JPH0288480U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0288480U JPH0288480U JP16622288U JP16622288U JPH0288480U JP H0288480 U JPH0288480 U JP H0288480U JP 16622288 U JP16622288 U JP 16622288U JP 16622288 U JP16622288 U JP 16622288U JP H0288480 U JPH0288480 U JP H0288480U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- laminated piezoelectric
- element bodies
- base
- fine movement
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の微動機構の側面図
、第２図はその上面図、第３図は本考案の一実施
例の微動機構を組み込んだ走査型トンネル顕微鏡
の構成図、第４図は積層圧電素子体４ｘに電圧を
印加した時の微動機構の側面図、第５図は積層圧
電素子体４ｙに電圧を印加した時の微動機構の側
面図である。 １……探針、３ａ，３ｂ，３ｃ……支持部材、
４ｘ，４ｙ……積層圧電素子体、５……基台。
、第２図はその上面図、第３図は本考案の一実施
例の微動機構を組み込んだ走査型トンネル顕微鏡
の構成図、第４図は積層圧電素子体４ｘに電圧を
印加した時の微動機構の側面図、第５図は積層圧
電素子体４ｙに電圧を印加した時の微動機構の側
面図である。 １……探針、３ａ，３ｂ，３ｃ……支持部材、
４ｘ，４ｙ……積層圧電素子体、５……基台。
Claims (1)
- 複数の積層圧電素子体と、前記積層圧電素子体
を固定する基台と、前記積層圧電素子体と前記基
台とに支持部材を介して保持される動作部とから
なることを特徴とする微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16622288U JPH0288480U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16622288U JPH0288480U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0288480U true JPH0288480U (ja) | 1990-07-12 |
Family
ID=31453418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16622288U Pending JPH0288480U (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0288480U (ja) |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP16622288U patent/JPH0288480U/ja active Pending