JPH0282033U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0282033U JPH0282033U JP16129388U JP16129388U JPH0282033U JP H0282033 U JPH0282033 U JP H0282033U JP 16129388 U JP16129388 U JP 16129388U JP 16129388 U JP16129388 U JP 16129388U JP H0282033 U JPH0282033 U JP H0282033U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holding
- plate
- holding part
- polishing apparatus
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図は考案の実施例に係る研磨装置を示す概
略断面図、第２図は従来技術に係る研磨装置を示
す概略断面図である。 １：研磨布、２：定盤、２ａ：回転軸、３：ウ
エーハ、４０：プレート。
略断面図、第２図は従来技術に係る研磨装置を示
す概略断面図である。 １：研磨布、２：定盤、２ａ：回転軸、３：ウ
エーハ、４０：プレート。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ プレートの下面に固定保持されている半導体
ウエーハと、定盤上に貼設されている研磨布とを
、研磨剤を流下させつつ加圧下に摺擦運動させな
がら前記ウエーハ表面を研磨可能にしたウエーハ
研磨装置において、プレートのウエーハ保持面を
僅かに凸曲面状に設定したことを特徴とするウエ
ーハ研磨装置。 ２ 前記プレートのウエーハ保持面が、ウエーハ
保持部中心域と、ウエーハ保持部周縁域との差が
１〜１０μｍの範囲に設定されている請求項１記
載のウエーハ研磨装置。 ３ 前記プレートのウエーハ保持面が、ウエーハ
保持部中心域よりウエーハ保持部周縁域に移行す
るに連れ徐々に曲率半径を小に設定し、その断面
形状を略楕円形状に近似した曲線からなるよう設
定された請求項１記載のウエーハ研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16129388U JPH0282033U (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16129388U JPH0282033U (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282033U true JPH0282033U (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=31444095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16129388U Pending JPH0282033U (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0282033U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS632655A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハ研磨用プレ−ト |
-
1988
- 1988-12-14 JP JP16129388U patent/JPH0282033U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS632655A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハ研磨用プレ−ト |