JPH0283988A - レーザ光増幅装置 - Google Patents
レーザ光増幅装置Info
- Publication number
- JPH0283988A JPH0283988A JP23476288A JP23476288A JPH0283988A JP H0283988 A JPH0283988 A JP H0283988A JP 23476288 A JP23476288 A JP 23476288A JP 23476288 A JP23476288 A JP 23476288A JP H0283988 A JPH0283988 A JP H0283988A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- corner cube
- discharge part
- cube mirror
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ光のパワーを増大ざぜるためのレーザ
光増幅装置に関するものである。
光増幅装置に関するものである。
（従来の技術）
一般に、レーザ発振器によって得られたレーザ光のパワ
ーを増大させるために、第４図に示した様なレーザ光増
幅装置が用いられている。即ち、従来のレーザ光増幅装
置は、発（辰器の両端に配δ２される共振器のミラーの
代りにウィンド３を取付けた増幅器２の放電部４に、レ
ーザ発振器１より出力されたレーザ光を通過させること
によって、レーザ光のパワーを増大させるものである。
ーを増大させるために、第４図に示した様なレーザ光増
幅装置が用いられている。即ち、従来のレーザ光増幅装
置は、発（辰器の両端に配δ２される共振器のミラーの
代りにウィンド３を取付けた増幅器２の放電部４に、レ
ーザ発振器１より出力されたレーザ光を通過させること
によって、レーザ光のパワーを増大させるものである。
なお、この様な増幅器においては、１台の増幅器にレー
ザ光を１回だＣブ通していた。
ザ光を１回だＣブ通していた。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上記の様な構成を有するレーザ光増幅装置に
おいては、第４図に示した様に、１台の増幅器にレーザ
光を１回しか通過させなかったため、１台の増幅器でパ
ワーを増大させるだけでは充分なパワーが得られない場
合には、複数台の増幅器をレーザ光振器のレーザ光の出
力方向に並置し、それらの中を通過させることにより、
より大きなパワーを１ｑるようにしていた。
おいては、第４図に示した様に、１台の増幅器にレーザ
光を１回しか通過させなかったため、１台の増幅器でパ
ワーを増大させるだけでは充分なパワーが得られない場
合には、複数台の増幅器をレーザ光振器のレーザ光の出
力方向に並置し、それらの中を通過させることにより、
より大きなパワーを１ｑるようにしていた。
しかしながら、複数台の増幅器を配設しなければならず
、コストがかかり、その製造工程も繁雑なものとなって
いた。また、レーザ光振器の光軸の延長線上に複数台の
増幅器を設置するため、広いスペースが必要となってい
た。
、コストがかかり、その製造工程も繁雑なものとなって
いた。また、レーザ光振器の光軸の延長線上に複数台の
増幅器を設置するため、広いスペースが必要となってい
た。
本発明は以上の欠点を解潤するために提案されたもので
、その目的は、１台の増幅器で大きな増幅効果が１ｑら
れるレーザ光増幅装置を提供することにある。
、その目的は、１台の増幅器で大きな増幅効果が１ｑら
れるレーザ光増幅装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、放電部にレーザ光を通過させることにより、
レーザ光のパワーを増大させるレーザ光増幅装置におい
て、放電部の両端にレーザ光が通過するアパーチャーを
形成し、放電部の側方の少なくとも一方にコーナーキュ
ーブミラーを配設して、このコーナーキューブミラーに
よってレーザ光が反則され、前記放電部内を往復できる
ように構成し、さらに、前記コーナーキューブミラーの
角度αを、前記アパーチャー間の距離をａ、アパーチャ
ー位置におけるレーザ光光軸と放電部中心との距離をＣ
とすると、ｔａｎβ−ｃ／（ａ／２）、α＝＜１８０’
−β）／２によって定められる角度に設定したことを特
徴とするものである。
レーザ光のパワーを増大させるレーザ光増幅装置におい
て、放電部の両端にレーザ光が通過するアパーチャーを
形成し、放電部の側方の少なくとも一方にコーナーキュ
ーブミラーを配設して、このコーナーキューブミラーに
よってレーザ光が反則され、前記放電部内を往復できる
ように構成し、さらに、前記コーナーキューブミラーの
角度αを、前記アパーチャー間の距離をａ、アパーチャ
ー位置におけるレーザ光光軸と放電部中心との距離をＣ
とすると、ｔａｎβ−ｃ／（ａ／２）、α＝＜１８０’
