JPH0279352A - 封入ガス分析装置 - Google Patents
封入ガス分析装置Info
- Publication number
- JPH0279352A JPH0279352A JP63229782A JP22978288A JPH0279352A JP H0279352 A JPH0279352 A JP H0279352A JP 63229782 A JP63229782 A JP 63229782A JP 22978288 A JP22978288 A JP 22978288A JP H0279352 A JPH0279352 A JP H0279352A
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- Japan
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- gas
- valve
- pressure
- reservoir chamber
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ランプなどの破壊可能な封体に封入されたガ
スの分析装置と分析方法に関するものである。
スの分析装置と分析方法に関するものである。
白熱電球や放電灯などのランプは、そのガラス封体内に
不活性ガスやハロゲンガスなどの各種のガスが封入され
ているが、所定のランプ特性を発揮させるためには、こ
れらのガスは所定量だけ正確に封入する必要がある。従
って、製造されたランプのロットから供試ランプをサン
プリングし、その封入ガスを分析して点検する必要が生
じる。
不活性ガスやハロゲンガスなどの各種のガスが封入され
ているが、所定のランプ特性を発揮させるためには、こ
れらのガスは所定量だけ正確に封入する必要がある。従
って、製造されたランプのロットから供試ランプをサン
プリングし、その封入ガスを分析して点検する必要が生
じる。
ところで従来の分析装置は、例えば、真空計が取り付け
られたガスリザーバー室を真空に排気し、このガスリザ
ーバー室内で封体を破壊してガス圧を測定し、その後ヘ
リウムなどのキャリアーガスをガスリザーバー室に導入
して２０００ トール程度の設定圧にし、この混合ガス
をガスクロマ１−グラフィーＧＣへ導入し、ＧＣでガス
成分を分離後、質量分析計ＭＳへガスを導入し１分析し
ていた。従って、先ず、キャリアーガスをガスリザーバ
ー室に導入して数十トール程度の封入ガスを拡散させて
均一に混合し、設定圧にするのに１０分間程度の時間を
要していた。また、ガスリザーバー室内で封体を破壊す
るため、ガスリザーバー室から破壊された封体を取り出
す作業が煩雑であり、手間を要していた。
られたガスリザーバー室を真空に排気し、このガスリザ
ーバー室内で封体を破壊してガス圧を測定し、その後ヘ
リウムなどのキャリアーガスをガスリザーバー室に導入
して２０００ トール程度の設定圧にし、この混合ガス
をガスクロマ１−グラフィーＧＣへ導入し、ＧＣでガス
成分を分離後、質量分析計ＭＳへガスを導入し１分析し
ていた。従って、先ず、キャリアーガスをガスリザーバ
ー室に導入して数十トール程度の封入ガスを拡散させて
均一に混合し、設定圧にするのに１０分間程度の時間を
要していた。また、ガスリザーバー室内で封体を破壊す
るため、ガスリザーバー室から破壊された封体を取り出
す作業が煩雑であり、手間を要していた。
そこで本発明は、短時間で、かつ簡単にランプなどの封
入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析できる装
置と方法を提供することを目的とするものである。
入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析できる装
置と方法を提供することを目的とするものである。
本発明の分析装置は、カセット式の封体破壊室と、標準
ガス供給器と、この封体破壊室および標準ガス供給器に
バルブと必要に応じてオリフィスを介して連結され、隔
膜真空計が取り付けられたガスリザーバー室と、このガ
スリザーバー室にオリフィスとバルブを介して連結され
た質量分析計と、ガスリザーバー室に空圧式自動バルブ
を介して連結された真空ポンプとよりなることを特徴と
するものである。
ガス供給器と、この封体破壊室および標準ガス供給器に
バルブと必要に応じてオリフィスを介して連結され、隔
膜真空計が取り付けられたガスリザーバー室と、このガ
スリザーバー室にオリフィスとバルブを介して連結され
た質量分析計と、ガスリザーバー室に空圧式自動バルブ
を介して連結された真空ポンプとよりなることを特徴と
するものである。
また、分析方法は、真空排気されたカセット式の封体破
