JPH02867B2 - - Google Patents
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- JPH02867B2 JPH02867B2 JP56115307A JP11530781A JPH02867B2 JP H02867 B2 JPH02867 B2 JP H02867B2 JP 56115307 A JP56115307 A JP 56115307A JP 11530781 A JP11530781 A JP 11530781A JP H02867 B2 JPH02867 B2 JP H02867B2
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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- H10F10/10—Individual photovoltaic cells, e.g. solar cells having potential barriers
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
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- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、基板の表裏2面を電気エネルギー
変換面として利用することのできる太陽電池に関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a solar cell in which the front and back surfaces of a substrate can be used as electrical energy conversion surfaces.
太陽電池は、光を直接に電気に変換できる特徴
を持つたトランスジユーサであり、太陽光エネル
ギーが無尽蔵であることから、太陽電池を用いた
発電は、石油などの化石エネルギーが枯渇しつつ
ある現在では、有望な発電方法となつてきた。 Solar cells are transducers that have the characteristic of directly converting light into electricity, and since sunlight energy is inexhaustible, power generation using solar cells is an important step as fossil energy sources such as oil are running out. Currently, it has become a promising method of power generation.
しかし、地上に降り注ぐ太陽エネルギーの密度
は約1kW/m2と小さく、十分に大きな電力を得
るには非常に多くの太陽電池が必要になる。ま
た、太陽電池の価格も高く発電コストが高くなる
という問題点もあり、従来一般用電力源として太
陽電池を用いるということはコスト的に不可能で
あつた。 However, the density of solar energy falling on the ground is small at about 1 kW/m 2 , so a large number of solar cells are required to generate enough power. In addition, there is also the problem that solar cells are expensive and the cost of power generation is high, so it has conventionally been impossible to use solar cells as a general power source due to cost considerations.
次に、従来用いられてきた太陽電池について図
面を用いて説明する。第1図はその断面斜視図で
あり、1はp形基板、2はn形拡散層、3は受光
面電極、4は裏面電極である。この受光面電極3
は、くし形あるいは網目状の形状をしており、光
をさえぎる部分を最小にし、かつ電気抵抗の増大
を抑えるよう構成されている。 Next, conventionally used solar cells will be explained using drawings. FIG. 1 is a cross-sectional perspective view thereof, in which 1 is a p-type substrate, 2 is an n-type diffusion layer, 3 is a light-receiving surface electrode, and 4 is a back surface electrode. This light-receiving surface electrode 3
has a comb-like or mesh-like shape, and is configured to minimize the portion that blocks light and suppress an increase in electrical resistance.
第1図に示された従来の太陽電池の受光面は、
n形拡散層2の側であつて、もし裏面から光を照
射した場合、光照射表面近傍で生成された電子−
正孔対が、p−n接合まで再結合せずに到達する
確率は小さい。これは、従来の太陽電池のp形基
板1の厚さが250μmないし500μmもあり、p形
基板中で少数担体である電子の拡散長が数十μm
であり、かつ裏面での表面再結合速度も大きいか
らである。実際、従来の太陽電池の裏面に光を照
射しても、起電力がほとんど発生しないことはよ
く知られている。 The light-receiving surface of the conventional solar cell shown in Figure 1 is
If light is irradiated from the back side of the n-type diffusion layer 2, electrons generated near the light irradiated surface -
The probability that the hole pair reaches the pn junction without recombining is small. This is because the p-type substrate 1 of a conventional solar cell has a thickness of 250 μm to 500 μm, and the diffusion length of electrons, which are minority carriers, in the p-type substrate is several tens of μm.
This is because the surface recombination rate on the back surface is also high. In fact, it is well known that almost no electromotive force is generated even when the back side of a conventional solar cell is irradiated with light.
したがつて、従来の太陽電池においては受光面
を1つしか持たないため、基板の一方の面に形成
された受光面に照射される光しか電気エネルギー
に変換できない。 Therefore, since the conventional solar cell has only one light-receiving surface, only the light irradiated onto the light-receiving surface formed on one surface of the substrate can be converted into electrical energy.
