JPH0280381A - 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法 - Google Patents
酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法Info
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- JPH0280381A JPH0280381A JP23012388A JP23012388A JPH0280381A JP H0280381 A JPH0280381 A JP H0280381A JP 23012388 A JP23012388 A JP 23012388A JP 23012388 A JP23012388 A JP 23012388A JP H0280381 A JPH0280381 A JP H0280381A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
H・業1−の利用分野]
本発明は、酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合
方法に関し、例えば水蒸気電気分解プラントに使用され
る水蒸気電解セル、あるいは高温センサー、同体電解質
型燃料電池等を製作する際等に適用されるL記の接合方
法に関するものである。
方法に関し、例えば水蒸気電気分解プラントに使用され
る水蒸気電解セル、あるいは高温センサー、同体電解質
型燃料電池等を製作する際等に適用されるL記の接合方
法に関するものである。
[従来の技術1
従来、セラミックと金属の接合方法としては、はめ合い
ゃ焼きばめ等の機械的方法、イ丁槻・無機1着材を用い
る方法、メタライズ法(セラミックの表面にロウ材との
濡れ性の良い金属の薄い層を設けた後、ロウ付けする方
法)、活性金属法(ロウ材に予め活性金属を加えておく
方法)、フリット法(1)bOを多[tに含むガラスを
ロウ材として用いる方法)、固相接合法(Br材同士を
同相のままで高温で圧接する方法)等種々のものが知ら
れている(″機械の研究″Vo1.39. No、 3
9. P29〜34の井関孝と著[セラミックの接合技
術1参照)。
ゃ焼きばめ等の機械的方法、イ丁槻・無機1着材を用い
る方法、メタライズ法(セラミックの表面にロウ材との
濡れ性の良い金属の薄い層を設けた後、ロウ付けする方
法)、活性金属法(ロウ材に予め活性金属を加えておく
方法)、フリット法(1)bOを多[tに含むガラスを
ロウ材として用いる方法)、固相接合法(Br材同士を
同相のままで高温で圧接する方法)等種々のものが知ら
れている(″機械の研究″Vo1.39. No、 3
9. P29〜34の井関孝と著[セラミックの接合技
術1参照)。
[発明が解決しようとする課題1
ところで、酸化ジルコニウム系セラミックを金属部品に
取り付けて、水蒸気電解セル、高温型センサー、固体電
解質型燃料電池等として使用する場合、金属部品との接
合部は気密性や耐熱性とともに信頼性のある製品とする
ためには大きい接合強度を必要とする。
取り付けて、水蒸気電解セル、高温型センサー、固体電
解質型燃料電池等として使用する場合、金属部品との接
合部は気密性や耐熱性とともに信頼性のある製品とする
ためには大きい接合強度を必要とする。
しかし、従来の接合方法では第1表に示すように、それ
ぞれ一長一短があり、気密性、耐熱性、接合強度の全て
を満たすものはない。
ぞれ一長一短があり、気密性、耐熱性、接合強度の全て
を満たすものはない。
第1表 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合法
とその特徴なお、第1表において、機械的接合、接着材
接合、ロウ付の相手材は低合金鋼、ステンレス鋼、Ni
又はNi基合金等、固相接合の相手材は、i′z金属金
属線^u、 I’L、ソフトメタル法では^11Cu、
N+、超硬サンド法ではAI/ Kovar/ fで
ある。
とその特徴なお、第1表において、機械的接合、接着材
接合、ロウ付の相手材は低合金鋼、ステンレス鋼、Ni
又はNi基合金等、固相接合の相手材は、i′z金属金
属線^u、 I’L、ソフトメタル法では^11Cu、
N+、超硬サンド法ではAI/ Kovar/ fで
ある。
また、第1表のロウ付の場合、酸化ジルコニラノー系セ
ラミックは濡れ性が悪いため、特別の注意が必要である
。
ラミックは濡れ性が悪いため、特別の注意が必要である
。
以1−の点より、本発明は、気密性、耐熱性、接合強度