壊室内で封体を破壊して封入ガスを隔膜真空計が取り付
けられたガスリザーバー室に導き、隔膜真空計でガス量
を測定した後に、空圧式自動バルブを開閉させてガスリ
ザーバー室を所定圧力にポンプダウンし、ガスリザーバ
ー室内の封入ガスを質量分析計に導いて分析することを
特徴とするものである。
壊室内で封体を破壊して封入ガスを隔膜真空計が取り付
けられたガスリザーバー室に導き、隔膜真空計でガス量
を測定した後に、空圧式自動バルブを開閉させてガスリ
ザーバー室を所定圧力にポンプダウンし、ガスリザーバ
ー室内の封入ガスを質量分析計に導いて分析することを
特徴とするものである。
すなわち、先ず、封体破壊室がカセット式であるので、
供試ランプの交換が極めて容易で、破壊された封体の回
収に手間を要しない。そして、封入ガスは封体破壊室か
ら真空排気されたガスリザーバー室に瞬時に導かれ、ガ
ス圧が８１１定される。
供試ランプの交換が極めて容易で、破壊された封体の回
収に手間を要しない。そして、封入ガスは封体破壊室か
ら真空排気されたガスリザーバー室に瞬時に導かれ、ガ
ス圧が８１１定される。
続いて、真空ポンプとガスリザーバー室との間に配置さ
れた空圧式自動バルブを開閉させてガス量ザーバー室を
所定圧力にポンプダウンし、減圧された封入ガスを質量
分析計にオリフィスを通して直接導くので、キャリヤー
ガスを必要とせず、封入ガスとキャリヤーガスを均一に
混合する必要がなく、極めて短時間でガス圧とガス組成
を測定することができる。また、キャリヤーガスとの均
一性の問題もないので、正確に測定することができる。
れた空圧式自動バルブを開閉させてガス量ザーバー室を
所定圧力にポンプダウンし、減圧された封入ガスを質量
分析計にオリフィスを通して直接導くので、キャリヤー
ガスを必要とせず、封入ガスとキャリヤーガスを均一に
混合する必要がなく、極めて短時間でガス圧とガス組成
を測定することができる。また、キャリヤーガスとの均
一性の問題もないので、正確に測定することができる。
以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。
する。
図面は分析装置を概念的に示したものであるが、封体破
壊室１は、カセット式であり、封体破壊室１そのものを
ＯリングシールＳにより装置に着脱することができる。
壊室１は、カセット式であり、封体破壊室１そのものを
ＯリングシールＳにより装置に着脱することができる。
そして、封体破壊室１はバルブＶ、を介してガスリザー
バー室２に連結され、かつバルブｖ６ を介してターボ
モレキュラーポンプＴＭＰに連結されている。不活性ガ
スやハロゲンガスのボンベからなる標準ガス供給器５も
バルブｖ５ を介してガスリザーバー室２に連結されて
＝４− いる。ガスリザーバー室２には、圧力によって内部に配
置された隔膜が変化する隔膜真空計３が取り付けられて
おり、ガスリザーバー室２内のガス圧が測定可能になっ
ている。このガスリザーバー室２は、バルブｖ４および
オリフィス０１を介して質量分析計ＭＳに接続され、か
つバルブ■２を介してターボモレキュラーポンプＴＭＰ
に連結されている。また、ターボモレキュラーポンプＴ
ＭＰとロータリーポンプＲＰはバルブｖ３を介して接続
されている。そして、ガスリザーバー室２は、空圧によ
って開閉時間が自動的に制御される空圧式自動バルブ４
を介してロータリーポンプＲＰに接続されている。
バー室２に連結され、かつバルブｖ６ を介してターボ
モレキュラーポンプＴＭＰに連結されている。不活性ガ
スやハロゲンガスのボンベからなる標準ガス供給器５も
バルブｖ５ を介してガスリザーバー室２に連結されて
＝４− いる。ガスリザーバー室２には、圧力によって内部に配
置された隔膜が変化する隔膜真空計３が取り付けられて
おり、ガスリザーバー室２内のガス圧が測定可能になっ
ている。このガスリザーバー室２は、バルブｖ４および
オリフィス０１を介して質量分析計ＭＳに接続され、か
つバルブ■２を介してターボモレキュラーポンプＴＭＰ
に連結されている。また、ターボモレキュラーポンプＴ
ＭＰとロータリーポンプＲＰはバルブｖ３を介して接続
されている。そして、ガスリザーバー室２は、空圧によ
って開閉時間が自動的に制御される空圧式自動バルブ４
を介してロータリーポンプＲＰに接続されている。
しかして、先ず、バルブｖ５ を開いて標準ガス供給器
５からガス組成が既知の標準ガスを真空に排気されたガ
スリザーバー室２に導き、所定圧力に減圧した後、バル
ブｖ４を開いて質量分析計ＭＳに導いて分析を行い、標
準ガスのキャリブレーション値を得ておく。次に、供試
ランプの入った封体破壊室１を装置に装着し、バルブｖ
６ を開いて封体破壊室１内を真空に排気する。そして
バルブｖ１を開いて供試ランプを破壊すると、封入され
ていたガスが真空に排気されたガスリザーバー室２にも
