JPH028143U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH028143U JPH028143U JP8603688U JP8603688U JPH028143U JP H028143 U JPH028143 U JP H028143U JP 8603688 U JP8603688 U JP 8603688U JP 8603688 U JP8603688 U JP 8603688U JP H028143 U JPH028143 U JP H028143U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- semiconductor
- semiconductor integrated
- suction port
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は、本考案の半導体吸着装置の斜視図、
第２図は第１図の部分詳細図、第３図は従来の半
導体吸着装置の正面図である。 １……管、２……吸着口、３……バキユームポ
ンプ、４……支持台、５……半導体ペレツト。
第２図は第１図の部分詳細図、第３図は従来の半
導体吸着装置の正面図である。 １……管、２……吸着口、３……バキユームポ
ンプ、４……支持台、５……半導体ペレツト。
Claims (1)
- 縦横に規則的に配列された多数個の半導体集積
回路装置から、所望の前記半導体集積回路装置を
移動するための吸着口を備えた半導体吸着装置に
おいて、前記吸着口部に前記半導体集積回路装置
を包囲する支持台を有することを特徴とする半導
体吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8603688U JPH028143U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8603688U JPH028143U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028143U true JPH028143U (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=31310682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8603688U Pending JPH028143U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH028143U (ja) |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP8603688U patent/JPH028143U/ja active Pending