の全てを満たす酸化ジルコニウム系セラミックと金属の
接合方法を提案することを目的としてなされたものであ
る。
の全てを満たす酸化ジルコニウム系セラミックと金属の
接合方法を提案することを目的としてなされたものであ
る。
[課題を解決するための手段1
本発明は、」−記[1的を解決するために、酸化ジルコ
ニウム系セラミックと金属を接合するに際し、(1)酸
化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜5HノTi
、厚さ50〜150usの銀ロウ、厚さ0.5〜2.0
1のニッケル又はニッケル基合金、厚さ20〜30μm
の銀ロウを積層し、この−トにl−記の金属としてコバ
ール合金又はタングステンを積層して、真空炉又は不活
性ガス雰囲気中で850〜900℃に加熱することを特
徴とするものである。また、(2)上記の厚さ50〜1
50μ階の銀ロウと厚さ20〜30μmの銀ロウに代え
て厚さ50〜150μ面のNiロウと厚さ20〜30μ
mのNiロウをそれぞれ使用し、真空炉又は不活性ガス
雰囲気中で950〜1150℃に加熱してもよい。更に
、 (3)酸化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜I
″、にに記の金属であるクロムを積層して、真空炉又は
不t、−性ガス雰囲気中で850〜900’Cに加熱す
ることを特徴とするものでもよい。
ニウム系セラミックと金属を接合するに際し、(1)酸
化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜5HノTi
、厚さ50〜150usの銀ロウ、厚さ0.5〜2.0
1のニッケル又はニッケル基合金、厚さ20〜30μm
の銀ロウを積層し、この−トにl−記の金属としてコバ
ール合金又はタングステンを積層して、真空炉又は不活
性ガス雰囲気中で850〜900℃に加熱することを特
徴とするものである。また、(2)上記の厚さ50〜1
50μ階の銀ロウと厚さ20〜30μmの銀ロウに代え
て厚さ50〜150μ面のNiロウと厚さ20〜30μ
mのNiロウをそれぞれ使用し、真空炉又は不活性ガス
雰囲気中で950〜1150℃に加熱してもよい。更に
、 (3)酸化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜I
″、にに記の金属であるクロムを積層して、真空炉又は
不t、−性ガス雰囲気中で850〜900’Cに加熱す
ることを特徴とするものでもよい。
1作用
本発明において、銀ロウとNiロウは、それぞれgoo
℃以4−1900℃以しに耐え、接合体へ耐熱性を付す
する作用をなす。
℃以4−1900℃以しに耐え、接合体へ耐熱性を付す
する作用をなす。
また、銀ロウ、Niロウ、Ti、腎i、 Ni基合金は
、強度が高く、接合体へ接合強度を付与する作用をなす
。
、強度が高く、接合体へ接合強度を付与する作用をなす
。
この場合、第5図に示すように、Tiインサート材では
1〜5μ私ロウ材(銀ロウ、Niロウ共)では50〜1
50μm、Ni又はXi基合金インサート材テハ0.5
〜2.01の厚さの範囲において、酸化シルコニウド系
セラミック自体の曲げ強度の2/3の強度を得ることが
でき、この範囲を外れると著しく接合強度が低ドする。
1〜5μ私ロウ材(銀ロウ、Niロウ共)では50〜1
50μm、Ni又はXi基合金インサート材テハ0.5
〜2.01の厚さの範囲において、酸化シルコニウド系
セラミック自体の曲げ強度の2/3の強度を得ることが
でき、この範囲を外れると著しく接合強度が低ドする。
なお、第5図はJI3の4点曲げ破断法により得られた
破断強度を示すもので、横軸は酸化ジルコ%として表示
し、約100%を合格としたものである。
破断強度を示すもので、横軸は酸化ジルコ%として表示
し、約100%を合格としたものである。
そして、銀ロウ、Niロウはいずれも、接合対象のコバ
ール合金、クロム合金、タングステン、クロムと、また
インサート材のTiやNi、 Ni基合金と繻れ性が良
(、これらを高気密性(リークゼロ)で接合する。
ール合金、クロム合金、タングステン、クロムと、また
インサート材のTiやNi、 Ni基合金と繻れ性が良
(、これらを高気密性(リークゼロ)で接合する。
ただし、銀ロウ、Niロウはいずれも、酸化ジルコニウ
ム系セラミックとの成れ性は余り良(すいが、上記の接
合強度を付与する作用をなすTiインサート材が酸化ジ
ルコニウム系セラミックと反応し、セラミック表面にT
iに富む層を形成する。このTiに富む層が上記ロウ材
