JPH0287032A - Thermistor for high temperature - Google Patents
Thermistor for high temperatureInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、セラミックを素材とする高温用サーミスタに
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a high-temperature thermistor made of ceramic.
[従来の技術]
従来、この種の高温用サーミスタとして、例えは、実開
昭54−49983号公報のものが知られている。すな
わち、高温用サーミスタは、耐熱性金属(例えは、JI
S規格:5US310.304)からなりかつその内壁
面を酸化皮膜処理した有底保護筒内に、安定化ジルコニ
アからなるイオン電導性の温度検出素子を保持するとと
もに、該温度検出素子を絶縁性の無機質充填物および通
気性を有する充填材で固定し、さらに温度検出素子の出
力を取り出すリード線にも空気導入通路を設けた構成を
備えており、耐熱性金属からなる保護筒壁を経た後に記
充填材を介して、および空気導入通路を通じて温度検出
素子を外気に接触させること乞こより温度を測定するも
のである。[Prior Art] Conventionally, as this type of high-temperature thermistor, for example, the one disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 54-49983 is known. In other words, high-temperature thermistors are made of heat-resistant metals (for example, JI
An ion conductive temperature sensing element made of stabilized zirconia is held in a bottomed protective cylinder made of S standard: 5US310.304) and whose inner wall surface is treated with an oxide film. It is fixed with an inorganic filler and a breathable filler, and the lead wire that takes out the output of the temperature detection element also has an air introduction passage. The temperature is measured by bringing the temperature sensing element into contact with the outside air through the filling material and through the air introduction passage.
[発明が解決しようとする課題]
しかし、従来の高温用サーミスタは、以下に述べる問題
点がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, conventional high-temperature thermistors have the following problems.
■ 保護筒、充填材やリード線の空気導入通路を介して
温度検出素子表面まで外気を導く構成であるために、外
気温が素子む乙達するまでの時間が長く、応答性がさほ
どよくない。■ Since the outside air is introduced to the surface of the temperature detection element through the protective tube, the filling material, and the air introduction passage of the lead wire, it takes a long time for the outside temperature to reach the element, and the response is not very good.
■ 有底保護筒に5US310等を用いるとともに内壁
を酸化皮膜処理を行すているため高価であり、また、空
気導入通路を有するリード線の組付作業も、複雑な位置
決め等の工程が必要である等一
の各種のコスト高となる要因があった。■ It is expensive because it uses 5US310 etc. for the bottomed protection tube and has an oxide film treatment on the inner wall, and also requires complicated processes such as positioning when assembling the lead wire that has an air introduction passage. There were various factors that led to high costs.
■ さらに高温測定時における酸化の進行に伴う特性劣
化を防ぐために皮膜形成処理を行っているが、まだ95
0℃以上では酸化が進行して安定した出力特性が得られ
ない。■Furthermore, in order to prevent characteristic deterioration due to progress of oxidation during high-temperature measurements, a film-forming treatment is performed, but it is still 95%
At temperatures above 0°C, oxidation progresses and stable output characteristics cannot be obtained.
本発明は、上記従来の技術の問題点を解消するためにな
されたもので、応答性に優れ、コストダウンを実現する
ことができるとともに、950℃以上の高温でも安定し
た温度検出を行える高温用サーミスタを提供することを
目的とする。The present invention was made in order to solve the problems of the above-mentioned conventional technology, and is capable of achieving excellent responsiveness and cost reduction, as well as being capable of stable temperature detection even at high temperatures of 950°C or higher. The purpose is to provide thermistors.
[課題を解決するための手段]
上記問題点を解決するためになされた本発明による高温
用サーミスタは、
セラミックからなる温度検出素子と、この温度検出素子
を外気に対して気密に囲むセラミック部材とを備え、
上記セラミック部材内には、温度検出素子に酸素ガスを
接触させる空隙を有することを特徴とする。[Means for Solving the Problems] A high-temperature thermistor according to the present invention, which has been made to solve the above-mentioned problems, includes: a temperature detection element made of ceramic; a ceramic member that airtightly surrounds the temperature detection element from outside air; The ceramic member is characterized in that the ceramic member has a gap that allows oxygen gas to come into contact with the temperature detection element.
