JPH0280569A - ロードロック機構を備えたミリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野〕 本発明は活性ガスを用いるミリング装置に係り、特に搬
送準備室から処理室ヘウエハを効率良く搬送することが
できるロードロック機構を備えたミリング装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来、ミリング装置として、搬送準備室の内部に置かれ
たウェハを、アームで一枚々々つかみ。

そのまま処理室に搬送して処理室内のホルダに取付ける
ようにしたものが提案されていた（例えば、蒲原秀明他
６名「月刊Ｓｅｍ１ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＷｏｒｌｄＪ
　。

（１９８８年１月）、セミコンダクタアート。

Ｐ３８〜４０）。

なお、ウェハを搬送する機構としてセミロードロックが
知られているが、このセミロードロックはホルダを外気
に露出させて搬送するタイプのものであった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来技術では、処理室内でウェハと
ホルダの熱接触を充分に行わせようとすると、ホルダの
構造が複雑となり、高価なものとなっていた。

また、従来のミリング装置にロードロック機構を取付け
ようとしても、ミリング装置のようにウェハが自公転す
るものに対しては、構造が複雑になり過ぎ機構的に不可
能であった。

さらに、セミロードロックではホルダが大気に触れるの
で、量産用の装置の大きなホルダではロードロックの意
味がなくなるという問題があった。

なお、ウェハを真空チャックで吸着することも考えられ
るが、真空中でウェハをホルダに固定させなければなら
ないので、真空チャックは使用できなかった。

本発明の目的は、従来不可能であった自公転ホルダにつ
いても、簡単な構造でウェハとホルダの熱接触の良い、
かつ量産機にも適用できるロードロック機構を備えたミ
リング装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、搬入準備室の試
料を処理室に搬入したのち、該処理室で冷却しながら前
記試料にイオンビームを照射するミリング装置において
、前記搬入準備室と処理室との間に仕切弁を取付けると
ともに、試料を保持する試料保持手段を設け、かつ前記
仕切弁を介して前記搬入準備室と処理室との間で前記試
料保持手段を搬送する試料搬送手段を配設したものであ
る。

〔作用〕

上記構成によれば、複数枚のウェハ（試料）を搬入準備
室にセットしたのち、搬入準備室を真空引きし、搬入準
備室が充分に真空になったとき、仕切弁を開け、搬入準
備室と処理室を連通させる。

そして、試料搬送手段を操作して試料保持手段でウェハ
を一枚ずつ保持する。次に、ウェハを保持した試料保持
手段を仕切弁を介して処理室へ搬入し、処理室内部のホ
ルダに固定す−る６以上の動作を何回か繰り返してホル
ダに複数のウェハを固定したのち、仕切弁を閉じて処理
室でイオンビームを照射してミリングを行う。また、処
理室でミリングを行っている際に、搬入準備室では次に
処理すべきウェハがセットされる。

〔実施例〕

以下に本発明の一実施例を図面に従って説明する。

第１図はミリング装置の全体構成を示している。

図に示すように、処理室１と搬入準備室２との間は仕切
弁１２によって仕切られている。処理室１の内部にはホ
ルダ３が配設され、このホルダ３上にはウェハ４を保持
した複数個の冷却ブロック５がネジ接続できるようにな
っている。ホルダ３はその中心軸回りに矢印Ａのように
回転できるとともに、各々の冷却ブロック５も矢印Ｂの
ように回転することができる。また、ホルダ３は矢印Ｃ
のようにも回転可能である。このようなホルダ３および
冷却ブロック５の回転力は処理室１の外部に設けられた
ホルダ回転傾斜機構１０により伝達される。

また、搬入準備室２の内部には取付枠６が配設され、こ
の取付枠６はウェハ４が一体化された冷却ブロック５が
多数取付けられるようになっている。取付枠６はトラン
スファロッド８によって矢印りのように回転するととも
に、矢印Ｅ方向に直線往復移動することができる。取付
枠６の詳細を示したのが第２図である０図において、取
付枠６の内部には空洞１５が形成され、この空洞１５内
を真空引きしたり、または空洞１５内へ空気を圧入した
りすることができるようになっている。また１３はウェ
ハ４と冷却ブロック５の間に介在される真空チャック用
ゴムである。