となじみ易いため、本発明ではTiインサート材を酸化
ジルコニウム系セラミックに接して積層するのである。
ム系セラミックとの成れ性は余り良(すいが、上記の接
合強度を付与する作用をなすTiインサート材が酸化ジ
ルコニウム系セラミックと反応し、セラミック表面にT
iに富む層を形成する。このTiに富む層が上記ロウ材
となじみ易いため、本発明ではTiインサート材を酸化
ジルコニウム系セラミックに接して積層するのである。
また、インサート材のNi+ Ni基合金は、ロウ付(
加熱)後の冷却時にセラミックに発生する応力を緩和さ
せる作用をなす。
加熱)後の冷却時にセラミックに発生する応力を緩和さ
せる作用をなす。
更に、本発明において、銀ロウの代わりに旧ロウを使用
する場合は、真空炉又は不活性ガス雰囲気中での加熱は
、Niロウの融点を考慮して、950〜1150℃とす
るものである。
する場合は、真空炉又は不活性ガス雰囲気中での加熱は
、Niロウの融点を考慮して、950〜1150℃とす
るものである。
また、本発明において、酸化ジルコニウム系セラミック
とクロムを接合する場合、Tiインサート材のみを使用
するだけで、上記のNiインサート材を使用しな(とも
、初期の接合強度を有する接合部を得ることができる。
とクロムを接合する場合、Tiインサート材のみを使用
するだけで、上記のNiインサート材を使用しな(とも
、初期の接合強度を有する接合部を得ることができる。
[実施例]
実施例1
第1図に示すように、イツトリア安定化ジルコニア(Y
yOs 8mo1%、以下、YSZ) Iとコノ〈−基
合金(Pc−28Ni 17co−0,2Mn合金)2
を次のようにして接合した。
yOs 8mo1%、以下、YSZ) Iとコノ〈−基
合金(Pc−28Ni 17co−0,2Mn合金)2
を次のようにして接合した。
YSZ Iの接合面より3μm厚さのTi3a、 10
0μm厚さの銀ロウ(BAg−8) 4a、 1.0s
s厚さのN15a、 30μm厚さ鏝ロウ(BAg8)
4bを積層し、銀ロウ4b面にコバール合金2を積層
して、真空炉中で850〜860℃に加熱し、冷却した
後、炉から取り出した。この時の加熱・冷却速度は、い
ずれも100℃/hrとした。
0μm厚さの銀ロウ(BAg−8) 4a、 1.0s
s厚さのN15a、 30μm厚さ鏝ロウ(BAg8)
4bを積層し、銀ロウ4b面にコバール合金2を積層
して、真空炉中で850〜860℃に加熱し、冷却した
後、炉から取り出した。この時の加熱・冷却速度は、い
ずれも100℃/hrとした。
実施例2
第2図に示すように、実施例1で使用したYSzlとタ
ングステン6を次のようにして接合した。
ングステン6を次のようにして接合した。
YSZI(7)接合面より1.5μm厚さのTi3bS
100u−厚さの銀ロウ(13八g−8) 4a、 0
.8ss厚さのN15L+、 204m厚さ銀ロウ(H
Ag−8) 4cを積層し、銀ロウ4b面に・タングス
テン6を積層して、真空炉中で850〜860℃に加熱
し、冷却した後、炉から取り出した。加熱・冷却速度は
実施例1と同一とした。
100u−厚さの銀ロウ(13八g−8) 4a、 0
.8ss厚さのN15L+、 204m厚さ銀ロウ(H
Ag−8) 4cを積層し、銀ロウ4b面に・タングス
テン6を積層して、真空炉中で850〜860℃に加熱
し、冷却した後、炉から取り出した。加熱・冷却速度は
実施例1と同一とした。
実施例3
第3図に示すように、YSZ 1とコバー基合金2を次
のようにして接合した。
のようにして接合した。
YSZ Iの接合面より3μm厚さのTi3a%100
μm厚さのNiOつ(スイス plBIB Techn
ik社製商品名^MDRY^1loy 760) 8a
、 0.8@−厚さのN15b、 30g−厚さNiロ
ウ(上記8aと同じもの) 8bを積層し、Niクロウ
b面にコバール2を積層して、真空炉中で1100〜1
150℃に加熱し、冷却した後、炉から取り出した。加
熱・冷却速度は実施例1と同一とした。
μm厚さのNiOつ(スイス plBIB Techn
ik社製商品名^MDRY^1loy 760) 8a
、 0.8@−厚さのN15b、 30g−厚さNiロ
ウ(上記8aと同じもの) 8bを積層し、Niクロウ
b面にコバール2を積層して、真空炉中で1100〜1
150℃に加熱し、冷却した後、炉から取り出した。加
熱・冷却速度は実施例1と同一とした。
実施例4
第4図に示すように、YSZ Iとクロム9を次のよう
にして接合した。
にして接合した。
YSZ Iの接合面より1.5um厚さのTi3bSI