ここで、上記温度検出素子は、イオン電導性の完全安定
化固体電解質であることが高温特性の点から好ましく、
例えは、Zr02−Y2O2、ZrOZr02−Ca0
5ZrO2−、Th02−LaO(ランタン属)等を適
用することができる。Here, it is preferable that the temperature detection element is an ionic conductive fully stabilized solid electrolyte from the viewpoint of high temperature characteristics;
For example, Zr02-Y2O2, ZrOZr02-Ca0
5ZrO2-, Th02-LaO (lanthanum genus), etc. can be applied.
セラミック部材は、耐酸化性および耐高温性を有する緻
密な絶縁体であり、例えば、Al2203、ムライト、
スピネル等を用いることができる。The ceramic member is a dense insulator with oxidation resistance and high temperature resistance, such as Al2203, mullite,
Spinel etc. can be used.
上記温度検出素子およびセラミック部材は、厚膜印刷方
式により積層形成することが製造上等の点から望ましい
が、この構造においてセラミック部材内に酸素ガスを有
する空隙を形成する手法には、例えは、両性側基板に挟
まれるスペーサに窓部を形成し、これをセラミック部材
で気密な空間として形成することここより行える。It is desirable from the manufacturing point of view that the temperature sensing element and the ceramic member be laminated using a thick film printing method. However, in this structure, the method of forming voids containing oxygen gas within the ceramic member includes, for example, From here, a window can be formed in the spacer sandwiched between the amphoteric substrates, and this can be formed as an airtight space using a ceramic member.
[作用コ
セラミック部材により囲まれた温度検出素子は、酸素ガ
スが封入された空隙に接し・でいる。この空隙内の酸素
ガスが温度検出素子に対してイオン電導体として作用し
、これにより温度検出素子から外気温度に依存した電気
信号が出力される。[The temperature sensing element surrounded by the active co-ceramic member is in contact with and exits the void filled with oxygen gas. The oxygen gas in this gap acts as an ion conductor for the temperature detection element, and as a result, the temperature detection element outputs an electrical signal that depends on the outside temperature.
また、セラミック部材は、温度検出素子を囲んで外気に
対して気密にするので、従来のように保護筒壁面の耐熱
性金属の酸化による高温特性の低下を防ぐことができる
とともに、温度検出素子が外気の影響を受けて変質する
ような劣化も防止する。In addition, since the ceramic member surrounds the temperature detection element and makes it airtight from the outside air, it is possible to prevent the deterioration of high temperature characteristics due to oxidation of the heat-resistant metal on the protective cylinder wall surface as in the conventional case. It also prevents deterioration that occurs due to the influence of outside air.
さらに、高温用サーミスタは、耐熱性金属からなる保護
筒や充填材を介して温度検出素子まで外気温を導く構成
となっておらず、セラミック部材を介して温度検出素子
へ外気温が伝えられ、この温度検出素子の出力に基づい
て温度が測定されるので、応答性に優れている。Furthermore, high-temperature thermistors do not have a structure in which the outside temperature is conducted to the temperature detection element through a protective tube or filler made of heat-resistant metal, but the outside temperature is transmitted to the temperature detection element through a ceramic member. Since the temperature is measured based on the output of this temperature detection element, responsiveness is excellent.
[実施例] 以下本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。[Example] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は第1の実施例による高温用サーミスタSの分解
斜視図、第2図はそれを一部組み立てた図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of a high temperature thermistor S according to the first embodiment, and FIG. 2 is a partially assembled view of the same.
これらの図において、1および2はセラミック部材とし
ての基板(厚さ0.5mm、幅4.5…■、長さ6.
0mm)、3はこの基板1.2間に挟まれ、かつ素子用
切欠き4および電極用切欠き5.6を有するスペーサ(
厚さ0.5mm)、7は温度検出素子(厚さ20〜50
gm、幅5 nuu、長さ5〜10…■)、8および9
は多孔質電極、10は温度検出素子7上やその周辺部に
載置される介在粒子、12および13は多孔質電極8.