瞬時に充満し、隔膜真空計３によってガス圧が測定され
る。
５からガス組成が既知の標準ガスを真空に排気されたガ
スリザーバー室２に導き、所定圧力に減圧した後、バル
ブｖ４を開いて質量分析計ＭＳに導いて分析を行い、標
準ガスのキャリブレーション値を得ておく。次に、供試
ランプの入った封体破壊室１を装置に装着し、バルブｖ
６ を開いて封体破壊室１内を真空に排気する。そして
バルブｖ１を開いて供試ランプを破壊すると、封入され
ていたガスが真空に排気されたガスリザーバー室２にも
瞬時に充満し、隔膜真空計３によってガス圧が測定され
る。
ガス圧の測定が完了すると空圧式自動バルブ４を外部制
御により自動開閉する。これによって、ロータリーポン
プＲＰの作用でガスリザーバー室２内が数トール程度の
所定圧までポンプダウンする。そして、バルブ■、を開
くと、ガスリザーバー室２内の封入ガスがオリフィス０
１を通って所定の流量で１０−ｇトール程度に減圧され
た質量分析計ＭＳに導かれ、ガス成分が分析される。一
方、ガス圧測定が完了するとバルブ■、が閉じて新たな
供試ランプの装着が可能な状態になっている。
御により自動開閉する。これによって、ロータリーポン
プＲＰの作用でガスリザーバー室２内が数トール程度の
所定圧までポンプダウンする。そして、バルブ■、を開
くと、ガスリザーバー室２内の封入ガスがオリフィス０
１を通って所定の流量で１０−ｇトール程度に減圧され
た質量分析計ＭＳに導かれ、ガス成分が分析される。一
方、ガス圧測定が完了するとバルブ■、が閉じて新たな
供試ランプの装着が可能な状態になっている。
すなわち、ガス成分を分析するのと平行して、封体破壊
室１を装置から取外し、新たな供試ランプの入った封体
破壊室１を装置に装着して真空に排気し、次の測定に直
ちに移行することができるようになっている。
室１を装置から取外し、新たな供試ランプの入った封体
破壊室１を装置に装着して真空に排気し、次の測定に直
ちに移行することができるようになっている。
このように、先ず、封体破壊室１がカセット式であるの
で、取扱いが非常に簡単になる。そして、空圧式自動バ
ルブ４を自動開閉してガスリザーバー室２内を数トール
程度の所定圧までポンプダウンするので、極めて短時間
で減圧でき、この減圧された封入ガスを直ちに質量分析
計ＭＳに導いて分析するので、測定のトータル時間を大
ｒｌに短縮することができる。更には、封入ガスをキャ
リアーガスと混合することなく直接質量分析計ＭＳに導
くので、キャリアーガスとの均一性が問題にならず、正
確な分析値を得ることができる。
で、取扱いが非常に簡単になる。そして、空圧式自動バ
ルブ４を自動開閉してガスリザーバー室２内を数トール
程度の所定圧までポンプダウンするので、極めて短時間
で減圧でき、この減圧された封入ガスを直ちに質量分析
計ＭＳに導いて分析するので、測定のトータル時間を大
ｒｌに短縮することができる。更には、封入ガスをキャ
リアーガスと混合することなく直接質量分析計ＭＳに導
くので、キャリアーガスとの均一性が問題にならず、正
確な分析値を得ることができる。
なお、以上の実施例では、ランプの封入ガスの測定例を
示したが、簡単に破壊可能な封体内に封入されたガスで
あれば、ランプ以外にも適用することができる。
示したが、簡単に破壊可能な封体内に封入されたガスで
あれば、ランプ以外にも適用することができる。
以上説明したように、本発明は、封体破壊室をカセット
式とし、また、ガス圧を測定するためのガスリザーバー
室内の封入ガスを空圧式自動バルブによって所定圧まで
ポンプダウンし、この減圧された封入ガスを直ちに質量
分析計ＭＳに導いて分析するようにしたので、短時間で
、かつ簡単にランプなどの封入ガスのガス圧とガス成分
を同時に正確に分析できる。
式とし、また、ガス圧を測定するためのガスリザーバー
室内の封入ガスを空圧式自動バルブによって所定圧まで
ポンプダウンし、この減圧された封入ガスを直ちに質量
分析計ＭＳに導いて分析するようにしたので、短時間で
、かつ簡単にランプなどの封入ガスのガス圧とガス成分
を同時に正確に分析できる。
図面は分析装置の説明図である。
１・・・封体破壊室 ２・・・ガスリザーバー室３
・・・隔膜真空計 ４・・・空圧式自動バルブ５・
・・標準ガス供給器 ＭＳ・・・質量分析計Ｖ・・・バ
ルブ Ｏ・・・オリフィスＳ・・・０リングシ
ール ＴＭＰ・・・ターボモレキュラーポンプＲＰ・・・ロー
タリーポンプ
・・・隔膜真空計 ４・・・空圧式自動バルブ５・
・・標準ガス供給器 ＭＳ・・・質量分析計Ｖ・・・バ
ルブ Ｏ・・・オリフィスＳ・・・０リングシ
ール ＴＭＰ・・・ターボモレキュラーポンプＲＰ・・・ロー
タリーポンプ
Claims (2)
- （１）カセット式の封体破壊室と、標準ガス供給器と、