さらに、太陽電池の基板として用いられている
シリコンは、集積回路装置に用いられている単結
晶シリコンと同程度の品質を有する単結晶シリコ
ンであり高価である。このため、この単結晶シリ
コンを用いて製作した従来の太陽電池は高価なも
のとなる。従つて、太陽電池を用いた発電システ
ムは高価なものとならざるを得なかつた。 Furthermore, the silicon used as the substrate for solar cells is expensive and has the same quality as the single crystal silicon used in integrated circuit devices. For this reason, conventional solar cells manufactured using this single crystal silicon are expensive. Therefore, power generation systems using solar cells have had to be expensive.
他方、太陽電池を用いた発電システムの価格を
下げるため、レンズなどで光を集めて太陽電池に
照射する方法が試みられているが、太陽電池表面
全体にむらなく光を集めるのは困難であるととも
に、その集光のために要するコストが高くなり実
用的ではなかつた。 On the other hand, in order to lower the cost of power generation systems using solar cells, attempts have been made to use lenses etc. to collect light and irradiate it onto the solar cells, but it is difficult to collect light evenly over the entire surface of the solar cells. At the same time, the cost required for condensing the light increases, making it impractical.
以上述べてきたことから、受光面を2つ有し、
かつその受光面のいずれから光が照射されても、
同程度の起電力が得られるような太陽電池が出現
すれば、一方の受光面には直接太陽光を照射し、
他方の受光面には周囲の散乱光あるいは鏡により
反射させた光を照射するなどの方法により、2つ
の受光面で有効に電気エネルギーに変換すること
が可能となるので、発電システムを安価にするこ
とができる。 From what has been said above, it has two light-receiving surfaces,
And no matter which of the light-receiving surfaces the light is irradiated from,
If a solar cell that can obtain the same electromotive force appears, one light-receiving surface will be directly irradiated with sunlight,
By irradiating the other light-receiving surface with ambient scattered light or light reflected by a mirror, it becomes possible to effectively convert the two light-receiving surfaces into electrical energy, making the power generation system cheaper. be able to.
また、第1図に示した従来の太陽電池のn形拡
散層2の厚さは約1μmであり、この厚さでは受
光面電極3を形成する時点でp−n接合の短絡を
発生しやすい。n形拡散層2の厚さを大きくする
ことは、ごく表面近傍で電子正孔対を発生させる
短い波長の光に対する応答が小さくなるため事実
上困難である。従つて、従来の太陽電池では受光
面電極3の形成には注意を要し、これが太陽電池
の価格上昇の一因ともなつている。すなわち、受
光面電極をp−n接合短絡の危険をともなうこと
なく容易に形成できる構造の太陽電池の出現が望
まれていた。 Furthermore, the thickness of the n-type diffusion layer 2 of the conventional solar cell shown in FIG. . It is practically difficult to increase the thickness of the n-type diffusion layer 2 because the response to short wavelength light that generates electron-hole pairs very close to the surface becomes small. Therefore, in conventional solar cells, care must be taken in forming the light-receiving surface electrode 3, which is one of the reasons for the increase in the price of solar cells. That is, it has been desired to develop a solar cell having a structure in which a light-receiving surface electrode can be easily formed without the risk of p-n junction short circuit.
この発明の目的は、表裏2面の受光面を有し、
そのいずれの受光面に光が照射されても有効に電
気エネルギーに変換し得ると共に、p−n接合の
短絡を起させることなく容易に受光面電極を形成
し得る太陽電池を提供することである。 The purpose of this invention is to have two light-receiving surfaces, front and back,
To provide a solar cell that can effectively convert light irradiated onto any of its light receiving surfaces into electrical energy, and can easily form a light receiving surface electrode without shorting the p-n junction. .