9の端部8a59aに接続される白金リード線である。In these figures, 1 and 2 are substrates as ceramic members (thickness 0.5 mm, width 4.5 mm, length 6 mm).
0 mm), 3 is a spacer (
7 is a temperature detection element (thickness 20 to 50 mm).
gm, width 5 nuu, length 5-10...■), 8 and 9
10 is a porous electrode, 10 is an intervening particle placed on or around the temperature detection element 7, and 12 and 13 are porous electrodes 8.
This is a platinum lead wire connected to the end 8a59a of 9.
これらの部材は積層された後に焼成されることにより、
第3図の高温用サーミスタを完成するのであるが、次に
各1部材の組成および製造方法について詳細に説明する
。These parts are laminated and fired,
The high-temperature thermistor shown in FIG. 3 has been completed. Next, the composition and manufacturing method of each member will be explained in detail.
まず、基板1.2となるグリーンシートを製造する。グ
リーンシートは、比表面積が6〜10vn’/g、平均
粒径が0. 81Lmのアルミナ粉末に、SiO2・C
aO−MgO系力′ラスを2重量%添加し、これらを公
知のPVBバインダで混練し、ドクダーブレード法でシ
ート化することにより製造する。First, a green sheet that will become the substrate 1.2 is manufactured. The green sheet has a specific surface area of 6 to 10 vn'/g and an average particle size of 0. 81Lm of alumina powder, SiO2・C
It is manufactured by adding 2% by weight of aO--MgO-based lath, kneading the mixture with a known PVB binder, and forming it into a sheet using the dokuder blade method.
次にこのグリーンシート上にptペーストな印刷するこ
とにより多孔質電極8.9を形成する。Next, porous electrodes 8.9 are formed by printing PT paste on this green sheet.
ptペーストとして、比表面積が3 tn’ / g、
単位体積当りの密度が5〜6g/m3のPt¥93末を
用い、これに共素地としてZrO2Y2O3系固体電解
質を16重量%含有させ、セルロース系バインダ(有機
溶剤)にて混練することにより、ペースト化したものを
使用する。As a pt paste, the specific surface area is 3 tn'/g,
Using Pt¥93 powder with a density of 5 to 6 g/m3 per unit volume, it contains 16% by weight of ZrO2Y2O3 solid electrolyte as a common base material, and is kneaded with a cellulose binder (organic solvent) to form a paste. Use the converted one.
次に、グリーンシート上の多孔質電極8.9間に温度検
出素子7を印刷により積層形成する。温度検出素子7は
、Zr()+ 8〜15モル%Y2O3の完全安定化
固体電解質の粉末を用い、この粉末の平均粒径を3Bm
、比表面積を2〜5 tn’ / gに調製し、これを
セルロース系バインダでペースト化したものを使用する
。Next, the temperature detection element 7 is laminated by printing between the porous electrodes 8 and 9 on the green sheet. The temperature detection element 7 uses powder of a completely stabilized solid electrolyte of Zr() + 8 to 15 mol% Y2O3, and the average particle size of this powder is 3Bm.
The specific surface area is adjusted to 2 to 5 tn'/g, and this is made into a paste with a cellulose binder.
続いて素子用切欠き4および電極用切欠き5.6を有す
るスペーサ3をグリーンシート上に積層する。スペーサ
3は、A12203ペーストから製造する。Subsequently, a spacer 3 having an element notch 4 and an electrode notch 5,6 is laminated on the green sheet. Spacer 3 is manufactured from A12203 paste.
