JPH0282492U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0282492U JPH0282492U JP15999888U JP15999888U JPH0282492U JP H0282492 U JPH0282492 U JP H0282492U JP 15999888 U JP15999888 U JP 15999888U JP 15999888 U JP15999888 U JP 15999888U JP H0282492 U JPH0282492 U JP H0282492U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support cylinder
- suction head
- suction
- vacuum pressure
- guide portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図はトレー
と基板間でのワーク移載の態様を示す平面図、第
２図はワーク移載装置を示す一部断面にした側面
図、第３図は第２吸着装置を示す縦断面図、第４
図は第２吸着装置の下部を示す正面図、第５図は
第２吸着装置とワーク台との関係を示す一部断面
にした正面図である。 １……トレー、２……基板、６……吸着受渡装
置、１１……第１吸着装置、２５……第２吸着装
置、５９……第３吸着装置、４０……吸着ヘツド
、４１……支持筒、４４……真空圧作用室、４６
……吸引孔、４９，５０……真空圧通路、５１…
…ガイド孔、５２……係合ロツド、Ｗ……ワーク
。
と基板間でのワーク移載の態様を示す平面図、第
２図はワーク移載装置を示す一部断面にした側面
図、第３図は第２吸着装置を示す縦断面図、第４
図は第２吸着装置の下部を示す正面図、第５図は
第２吸着装置とワーク台との関係を示す一部断面
にした正面図である。 １……トレー、２……基板、６……吸着受渡装
置、１１……第１吸着装置、２５……第２吸着装
置、５９……第３吸着装置、４０……吸着ヘツド
、４１……支持筒、４４……真空圧作用室、４６
……吸引孔、４９，５０……真空圧通路、５１…
…ガイド孔、５２……係合ロツド、Ｗ……ワーク
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ワークを真空圧の作用により吸着する吸引孔を
備えた吸着ヘツドが支持筒に進退可能に且つ付勢
手段にて前進方向に付勢されて嵌挿支持された吸
着装置において、 上記吸着ヘツドは支持筒に回転可能に支持され
ていて、 上記支持筒の内部に形成され、吸着ヘツドを後
退せしめるよう真空圧を作用させる真空圧作用室
と、 上記吸引孔と真空圧作用室とを連通する真空圧
通路と、 上記吸着ヘツドと支持筒との一方に設けられ、
支持筒の軸方向に対して傾斜して延びるガイド部
と、 上記吸着ヘツドと支持筒との他方に設けられ、
上記ガイド部に係合し、吸着ヘツドの進退により
ガイド部に沿つて移動して吸着ヘツドを支持筒に
対して回転せしめる係合部と、 を備えていることを特徴とするワーク吸着装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15999888U JPH0282492U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15999888U JPH0282492U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282492U true JPH0282492U (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=31441697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15999888U Pending JPH0282492U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0282492U (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP15999888U patent/JPH0282492U/ja active Pending