−β）／２によって定められる角度に設定したことを特
徴とするものである。
（作用）
本発明のレーザ光増幅装置によれば、放電部の側方の少
なくとも一方に配設したコーナーキューブミラーによっ
てレーザ光を反射させ、放電部内を往復させることによ
り、１台の増幅装置によってレーザ光を効率良く増幅さ
せることができる。
なくとも一方に配設したコーナーキューブミラーによっ
てレーザ光を反射させ、放電部内を往復させることによ
り、１台の増幅装置によってレーザ光を効率良く増幅さ
せることができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。
明する。
本実施例においては、第１図（Ａ）（Ｂ）に示した様に
、レーザ発振器のレーザ光出力側に、レーザ光増幅装置
１０が設けられている。このレーザ光増幅装置１０には
、その放電部１０ａの両側に、放電部の中心より２．２
５Ｍの位置に、角度α°のコーナーキューブミラー１２
．１３が配設されている。また、このコーナーキューブ
ミラー１２．１３は、それぞれミラーマウント１１を介
して、あおり角の調整可能なミラーホルダー１４に取付
けられ、このミラーホルダー１４は、Ｘ方向く横方向）
及び２方向（高さ方向）の調節可能なＸ−Ｚステージ１
５に取付けられている。
、レーザ発振器のレーザ光出力側に、レーザ光増幅装置
１０が設けられている。このレーザ光増幅装置１０には
、その放電部１０ａの両側に、放電部の中心より２．２
５Ｍの位置に、角度α°のコーナーキューブミラー１２
．１３が配設されている。また、このコーナーキューブ
ミラー１２．１３は、それぞれミラーマウント１１を介
して、あおり角の調整可能なミラーホルダー１４に取付
けられ、このミラーホルダー１４は、Ｘ方向く横方向）
及び２方向（高さ方向）の調節可能なＸ−Ｚステージ１
５に取付けられている。
さらに、レーザ発振器よりのレーザ光入射位置と、放電
部の反対側に配設されたコーナーキューブミラー１３に
反射する前の位置に、ターゲット１８．１９が配設され
、また、放電部１０ａにはレーザ光が通過するアパーチ
ャー１６．１７が形成されている。そして、このアパー
チャー１６゜１７を通って、Ｈｅ−Ｎｅレーザが前記２
つのターゲット１８．１９を通過するように、コーナー
キューブミラー１２．１３の配設角度をミラーホルダー
１４とＸ−Ｚステージ１５を用いて調節することにより
、レーザ光の通過光路を決めることができるように構成
されている（アライメント調節）。また、レーザ光がミ
ラーで反射する際の温度上昇を防止するため、ミラーマ
ウント１１には穴が設けられ、そこに恒温水４！２１よ
りホース２２を介して冷却水を流し込むように構成され
ている。
部の反対側に配設されたコーナーキューブミラー１３に
反射する前の位置に、ターゲット１８．１９が配設され
、また、放電部１０ａにはレーザ光が通過するアパーチ
ャー１６．１７が形成されている。そして、このアパー
チャー１６゜１７を通って、Ｈｅ−Ｎｅレーザが前記２
つのターゲット１８．１９を通過するように、コーナー
キューブミラー１２．１３の配設角度をミラーホルダー
１４とＸ−Ｚステージ１５を用いて調節することにより
、レーザ光の通過光路を決めることができるように構成
されている（アライメント調節）。また、レーザ光がミ
ラーで反射する際の温度上昇を防止するため、ミラーマ
ウント１１には穴が設けられ、そこに恒温水４！２１よ
りホース２２を介して冷却水を流し込むように構成され
ている。
なお、前記コーナーキューブミラー１２．１３の角度α
は、放電部１０ａに形成されたアパーチャー１６．１フ
間の距離をａ、アパーチャー位置にお（プるレーザ光光
軸と放電部中心との距ｆｉｔ＠Ｇとすると、ｔａｎβ＝
ｃ／ （ａ／２） 、ａ＝ （１８０’−β）／２を満
足する様に定められており、本実施例においては、β−
０，６°、α＝（１８０°−０，６°）／２＝８９．７
°のコーナーキューブミラーが用いられている。また、
前記ターゲット１８は、Ｈｅ −Ｎ ｅレーザを用いる
アライメント調節終了後は取外せるように構成されてい
る。
は、放電部１０ａに形成されたアパーチャー１６．１フ
間の距離をａ、アパーチャー位置にお（プるレーザ光光
軸と放電部中心との距ｆｉｔ＠Ｇとすると、ｔａｎβ＝
ｃ／ （ａ／２） 、ａ＝ （１８０’−β）／２を満
足する様に定められており、本実施例においては、β−
０，６°、α＝（１８０°−０，６°）／２＝８９．７
°のコーナーキューブミラーが用いられている。また、
前記ターゲット１８は、Ｈｅ −Ｎ ｅレーザを用いる
アライメント調節終了後は取外せるように構成されてい
る。
この様な構成を有する本実施例のレーザ光増幅装置にお
いては、レーザ光振器より出力されたレーザ光は、まず
、ターゲット１８及びアパーチャ−１６を通り、増幅装
置１ｏの放電部１０ａを通過し、反対側のターゲット１
