さに設定され均等に折曲げられ
るので、センサ被覆部2により被覆されているセンサ部
4が、配線基板34に対し傾斜することがなく正確な配
置で配線基板34の上方に支持されることになる。
この結果、外周にN、Sの磁極を付した回転体8の回転
変位を正確、かつ、感度良く検出できる。
変位を正確、かつ、感度良く検出できる。
次に、本発明の実施例の弛例を第5図、第6図を参照し
て説明する。
て説明する。
尚、第5図、第6図に示す磁気センサ1Aにおいて、前
記磁気センサ1と同一の機能を有するものには同一の符
号を付して示す。
記磁気センサ1と同一の機能を有するものには同一の符
号を付して示す。
この磁気センサ1Aが前記磁気センサ1と異なる点は、
端子被覆部13を直方体状とし、この端子被覆部13の
上面に、前記センサ被覆部2の端部2a、2bが嵌合可
能なセンサ受部14a。
端子被覆部13を直方体状とし、この端子被覆部13の
上面に、前記センサ被覆部2の端部2a、2bが嵌合可
能なセンサ受部14a。
14bを設けた受部材15a、15bを取付けたこと、
端子被覆部13を貫通する2個の取付孔部16を設けた
こと、前記センサ部4の感磁部MR1,MR2を第5図
においてセンサ被覆部2の下面側に配置したことである
。
端子被覆部13を貫通する2個の取付孔部16を設けた
こと、前記センサ部4の感磁部MR1,MR2を第5図
においてセンサ被覆部2の下面側に配置したことである
。
そして、第5図に示す形状の磁気センサ1Aにおける各
す−ド喘子5a乃至5Cの露出部分を折曲げセンサ被覆
部4の端部2a、2bを前記センサ受部14a、14b
にそれぞれ嵌合させ、このセンサ被覆部4を端子被覆部
13に対し直交配置とする。
す−ド喘子5a乃至5Cの露出部分を折曲げセンサ被覆
部4の端部2a、2bを前記センサ受部14a、14b
にそれぞれ嵌合させ、このセンサ被覆部4を端子被覆部
13に対し直交配置とする。
この状態で端子被覆部13の下面を配線基板34上に載
置固定するとともに、各リード端子5a乃至5Cの突出
端部と配置基板34に設けた配線パターン35とを半田
7により接続し、さらに、前記取付孔部16及び配線基
板34に設けた孔にボルト17を挿通しこのボルト17
にナツト1Bを螺合して締付けることにより、この磁気
センサ1Aの配線基板34に対する取付けが完了する。
置固定するとともに、各リード端子5a乃至5Cの突出
端部と配置基板34に設けた配線パターン35とを半田
7により接続し、さらに、前記取付孔部16及び配線基
板34に設けた孔にボルト17を挿通しこのボルト17
にナツト1Bを螺合して締付けることにより、この磁気
センサ1Aの配線基板34に対する取付けが完了する。
この磁気セン’+IAによれば、前記磁気センサ1と
同様な作用を発揮するとともにセンサ被覆部4がセンサ
受部14a、1’4bにより安定した状態で保持される
とともに、端子被覆部13をボルト17及びナツト18
により配線基板34上に容易かつ確実に取付けることが
できる。
同様な作用を発揮するとともにセンサ被覆部4がセンサ
受部14a、1’4bにより安定した状態で保持される
とともに、端子被覆部13をボルト17及びナツト18
により配線基板34上に容易かつ確実に取付けることが
できる。
第7図は本発明の実施例のざらに他例を示すものであり
、同図に示す磁気センサ1Bが第5図に示す磁気センサ
1Aと異なる点は、端子被覆部13の受部材15a、1
5bの間に例えばセンサ被覆部4側をN極、リート端子
5a乃至5Cの突出端部側をS極とするバイアス磁石1
9を取付けたことである。
、同図に示す磁気センサ1Bが第5図に示す磁気センサ
1Aと異なる点は、端子被覆部13の受部材15a、1
5bの間に例えばセンサ被覆部4側をN極、リート端子
5a乃至5Cの突出端部側をS極とするバイアス磁石1
9を取付けたことである。
この磁気センサ1Bは、前記磁気センサ1Aと同様な作
用を発揮することに加え、バイアス磁石19の磁界の作
用でセンサ部4の感磁部MR1。
用を発揮することに加え、バイアス磁石19の磁界の作
用でセンサ部4の感磁部MR1。
MR2の感磁特性を、前記磁気センサ1,1Aの場合と
異ならせることができる。
異ならせることができる。
本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、
その要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
その要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
[発明の効果]
以上詳述した本発明は以下の効果を奏する。
請求項1記載の発明によれば、センサ部とリード端子の
一部とを個別的に樹脂被窄したことにより、構成の簡略