次に、この発明に係る太陽電池を実施例に基づ
いて説明する。第2図は、この発明に係る太陽電
池の一実施例を示すための断面図であつて、11
はn形基板、12はn+形拡散層、13はp形拡
散層、14はp+形拡散層、15は裏面電極、1
6は表面電極である。このような構造は、次のよ
うな工程により容易に形成することができる。厚
さが150μmないし200μmで、比抵抗約10Ω・cmの
n形基板11に、ホウ素を150keVで2×1013/
cm2注入する。この後、熱処理を行い10μmないし
50μmのp形拡散層13を形成する。次にp形拡
散層13の表面にホウ素をドープした酸化膜を形
成し、n形基板11の表面に燐をドープした酸化
膜を形成し熱処理を行い、それぞれ厚さ約0.1μm
のP+形拡散層14と厚さ約0.1μmのn+形拡散層
12を形成する。最後に両表面に電極を形成して
完成する。p形拡散層13はエピタキシヤル成長
によつても、イオン注入以外の拡散方法を用いて
もよく、またn+形拡散層12とp+形拡散層14
はイオン注入によつて形成しても、あるいはその
他の方法によつて形成してもよい。 Next, the solar cell according to the present invention will be explained based on Examples. FIG. 2 is a sectional view showing one embodiment of the solar cell according to the present invention, and shows 11
12 is an n type substrate, 12 is an n + type diffusion layer, 13 is a p type diffusion layer, 14 is a p + type diffusion layer, 15 is a back electrode, 1
6 is a surface electrode. Such a structure can be easily formed by the following steps. Boron is applied at 150 keV at 2×10 13 /
Inject cm 2 . After this, heat treatment is performed to reduce the thickness to 10 μm or less.
A p-type diffusion layer 13 of 50 μm is formed. Next, an oxide film doped with boron is formed on the surface of the p-type diffusion layer 13, and an oxide film doped with phosphorus is formed on the surface of the n-type substrate 11, and heat treatment is performed.
A P + type diffusion layer 14 and an N + type diffusion layer 12 having a thickness of about 0.1 μm are formed. Finally, electrodes are formed on both surfaces to complete the process. The p-type diffusion layer 13 may be formed by epitaxial growth or by using a diffusion method other than ion implantation .
may be formed by ion implantation or by other methods.
第2図に示されたこの発明に係る太陽電池の特
徴を述べると、第1にp−n接合が一受光面から
離れた位置にあり、これは他方の受光面にp−n
接合が近くなることを示し、第2に2つの受光面
に同一導電形の不純物濃度の異る層があり、これ
がp−n接合に準じた働きをするということであ
る。 To describe the characteristics of the solar cell according to the present invention shown in FIG.
This indicates that the junctions are closer together, and secondly, there are layers of the same conductivity type with different impurity concentrations on the two light-receiving surfaces, which function similar to a pn junction.
第1の特徴により、裏面から照射された光によ
つて生成された電子−正孔対を、従来の太陽電池
より効率よく収集でき、第2の特徴により、下記
の(1)式で示されるポテンシヤル差が不純物高濃度
領域と不純物低濃度領域との界面に発生し、これ
が表面再結合に向う電子−正孔対の拡散を抑制す
る。 The first feature allows electron-hole pairs generated by light irradiated from the back surface to be collected more efficiently than conventional solar cells, and the second feature allows the electron-hole pairs generated by light irradiated from the back surface to be collected more efficiently than in conventional solar cells. A potential difference occurs at the interface between the high impurity concentration region and the low impurity concentration region, which suppresses the diffusion of electron-hole pairs toward surface recombination.
VhL=KT/qlnNh/NL ……(1)
ただし、Kはボルツマン定数、Tは絶対温度、
qは電子の電荷、Nhは不純物高濃度領域の不純
物濃度、NLは不純物低濃度領域の不純物濃度で
ある。KT/qは常温で約26mVの値となる。 V hL = KT / qlnN h /N L ...(1) where K is Boltzmann's constant, T is absolute temperature,
q is the electron charge, Nh is the impurity concentration in the high impurity concentration region, and N L is the impurity concentration in the low impurity concentration region. KT/q has a value of about 26 mV at room temperature.
上述の関係を第3図のエネルギーバンド図に基
づいて説明する。図において付されている11な
いし14の参照番号は、第2図において示された
各部分に対応するものであり、また、21はフエ
ルミ準位、22,23は入射光により生成された
電子−正孔対、25,26は不純物濃度差により
生じたポテンシヤル差である。 The above relationship will be explained based on the energy band diagram shown in FIG. Reference numbers 11 to 14 in the figure correspond to the respective parts shown in FIG. The hole pair 25, 26 is a potential difference caused by a difference in impurity concentration.
p+形拡散層14とp形拡散層13との界面に
来た電子−正孔対22のうち、電子はポテンシヤ
ル差25のためp+形拡散層14への移動が抑え
られ、正孔はp+拡散層14への移動が促される。
即ち、p+形拡散層14とp形拡散層13との界
面は、p−n接合に準じた働きをする。n+形拡
散層12とn形基板11との界面も、そこに発生
するポテンシヤル差26により電子−正孔対23
に対しp−n接合に準じた働きをする。 Of the electron-hole pairs 22 that have come to the interface between the p + type diffusion layer 14 and the p type diffusion layer 13, the electrons are suppressed from moving to the p + type diffusion layer 14 due to the potential difference 25, and the holes are The migration to the p + diffusion layer 14 is encouraged.