00u−厚さの銀ロウ4aを積層し、銀ロウ4a而にク
ロム9を積層して、真空炉中で850〜860℃に加熱
し、冷却した後、炉から取り出した。加熱・冷却速度は
実施例1と同一とした。
00u−厚さの銀ロウ4aを積層し、銀ロウ4a而にク
ロム9を積層して、真空炉中で850〜860℃に加熱
し、冷却した後、炉から取り出した。加熱・冷却速度は
実施例1と同一とした。
なお、以上の実施例中1〜3については、真空炉に代え
てアルゴンガス等を使用する不活性ガス雰囲気炉を利用
してもよい。
てアルゴンガス等を使用する不活性ガス雰囲気炉を利用
してもよい。
実施例1.2におい°C,YSZとコバール合金又はタ
ングステンを接合した結果、その接合部の強度は従来法
(例えば、lio−Mnメタライズ、ロウ付法)の2〜
3倍に達し、その使用許容温度も820°Cに達した。
ングステンを接合した結果、その接合部の強度は従来法
(例えば、lio−Mnメタライズ、ロウ付法)の2〜
3倍に達し、その使用許容温度も820°Cに達した。
また、実施例3でYSZとコバール合金を接合した結果
、実施例4でYSZとクロムを接合した結果、いずれも
接合強度は実施例1.2とほぼ同様で、その使用許容温
度を実施例3では900℃に、実施例4では820℃に
することができた。
、実施例4でYSZとクロムを接合した結果、いずれも
接合強度は実施例1.2とほぼ同様で、その使用許容温
度を実施例3では900℃に、実施例4では820℃に
することができた。
更に、実施例1〜4でYSZ管とコバール管、タングス
テン管又はクロム管を接合し、l(cリークテストを行
ったところ、いずれも接合部のリークは10.9^Lo
s+ogpherc cc/ sec (20℃の大気
圧下で1秒間に漏れる空気量をCCで表示)以下であり
、完全に気密であることが確認された。
テン管又はクロム管を接合し、l(cリークテストを行
ったところ、いずれも接合部のリークは10.9^Lo
s+ogpherc cc/ sec (20℃の大気
圧下で1秒間に漏れる空気量をCCで表示)以下であり
、完全に気密であることが確認された。
(発明の効果1
以−に詳述したように、本発明によれば、酸化ジルコニ
ウム系セラミックとコバール合金、クロム合金、タング
ステン、クロムとの接合を気密性、耐熱性、接合強度と
も良好にして行うことができる。
ウム系セラミックとコバール合金、クロム合金、タング
ステン、クロムとの接合を気密性、耐熱性、接合強度と
も良好にして行うことができる。
この結果、本発明法により作製した例えば酸化ジルコニ
ウム系セラミックを固体電解質とする水蒸気電解セルに
おいて、このセルによる電解は電解質の両面に取り付け
た1u極(例えば白金ペーストコーティング)に電圧を
かけ電流を流して一極側゛にある水分を水素と酸素に分
解するものであるが、この時生じる高温に耐えることが
できると共に、このセルの強PZを固体電解質自体の強
度の約2/:)倍以上とこの種接合では従来になく極め
て強固にすることができ、かつ気密性も完全であり」−
記の水素と酸素のリークを皆無とすることができる。
ウム系セラミックを固体電解質とする水蒸気電解セルに
おいて、このセルによる電解は電解質の両面に取り付け
た1u極(例えば白金ペーストコーティング)に電圧を
かけ電流を流して一極側゛にある水分を水素と酸素に分
解するものであるが、この時生じる高温に耐えることが
できると共に、このセルの強PZを固体電解質自体の強
度の約2/:)倍以上とこの種接合では従来になく極め
て強固にすることができ、かつ気密性も完全であり」−
記の水素と酸素のリークを皆無とすることができる。
4、図面のI!?I ’11な説明
第1〜4図は本発明の実施例における接合態様を説明す
るための図、第5図は本発明で使用するロウ材及びイン
サート材の厚さと接合強度との関係を示すグラフである
。
るための図、第5図は本発明で使用するロウ材及びイン
サート材の厚さと接合強度との関係を示すグラフである
。
Claims (3)
- (1)酸化ジルコニウム系セラミックと金属を接合する
に際し、酸化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜
5μmのTi、厚さ50〜150μmの銀ロウ、厚さ0
.5〜2.0mmのニッケル又はニッケル基合金、厚さ
20〜30μmの銀ロウを積層し、この上に前記の金属
としてコバール合金又はタングステンを積層して、真空
炉又は不活性ガス雰囲気中で850〜900℃に加熱す
ることを特徴とする酸化ジルコニウム系セラミックと金