次にAQ203からなる介在粒子10を温度検出素子7
およびその周辺部のグリーンシート上に印刷する。これ
は、焼成によりグリーンシート等が素子7と密着しない
で内室(空隙)を形成するためである。介在粒子10は
、比表面積を27TI2/ gに、平均粒径を4Bmに
調製したものを用い、セルロース系バインダでペースト
化して使用する。Next, the intervening particles 10 made of AQ203 are transferred to the temperature detection element 7.
and print on the green sheet around it. This is because the green sheet and the like do not come into close contact with the element 7 during firing, thereby forming an inner chamber (void). The intervening particles 10 are prepared to have a specific surface area of 27 TI2/g and an average particle size of 4 Bm, and are used after being made into a paste with a cellulose binder.
次に多孔質電極8.9の端部8a、9aにφ0゜25m
mの白金リード線を接着し、その後、上記基板1(グリ
ーンシート)と同様の素材および形状の他方の基板2(
グリーンシート)を圧着する。Next, the ends 8a and 9a of the porous electrode 8.9 have a diameter of 0°25m.
m of platinum lead wires are bonded, and then the other substrate 2 (of the same material and shape as the substrate 1 (green sheet)) is bonded.
Crimp the green sheet).
次にこれを切断した後に、加熱による樹脂抜きを行う。Next, after cutting this, the resin is removed by heating.
その後、1520℃〜1530℃の雰囲気中にて1時間
焼成し、さらに680℃の雰囲気中にて1.5Vの電圧
を60秒間印加する工程を5回繰り返すエーシング処理
を施す。Thereafter, an acing process is performed in which the process of firing in an atmosphere of 1520° C. to 1530° C. for 1 hour and further applying a voltage of 1.5 V for 60 seconds in an atmosphere of 680° C. is repeated 5 times.
これにより、基板1.2とスペーサ3は焼成後は密着構
造となるとともに、温度検出素子7に接する上部空間が
外気と遮断された内室となる高温用サーミスタSが構成
される。As a result, the substrate 1.2 and the spacer 3 have a close contact structure after firing, and a high-temperature thermistor S is constructed in which the upper space in contact with the temperature detection element 7 is an inner chamber cut off from the outside air.
上記高温用サーミスタSの動作を説明すると、リード線
12.13間に電圧を印加すると、内室の酸素ガスが温
度検出素子7を介してイオン電導体として作用し、温度
検出素子7は温度に依存した抵抗値を示し、これがリー
ド線12.13間に電気信号として出力される。この電
気信号に基づいて外部雰囲気の温度測定が可能になる。To explain the operation of the high temperature thermistor S, when a voltage is applied between the lead wires 12 and 13, oxygen gas in the inner chamber acts as an ion conductor via the temperature detection element 7, and the temperature detection element 7 changes to the temperature. It shows a dependent resistance value, which is output as an electrical signal between the leads 12 and 13. Based on this electrical signal, the temperature of the external atmosphere can be measured.
高温用サーミスタSの糺み付けには、第4図に示すよう
に、まず、白金リード線12.13に耐熱・耐酸化性金
属(例えば、Ni、ステンレス鋼)からなる外部リード
線20.21を溶接またはろう付し、これをテーパ付金
具23に耐熱固着材料(セメントガラス)24を介在さ
せて固定する。To glue the high-temperature thermistor S, as shown in FIG. is welded or brazed and fixed to the tapered metal fitting 23 with a heat-resistant fixing material (cement glass) 24 interposed therebetween.
このとき、高温サーミスタSの先端S1は露出している
。なお、高温用サーミスタSは、第5図に示すようなフ
ランジ25を溶接またはろう付した金具23Aに固定し
てもよい。At this time, the tip S1 of the high temperature thermistor S is exposed. Note that the high temperature thermistor S may be fixed to a metal fitting 23A having a flange 25 welded or brazed as shown in FIG. 5.
このように本実施例によれば、従来の高温用サーミスタ
のように温度検出素子を金属保護筒により被覆しないで
、温度検出素子S自体を露出して組み付けることができ
るので、構造が簡単になり、しかも金属保護筒のような
高価な部品も使用しないでよいので、コストの低減も図
ることができる。In this way, according to this embodiment, the temperature sensing element S itself can be exposed and assembled without covering the temperature sensing element with a metal protection tube as in conventional high temperature thermistors, which simplifies the structure. Moreover, it is not necessary to use expensive parts such as a metal protection tube, so it is possible to reduce costs.