該封体破壊室および標準ガス供給器にバルブと必要に応
じてオリフィスを介して連結され、隔膜真空計が取り付
けられたガスリザーバー室と、該ガスリザーバー室にオ
リフィスとバルブを介して連結された質量分析計と、該
ガスリザーバー室に空圧式自動バルブを介して連結され
た真空ポンプとよりなることを特徴とする封入ガス分析
装置。 - （２）真空排気されたカセット式の封体破壊室内で封体
を破壊して封入ガスを隔膜真空計が取り付けられたガス
リザーバー室に導き、該真空計でガス量を測定した後に
、空圧式自動バルブを開閉させて該ガスリザーバー室を
所定圧力にポンプダウンし、該ガスリザーバー室内の封
入ガスを質量分析計に導いて分析することを特徴とする
分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279352A true JPH0279352A (ja) | 1990-03-19 |
| JP2720395B2 JP2720395B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=16897589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63229782A Expired - Lifetime JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2720395B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636321U (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-13 | 住友電設株式会社 | 床用アウトレット装置 |
| KR20030097051A (ko) * | 2002-06-18 | 2003-12-31 | (주)아트램프 | 램프 제조공정에서의 압력 발생/제어 및 수명 예측 진단장치 |
| JP2012512393A (ja) * | 2008-12-15 | 2012-05-31 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 発泡体内部のガス試料捕集装置及びこれを利用した分析方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152437U (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | 日本酸素株式会社 | 電球等封入ガス採取装置 |
| JPS60147645A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | 封入ガス分析装置 |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63229782A patent/JP2720395B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152437U (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | 日本酸素株式会社 | 電球等封入ガス採取装置 |
| JPS60147645A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | 封入ガス分析装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636321U (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-13 | 住友電設株式会社 | 床用アウトレット装置 |
| KR20030097051A (ko) * | 2002-06-18 | 2003-12-31 | (주)아트램프 | 램프 제조공정에서의 압력 발생/제어 및 수명 예측 진단장치 |
| JP2012512393A (ja) * | 2008-12-15 | 2012-05-31 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 発泡体内部のガス試料捕集装置及びこれを利用した分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2720395B2 (ja) | 1998-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071121 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |