JPH0286138U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0286138U JPH0286138U JP16587888U JP16587888U JPH0286138U JP H0286138 U JPH0286138 U JP H0286138U JP 16587888 U JP16587888 U JP 16587888U JP 16587888 U JP16587888 U JP 16587888U JP H0286138 U JPH0286138 U JP H0286138U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support rod
- wafer
- receivers
- longitudinal direction
- contact
- Prior art date
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- Pending
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Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図は横型支
持キヤリアの斜視図、第２図は第１図の側面図、
第３図は第２図の−視断面図、第４図は縦型
支持キヤリアの側面図、第５図は第４図の−
視断面図である。 １，１ａ……支持杆、２……ウエハ、３，３ａ
……突条、４，４ａ……受け体、５，５ａ……受
け面。
持キヤリアの斜視図、第２図は第１図の側面図、
第３図は第２図の−視断面図、第４図は縦型
支持キヤリアの側面図、第５図は第４図の−
視断面図である。 １，１ａ……支持杆、２……ウエハ、３，３ａ
……突条、４，４ａ……受け体、５，５ａ……受
け面。
Claims (1)
- ウエハの外周面が接当する左右一対の突条を備
えた支持杆に、前記ウエハの裏面が接当する受け
面を備えた受け体を、支持杆の長手方向に適宜間
隔で複数個突設し、該各受け体における受け面を
、前記支持杆の長手方向に対して適宜角度に傾斜
したことを特徴とするウエハ用支持キヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16587888U JPH0286138U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16587888U JPH0286138U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0286138U true JPH0286138U (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=31452762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16587888U Pending JPH0286138U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0286138U (ja) |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP16587888U patent/JPH0286138U/ja active Pending