JPH0286150A - モールドダイオードおよびその製造方法 - Google Patents

モールドダイオードおよびその製造方法

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JPH0286150A
JPH0286150A JP63237790A JP23779088A JPH0286150A JP H0286150 A JPH0286150 A JP H0286150A JP 63237790 A JP63237790 A JP 63237790A JP 23779088 A JP23779088 A JP 23779088A JP H0286150 A JPH0286150 A JP H0286150A
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resin
wafer
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Mutsuo Kurokawa
睦生 黒川
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Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産」LLq主団り1厨− 本発明はモールドダイオードの構造及び、その製造方法
に関するものである。
直釆叫皮断 従来、モールドダイオードは第3図に示すように、ダイ
オードの特性を出すペレット20.ペレットの電気的特
性を外部に導き出すり−ド21a +  2 l b 
、ペレット20とリード21bを電気的に接合するワイ
ヤ22、これらを固定し、外観を形成するモールド樹脂
23から形成されていた。
製造工程では、第4図に示すようにモールド成形工程で
、ペレット20をマウントし、ワイヤ22で接続したリ
ードフレームをモールド金型(図示せず)内に配置して
おいて、モールド金型内にモールド樹脂23を供給して
モールド成形後、モールド樹脂23とリードフレームの
不要部分を切断除去していた。
しかしながら、この場合、モールド樹脂23が、ペレッ
ト20とリードフレーム21a、21b。
ワイヤ22の全てを覆うため、外形寸法の小型化がしに
くい構造であり、一方、製造工程においてはモールド成
形時のモールド樹脂のカス24およびリードフレームの
切断後のくす25が発生するものであった。
の そこで、本発明は、裏表の両面に電極をつけたペレット
をモールド樹脂で覆い、樹脂の外部に出たペレットの電
極に外部電極を電気的に接合させ、リードフレーム、ワ
イヤを用いない構造にした。
また、製造方法において、(a)ウェハー内に多数のダ
イオードを形成するウェハー製造工程と、(b) 前記
ウェハーを個々のダイオードペレットに分割するペレッ
ト分割工程と、(C)各ペレy)間にモールド樹脂を流
し込むモールド成形工程と、(d)ペレットの電極をモ
ールド樹脂の表面に出すモールド研磨工程と、(e)各
ダイオードの電気的特性を検査測定する検測工程と、(
f)モールド樹脂を分割し、個々のモールドダイオード
に分ける分割工程と、(g)個々のモールドダイオード
に外部電極を取付ける工程とを含むことを特徴とする。
1且 上記の構造にすることにより、モールドダイオードの外
形寸法をさらに小さく1mm以下にすることができ、リ
ードフレームのカットくずが発生せず、モールド樹脂の
ムダの少ない製造方法により製造することができる。
Li性 次に本発明について、図面に従って説明する。
第1図(a)は、この発明の一実施例のモールドダイオ
ードの断面図である。図において1aはダイオードペレ
ット、lb+1bはペレットにつけられたペレット電極
であり、ペレット1a及びペレット電極1.b、1bの
周囲はモールド樹脂2で覆われている。外部電極3は、
モールド樹脂2にはめ込まれ、ペレy)電極1b、lb
と電気的接合をとる様になっている。
第2図(a)〜(g)は上記モールドダイオードの製造
方法の実施例である。第2図(a)はウェハー製造工程
で、ウェハー5にペレット電極6,6をウェハー5の裏
表の両面に、各ダイオード素子に対応して付けた構造で
ある。第2図(b)は、前記ウェハー5を貼付テープ7
に貼付けた後、各ダイオードペレット8に分割するペレ
ット分割工程であり、分割されたペレット8はペレット
間にモールド樹脂を流し込むために、貼付テープ7を引
伸ばして、等間隔のすき間をあけて整列している。
第2図(c)はモールド成形工程で、前工程ですき間の
あけられたペレット8の間にモールド樹脂9を流し込み
固めたものである。第2図(d)はモールド研磨工程で
、前工程でペレット電極6,6の上面にムダについたモ
ールド樹脂9を研磨し、ペレット電極6,6をモールド
樹脂9の外部に出すものである。
第2図(e)は各ダイオードペレット8の電気的特性を
検査、測定する工程で、前工程でムキ出しになったペレ
ット電極6,6に検測ピン10a。
10bを当て、特性を測定する。第2図(f)はモール
ド分割工程で、各モールド素子11毎に切り離す。第2
図(g)は電極取付は工程で、前ニー程で分割されたダ
イオード素子11毎に外部電極12を取り付ける。
災1圀2゜ 第1図(b)は、外部電極4をメツキにより付けた他の
実施例であり、その他は第1図(a)と同じである。
この実施例のモールドダイオードの製造方法は、第2図
(a)〜(e)までは第1図(a)の実施例の場合と同
様であるが、この後、一方のペレット電極6を共通電極
に接続して他方のペレット電極6に外部電極4をメツキ
形成し、さらに外部電極4を共通電極に接続して一方の
ペレy)電極6に外部電極4をメツキ形成して、モール
ド樹脂9を分割して各モールド素子に分割する。
なお、第2図(e)の検測工程を省略して、モールド素
子を形成後に検測工程を実施してもよい。
i匪悲肱敦 上述のように、本発明のモールドダイオードはリードフ
レームやワイヤを使用しない構造としたことにより、外
形寸法の小型化がしやすく、lll11以下にすること
ができ、又製造方法においては、モールド樹脂のムダが
発生しなく、リードフレームのカット<ずが発生しない
方法で製造できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(aL(b)は本発明の異なる実施例のモールド
ダイオードの断面図、第2図(a)ないしくg)は本発
明のモールドダイオード製造方法を示す各工程の断面図
である。 第3図は従来のモールドダイオードの断面図、第4図は
従来のモールドダイオードのモールド成形後の平面図で
ある。 1a・・・・・・ダイオードペレット、1b・・・・・
・ペレット電極、 2・・・・・・モールド樹脂、 3.4・・・・・・外部電極、 5・・・・・・ウェハー、 6・・・・・・ペレット電極、 7・・・・・・貼付テープ、 8・・・・・・ダイオードペレット、 9・・・・・・モールド樹脂、 10a、10b・・・・・・検測ピン、11・・・・・
・モールド素子、 12・・・・・・外部電極。 第 1 図(α) 乍 ] 図(b)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)裏表の両面に電極をつけたペレットをモールド樹
    脂でおおい、樹脂の外部に出たペレットの電極に外部電
    極を電気的に接合させて取り付けたモールドダイオード
  2. (2)a)ウェハー内に多数のダイオードを形成するウ
    ェハー製造工程と、 b)前記ウェハーを個々のダイオードペレットに分割す
    るペレット分割工程と、 c)各ペレット間にモールド樹脂を流し込むモールド成
    形工程と、 d)ペレットの電極をモールド樹脂の表面に出すモール
    ド研磨工程と、 e)各ダイオードの電気的特性を検査測定する検測工程
    と、 f)モールド樹脂を分割し、個々のモールドダイオード
    に分ける分割工程と、 g)個々のモールドダイオードに外部電極を取付ける工
    程とを含むことを特徴とするモールドダイオードの製造
    方法。
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