That is, the interface between the p + type diffusion layer 14 and the p type diffusion layer 13 functions similar to a pn junction. The interface between the n + type diffusion layer 12 and the n type substrate 11 also has an electron-hole pair 23 due to the potential difference 26 generated there.
It acts similar to a p-n junction.
以上説明したように、この発明の太陽電池にお
いては、不純物高濃度領域と不純物低濃度領域の
界面が受光面近傍に存在し、しかも2つの受光面
近傍に同時に存在するため、2つの受光面のうち
いずれから照射された光に対しても効率的に電気
を発生することができる。さらに、受光面近傍に
不純物高濃度領域と不純物低濃度領域の界面を形
成することによりp−n接合を表面から深い位置
にすることができる。これは前述したように、不
純物高濃度領域と不純物低濃度領域の界面がp−
n接合に準じた働きをするため、表面付近で光に
より生成された電子−正孔対を効率よく収集でき
るからである。p−n接合を表面から深い位置に
形成できれば、電極形成によるp−n接合の短絡
の危険性はなくなり、これによつて、電極形成が
容易になるという効果がある。 As explained above, in the solar cell of the present invention, the interface between the high impurity concentration region and the low impurity concentration region exists near the light-receiving surface, and also exists near the two light-receiving surfaces simultaneously. Electricity can be efficiently generated from light irradiated from either of them. Furthermore, by forming an interface between a high impurity concentration region and a low impurity concentration region near the light receiving surface, the pn junction can be located deep from the surface. As mentioned above, this is because the interface between the high impurity concentration region and the low impurity concentration region is p-
This is because it functions similar to an n-junction, so electron-hole pairs generated by light near the surface can be efficiently collected. If the p-n junction can be formed deep from the surface, there is no risk of short circuiting the p-n junction due to electrode formation, which has the effect of facilitating electrode formation.
次に、この発明に係る太陽電池を用いて、2つ
の受光面を利用する太陽発電システムについてそ
の構成を簡単に説明する。 Next, the configuration of a solar power generation system using two light-receiving surfaces using the solar cell according to the present invention will be briefly described.
第4図は、この発明に係る太陽電池を用いた発
電システムの一例であつて、図中31はこの発明
に係る太陽電池、32は反射鏡、33は入射光、
34は反射光である。 FIG. 4 shows an example of a power generation system using the solar cell according to the present invention, in which 31 is the solar cell according to the present invention, 32 is a reflecting mirror, 33 is incident light,
34 is reflected light.
入射光33は、一部直接に太陽電池31に入射
し、残りは反射鏡32によつて反射され、反射光
34となつて太陽電池31の裏面より入射する。
つまり、この発明に係る太陽電池31は、従来と
同一サイズの太陽電池と比較して2倍の面積で光
を電気に変換することができる。反射鏡32は、
一般の太陽電池に比べて低価格であり、平面鏡で
あるためむらがなく太陽電池31の裏面に光を照
射できる。従つて、第4図に示した構成は、従来
の太陽電池を2つ使用して発電する場合に比べて
発電コストを引下げることが可能となる。 A portion of the incident light 33 directly enters the solar cell 31 , and the rest is reflected by the reflecting mirror 32 and becomes reflected light 34 and enters the solar cell 31 from the back surface.
In other words, the solar cell 31 according to the present invention can convert light into electricity over twice the area as a conventional solar cell of the same size. The reflecting mirror 32 is
It is less expensive than general solar cells, and since it is a plane mirror, it can evenly irradiate the back surface of the solar cell 31 with light. Therefore, the configuration shown in FIG. 4 can reduce power generation costs compared to the conventional case where two solar cells are used to generate power.
以上の通りであるから、本発明は次のような顕
著な効果を奏する。 As described above, the present invention has the following remarkable effects.
