JPH0279025U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0279025U JPH0279025U JP15810388U JP15810388U JPH0279025U JP H0279025 U JPH0279025 U JP H0279025U JP 15810388 U JP15810388 U JP 15810388U JP 15810388 U JP15810388 U JP 15810388U JP H0279025 U JPH0279025 U JP H0279025U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz tube
- quartz
- main body
- tube
- peripheral guide
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案の実施例を示す要部側
断面図及びそのＢ−Ｂ線断面図、第３図、第４図
は従来構成例を示す要部側断面図及びそのＡ−Ａ
線断面図である。 １……石英チユーブ本体、１１……石英チユー
ブ、２……熱均一管、３……周辺ガイド。
断面図及びそのＢ−Ｂ線断面図、第３図、第４図
は従来構成例を示す要部側断面図及びそのＡ−Ａ
線断面図である。 １……石英チユーブ本体、１１……石英チユー
ブ、２……熱均一管、３……周辺ガイド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 熱均一管内に挿抜される半導体製造用石英
チユーブにおいて、 本体の外周に、複数本の長手方向の周辺ガイド
を等間隔に配設したことを特徴とする石英チユー
ブ。 (2) 周辺ガイドの先端に丸味をつけた請求項(1)
記載の石英チユーブ。 (3) 周辺ガイドが本体と同一純度の石英からな
る請求項(1)又は(2)記載の石英チユーブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810388U JPH0279025U (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810388U JPH0279025U (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279025U true JPH0279025U (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=31438129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15810388U Pending JPH0279025U (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0279025U (ja) |
-
1988
- 1988-12-06 JP JP15810388U patent/JPH0279025U/ja active Pending