次に上記実施例の特性を調べるための以下の実験を行っ
た。Next, the following experiment was conducted to investigate the characteristics of the above example.
まず、温度検出素子温度700℃〜1000℃における
抵抗値を測定した。第6図のグラフは本実施例を示し、
第7図は従来の技術に相当する比較例を示す。これらの
図から明かなように、比較例では、950℃以上の温度
では、抵抗値がばらつき使用不能であったが、実施例に
よれば、1000℃以上まで安定した抵抗−温度特性が
得られ、従来より高い温度で使用可能であることが判明
した。First, the resistance value at a temperature detection element temperature of 700°C to 1000°C was measured. The graph in FIG. 6 shows this example,
FIG. 7 shows a comparative example corresponding to the conventional technique. As is clear from these figures, in the comparative example, the resistance value varied and was unusable at temperatures of 950°C or higher, but according to the example, stable resistance-temperature characteristics were obtained up to 1000°C or higher. , it was found that it can be used at higher temperatures than conventional methods.
次に高温用サーミスタを1000℃の電気炉内に入れた
ときの応答性について調べた。この結果、第8図に示す
ように、1000℃に達するまでの時間が、比較例(実
線)では60秒程度であったのに対して、本実施例(破
線)では 40秒と短く、30から40%はど応答性が
向上している。Next, the response when the high temperature thermistor was placed in an electric furnace at 1000°C was investigated. As a result, as shown in Fig. 8, the time it took to reach 1000°C was about 60 seconds in the comparative example (solid line), while it was as short as 40 seconds in the present example (broken line), and 30 seconds. The response has improved by 40% since then.
したがって、このような応答性の向上から、自動車排ガ
ス浄化触媒の過熱警報装置に適用できるのは勿論のこと
、従来、応答性がよくないためにオーブンループ制御を
行っていた排気ガス再循環装置等のエンジン制御に対し
てフィードバック制御が可能になった。Therefore, this improved response can of course be applied to overheat warning devices for automobile exhaust gas purification catalysts, as well as exhaust gas recirculation devices, etc., which conventionally required oven loop control due to poor response. Feedback control has become possible for engine control.
なお、第1の実施例では、多孔質電極を温度検出素子の
両側に形成したが、これに限らず、第9図に示すように
、温度検出素子7を多孔質電極30.31で挟む第2の
実施例の構成でも同様な効果を奏することができる。第
2の実施例について上記第1の実施例と異なる点のみを
説明すると、セラミック基板(図示省略)上にptペー
ストを厚膜印刷することにより多孔質電極31を形成す
る。次ζこ温度検出素子7を厚膜印刷により積層形成し
た後に、この上にptペーストを厚膜印刷して多孔質電
極30を形成する。さらにこの上し乙セラミック基板(
図示省略)を圧着し、以下第1の実施例と同様な工程を
経て高温用サーミスタを製造する。この場合には、温度
検出素子70周辺部側方等に空隙が確侃されるので、介
在粒子は特に必要ない。したがって、空隙は、最初の実
施例のように内室として形成するだけでなく、温度検出
素子7ζこ酸素電導作用をもたらすだけの酸素ガスを有
する間隙であれは本センザの機能を果たすことになる。In the first embodiment, the porous electrodes are formed on both sides of the temperature detection element, but the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. Similar effects can be achieved with the configuration of the second embodiment. Regarding the second embodiment, only the differences from the first embodiment will be described. The porous electrode 31 is formed by printing a thick film of PT paste on a ceramic substrate (not shown). Next, after laminating the temperature sensing element 7 by thick film printing, a porous electrode 30 is formed by printing a thick film of PT paste thereon. Furthermore, on top of this ceramic substrate (
(not shown) is crimped, and the high temperature thermistor is manufactured through the same steps as in the first embodiment. In this case, intervening particles are not particularly necessary because a gap is established on the sides of the temperature detection element 70. Therefore, the gap can function as the sensor if it is not only formed as an inner chamber as in the first embodiment, but also has enough oxygen gas to bring about the oxygen conduction effect of the temperature detection element 7ζ. .