９を通ってコーナー士コープミラー１３に入射される。
いては、レーザ光振器より出力されたレーザ光は、まず
、ターゲット１８及びアパーチャ−１６を通り、増幅装
置１ｏの放電部１０ａを通過し、反対側のターゲット１
９を通ってコーナー士コープミラー１３に入射される。
ここで反射した光は、再び放電部内を通り、］−ナーキ
ューブミラー１２で反則して再び放電部１０ａ内を通っ
て出力される。
ューブミラー１２で反則して再び放電部１０ａ内を通っ
て出力される。
なお、本実施例で用いた］−ナーキューブミラーは、α
−８９，７°であり、第３図にα−９０°の］−ナーキ
ューブミラー３０を用いて、同様に３回反射させた場合
を示した。即ち、α＝９０°のコーナーキューブミラー
においては、反射される光は平行光線となるため、レー
ザ光径を１５ｍｍとすると、放電部の幅及びアパーチャ
ーが４５ｍｍ以上な【プればならない。一方、本実施例
にｄ３いては、両側に配設された］−ナーキューブミラ
ーの角度αを適切に設定することにより、反則されたシ
ー１１光が放電部内の一点を通過するように調節できる
ので、放電部及びアパーチＰ−の大きざが４５ｍｍ以下
であっても、レーザ光を３回通過させることができる。
−８９，７°であり、第３図にα−９０°の］−ナーキ
ューブミラー３０を用いて、同様に３回反射させた場合
を示した。即ち、α＝９０°のコーナーキューブミラー
においては、反射される光は平行光線となるため、レー
ザ光径を１５ｍｍとすると、放電部の幅及びアパーチャ
ーが４５ｍｍ以上な【プればならない。一方、本実施例
にｄ３いては、両側に配設された］−ナーキューブミラ
ーの角度αを適切に設定することにより、反則されたシ
ー１１光が放電部内の一点を通過するように調節できる
ので、放電部及びアパーチＰ−の大きざが４５ｍｍ以下
であっても、レーザ光を３回通過させることができる。
この様に、本実施例によれば、１台の増幅器を配設する
だけで、レーザ光を３回通過させることができるで、効
率良く増幅させることが可能となる。また、レーザ発振
器の光軸上に配設するレーザ増幅装置は１台で良いので
、設置スペースが大幅に縮小できる。
だけで、レーザ光を３回通過させることができるで、効
率良く増幅させることが可能となる。また、レーザ発振
器の光軸上に配設するレーザ増幅装置は１台で良いので
、設置スペースが大幅に縮小できる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、第２図に示した様に、レーザ光増幅装置に配設する
コーナーキューブミラーを１つとすれば、レーザ光を２
回通過させることのできる２パス増幅装首を得ることが
できる。
く、第２図に示した様に、レーザ光増幅装置に配設する
コーナーキューブミラーを１つとすれば、レーザ光を２
回通過させることのできる２パス増幅装首を得ることが
できる。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、放電部の両端にレー
ザ光が通過するアパーチャーを形成し、放電部の側方の
少なくとも一方にコーナーキューブミラーを配設して、
レーザ光を放電部内に往復させるという簡単な手段によ
って、１台の増幅器で大きな増幅効果が得られるレーザ
光増幅装置を提供することができる。
ザ光が通過するアパーチャーを形成し、放電部の側方の
少なくとも一方にコーナーキューブミラーを配設して、
レーザ光を放電部内に往復させるという簡単な手段によ
って、１台の増幅器で大きな増幅効果が得られるレーザ
光増幅装置を提供することができる。
第１図は本発明のレーザ光増幅装置の一実施例を示すも
ので、（△）は平面図、（Ｂ）は正面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す平面図、第３図はα−９０’のコ
ーナーキューブミラーを用いた場合のレーザ光の光路を
示す図、第４図は従来のレーザ光増幅装置の一例を示す
平面図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・増幅器、３・・・ウィ
ンド、４・・・放電部、１０・・・レーザ光増幅装置、
１０ａ・・・放電部、１１・・・ミラーマウント、１２
．１３・・・コーナーキューブミラー、１４・・・ミラ
ーホルダー１５・・・Ｘ−Ｚステージ、１６．１７・・
・アパーチャ、１８．１９・・・ターゲット、２１・・
・恒温水（ａ、２２・・・ボース。
ので、（△）は平面図、（Ｂ）は正面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す平面図、第３図はα−９０’のコ
ーナーキューブミラーを用いた場合のレーザ光の光路を
示す図、第４図は従来のレーザ光増幅装置の一例を示す
平面図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・増幅器、３・・・ウィ