(イ) 表面に電子−正孔対の収集を行なう不純物高
濃度−不純物低濃度接合を設けており、これに
よりp−n接合を少数担体の拡散長程度以下
で、かつ光を十分吸収できる厚さ以上の深さ
10μmないし200μmに設けることができ、さら
に、表面から深部に至るいずれの領域で光によ
つて生成された電子−正孔対も効率的に収集す
ることが可能となる。(b) A high impurity concentration-low impurity concentration junction is provided on the surface to collect electron-hole pairs, and this allows the p-n junction to be formed with a diffusion length of minority carriers or less and with a thickness that is sufficient to absorb light. depth greater than
It can be provided at a thickness of 10 μm to 200 μm, and furthermore, it becomes possible to efficiently collect electron-hole pairs generated by light in any region from the surface to the deep part.
(ロ) 電極構造を複雑化することなく、基板の表裏
2面を光−電気エネルギー変換面として使用す
ることができるので、高価なシリコン単結晶基
板を有効に利用でき、したがつて、太陽発電の
コストを引き下げられる。(b) Since the front and back surfaces of the substrate can be used as light-to-electrical energy conversion surfaces without complicating the electrode structure, expensive silicon single crystal substrates can be used effectively, and solar power generation costs can be reduced.
第1図は、従来の太陽電池の断面斜視図、第2
図は、この発明に係る太陽電池の一実施例を示す
ための断面図、第3図は、不純物高濃度領域と不
純物低濃度領域の界面に発生するポテンシヤル差
を説明するためのエネルギー準位図、第4図は、
この発明に係る太陽電池を用いた発電システムの
一実施例を示す図である。
11……n形不純物濃度基板、12……n+形
不純物高濃度拡散層、13……p形不純物低濃度
拡散層、14……p+形不純物高濃度拡散層。
Figure 1 is a cross-sectional perspective view of a conventional solar cell;
The figure is a cross-sectional view showing one embodiment of a solar cell according to the present invention, and FIG. 3 is an energy level diagram for explaining the potential difference that occurs at the interface between a high impurity concentration region and a low impurity concentration region. , Figure 4 is
1 is a diagram showing an embodiment of a power generation system using a solar cell according to the present invention. 11...N-type impurity concentration substrate, 12...N + type impurity high concentration diffusion layer, 13...P type impurity concentration low concentration diffusion layer, 14...P + type impurity high concentration diffusion layer.
Claims (1)
純物高濃度の第1の領域と、p形導電性を有し厚
さ10μmないし200μmの不純物低濃度の第2の領
域と、n形導電性を有し厚さ0.1μmないし1μmの
不純物高濃度の第3の領域と、n形導電性を有し
厚さ10μmないし200μmの不純物低濃度の第4の
領域とからなり、前記第2の領域と前記第4の領
域が隣接してp−n接合を形成し、前記第1の領
域が前記第2の領域の表面に形成され、前記第3
の領域が前記第4の領域の表面に形成されている
ことを特徴とする太陽電池。1 A first region with a high impurity concentration having p-type conductivity and a thickness of 0.1 μm to 1 μm, a second region with a low impurity concentration having p-type conductivity and a thickness of 10 μm to 200 μm, and an n-type It consists of a third region having high impurity concentration having conductivity and a thickness of 0.1 μm to 1 μm, and a fourth region having low impurity concentration having n-type conductivity and having a thickness of 10 μm to 200 μm; and the fourth region are adjacent to each other to form a p-n junction, the first region is formed on the surface of the second region, and the third region is formed on the surface of the second region.
A solar cell characterized in that a region is formed on the surface of the fourth region.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56115307A JPS5817681A (en) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | solar cells |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56115307A JPS5817681A (en) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | solar cells |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5817681A JPS5817681A (en) | 1983-02-01 |
| JPH02867B2 true JPH02867B2 (en) | 1990-01-09 |
Family
ID=14659384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56115307A Granted JPS5817681A (en) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | solar cells |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5817681A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2077587A4 (en) * | 2006-09-27 | 2016-10-26 | Kyocera Corp | SOLAR CELL COMPONENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5582472A (en) * | 1978-12-13 | 1980-06-21 | Ibm | Silicone solar energy converter |
-
1981
- 1981-07-24 JP JP56115307A patent/JPS5817681A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5817681A (en) | 1983-02-01 |
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