化、製造コストの低減化を図れるとともに、取付状態の
正確性を期することができる磁気センサを提供すること
ができる。
一部とを個別的に樹脂被窄したことにより、構成の簡略
化、製造コストの低減化を図れるとともに、取付状態の
正確性を期することができる磁気センサを提供すること
ができる。
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明の効
果に加え、センサ部の安定保持と配線基板等に対する取
付けの便宜とを計れる磁気センサを提供することができ
る。
果に加え、センサ部の安定保持と配線基板等に対する取
付けの便宜とを計れる磁気センサを提供することができ
る。
第1図は本発明の磁気センサの実施例を示1斜視図、第
2図は第1図に示ツ磁気センサにおけるセンサ部を示す
斜視図、第3図は本実施例の磁気センサの内部構成を示
す斜視図、第4図は同上の使用状態を示す側面図、第5
図は本発明の実施例の他例を示す斜視図、第6図は第5
図に示す磁気センサの使用状態を示す側面図、第7図は
本発明の実施例のざらに他例を示す斜視図、第8図は従
来の磁気センサの一例を示す斜視図、第9図は第8図に
示す磁気センサの配線基板に対する取付状態を示す正面
図である。 1.1A、 1B・・・磁気センサ 2・・・センサ被覆部、 3,13・・・端子被覆部、
4・・・センサ“部、5a、5b、5c・・・リード端
子、14a、14b・・・センサー受部、 31・・・
基板、32a、32b、32c・・・電(へ部、MRl
、MR2・・・感磁部。 代理人 弁理士 三 澤 正 義架補第4図 b 第 6 図 第7図 3’l MR2 3♀ \ 33c 33b 34第9図
2図は第1図に示ツ磁気センサにおけるセンサ部を示す
斜視図、第3図は本実施例の磁気センサの内部構成を示
す斜視図、第4図は同上の使用状態を示す側面図、第5
図は本発明の実施例の他例を示す斜視図、第6図は第5
図に示す磁気センサの使用状態を示す側面図、第7図は
本発明の実施例のざらに他例を示す斜視図、第8図は従
来の磁気センサの一例を示す斜視図、第9図は第8図に
示す磁気センサの配線基板に対する取付状態を示す正面
図である。 1.1A、 1B・・・磁気センサ 2・・・センサ被覆部、 3,13・・・端子被覆部、
4・・・センサ“部、5a、5b、5c・・・リード端
子、14a、14b・・・センサー受部、 31・・・
基板、32a、32b、32c・・・電(へ部、MRl
、MR2・・・感磁部。 代理人 弁理士 三 澤 正 義架補第4図 b 第 6 図 第7図 3’l MR2 3♀ \ 33c 33b 34第9図
Claims (2)
- (1)基板と、この基板上に形成した感磁部と、この感
磁部に対する電気信号伝送用の電極部とを備えたセンサ
部と、前記電極部から導出した複数のリード端子とを有
する磁気センサにおいて、前記センサ部及びこのセンサ
部から所定間隔を隔てた各リード端子の領域をそれぞれ
樹脂被覆したことを特徴とする磁気センサ。 - (2)基板と、この基板上に形成した感磁部と、この感
磁部に対する電機信号伝送用の電極部とを備えたセンサ
部と、前記電極部から導出した複数のリード端子とを有
する磁気センサにおいて、前記センサ部外周を被覆する
センサ被覆部と、前記センサ部から所定間隔を隔てた各
リード端子の領域を被覆する端子被覆部と、この端子被
覆部に設けられ前記センサ被覆部で覆われたセンサ部の
端部が嵌合可能なセンサ受部と、前記端子被覆部を貫通
する取付孔部とを有することを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63231257A JPH0278911A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63231257A JPH0278911A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0278911A true JPH0278911A (ja) | 1990-03-19 |
Family
ID=16920781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63231257A Pending JPH0278911A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0278911A (ja) |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP63231257A patent/JPH0278911A/ja active Pending
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