ンド、４・・・放電部、１０・・・レーザ光増幅装置、
１０ａ・・・放電部、１１・・・ミラーマウント、１２
．１３・・・コーナーキューブミラー、１４・・・ミラ
ーホルダー１５・・・Ｘ−Ｚステージ、１６．１７・・
・アパーチャ、１８．１９・・・ターゲット、２１・・
・恒温水（ａ、２２・・・ボース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 放電部にレーザ光を通過させることにより、レーザ光の
パワーを増大させるレーザ光増幅装置において、 前記放電部の両端にレーザ光が通過するアパーチャーを
形成し、放電部の側方の少なくとも一方にコーナーキュ
ーブミラーを配設して、このコーナーキューブミラーに
よつてレーザ光が反射され、前記放電部内を往復できる
ように構成し、さらに、前記コーナーキューブミラーの
角度αを、前記アパーチャー間の距離をａ、アパーチャ
ー位置におけるレーザ光光軸と放電部中心との距離をｃ
とすると、ｔａｎβ＝ｃ／（ａ／２）、α＝（１８０°
−β）／２によつて定められる角度に設定したことを特
徴とするレーザ光増幅装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23476288A JPH0283988A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | レーザ光増幅装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23476288A JPH0283988A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | レーザ光増幅装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283988A true JPH0283988A (ja) | 1990-03-26 |
Family
ID=16975959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23476288A Pending JPH0283988A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | レーザ光増幅装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0283988A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09162469A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Nec Corp | 狭帯域化ＡｒＦエキシマレーザ装置 |
| WO2003088435A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator and optical amplifier |
| JPWO2004095661A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2006-07-13 | 株式会社小松製作所 | 露光用２ステージレーザ装置 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23476288A patent/JPH0283988A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09162469A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Nec Corp | 狭帯域化ＡｒＦエキシマレーザ装置 |
| WO2003088435A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator and optical amplifier |
| JPWO2003088435A1 (ja) * | 2002-04-18 | 2005-08-25 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器および光増幅器 |
| JPWO2004095661A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2006-07-13 | 株式会社小松製作所 | 露光用２ステージレーザ装置 |
| JP4657103B2 (ja) * | 2003-04-22 | 2011-03-23 | 株式会社小松製作所 | 露光用２ステージレーザ装置 |
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