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、セラミックから
なる温度検出素子がセラミック部材により外気に対して
気密に囲まれているために、周囲雰囲気に関係なく、安
定した抵抗温度特定が得られる。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, since the temperature detection element made of ceramic is surrounded airtight from the outside air by the ceramic member, a stable resistance temperature can be achieved regardless of the surrounding atmosphere. Specificity is obtained.
また、温度検出素子まで外気の導入を行う必要がないの
で、高い応答性を得ることができ、したがって、自動車
排ガス浄化触媒の過熱警報装置や、エンジン制御にも適
用することができる。Further, since there is no need to introduce outside air to the temperature detection element, high responsiveness can be obtained, and therefore it can be applied to an overheat warning device for an automobile exhaust gas purification catalyst and engine control.
さらに、温度検出素子がセラミック部材により囲まれて
いるので丈夫であり、しかも従来の保護筒のように耐食
性や耐熱性についても特に問題にならない。そのうえ、
組付や構造が簡単になるという利点もある。Furthermore, since the temperature detection element is surrounded by a ceramic member, it is durable, and unlike conventional protection tubes, corrosion resistance and heat resistance are not particularly problematic. Moreover,
Another advantage is that assembly and structure are simplified.
第1図は本発明の一実施例による高温用サーミスタを示
す分解斜視図、第2図は第1図の高温用サーミスタを一
部絹み立てた斜視図、第3図は同実施例による高温サー
ミスタを示す斜視図、第4図は高温用サーミスタを金具
に取り付けた状態を示す断面図、第5図は第4図の他の
実施例を示す断面図、第6図は本実施例の抵抗−温度特
性を示すグラフ、第7図は従来のサーミスタの抵抗−温
度特性を示すグラフ、第8図は温度に対する応答性を示
すグラフ、第9図は他の実施例の温度検出素子の周辺を
示す斜視図である。
S・・・高温用サーミスタ 1.2・・・基板3・・
・スペーサ 7・・・温度検出素子8.9・・・多孔
質電極 10・・・介在粒子12.13・・・リード
線
第1図
代理人 弁理士 定立 勉(ほか2名)第4図
第9図
第5図FIG. 1 is an exploded perspective view showing a high temperature thermistor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the high temperature thermistor shown in FIG. A perspective view showing the thermistor, Fig. 4 is a sectional view showing the high temperature thermistor attached to a metal fitting, Fig. 5 is a sectional view showing another embodiment of Fig. 4, and Fig. 6 is the resistor of this embodiment. - A graph showing the temperature characteristics, Fig. 7 is a graph showing the resistance-temperature characteristics of a conventional thermistor, Fig. 8 is a graph showing the responsiveness to temperature, and Fig. 9 shows the surroundings of the temperature detection element of another example. FIG. S... High temperature thermistor 1.2... Board 3...
・Spacer 7...Temperature detection element 8.9...Porous electrode 10...Intervening particles 12.13...Lead wire Figure 1 Agent: Patent attorney Tsutomu Sadachi (and 2 others) Figure 4 Figure 9Figure 5
Claims (1)
を外気に対して気密に囲むセラミック部材とを備え、 上記セラミック部材内には、温度検出素子に酸素ガスを
接触させる空隙を有することを特徴とする高温用サーミ
スタ。[Scope of Claims] A temperature sensing element made of ceramic, and a ceramic member that airtightly surrounds the temperature sensing element with respect to outside air, and a gap is provided in the ceramic member to allow oxygen gas to come into contact with the temperature sensing element. A high temperature thermistor comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23816088A JPH0287032A (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Thermistor for high temperature |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23816088A JPH0287032A (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Thermistor for high temperature |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287032A true JPH0287032A (en) | 1990-03-27 |
Family
ID=17026079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23816088A Pending JPH0287032A (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Thermistor for high temperature |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287032A (en) |
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