JPH0284422U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0284422U JPH0284422U JP16239188U JP16239188U JPH0284422U JP H0284422 U JPH0284422 U JP H0284422U JP 16239188 U JP16239188 U JP 16239188U JP 16239188 U JP16239188 U JP 16239188U JP H0284422 U JPH0284422 U JP H0284422U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- vibrator
- insulating substrate
- fixed
- substrate side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す説明図、第２
図は本考案に係る金属支持具の変形例を示す説明
図、第３図および第４図は従来の振動子の支持構
造を示す説明図である。 １０……絶縁基板、１２……金属膜、１４……
支持具、１４ａ……固着部、１４ｂ……支持部、
１４ｃ……支持ばり部、１６……振動子。
図は本考案に係る金属支持具の変形例を示す説明
図、第３図および第４図は従来の振動子の支持構
造を示す説明図である。 １０……絶縁基板、１２……金属膜、１４……
支持具、１４ａ……固着部、１４ｂ……支持部、
１４ｃ……支持ばり部、１６……振動子。
Claims (1)
- 絶縁基板上に導電性膜を介して導電性を有する
一対の支持具を各々固着し、これらの支持具に振
動子の両端部を各々固着支持させてなる振動子の
支持構造において、前記支持具が、前記絶縁基板
に固着された固着部と、前記振動子の両端部を固
着支持する支持部と、前記固着部と前記支持部と
を連結させる複数本の支持ばりとから成り、前記
固着部の前記絶縁基板側の面と前記支持部の前記
絶縁基板側の面とは同一平面内にあり、かつ、前
記固着部は、前記振動子が固着された時、前記振
動子が前記支持部および支持ばり部に接触しない
程度に厚くなつていることを特徴とする振動子の
支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16239188U JPH0284422U (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16239188U JPH0284422U (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284422U true JPH0284422U (ja) | 1990-06-29 |
Family
ID=31446174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16239188U Pending JPH0284422U (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0284422U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638329U (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-20 | 株式会社大真空 | 圧電振動子の支持構造 |
-
1988
- 1988-12-16 JP JP16239188U patent/JPH0284422U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638329U (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-20 | 株式会社大真空 | 圧電振動子の支持構造 |
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