属の接合方法。 - (2)第1請求項の厚さ50〜150μmの銀ロウと厚
さ20〜30μmの銀ロウに代えて厚さ50〜150μ
mのNiロウと厚さ20〜30μmのNiロウをそれぞ
れ使用し、真空炉又は不活性ガス雰囲気中で950〜1
150℃に加熱することを特徴とする酸化ジルコニウム
系セラミックと金属の接合方法。 - (3)酸化ジルコニウム系セラミックと金属を接合する
に際し、酸化ジルコニウム系セラミック側より厚さ1〜
3μmのTi、厚さ50〜150μmの銀ロウを積層し
、この上に前記の金属としてクロムを積層して、真空炉
又は不活性ガス雰囲気中で850〜900℃に加熱する
ことを特徴とする酸化ジルコニウム系セラミックと金属
の接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23012388A JPH0776140B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23012388A JPH0776140B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0280381A true JPH0280381A (ja) | 1990-03-20 |
| JPH0776140B2 JPH0776140B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=16902928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23012388A Expired - Fee Related JPH0776140B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0776140B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04111966A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Juki Corp | 金属部材とセラミックス部材との接合方法 |
| JPH04246208A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 火力発電プラント |
| JP2012521951A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-09-20 | アルストム テクノロジー リミテッド | Niをベースとするろうからなる少なくとも1つの第1の層と活性な元素を含む少なくとも1つの第2の層とを備える複ろう部材、該複ろう部材を製造する方法及び該複ろう部材の使用 |
| JP2012251673A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Noritz Corp | 熱交換器 |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP23012388A patent/JPH0776140B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04111966A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Juki Corp | 金属部材とセラミックス部材との接合方法 |
| JPH04246208A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 火力発電プラント |
| JP2012521951A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-09-20 | アルストム テクノロジー リミテッド | Niをベースとするろうからなる少なくとも1つの第1の層と活性な元素を含む少なくとも1つの第2の層とを備える複ろう部材、該複ろう部材を製造する方法及び該複ろう部材の使用 |
| JP2012251673A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Noritz Corp | 熱交換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0776140B2 (ja) | 1995-08-16 |
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