搬入準備室２には、第１図に示すように、トランスファ
ロッド７が設けられ、このトランスファロッド７の先端
に冷却ブロック５を保持するための治具１４が固定され
ている。トランスファロッド７は矢印Ｆのように回転す
るとともに、矢印Ｇ方向に直線往復移動するようになっ
ている。また、第３図に示すように、治具１４の外周面
には数ケ所に切込み１４Ａが形成され、この切込み１４
Ａは冷却ブロック５に設けられたピン５Ａに係合するよ
うになっている。図中、３はホルダの一部を示している
。

なお、第１図において、１１はウェハ４を取付枠６にセ
ットする際に開けられる開口部である。

本実施例では、トランスファロッド７は試料搬送手段を
、冷却ブロック５および真空チャック用ゴム１３は試料
保持手段をそれぞれ構成している。

次に本実施例の作用について説明する。

冷却ブロック５を取付枠６に取付け、その上に真空チャ
ック用ゴム１３をのせ、その上にウェハ４を置いて空洞
１５内を真空引きすると、ウェハ４は大気圧力に押され
、更にゴム１３の吸着力により冷却ブロック５とゴム１
３を通じて、しっかりと熱接触される。この冷却ブロッ
ク５を取付枠には複数個取付けられる。次に開口部１１
を閉じ搬入準備室２の真空引きを行い、規定値になった
ら、この取付枠６をトランスファロッド８でトランスフ
ァロッド７のセンタに取付け、ウェハ４のセンタ位置が
合うよう移動する。そして、トランスファロッド７によ
って取付枠６より冷却ブロック５を１ケを取外し、仕切
弁１２を開けて、反転されたホルダ３にその冷却ブロッ
ク５を取付ける。

取付けが終ったらホルダ３を一定角回転させ、順次冷却
ブロック５を取付枠６よりホルダ３上に取付けていく。

全部が取付は終ったら、ホルダ３を反転させ、そして仕
切弁１２を閉とし、ミリングを開始する。このようにす
ることにより、自公転ホルダのような、きわめて複雑な
ホルダにも簡単な機構でロードロックが可能となる。

なお、試料保持手段として、真空チャック用ゴムの代わ
りにメカニカルチャックを用いて試料を保持するように
してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば、自公転ホルダの
ような複雑な機構を有するものにも、容易にロードロッ
ク機構を取付けることができるので、活性ガスを用いた
ミリングプロセスの量産機にも適用可能となり、ミリン
グの処理時間を短縮させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るミリング装置の全体構成図、第２
図は取付枠と冷却ブロックの詳細図、第３図はトランス
ファロッドと冷却ブロックの関係を示す斜視図である。 １・・・処理室、２・・・搬入準備室、３・・・ホルダ
、４・・・ウェハ、５・・・冷却ブロック、６・・・取
付枠、７．８・・・トランスファロッド、９・・・イオ
ン源、１０・・・ホルダ回転傾斜機構、 １１・・・開口部、１２・・・仕切弁、１３・・・真空
チャック用ゴム、１４・・・治具、１５・・・空洞。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、搬入準備室の試料を処理室に搬入したのち、該処理
   室で冷却しながら前記試料にイオンビームを照射するミ
   リング装置において、前記搬入準備室と処理室との間に
   仕切弁を取付けるとともに、試料を保持する試料保持手
   段を設け、かつ前記仕切弁を介して前記搬入準備室と処
   理室との間で前記試料保持手段を搬送する試料搬送手段
   を配設したことを特徴とするロードロック機構を備えた
   ミリング装置。 ２、請求項１記載のミリング装置において、前記試料搬
   送手段は軸方向に移動自在であるとともに、軸回りに回
   転自在であることを特徴とするロードロック機構を備え
   たミリング装置。 ３、請求項１記載のミリング装置において、前記試料保
   持手段には、前記試料を吸着するための真空引き用の管
   路が設けられていることを特徴とするロードロック機構
   を備えたミリング装置。 ４、請求項１記載のミリング装置において、前記試料保
   持手段には、前記試料を保持するためのメカニカルチャ
   ックが設けられていることを特徴とするロードロック機
   構を備えたミリング装置。 ５、請求項１記載のミリング装置において、前記試料保
   持手段と、前記処理室内部で前記試料保持手段を固定す
   るホルダとには、互いに螺合するねじ部が形成されてい
   ることを特徴とするロードロック機構を備えたミリング
   装置。